JP7265020B2 - ステージシステム及びリソグラフィ装置 - Google Patents
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Description
[0001] 本願は2019年2月28日に提出された欧州出願第19159972.9号の優先権を主張するものであり、同出願は参照によりその全体が本明細書に組み込まれる。
基準構造に関して移動可能なステージであって、ステージと基準構造とのうち一方が反射面を備える、ステージと、
ステージと基準構造とのうち他方に配置された光学位置センサであって、光学位置センサに対する反射面の位置を判定するように構成された光学位置センサと、
反射面の形状を判定するように構成された光学形状センサと、
を備えるステージシステムが提供される。
基準構造に関して移動可能なステージであって、ステージと基準構造とのうち一方が反射面を備える、ステージと、
ステージと基準構造とのうち他方に配置された光学位置センサであって、光学位置センサに対する反射面の位置を判定するように構成された光学位置センサと、
反射面の形状を判定するように構成された光学形状センサと、
を備えるステージシステムが提供される。
・非干渉波面センサ(すなわちシャック・ハルトマン波面センサ)
・たわみ計測表面形状測定(deflectometric surface shape measurement)
・干渉波面/表面形状センサ、
・シアリング干渉計(形状センサの派生物)
・フィゾー干渉計/トワイマン・グリーン干渉計/点回折干渉計
光線トレースモデルは、センサのために予期される入射の領域を再構築するためだけに用いられなくてもよく、(特に)n-DOFの位置誤差又は誤差感度を予測するためにも用いられ得る。ステージが6未満の自由度(DOF)を有する場合には、分析及び補正はn-DOFに限定され得る。ただし、nは1,2,3,4,5又は6であり得る。
(1)単数又は複数の形状センサを用いて、全ての関連する及び/又は測定可能なミラーの形状を再構築することができる。
(2)所与のn-DOFの位置セットポイント、センサレイアウト及びミラーブロック形状に関しては、光線トレースモデルを用いて、センサ測定信号を予測することができる。
(3)位置モデルは、シミュレーションされた測定信号を取り込むことができ、n-DOFのステージ位置を再構築する。
(4)セットポイントと再構築されたn-DOF位置との差は位置誤差補正モデルにおいて用いられ得る。
[00060] 本発明は、次の条項によっても記載され得る。
1. 基準構造に関して移動可能なステージであって、前記ステージと前記基準構造とのうち一方が反射面を備える、ステージと、
前記ステージと前記基準構造とのうち他方に配置された光学位置センサであって、前記光学位置センサに対する前記反射面の位置を判定するように構成された光学位置センサと、
前記反射面の形状を判定するように構成された光学形状センサと、
を備える、ステージシステム。
2. 前記光学位置センサに対する前記反射面の前記位置から及び前記光学形状センサによって判定される前記反射面の前記形状から前記ステージのステージ位置を求めるように構成された位置測定コントローラを更に備える、条項1に記載のステージシステム。
3. 前記位置測定コントローラは、
前記光学位置センサに対する前記反射面の前記判定された位置から前記ステージの初期ステージ位置を求めるように、
前記初期ステージ位置から前記反射面における前記光学位置センサの光ビームの入射の領域を求めるように、及び
前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することによって前記ステージ位置を求めるように構成されている、条項1又は2に記載のステージシステム。
4. 前記入射の領域は光線トレースモデルを用いて求められる、条項3に記載のステージシステム。
5. 前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することは並進補正を実施することを備える、条項3又は4のいずれか一項に記載のステージシステム。
6. 前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することは回転補正を実施することを備える、条項3から5のいずれか一項に記載のステージシステム。
7. 前記位置測定コントローラは、前記光学形状センサによる更なる測定と前記反射面の前記判定された形状との比較から前記ステージの傾斜を求めるように構成されている、条項2から6のいずれか一項に記載のステージシステム。
8. 前記反射面の形状は前記位置測定コントローラのメモリに記憶され、前記位置測定コントローラは、前記入射の領域における前記反射面の前記記憶された形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することによって前記ステージ位置を求めるように構成されている、条項3から7のいずれか一項に記載のステージシステム。
9. 前記光学位置センサは位置測定ビームを前記反射面の位置測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記光学形状センサは形状測定ビームを形状測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記位置測定ビームの入射の領域及び前記形状測定ビームの入射の領域は重なり合う、条項1から8のいずれか一項に記載のステージシステム。
10. 前記ステージは更に、前記ステージの移動の主面に関して45度未満で延伸する更なる反射面を備えており、前記光学位置センサは前記ステージの前記移動の主面に実質的に平行に延伸する位置センサターゲットミラーを備えており、前記光学位置センサ及び前記光学形状センサはそれぞれの更なる測定ビームを前記更なる反射面上の重なり合うそれぞれの更なる入射の領域に投影するように構成されている、条項9に記載のステージシステム。
11. 前記光学位置センサは位置測定ビームを前記反射面の位置測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記光学形状センサは形状測定ビームを形状測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記位置測定ビームの入射の領域及び前記形状測定ビームの入射の領域は前記ステージの移動の主面に沿った方向で相互に離隔している、条項1から8のいずれか一項に記載のステージシステム。
12. 前記ステージは更に、前記ステージの移動の主面に関して45度未満で延伸する更なる反射面を備えており、前記光学位置センサは前記ステージの前記移動の主面に実質的に平行に延伸する位置センサターゲットミラーを備えており、前記光学位置センサ及び前記光学形状センサはそれぞれの更なる測定ビームを、前記更なる反射面上の、前記ステージの移動の主面に沿った前記方向で相互に離隔しているそれぞれの更なる入射の領域に投影するように構成されている、条項11に記載のステージシステム。
13. 前記光学位置センサは変位干渉計を備える、及び/又は前記光学形状センサは形状干渉計を備える、条項1から12のいずれか一項に記載のステージシステム。
14. 前記光学形状センサはかすめ入射干渉計を備える、条項1から13のいずれか一項に記載のステージシステム。
15. 前記光学形状センサはたわみ計を備える、条項1から14のいずれか一項に記載のステージシステム。
16. 前記光学形状センサは波面センサを備える、条項1から15のいずれか一項に記載のステージシステム。
17. 前記光学位置センサ及び前記光学形状センサは共通の光源を備え、前記ステージシステムは前記光学位置センサのそれぞれのビームを通過させるための少なくとも1つの穴を設けられたビームスプリッタを備える、条項1から16のいずれか一項に記載のステージシステム。
18. 前記光学位置センサ及び前記光学形状センサは第1及び第2の波長を放射するように構成された共通の光源を備え、前記ステージシステムは前記第1の波長の光を反射するように且つ前記第2の波長の光を透過するように構成されたダイクロイックビームスプリッタを備え、前記光学位置センサは前記第1及び第2の波長のうち一方を受けるように配置され、前記光学形状センサは前記第1及び第2の波長のうち他方を受けるように配置されている、条項1から17のいずれか一項に記載のステージシステム。
19. 前記光学形状センサは光学形状測定ビームを前記ステージの前記反射面と相互作用するための第1の部分と前記ステージの別の反射面と相互作用するための第2の部分とに分割するためのスプリッタを備える、条項1から18のいずれか一項に記載のステージシステム。
20. 条項1から19のいずれかに記載のステージシステムを備えるリソグラフィ装置。
21. 前記ステージシステムは、基板を保持するように構成された基板サポートとパターニングデバイスを保持するように構成されたマスクサポートとのうち一方である、条項20に記載のリソグラフィ装置。
Claims (15)
- 基準構造に関して移動可能なステージであって、前記ステージと前記基準構造とのうち一方が反射面を備える、ステージと、
前記ステージと前記基準構造とのうち他方に配置された光学位置センサであって、前記光学位置センサに対する前記反射面の位置を判定するように構成された光学位置センサと、
前記反射面の形状を判定するように構成された光学形状センサと、
を備え、
前記光学位置センサは位置測定ビームを前記反射面の位置測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記光学形状センサは形状測定ビームを形状測定ビームの入射の領域に向けるように構成されており、前記位置測定ビームの入射の領域及び前記形状測定ビームの入射の領域は重なり合う、ステージシステム。 - 前記光学位置センサに対する前記反射面の前記位置から及び前記光学形状センサによって判定される前記反射面の前記形状から前記ステージのステージ位置を求めるように構成された位置測定コントローラを更に備える、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記位置測定コントローラは、
前記光学位置センサに対する前記反射面の前記判定された位置から前記ステージの初期ステージ位置を求めるように、
前記初期ステージ位置から前記反射面における前記光学位置センサの光ビームの入射の領域を求めるように、及び
前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することによって前記ステージ位置を求めるように構成されている、請求項1又は2に記載のステージシステム。 - 前記入射の領域は光線トレースモデルを用いて求められる、請求項3に記載のステージシステム。
- 前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することは並進補正を実施することを備える、請求項3又は4のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記入射の領域における前記反射面の前記形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することは回転補正を実施することを備える、請求項3から5のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記位置測定コントローラは、前記光学形状センサによる更なる測定と前記反射面の前記判定された形状との比較から前記ステージの傾斜を求めるように構成されている、請求項2から6のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記反射面の形状は前記位置測定コントローラのメモリに記憶され、前記位置測定コントローラは、前記入射の領域における前記反射面の前記記憶された形状を用いて前記初期ステージ位置を補正することによって前記ステージ位置を求めるように構成されている、請求項3から7のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記ステージは更に、前記ステージの移動の主面に関して45度未満で延伸する更なる反射面を備えており、前記光学位置センサは前記ステージの前記移動の主面に実質的に平行に延伸する位置センサターゲットミラーを備えており、前記光学位置センサ及び前記光学形状センサはそれぞれの更なる測定ビームを前記更なる反射面上の重なり合うそれぞれの更なる入射の領域に投影するように構成されている、請求項1に記載のステージシステム。
- 前記光学位置センサは変位干渉計を備える、及び/又は前記光学形状センサは形状干渉計を備える、請求項1から9のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記光学位置センサ及び前記光学形状センサは共通の光源を備え、前記ステージシステムは前記光学位置センサのそれぞれのビームを通過させるための少なくとも1つの穴を設けられたビームスプリッタを備える、請求項1から10のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記光学位置センサ及び前記光学形状センサは第1及び第2の波長を放射するように構成された共通の光源を備え、前記ステージシステムは前記第1の波長の光を反射するように且つ前記第2の波長の光を透過するように構成されたダイクロイックビームスプリッタを備え、前記光学位置センサは前記第1及び第2の波長のうち一方を受けるように配置され、前記光学形状センサは前記第1及び第2の波長のうち他方を受けるように配置されている、請求項1から11のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 前記光学形状センサは光学形状測定ビームを前記ステージの前記反射面と相互作用するための第1の部分と前記ステージの別の反射面と相互作用するための第2の部分とに分割するためのスプリッタを備える、請求項1から12のいずれか一項に記載のステージシステム。
- 請求項1から13のいずれかに記載のステージシステムを備えるリソグラフィ装置。
- 前記ステージシステムは、基板を保持するように構成された基板サポートとパターニングデバイスを保持するように構成されたマスクサポートとのうち一方である、請求項14に記載のリソグラフィ装置。
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