JP4571762B2 - サーディップ型固体撮像素子 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、複写機、イメージスキャナ、ファクシミリ等の画像読取装置の内部に用いるサーディップ型固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、撮像装置に組み込み、ＣＣＤ等の固体撮像素子を用いて画像を光学像として読取る画像読取装置は、図１０に示すように、物体５３を結像レンズ５２を介して固体撮像素子６１に結像させて読取っている。また、固体撮像素子６１には複数個の微小な光電変換素子（以下、単に画素といい、この画素は通常数μｍ×数μｍの微小な大きさを有する）を直線状に配列した１ラインの画素ライン３１を有しているものが用いられている。
【０００３】
このような画像読取装置では、結像レンズ５２によって結像された線像を固体撮像素子６１上に位置させるとともに、光学特性（ピント、倍率等）を所定の要求精度で読取るために、結像レンズ５２や１ラインの固体撮像素子６１の画素ライン３１を図１１に示すようＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｙ軸回りのβ回転方向、Ｚ軸回りのγ回転方向の３軸および２回転方向（以下、２回転方向も軸方向とし、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、β軸、γ軸を単に５軸という）に微動させ位置を調整する必要がある。なお、図１０、図１１中、符号８は光軸である。
【０００４】
ここで、Ｘ軸回りのα軸に関しての調整を行なわない理由は、β軸、γ軸は画素ラインと直交する方向であり、このβ、γ軸の調整を行なわないと結像レンズ５２と固体撮像素子６１との距離が画素毎に異なって光学特性の精度が低下してしまうのに対して、Ｘ軸は画素ラインと同軸方向（平行）であるため、結像レンズ５２と固体撮像素子６１との距離が画素毎に異なることがなく、光学特性に影響を受けないためである。
【０００５】
一方、近時では、カラー像を読取るために図１２に示すようにＲｅｄ（以下、単にＲという）、Ｇｒｅｅｎ（以下、単にＧという）およびＢｌｕｅ（以下、単にＢという）に分光感度のピークを持つ画素Ｒ、Ｇ、Ｂ別に直線状に３列の画素ライン（Ｒ画素ライン３１ａ、Ｇ画素ライン３１ｂ、Ｂ画素ライン３１ｃ）を配置した固体撮像素子６１が用いられる場合もある。
【０００６】
通常、このような固体撮像素子６１の位置調整精度は５軸方向共に高精度が要求されており、特にこの要求を達成するために不可欠とされているのが、固体撮像素子６１を上記のように位置調整した後に固体撮像素子６１をフレームに固定する際、固体撮像素子６１の位置ずれがないようにする技術である。
【０００７】
このような技術が必要なのは、いくら高精度に位置調整しても、固定時に位置がずれると再度位置調整が必要になったり、分離不可能な固定方法を採用している場合は、その部分を廃棄処分にするしか方法がなくなってしまい、位置調整時間が長くなったり、コスト高の原因になってしまうからである。
【０００８】
また、撮像装置内で、図１１に示すように、固体撮像素子６１は基板１２に実装されている。ここで、基板１２は、固体撮像素子６１を駆動し、また、光学像に伴う固体撮像素子６１の電気出力信号を、電気的な処理をした後に画像読取装置本体制御部（図示せず）に伝送する機能を有している。
【０００９】
そして撮像装置のうち、特に読み取りの対象が画像である画像読取装置の場合には、使用される固体撮像素子６１の多くは、複数個の微少な光電変換素子が一列に配列されたライン型の固体撮像素子６１が用いられている。よって、このとき画像は線像として読み取られる。そして、特にカラー画像を読み取るカラー画像読取装置に対しては、図１２に示すような、Ｒｅｄ、（以下、単にＲとする。）、Ｇｒｅｅｎ（以下、単にＧとする。）、Ｂｌｕｅ（以下、単にＢとする。）に分光感度のピークを持つ画素をＲ，Ｇ，Ｂ別に３列配置した３ライン３１ａ、３１ｂ、３１ｃのカラー用の固体撮像素子６１が用いられる。
【００１０】
さらに、固体撮像素子６１は、外形構造（パッケージ構造）によってもいくつかの種類に分類される。そしてその中でも、製造コストが有利（安い）という点で、近年においては、サーディップ型の固体撮像素子が増えてきており、画像読取装置においても使用されることが多くなった。
【００１１】
図１３は、従来のサーディップ型の固体撮像素子６１（ここではカラー用）の基本構造の断面形状を示す。そして、サーディップ型の固体撮像素子６１は、通常、以下の構造となっている。
【００１２】
まず、セラミック製のベース６２に、固体撮像素子チップであるＣＣＤチップ６３がマウントされている。このＣＣＤチップ６３上には画素ライン３１ａ、３１ｂ、３１ｃが形成されている。そして、リードフレーム６５が、ベース６２に対して封止ガラス６４で接合されていて、同時に、このリードフレーム６５とＣＣＤチップ６３とが、リード線６８にてワイヤボンディングされて電気的な導通状態となっている。さらに、セラミック製のウインドフレーム６６が、封止ガラス６４で接合されている。また、このウインドフレーム６６には、透明なカバーガラス６７が接着されていて、ＣＣＤチップ６３を密封している構造となっている。
【００１３】
ところで、画像読取装置においては、上述したように、結像レンズ５２により結像された線像を固体撮像素子６１上に位置させ、なおかつ光学特性（ピント、倍率など）を所定の要求精度で読み取るために、画像読取装置の製造段階で、固体撮像素子６１を、図１１に示すＸ、Ｙ、Ｚ、β、γの５軸方向に微動させ位置を調整する必要がある。このとき、通常、位置調整精度は５軸方向ともにμｍまたは０．００１°オーダーの高精度が要求される。
【００１４】
ここで、図１１及び図１３の座標に示すように、図中の光軸８は、座標上、Ｚ方向に該当する。また、Ｘ方向は画像読取装置における主走査方向、Ｙ方向は副走査方向に相当する。他に、αはＸ軸回り、βはＹ軸回り、γはＺ軸回りを示している。
【００１５】
上記の位置調整を行なうためには、製造時に、製造装置（図示せず）にて固体撮像素子６１を把持する必要がある。このとき、固体撮像素子６１を直接把持するのではなく、把持の対象を、固体撮像素子６１を実装している基板１２にするという手段も考えられる。しかし、基板１２は剛性の点で問題がある。なぜなら、形状の点では基板１２は薄い板であり、材質的にも、通常は剛性の高いものが使用されることはないからである。
【００１６】
剛性の低い基板１２を把持した場合、把持による基板の弾性変形が生じ、延いてはこれが固体撮像素子６１の位置変化を生じさせてしまう。調整精度の低い製品の場合は、このことは問題とならないが、上述の如く、高精度が要求される画像読取装置に使用される場合、この変形量は大きな問題となる。
よって、製造時の把持の対象は、固体撮像素子６１を直接把持することが望ましい。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来では、特に上述の経済性の点で有利なサーディップ型固体撮像素子は、その形状上、把持をするに適した箇所がない。即ち、図１４に示すように、ベース６２の側面６２ａとウインドフレーム６６の側面６６ａとが交差しているので、チャックの把持平面とならない。なお、図１４ではベース６２とウインドフレーム６６との位置関係のみを誇張して示し、封止ガラス６４、カバーガラス６７等の図示は省略してある。また、図１３に示すように、封止ガラス６４の側面が突出して側面６１ａがチャックの把持平面とならない場合もある。
【００１８】
このように、従来において、把持性を課題として考えられたサーディップ型固体撮像素子は皆無である。これでは、把持箇所を基板１２にする他はなく画像読取装置の調整精度を落とすか、あるいは、サーディップ型固体撮像素子の使用をやめてコストを上げるかのどちらかとなる。よってこのままでは、画像読取品質と経済性（コスト）を両立させることが不可能となる。
【００１９】
以上の点を鑑みて、本発明は、簡素な構造でありながら、直接把持することができ、高精度な位置調整が可能なサーディップ型固体撮像素子を提供することをその目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、光電変換素子が主走査方向に沿ってライン状に配列されているベース上に、リードフレームを固定するための封止ガラス、封止ガラス上のウインドフレーム及びウインドフレーム上の透明なカバーガラスが積層されているサーディップ型固体撮像素子において、前記積層方向に平行であって、且つ前記主走査方向に平行な側面を把持平面とし、前記封止ガラスの側面の形状は凹面であり、前記把持平面が前記ウインドフレームの側面から構成されており、該把持平面は前記積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に、前記ベース及び前記封止ガラスよりも突出している面であることを特徴とするサーディップ型固体撮像素子である。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子の断面図である。
【００３１】
図１に示すように、第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１は、セラミック製のベース２と、ベース２上にマウントされているＣＣＤチップ３と、ベース２上のＣＣＤチップ３の外周に設けた封止ガラス４と、封止ガラス４を介してベース２に接合されるセラミック製のウインドフレーム６と、ＣＣＤチップ３を密封するためにウインドフレーム６に接着されているカバーガラス７とを積層して備えている。
【００３２】
この第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、封止ガラス４の側面４ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面２ａ、４ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、４ａ、６ａ）が調整用のチャック１０（図２参照）の接触面１０ａに当接する。
【００３３】
前記側面２ａ、４ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、４ａ、６ａを同時に研磨する。
【００３４】
図２は、画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態を示す図であり、（Ａ）は図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図、（Ｂ）はＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【００３５】
図２（Ａ）に示すように、画像読取装置の製造時において、レンズとサーディップ型固体撮像素子１との位置調整をする際に、製造装置のチャック１０が、上下方向から、ベース２の側面２ａ、封止ガラス４の側面４ａ、ウインドフレーム６の側面６ａを把持する。ここで、製造装置のチャック１０のうちサーディップ型固体撮像素子１と接触する接触面１０ａも光軸及び主走査方向を含む面に平行な平面となっている。
【００３６】
図２（Ｂ）に示すように、サーディップ型固体撮像素子１の側面のうち、チャック１０によって把持される面には、リードフレーム５がない部分、即ち素子長手方向の両側に位置するリードフレーム５の間の側面が選択される。よって、図１〜図９ではリードフレーム及びリード線が省略されている。
【００３７】
図２（Ｂ）では、製造装置のチャック１０が上側に２個、下側に１個あり、計３個のチャックを用いてサーディップ型固体撮像素子１を把持している。但し、チャック１０は３個に限定されるものではなく、上下に各１個以上あればよい。
【００３８】
上記第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１によれば、光軸及び主走査方向を含む面に平行な接触面１０ａを有するチャック１０により、光軸方向及び主走査方向を含む面に平行な把持平面を側面に有するサーディップ型固体撮像素子１の把持平面を直接把持することができるので、コスト的に有利なサーディップ型固体撮像素子１を用いて、極めて高精度な位置調整を行うことができる。また、把持平面を側面２ａ，４ａ，６ａから構成したので、サーディップ型固体撮像素子１を薄型化しても充分な接触面積を確保することができる。
【００３９】
また、サーディップ型固体撮像素子１の側面である把持平面を光軸方向及び主走査方向を含む面に平行にするとともに、チャック１０の接触面１０ａを光軸及び主走査方向を含む面に平行にしているので、α軸方向の調整が不要となるという利点も有している。
【００４０】
図３は、画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態の変形例を示す図であり、図２（Ｂ）と同様にＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【００４１】
図３に示すように、チャック１１はエアー吸引方式になっている。このエアー吸引式のチャック１１のうちサーディップ型固体撮像素子１と接触する接触面１１ａは平面になっていて、サーディップ型固体撮像素子１の側面と密着した状態で吸引し、把持している。このエアー吸引式のチャック１１を用いる場合には、サーディップ型固体撮像素子１の側面の上側又は下側の何れかに１つ設ければよい。また、サーディップ型固体撮像素子１の側面の上側及び下側の両方にそれぞれチャック１１を設けてもよい。また、チャック１１を片側につき複数設けるようにしてもよい。また、このチャック１１を後述する実施形態で用いるチャック１０の代わりに用いてもよい。
【００４２】
図４は、本発明に係る第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００４３】
この第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面２ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００４４】
前記側面２ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを、封止ガラス４の側面４ａより側方に突出させて接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、６ａを同時に研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａよりベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、封止ガラス４の側面４ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００４５】
この第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１では、把持平面を高剛性のセラミック製のベース２及びウインドフレーム６の側面から構成しているので、第１参考実施形態と比べて把持面積が少なくても同程度の把持精度が得られる。また、同一素材を研磨するので、製造時の研磨作業性が高い。さらに、封止ガラス４の使用量を少なくすることができる。
【００４６】
図５は、本発明に係る第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００４７】
この第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、封止ガラス４の側面４ａとから構成され、側面２ａ、４ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、４ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００４８】
前記側面２ａ、４ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、４ａを同時に研磨する。なお、研磨後もウインドフレーム６の側面６ａよりベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａの方が突出しているので、ウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００４９】
図６は、本発明に係る第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５０】
この第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、封止ガラス４の側面４ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面４ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面４ａ、６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５１】
前記側面４ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面４ａ、６ａを同時に研磨する。なお、研磨後もベース２の側面２ａより封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、ベース２の側面２ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００５２】
図７は、本発明に係る第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５３】
この第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａから構成され、側面２ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５４】
前記側面２ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａを研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａよりベース２の側面２ａの方が突出しているので、封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。また、ベース２の側面２ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００５５】
図８は、本発明に係る実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５６】
この実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ウインドフレーム６の側面６ａから構成され、側面６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５７】
前記側面６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面６ａを研磨する。なお、研磨後もベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａよりウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、ベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができ、本発明は封止ガラス４の側面４ａの形状を凹面としたものである。また、ウインドフレーム６の側面６ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００５８】
図９は、本発明に係る第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５９】
この第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、封止ガラス４の側面４ａから構成され、側面４ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面４ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００６０】
前記側面４ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面４ａを研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａの方がベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａより突出しているので、ベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。また、封止ガラス４の側面４ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００６１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、積層方向に平行であって、且つ主走査方向に平行な側面を把持平面とし、把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面であるので、コスト的に有利なサーディップ型固体撮像素子を活用することができるとともに、画像読取装置の製造段階において、高精度な位置調整を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子の断面図である。
【図２】 画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態を示す図であり、（Ａ）は図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図、（Ｂ）はＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【図３】 画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態の変形例を示す図であり、図２（Ｂ）と同様にＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【図４】 第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図５】 第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図６】 第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図７】 第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図８】 本発明に係る実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図９】 第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図１０】 物体、結像レンズ及び固体撮像素子の光学的な位置関係を示す図である。
【図１１】 固体撮像素子と結像レンズとの６軸座標を示す図である。
【図１２】 従来の固体撮像素子の概略正面図である。
【図１３】 従来のサーディップ型固体撮像素子の基本構造を示す断面図である。
【図１４】 従来のサーディップ型固体撮像素子の側面を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ サーディップ型固体撮像素子
２ ベース
２ａ ベースの側面
３ ＣＣＤチップ（固体撮像素子チップ）
４ 封止ガラス
４ａ 封止ガラスの側面
５ リードフレーム
６ ウインドフレーム
６ａ ウインドフレームの側面
７ カバーガラス
８ 光軸
１０ チャック
１０ａ チャックの接触面
３１ 画素ライン
３１ａ Ｒ画素ライン
３１ｂ Ｇ画素ライン
３１ｃ Ｂ画素ライン
５２ 結像レンズ
５３ 物体
６１ 固体撮像素子
６１ａ 側面
６２ ベース
６２ａ 側面
６３ ＣＣＤチップ（固体撮像素子チップ）
６４ 封止ガラス
６５ リードフレーム
６６ ウインドフレーム
６６ａ 側面
６７ カバーガラス
【発明の属する技術分野】
本発明は、複写機、イメージスキャナ、ファクシミリ等の画像読取装置の内部に用いるサーディップ型固体撮像素子に関する。
【０００２】
【従来の技術】
一般に、撮像装置に組み込み、ＣＣＤ等の固体撮像素子を用いて画像を光学像として読取る画像読取装置は、図１０に示すように、物体５３を結像レンズ５２を介して固体撮像素子６１に結像させて読取っている。また、固体撮像素子６１には複数個の微小な光電変換素子（以下、単に画素といい、この画素は通常数μｍ×数μｍの微小な大きさを有する）を直線状に配列した１ラインの画素ライン３１を有しているものが用いられている。
【０００３】
このような画像読取装置では、結像レンズ５２によって結像された線像を固体撮像素子６１上に位置させるとともに、光学特性（ピント、倍率等）を所定の要求精度で読取るために、結像レンズ５２や１ラインの固体撮像素子６１の画素ライン３１を図１１に示すようＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、Ｙ軸回りのβ回転方向、Ｚ軸回りのγ回転方向の３軸および２回転方向（以下、２回転方向も軸方向とし、Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸、β軸、γ軸を単に５軸という）に微動させ位置を調整する必要がある。なお、図１０、図１１中、符号８は光軸である。
【０００４】
ここで、Ｘ軸回りのα軸に関しての調整を行なわない理由は、β軸、γ軸は画素ラインと直交する方向であり、このβ、γ軸の調整を行なわないと結像レンズ５２と固体撮像素子６１との距離が画素毎に異なって光学特性の精度が低下してしまうのに対して、Ｘ軸は画素ラインと同軸方向（平行）であるため、結像レンズ５２と固体撮像素子６１との距離が画素毎に異なることがなく、光学特性に影響を受けないためである。
【０００５】
一方、近時では、カラー像を読取るために図１２に示すようにＲｅｄ（以下、単にＲという）、Ｇｒｅｅｎ（以下、単にＧという）およびＢｌｕｅ（以下、単にＢという）に分光感度のピークを持つ画素Ｒ、Ｇ、Ｂ別に直線状に３列の画素ライン（Ｒ画素ライン３１ａ、Ｇ画素ライン３１ｂ、Ｂ画素ライン３１ｃ）を配置した固体撮像素子６１が用いられる場合もある。
【０００６】
通常、このような固体撮像素子６１の位置調整精度は５軸方向共に高精度が要求されており、特にこの要求を達成するために不可欠とされているのが、固体撮像素子６１を上記のように位置調整した後に固体撮像素子６１をフレームに固定する際、固体撮像素子６１の位置ずれがないようにする技術である。
【０００７】
このような技術が必要なのは、いくら高精度に位置調整しても、固定時に位置がずれると再度位置調整が必要になったり、分離不可能な固定方法を採用している場合は、その部分を廃棄処分にするしか方法がなくなってしまい、位置調整時間が長くなったり、コスト高の原因になってしまうからである。
【０００８】
また、撮像装置内で、図１１に示すように、固体撮像素子６１は基板１２に実装されている。ここで、基板１２は、固体撮像素子６１を駆動し、また、光学像に伴う固体撮像素子６１の電気出力信号を、電気的な処理をした後に画像読取装置本体制御部（図示せず）に伝送する機能を有している。
【０００９】
そして撮像装置のうち、特に読み取りの対象が画像である画像読取装置の場合には、使用される固体撮像素子６１の多くは、複数個の微少な光電変換素子が一列に配列されたライン型の固体撮像素子６１が用いられている。よって、このとき画像は線像として読み取られる。そして、特にカラー画像を読み取るカラー画像読取装置に対しては、図１２に示すような、Ｒｅｄ、（以下、単にＲとする。）、Ｇｒｅｅｎ（以下、単にＧとする。）、Ｂｌｕｅ（以下、単にＢとする。）に分光感度のピークを持つ画素をＲ，Ｇ，Ｂ別に３列配置した３ライン３１ａ、３１ｂ、３１ｃのカラー用の固体撮像素子６１が用いられる。
【００１０】
さらに、固体撮像素子６１は、外形構造（パッケージ構造）によってもいくつかの種類に分類される。そしてその中でも、製造コストが有利（安い）という点で、近年においては、サーディップ型の固体撮像素子が増えてきており、画像読取装置においても使用されることが多くなった。
【００１１】
図１３は、従来のサーディップ型の固体撮像素子６１（ここではカラー用）の基本構造の断面形状を示す。そして、サーディップ型の固体撮像素子６１は、通常、以下の構造となっている。
【００１２】
まず、セラミック製のベース６２に、固体撮像素子チップであるＣＣＤチップ６３がマウントされている。このＣＣＤチップ６３上には画素ライン３１ａ、３１ｂ、３１ｃが形成されている。そして、リードフレーム６５が、ベース６２に対して封止ガラス６４で接合されていて、同時に、このリードフレーム６５とＣＣＤチップ６３とが、リード線６８にてワイヤボンディングされて電気的な導通状態となっている。さらに、セラミック製のウインドフレーム６６が、封止ガラス６４で接合されている。また、このウインドフレーム６６には、透明なカバーガラス６７が接着されていて、ＣＣＤチップ６３を密封している構造となっている。
【００１３】
ところで、画像読取装置においては、上述したように、結像レンズ５２により結像された線像を固体撮像素子６１上に位置させ、なおかつ光学特性（ピント、倍率など）を所定の要求精度で読み取るために、画像読取装置の製造段階で、固体撮像素子６１を、図１１に示すＸ、Ｙ、Ｚ、β、γの５軸方向に微動させ位置を調整する必要がある。このとき、通常、位置調整精度は５軸方向ともにμｍまたは０．００１°オーダーの高精度が要求される。
【００１４】
ここで、図１１及び図１３の座標に示すように、図中の光軸８は、座標上、Ｚ方向に該当する。また、Ｘ方向は画像読取装置における主走査方向、Ｙ方向は副走査方向に相当する。他に、αはＸ軸回り、βはＹ軸回り、γはＺ軸回りを示している。
【００１５】
上記の位置調整を行なうためには、製造時に、製造装置（図示せず）にて固体撮像素子６１を把持する必要がある。このとき、固体撮像素子６１を直接把持するのではなく、把持の対象を、固体撮像素子６１を実装している基板１２にするという手段も考えられる。しかし、基板１２は剛性の点で問題がある。なぜなら、形状の点では基板１２は薄い板であり、材質的にも、通常は剛性の高いものが使用されることはないからである。
【００１６】
剛性の低い基板１２を把持した場合、把持による基板の弾性変形が生じ、延いてはこれが固体撮像素子６１の位置変化を生じさせてしまう。調整精度の低い製品の場合は、このことは問題とならないが、上述の如く、高精度が要求される画像読取装置に使用される場合、この変形量は大きな問題となる。
よって、製造時の把持の対象は、固体撮像素子６１を直接把持することが望ましい。
【００１７】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、従来では、特に上述の経済性の点で有利なサーディップ型固体撮像素子は、その形状上、把持をするに適した箇所がない。即ち、図１４に示すように、ベース６２の側面６２ａとウインドフレーム６６の側面６６ａとが交差しているので、チャックの把持平面とならない。なお、図１４ではベース６２とウインドフレーム６６との位置関係のみを誇張して示し、封止ガラス６４、カバーガラス６７等の図示は省略してある。また、図１３に示すように、封止ガラス６４の側面が突出して側面６１ａがチャックの把持平面とならない場合もある。
【００１８】
このように、従来において、把持性を課題として考えられたサーディップ型固体撮像素子は皆無である。これでは、把持箇所を基板１２にする他はなく画像読取装置の調整精度を落とすか、あるいは、サーディップ型固体撮像素子の使用をやめてコストを上げるかのどちらかとなる。よってこのままでは、画像読取品質と経済性（コスト）を両立させることが不可能となる。
【００１９】
以上の点を鑑みて、本発明は、簡素な構造でありながら、直接把持することができ、高精度な位置調整が可能なサーディップ型固体撮像素子を提供することをその目的とする。
【００２０】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために請求項１の発明は、光電変換素子が主走査方向に沿ってライン状に配列されているベース上に、リードフレームを固定するための封止ガラス、封止ガラス上のウインドフレーム及びウインドフレーム上の透明なカバーガラスが積層されているサーディップ型固体撮像素子において、前記積層方向に平行であって、且つ前記主走査方向に平行な側面を把持平面とし、前記封止ガラスの側面の形状は凹面であり、前記把持平面が前記ウインドフレームの側面から構成されており、該把持平面は前記積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に、前記ベース及び前記封止ガラスよりも突出している面であることを特徴とするサーディップ型固体撮像素子である。
【００３０】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。図１は、本発明に係る第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子の断面図である。
【００３１】
図１に示すように、第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１は、セラミック製のベース２と、ベース２上にマウントされているＣＣＤチップ３と、ベース２上のＣＣＤチップ３の外周に設けた封止ガラス４と、封止ガラス４を介してベース２に接合されるセラミック製のウインドフレーム６と、ＣＣＤチップ３を密封するためにウインドフレーム６に接着されているカバーガラス７とを積層して備えている。
【００３２】
この第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、封止ガラス４の側面４ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面２ａ、４ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、４ａ、６ａ）が調整用のチャック１０（図２参照）の接触面１０ａに当接する。
【００３３】
前記側面２ａ、４ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、４ａ、６ａを同時に研磨する。
【００３４】
図２は、画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態を示す図であり、（Ａ）は図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図、（Ｂ）はＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【００３５】
図２（Ａ）に示すように、画像読取装置の製造時において、レンズとサーディップ型固体撮像素子１との位置調整をする際に、製造装置のチャック１０が、上下方向から、ベース２の側面２ａ、封止ガラス４の側面４ａ、ウインドフレーム６の側面６ａを把持する。ここで、製造装置のチャック１０のうちサーディップ型固体撮像素子１と接触する接触面１０ａも光軸及び主走査方向を含む面に平行な平面となっている。
【００３６】
図２（Ｂ）に示すように、サーディップ型固体撮像素子１の側面のうち、チャック１０によって把持される面には、リードフレーム５がない部分、即ち素子長手方向の両側に位置するリードフレーム５の間の側面が選択される。よって、図１〜図９ではリードフレーム及びリード線が省略されている。
【００３７】
図２（Ｂ）では、製造装置のチャック１０が上側に２個、下側に１個あり、計３個のチャックを用いてサーディップ型固体撮像素子１を把持している。但し、チャック１０は３個に限定されるものではなく、上下に各１個以上あればよい。
【００３８】
上記第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１によれば、光軸及び主走査方向を含む面に平行な接触面１０ａを有するチャック１０により、光軸方向及び主走査方向を含む面に平行な把持平面を側面に有するサーディップ型固体撮像素子１の把持平面を直接把持することができるので、コスト的に有利なサーディップ型固体撮像素子１を用いて、極めて高精度な位置調整を行うことができる。また、把持平面を側面２ａ，４ａ，６ａから構成したので、サーディップ型固体撮像素子１を薄型化しても充分な接触面積を確保することができる。
【００３９】
また、サーディップ型固体撮像素子１の側面である把持平面を光軸方向及び主走査方向を含む面に平行にするとともに、チャック１０の接触面１０ａを光軸及び主走査方向を含む面に平行にしているので、α軸方向の調整が不要となるという利点も有している。
【００４０】
図３は、画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態の変形例を示す図であり、図２（Ｂ）と同様にＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【００４１】
図３に示すように、チャック１１はエアー吸引方式になっている。このエアー吸引式のチャック１１のうちサーディップ型固体撮像素子１と接触する接触面１１ａは平面になっていて、サーディップ型固体撮像素子１の側面と密着した状態で吸引し、把持している。このエアー吸引式のチャック１１を用いる場合には、サーディップ型固体撮像素子１の側面の上側又は下側の何れかに１つ設ければよい。また、サーディップ型固体撮像素子１の側面の上側及び下側の両方にそれぞれチャック１１を設けてもよい。また、チャック１１を片側につき複数設けるようにしてもよい。また、このチャック１１を後述する実施形態で用いるチャック１０の代わりに用いてもよい。
【００４２】
図４は、本発明に係る第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００４３】
この第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面２ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００４４】
前記側面２ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを、封止ガラス４の側面４ａより側方に突出させて接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、６ａを同時に研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａよりベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、封止ガラス４の側面４ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００４５】
この第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１では、把持平面を高剛性のセラミック製のベース２及びウインドフレーム６の側面から構成しているので、第１参考実施形態と比べて把持面積が少なくても同程度の把持精度が得られる。また、同一素材を研磨するので、製造時の研磨作業性が高い。さらに、封止ガラス４の使用量を少なくすることができる。
【００４６】
図５は、本発明に係る第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００４７】
この第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａと、封止ガラス４の側面４ａとから構成され、側面２ａ、４ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ、４ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００４８】
前記側面２ａ、４ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａ、４ａを同時に研磨する。なお、研磨後もウインドフレーム６の側面６ａよりベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａの方が突出しているので、ウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００４９】
図６は、本発明に係る第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５０】
この第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、封止ガラス４の側面４ａと、ウインドフレーム６の側面６ａとから構成され、側面４ａ、６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面４ａ、６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５１】
前記側面４ａ、６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面４ａ、６ａを同時に研磨する。なお、研磨後もベース２の側面２ａより封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、ベース２の側面２ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。
【００５２】
図７は、本発明に係る第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５３】
この第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ベース２の側面２ａから構成され、側面２ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面２ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５４】
前記側面２ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面２ａを研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａよりベース２の側面２ａの方が突出しているので、封止ガラス４の側面４ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。また、ベース２の側面２ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００５５】
図８は、本発明に係る実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５６】
この実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、ウインドフレーム６の側面６ａから構成され、側面６ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面６ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００５７】
前記側面６ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面６ａを研磨する。なお、研磨後もベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａよりウインドフレーム６の側面６ａの方が突出しているので、ベース２の側面２ａ及び封止ガラス４の側面４ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができ、本発明は封止ガラス４の側面４ａの形状を凹面としたものである。また、ウインドフレーム６の側面６ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００５８】
図９は、本発明に係る第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【００５９】
この第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子１の側面は、封止ガラス４の側面４ａから構成され、側面４ａは同一平面である把持平面内に位置する。この把持平面は、積層方向、即ち光軸方向と主走査方向（画素ライン方向、即ち図面直交方向）とを含む面に平行であって、且つ把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面である。即ち、この把持平面（側面４ａ）が調整用のチャック１０の接触面１０ａに当接する。
【００６０】
前記側面４ａを光軸方向と主走査方向とを含む面に平行に形成するには、例えば、封止ガラス４によりベース２とウインドフレーム６とを接合した後に、所定の治具で保持し、側面４ａを研磨する。なお、研磨後も封止ガラス４の側面４ａの方がベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａより突出しているので、ベース２の側面２ａ及びウインドフレーム６の側面６ａの形状は平面、凹面、凸面等の任意の形状とすることができる。また、封止ガラス４の側面４ａの板厚（光軸方向の長さ）は必要精度に応じて適宜厚く（長く）する。例えば、２〜３ｍｍとすることが望ましい。
【００６１】
なお、本発明は上記実施例に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。
【００６２】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明によれば、積層方向に平行であって、且つ主走査方向に平行な側面を把持平面とし、把持平面は積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に最も突出している面であるので、コスト的に有利なサーディップ型固体撮像素子を活用することができるとともに、画像読取装置の製造段階において、高精度な位置調整を可能にすることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 第１参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子の断面図である。
【図２】 画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態を示す図であり、（Ａ）は図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図、（Ｂ）はＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【図３】 画像読取装置の製造装置のチャックにより図１のサーディップ型固体撮像素子を把持している状態の変形例を示す図であり、図２（Ｂ）と同様にＺ軸方向からカバーガラス側を見た図である。
【図４】 第２参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図５】 第３参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図６】 第４参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図７】 第５参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図８】 本発明に係る実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図９】 第６参考実施形態のサーディップ型固体撮像素子を示し、図２（Ａ）と同様に図１のサーディップ型固体撮像素子と同様の方向から見た図である。
【図１０】 物体、結像レンズ及び固体撮像素子の光学的な位置関係を示す図である。
【図１１】 固体撮像素子と結像レンズとの６軸座標を示す図である。
【図１２】 従来の固体撮像素子の概略正面図である。
【図１３】 従来のサーディップ型固体撮像素子の基本構造を示す断面図である。
【図１４】 従来のサーディップ型固体撮像素子の側面を示す斜視図である。
【符号の説明】
１ サーディップ型固体撮像素子
２ ベース
２ａ ベースの側面
３ ＣＣＤチップ（固体撮像素子チップ）
４ 封止ガラス
４ａ 封止ガラスの側面
５ リードフレーム
６ ウインドフレーム
６ａ ウインドフレームの側面
７ カバーガラス
８ 光軸
１０ チャック
１０ａ チャックの接触面
３１ 画素ライン
３１ａ Ｒ画素ライン
３１ｂ Ｇ画素ライン
３１ｃ Ｂ画素ライン
５２ 結像レンズ
５３ 物体
６１ 固体撮像素子
６１ａ 側面
６２ ベース
６２ａ 側面
６３ ＣＣＤチップ（固体撮像素子チップ）
６４ 封止ガラス
６５ リードフレーム
６６ ウインドフレーム
６６ａ 側面
６７ カバーガラス
Claims (1)
- 光電変換素子が主走査方向に沿ってライン状に配列されているベース上に、リードフレームを固定するための封止ガラス、封止ガラス上のウインドフレーム及びウインドフレーム上の透明なカバーガラスが積層されているサーディップ型固体撮像素子において、前記積層方向に平行であって、且つ前記主走査方向に平行な側面を把持平面とし、前記封止ガラスの側面の形状は凹面であり、前記把持平面が前記ウインドフレームの側面から構成されており、該把持平面は前記積層方向及び主走査方向を含む面に直交する方向に、前記ベース及び前記封止ガラスよりも突出している面であることを特徴とするサーディップ型固体撮像素子。
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