JP6210847B2 - 切削装置及び切削方法 - Google Patents
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Description
4 基台
4a 開口
6 筐体
6a 前面
6b 側面
8 切削ユニット(切削手段)
10 カセットエレベータ(カセット載置台)
12 カセット
14 移動テーブル
16 チャックテーブル
18 仮置き機構(仮置き部)
20,22 ガイドレール
24 第1レール
26 プッシュプルアーム(搬送手段)
28 第2レール
30 搬送アーム
32 洗浄機構(洗浄手段)
34 スピンナテーブル
34a 保持面
36 プラズマ発生機構(プラズマ照射手段)
38 モニタ
40 ブレード
42 スピンドル
44 クランプ
46 回転軸
48 回転機構
50 洗浄ノズル
52,56 支持アーム
54,58 駆動機構
11 ウェーハ(被加工物)
13 ダイシングテープ
15 フレーム
17 ストリート(分割予定ライン)
19 デバイス
P プラズマ
W 洗浄液
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、
該保持手段で保持された被加工物を切削する切削手段と、
該切削手段で切削された被加工物に洗浄液を供給して被加工物を洗浄する洗浄手段と、
被加工物が収容されたカセットが載置されるカセット載置台と、
該カセット載置台に載置された該カセットから搬出された被加工物を仮置きするとともに該洗浄手段で洗浄された被加工物を仮置きする仮置き部と、
該カセット載置台に載置された該カセットから該仮置き部へ、または該仮置き部から該カセットへと被加工物を搬送する搬送手段と、
該搬送手段によって搬送中の被加工物の表面にプラズマを照射するプラズマ照射手段と、を備える切削装置で被加工物を切削する切削方法であって、
該カセット載置台に載置された該カセットから該仮置き部へと被加工物を該搬送手段で搬出する搬出ステップと、
該搬出ステップの実施中に、搬出中の被加工物の表面に該プラズマ照射手段でプラズマを照射して被加工物の表面を親水化する切削前プラズマ照射ステップと、
該切削前プラズマ照射ステップを実施した後、該保持手段で被加工物を保持し、該保持手段で保持された被加工物を該切削手段で切削する切削ステップと、
該切削ステップを実施した後、該洗浄手段で被加工物に洗浄液を供給し被加工物を洗浄する洗浄ステップと、
該洗浄ステップを実施した後、該仮置き部に被加工物を仮置きする仮置きステップと、
該仮置きステップを実施した後、該仮置き部から該カセット載置台に載置された該カセットに被加工物を該搬送手段で搬入する搬入ステップと、
該搬入ステップの実施中に、搬入中の被加工物の表面に該プラズマ照射手段でプラズマを照射して被加工物の表面を洗浄する切削後プラズマ照射ステップと、を備えることを特徴とする切削方法。
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