JPWO2013099981A1 - ライン光照射装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ・・・LED配列基板
21 ・・・LED
P ・・・複数のLED21の配列方向
Q ・・・配列方向に直交する方向
3 ・・・第1のスリット部材
3S ・・・第1のスリット
4 ・・・光拡散部材(レンチキュラーレンズ)
41 ・・・凸レンズ部
5 ・・・第2のスリット部材
5S ・・・第2のスリット
6 ・・・平行化レンズ
7 ・・・筐体
8 ・・・ヒートシンク
91 ・・・固定部材
92 ・・・固定部材
93 ・・・固定部材
例えば、筐体7の内面において複数のLED21の配列方向Pに対向する左右内面に反射加工が施し、複数のLED21の配列方向Pと直交する上下内面に無反射加工を施しても良い。これならば、不要な光を可及的に低減しつつも、複数のLEDから射出される光を可及的に用いることができる。また、筐体7の内面全体に無反射加工を施しても良い。
この集光レンズ11は、第1のスリット3Sに沿って設けられており、シリンドリカルレンズである。この集光レンズ11により、第1のスリット3Sを通過し、上下方向Qに広がる光を第2のスリット5Sに向かうように上下方向Qに集光して、第1のスリット3Sを通過した光における第2のスリット5Sに入射する光の割合を増大させる。これにより、第1のスリット部材3及び第2のスリット部材5の間で生じる光の損失を低減して、第2のスリット5Sに入射する光を増大させることができ、より明るいライン光Lを被計測物に照射することができる。
また、ライン光Lの光量低下を防止するとともに、ライン光Lのエッジを明瞭にするためには、集光レンズ11を第1のスリット部材3にできるだけ近づけて配置していることが好ましい。例えば、集光レンズ11を第1のスリット部材3から0〜5mm程度の位置に配置することが考えられる。
この集光レンズ12は、複数のLED21に沿ってそれらを覆うように設けられたシリンドリカルレンズである。この集光レンズ12は、複数のLED21を収容する凹部を備えたシリコーン製のものとすることが考えられる。この集光レンズ12により、複数のLED21から射出されて上下方向Qに広がる光を第1のスリット3Sに向かうように上下方向Qに集光して、複数のLED21から射出された光における第1のスリット3Sに入射する光の割合を増大させるものである。これにより、複数のLED21及び第1のスリット部材3の間で生じる光の損失を低減して、第1のスリット3Sに入射する光を増大させることができ、より明るいライン光Lを被計測物に照射することができる。
また、ライン光Lの光量低下を防止するためには、集光レンズ11を複数のLED21にできるだけ近づけて配置していることが好ましい。なお、複数のLED21を砲弾型のLED21にするなど、複数のLED21自体が指向性を高めるレンズ構造を有するものでも良い。
Claims (9)
- 被計測物の表面形状を検査するために当該被計測物にライン光を照射するライン光照射装置であって、
光源として複数のLEDを備えるとともに、
前記複数のLED側から順に配置される第1のスリット部材、光拡散部材及び第2のスリット部材を有し、これら複数のLED、第1のスリット部材、光拡散部材及び第2のスリット部材を収容する筐体を備えており、
前記複数のLEDが、LED搭載基板上に直線状に配列されており、
前記第1のスリット部材が、前記複数のLEDの配列方向に沿って形成された第1のスリットを有しており、
前記光拡散部材が、前記複数のLEDの配列方向に直交する方向に沿って延びる複数の凸レンズ部を有しており、
前記第2のスリット部材が、前記複数のLEDの配列方向に沿って形成された第2のスリットを有しており、
前記筐体が、概略直方体に形成され、前記第2のスリット部材を通過したライン光を一端から射出するものであるライン光照射装置。 - 前記複数のLED側から順に配置される第1のスリット部材、光拡散部材、第2のスリット部材に加えてさらに平行化レンズを有し、
前記平行化レンズが、前記第2のスリットを通過した光を平行化するものである請求項1記載のライン光照射装置。 - 前記光拡散部材及び前記第2のスリット部材が前記筐体の一端側に配置される一方、前記LED搭載基板及び前記第1のスリット部材が前記筐体の一端側の対向側に配置されている請求項1記載のライン光照射装置。
- 前記第1のスリット部材、前記第2のスリット部材又は前記光拡散部材を前記筐体に固定するための固定部材を有し、
前記固定部材が、前記筐体の左右内面と上下内面の一方とに接触して固定される概略コの字形状をなすものであり、
前記固定部材の前面又は後面に前記第1のスリット部材、前記第2のスリット部材又は前記光拡散部材が固定される請求項1記載のライン光照射装置。 - 前記第1のスリット部材及び前記第2のスリット部材の間に、前記第1のスリットを通過した光を前記第2のスリットに向けて集光する集光レンズが設けられている請求項1記載のライン光照射装置。
- 前記複数のLED及び前記第1のスリット部材の間に、前記複数のLEDから射出された光を前記第1のスリットに向けて集光する集光レンズが設けられている請求項1記載のライン光照射装置。
- 前記筐体の内面において前記複数のLEDの配列方向に対向する左右内面に反射加工が施されている請求項1記載のライン光照射装置。
- 前記筐体の内面において前記複数のLEDの配列方向と直交する上下内面に無反射加工が施されている請求項1記載のライン光照射装置。
- 前記筐体の内面全体に無反射加工が施されている請求項1記載のライン光照射装置。
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