JPWO2008132980A1 - 撮像装置の製造方法、撮像装置及び携帯端末 - Google Patents
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Abstract
本発明は、より低コストの撮像装置を製造できる製造方法、該製造方法による低コストの撮像装置及びそれを用いた携帯端末を提供する。シリコンウェハ11を撮像素子12毎に切断し、複数の撮像素子12を基板21上に載置することにより、良品の撮像素子12のみを後工程に投入することができ、切断前に撮像素子12の不良品を判別しておくことで、それに組み付ける撮像光学系ユニットOUを無駄にすることがなくなり、低コストで撮像装置を製造できる。
Description
本発明は、例えば携帯電話等に搭載するのに適した小型の撮像装置の製造方法、撮像装置及び携帯端末に関する。
従来より小型で薄型の撮像装置が、携帯電話機やPDA(Personal Digital Assistant)等の小型、薄型の電子機器である携帯端末に搭載されるようになり、これを用いることにより、遠隔地へ音声情報だけでなく画像情報も相互に伝送することが可能となっている。
このような小型の撮像装置の製造方法として、アレイ状に複数のイメージセンサを形成したシリコンウェハ上に、複数の光学レンズが形成されたレンズアレイを接着し、イメージセンサの配列に合わせて分割するものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2002−290842号公報
しかるに、上記特許文献1の製造方法では、シリコンウェハ上の複数のイメージセンサの個々に対応した複数のレンズアレイを接着した後、切断分離しているため、何らかの欠陥を有する不良品のイメージセンサにもレンズが配置されることを余儀なくされ、不良品のイメージセンサと共にレンズも廃棄せざるを得ず、結果的にコスト高を招いている。
本発明は、上記問題に鑑みてなされたものであり、より低コストの撮像装置を製造できる製造方法、該製造方法による低コストの撮像装置及びそれを用いた携帯端末を提供することを目的とするものである。
請求の範囲1に記載の撮像装置の製造方法は、被写体光を導く撮像光学系ユニットと、複数の受光画素部が形成され前記撮像光学系により導かれた被写体光を光電変換する撮像素子と、を有する撮像装置の製造方法において、
シリコンウェハの一方の面に複数の前記撮像素子を形成する工程と、
撮像光学系ユニットの少なくとも一部を、良品の前記撮像素子の前記受光画素部に対向してそれぞれ配置する工程と、
前記シリコンウェハを前記撮像素子毎に切断する工程と、
切断された複数の前記撮像素子を、前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部と共に基板上に載置する工程と、
前記基板と複数の前記撮像素子を電気的に接続する工程と、
前記基板と前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部とで封止された複数の前記撮像素子を樹脂により一体的にモールディングする工程と、
前記モールディングされた前記基板を前記撮像素子毎に切断分離する工程と、を有することを特徴とする。
シリコンウェハの一方の面に複数の前記撮像素子を形成する工程と、
撮像光学系ユニットの少なくとも一部を、良品の前記撮像素子の前記受光画素部に対向してそれぞれ配置する工程と、
前記シリコンウェハを前記撮像素子毎に切断する工程と、
切断された複数の前記撮像素子を、前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部と共に基板上に載置する工程と、
前記基板と複数の前記撮像素子を電気的に接続する工程と、
前記基板と前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部とで封止された複数の前記撮像素子を樹脂により一体的にモールディングする工程と、
前記モールディングされた前記基板を前記撮像素子毎に切断分離する工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、シリコンウェハを撮像素子毎に切断し、複数の撮像素子を基板上に載置することにより、良品の撮像素子のみを後工程に投入することができ、更に切断前に撮像素子の不良品を判別しておくことで、それに組み付ける撮像光学系ユニットを無駄にすることがなくなり、低コストで撮像装置を製造できる。
請求の範囲2に記載の撮像装置の製造方法は、請求の範囲1に記載の発明において、前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部は、レンズと、前記レンズを保持する鏡枠であることを特徴とする。例えば、ハンダリフロー槽を通過させるため、耐熱性に優れたガラスレンズなどを撮像光学系ユニット場合があるが、ガラスレンズはプラスチックレンズに比べて成形性が劣るため、フランジ部を光軸方向に突き出すことが難しい。そこで、ガラスレンズを鏡枠などに予め組み込んで撮像光学系ユニットを形成し、これを前記撮像素子の前記受光画素部に対向してそれぞれ配置することで、レンズと撮像素子との間隔を精度良く合わせ込むことができる。
請求の範囲3に記載の撮像装置の製造方法は、請求の範囲1に記載の発明において、前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部は、レンズを保持する前の鏡枠であることを特徴とする。鏡枠を前記撮像素子の前記受光画素部に対向してそれぞれ配置した後に、レンズを組み込めば、レンズと撮像素子との間隔を精度良く合わせ込むことができる。
請求の範囲4に記載の撮像装置の製造方法は、請求の範囲1〜3のいずれか1項に記載の発明において、前記撮像光学素子ユニットはガラス製のレンズを有することを特徴とする。
請求の範囲5に記載の撮像装置は、基板上に配置される撮像装置であって、画素が配列された受光面を備え、前記基板に取り付けられた撮像素子と、前記撮像素子の受光面に被写体像を結像させるレンズと、前記レンズを保持する鏡枠とを有し、前記撮像素子と前記鏡枠とは、樹脂により一体的にモールディングされていることを特徴とするので、低コストで撮像装置を製造できる。
請求の範囲6に記載の携帯端末は、請求の範囲5に記載の撮像装置を備えたことを特徴とする。
本発明によれば、より低コストの撮像装置を製造できる製造方法、該製造方法による低コストの撮像装置及びそれを用いた携帯端末を提供することができる。
11 シリコンウェハ
12 撮像素子
13 接着剤
14 鏡枠
15 間座
19 ダイシングブレード
21 基板
21b 外部電極
50 撮像装置
60 操作ボタン
71 上筐体
72 下筐体
73 ヒンジ
80 無線通信部
91 記憶部
100 携帯電話機
101 制御部
D1,D2 表示画面
F IRカットフィルタ
ID 端末
LB レンズ
MD 樹脂材料
OU 撮像光学系ユニット
YB ワイヤボンディング
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MD 樹脂材料
OU 撮像光学系ユニット
YB ワイヤボンディング
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて説明する。図1は、本実施の形態に係る撮像装置の製造方法の前期の工程段階を示す模式図である。同図の左列は全体の概略の状態を示し、右列はその内の1個の概略の状態を示す断面図である。
まず図1(a)に示すシリコンウェハ11の一方の面に、複数個の撮像素子12を形成する。より具体的には、周知の成膜工程、フォトリソグラフィ工程、エッチング工程、不純物添加工程等を繰り返し、転送電極、絶縁膜、配線等を多層構造で形成し、複数の撮像素子12をアレイ状に形成する。この撮像素子12は、例えばCCD(Charge Coupled Device)型イメージセンサやCMOS(Comp1ementary Metal−Oxide Semiconductor)型等のイメージセンサである。
これと並行して、撮像光学系ユニットOUを組み立てる。撮像光学系ユニットOUは、図1(c)の断面図に示すように、角筒状の鏡枠14と、鏡枠14の下方に配置されたIRカットフィルタFと、鏡枠14の上方に配置されたガラス製のレンズLBと、IRカットフィルタFとレンズLBとの間に配置された間座15とからなり、これらは互いに接着されている。
更に、シリコンウェハ11上の撮像素子12のチップを、検査により良品と不良品とを区別する(図1のNGが不良品)。次いで、図1(b)に示すように、良品と判断された全ての撮像素子12の近傍にのみ接着剤13を塗布する。この接着剤13は、撮像素子12の受光画素領域を避けた位置に塗布され、また、この接着剤の塗布量を調整することにより、撮像素子12の受光画素領域の上方に接着される撮像光学系ユニットOU(例えばレンズLB)との間隔が決められる。
なお、撮像素子12のチップの良否の区別は、例えば下記の項目の検査を市販の半導体検査装置を用いて行い、異常が確認されなければ良品と判断する。検査項目としては、配線パターンの欠けの有無の確認、ダイジング時のバリの有無の確認、配線パターンの線幅及びピッチの確認、疵、汚れ及びヒビの有無の確認、異物付着の確認等がある。
この後、図1(c)に示すように、塗布した接着剤の上に撮像光学系ユニットOUを載置して接着する。この撮像光学系ユニットOUの接着により、撮像素子12の受光画素領域は鏡枠14及びIRカットフィルタFにより封止される。
次いで、図1(d)に示すように、シリコンウェハ11をダイシングブレード19により、撮像素子毎に切断する。これにより、撮像光学系ユニットOUにより受光画素領域が封止された個々の撮像素子12のチップとなる。これにより、良品の撮像素子12のみ撮像光学系ユニットOUと組み合わされるので、撮像光学系ユニットOUの無駄がなく、歩留まりが向上する。
図2は、本実施の形態に係る撮像装置の製造方法の後期の工程段階を示す模式図である。撮像光学系ユニットOUが接着された個々の撮像素子12のチップは、図2(a)に示すように、基板21上に複数個並べて載置される。基板21は、複数の撮像素子12のチップが載置可能なように、個々の撮像素子12のチップに対する配線が複数形成されたものである。
次いで、図2(b)に示すように、撮像素子12のチップと基板21とをワイヤボンディングYBにより電気的に接続する。基板21の他方の面には、不図示の他の制御基板との接続に用いられる複数の外部電極21b(例えば、半田ボール)が形成されている。これにより、基板21に接続される不図示の他の制御基板と撮像素子12との間で信号の入出力が可能になっている。
この後、図2(c)に示すように、基板21の撮像素子12側の面に、樹脂材料MDが注入されて、図示の如く撮像光学系ユニットOUの外周を覆い、像面側のレンズLBのみが露呈するよう一体的にモールディングされる。
更に、図2(d)に示す破線部で、一体的にモールディングされた撮像光学系ユニットOU、撮像素子12及び基板21を切断分離することで、図2(e)に示すような単品の撮像装置50に分離され完成する。
以上説明したように本例においても、シリコンウェハを撮像素子のチップ毎に切断し、複数の撮像素子のチップを基板上に載置する工程とすることにより、良品のチップのみを以降の工程に投入することができ、低コストで撮像装置を製造できる製造方法を得ることができる。
図3は、上述の製造工程で製造された撮像装置を示す断面図である。図3に示すように、撮像装置50は撮像素子12を有する。図1において、撮像素子12には、その受光側の平面の中央部に、画素(光電変換素子)が2次元的に配置された受光画素部としての光電変換部(不図示)が形成されている。光電変換部は、レンズLBにより結像された被写体像を光電変換するものであり、その周囲には信号処理回路部(不図示)が形成されている。かかる信号処理回路部は、詳細は図示しないが、各画素を順次駆動し信号電荷を得る駆動回路部と、各信号電荷をデジタル信号に変換するA/D変換部と、このデジタル信号を用いて画像信号出力を形成する信号処理部等が配置されており、これらは表面の端子(センサパッド)からワイヤボンディングYBを介して基板21に接続され、外部と信号の授受を行えるようになっている。
撮像素子12は、光電変換部からの信号電荷を画像信号等に変換し、基板21上の所定の回路に出力する。なお、撮像素子はCMOS型のイメージセンサに限定されるものではなく、CCD等の他のものを使用しても良い。
図3において、撮像素子12の周囲には、黒色の樹脂材からなる筒状の鏡枠14の下端が、所定の厚さの接着剤13を介して突き当てられている。鏡枠14の上部内方に、ガラス製のレンズLBが形成されており、所定の厚さの間座15を介してIRカットフィルタFの上面に当接している。レンズLBは、鏡枠14の上部フランジ部14aの下面に当接している。ここで、上部フランジ部14aの下面から鏡枠14の下端までの長さ(鏡枠14の脚部の長さ)L1を調整しておけば、レンズLBと撮像素子12とを光軸方向に所定範囲で位置決めでき、ピント合わせなどの作業が簡素化される。尚、所定範囲とは、撮像素子12の受光面と、レンズ11による像点のズレが、空気換算長で±F×2P(F:レンズのFナンバー、P:撮像素子の画素ピッチ)程度に収まるような範囲をいう。
以上のようにして製造された撮像装置50を備えた携帯端末について説明する。図4は、撮像装置50を備えた携帯端末の一例である携帯電話機100の外観図である。
図4に示す携帯電話機100は、表示画面D1及びD2を備えたケースとしての上筐体71と、入力部である操作ボタン60を備えた下筐体72とがヒンジ73を介して連結されている。撮像装置50は、上筐体71内の表示画面D2の下方に内蔵されており、撮像装置50が上筐体71の外表面側から光を取り込めるよう配置されている。
なお、この撮像装置の位置は上筐体71内の表示画面D2の上方や側面に配置してもよい。また携帯電話機は折りたたみ式に限るものではないのは、勿論である。
図5は、携帯電話機100の制御ブロック図である。図5に示すように、撮像装置50の外部電極21bを介し、携帯電話機100の制御部101と接続され、輝度信号や色差信号等の画像信号を制御部101へ出力する。
一方、携帯電話機100は、各部を統括的に制御すると共に、各処理に応じたプログラムを実行する制御部(CPU)101と、番号等を指示入力するための入力部である操作ボタン60と、所定のデータ表示や撮像した画像を表示する表示画面D1、D2と、外部サーバとの間の各種情報通信を実現するための無線通信部80と、携帯電話機100のシステムプログラムや各種処理プログラム及び端末ID等の必要な諸データを記憶している記憶部(ROM)91と、制御部101により実行される各種処理プログラムやデータ、若しくは処理データ、撮像装置50による画像データ等を一時的に格納したり、作業領域として用いられる一時記憶部(RAM)92を備えている。
また、撮像装置50から入力された画像信号は、携帯電話機100の制御部101により、記憶部91に記憶されたり、或いは表示画面D1、D2に表示されたり、更には、無線通信部80を介し画像情報として外部へ送信されるようになっている。
図6は、本実施の形態の変形例にかかる図3と同様な断面図である。図6においては、撮像光学系ユニットOUの一部である鏡枠14の周囲が、樹脂材料MDによりモールディングされ、撮像素子12及び基板21Bと一体化されている。鏡枠14の内周には、雌ねじ14bが形成されている。一方、レンズLBを保持した円筒状のホルダ14’の外周には、雄ねじ14cが形成されている。雌ねじ14bに雄ねじ14cを螺合させることで、ホルダ14’を介してレンズLBは鏡枠14に取り付けられる。このとき、ホルダ14’のねじ込み量を調整することで、レンズLBと撮像素子12とを光軸方向に所定範囲で位置決めできる。
以上、本発明を実施の形態を参照して説明してきたが、本発明は上記実施の形態に限定して解釈されるべきではなく、適宜変更・改良が可能であることはもちろんである。例えば、鏡枠14のみをシリコンウェハ11に接着しておき、モールディング終了後に、IRカットフィルタFやレンズLBを、被写体側から鏡枠14に組み込むようにすることもできる。又、IRカットフィルタFを常に設ける必要はなく、例えばレンズLBの光学面にIRカット膜を形成することで省略することができる。
Claims (6)
- 被写体光を導く撮像光学系ユニットと、複数の受光画素部が形成され前記撮像光学系により導かれた被写体光を光電変換する撮像素子と、を有する撮像装置の製造方法において、
シリコンウェハの一方の面に複数の前記撮像素子を形成する工程と、
撮像光学系ユニットの少なくとも一部を、良品の前記撮像素子の前記受光画素部に対向してそれぞれ配置する工程と、
前記シリコンウェハを前記撮像素子毎に切断する工程と、
切断された複数の前記撮像素子を、前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部と共に基板上に載置する工程と、
前記基板と複数の前記撮像素子を電気的に接続する工程と、
前記基板と前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部とで封止された複数の前記撮像素子を樹脂により一体的にモールディングする工程と、
前記モールディングされた前記基板を前記撮像素子毎に切断分離する工程と、を有することを特徴とする撮像装置の製造方法。 - 前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部は、レンズと、前記レンズを保持する鏡枠であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の撮像装置の製造方法。
- 前記撮像光学系ユニットの少なくとも一部は、レンズを保持する前の鏡枠であることを特徴とする請求の範囲第1項に記載の撮像装置の製造方法。
- 前記撮像光学素子ユニットはガラス製のレンズを有することを特徴とする請求の範囲第1項乃至第3項のいずれか1項に記載の撮像装置の製造方法。
- 基板上に配置される撮像装置であって、
画素が配列された受光面を備え、前記基板に取り付けられた撮像素子と、
前記撮像素子の受光面に被写体像を結像させるレンズと、
前記レンズを保持する鏡枠とを有し、
前記撮像素子と前記鏡枠とは、樹脂により一体的にモールディングされていることを特徴とする撮像装置。 - 請求の範囲第5項に記載の撮像装置を備えたことを特徴とする携帯端末。
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