CN111128826B - Lpcvd前道硅片运转装置 - Google Patents

Abstract

本发明公开了LPCVD前道硅片运转装置，涉及硅片搬运技术领域。空花篮通过花篮流转装置进入LPCVD前道硅片运转装置，然后硅片入花篮装置将散装的硅片依次送入空花篮中，实现硅片入花篮的动作，花篮入满硅片且下一个花篮没有到位的时候，硅片缓存装置就缓存硅片入花篮装置输送的硅片直至下个空花篮到位，同时实现将硅片入花篮位置的满载花篮搬运至卸片装置位置，卸片装置将花篮中的硅片卸除并移动给装片装置，装片装置将硅片装入硅片小舟，硅片小舟搬运夹爪搬运满载硅片的小舟，并将小舟由水平位置翻转成竖直位置，对接送料跑道将满载硅片的小舟输送至反应炉，上述操作实现了硅片的自动化运转，避免了人工搬运，节约了大量人力物力，大大提高了硅片转运效率。

Description

LPCVD前道硅片运转装置

技术领域

本发明涉及硅片搬运技术领域，尤其涉及一种LPCVD前道硅片运转装置。

背景技术

现市面上LPCVD前的硅片搬运和输送还是采用的原始的人工进行搬运和装卸片，反应炉内的气体液体都会带有一定的毒性，对人员的身体健康造成了极大的影响，同时人工操作效率低下。

发明内容

为了能够提高硅片转运的效率，本发明的技术方案提供了一种LPCVD前道硅片运转装置。技术方案如下：

本发明提供了一种LPCVD前道硅片运转装置，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，硅片入花篮装置与花篮流转装置对接，硅片缓存装置设置在硅片入花篮装置上，硅片缓存装置被配置为缓存硅片入花篮装置输送的硅片，硅片翻转入缓存机械手对接硅片入花篮装置和卸片装置，硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给卸片装置，卸片装置被配置为将硅片从花篮中卸除，卸片装置与装片装置对接，装片装置被配置为将硅片转存至硅片小舟中，小舟定位装置被配置为固定硅片小舟的位置，硅片小舟搬运夹爪与对接送料跑道对接，硅片小舟搬运夹爪被配置为将硅片小舟搬运并旋转放置在对接送料跑道上。

空花篮通过花篮流转装置进入LPCVD前道硅片运转装置，然后硅片入花篮装置将散装的硅片依次送入空花篮中，实现硅片入花篮的动作，花篮入满硅片且下一个花篮没有到位的时候，硅片缓存装置就缓存硅片入花篮装置输送的硅片直至下个空花篮到位，硅片翻转入缓存机械手将卸片装置来不及卸片的满载花篮搬运并放置到缓存位，同时实现将硅片入花篮位置的满载花篮搬运至卸片装置位置，卸片装置将花篮中的硅片卸除并移动给装片装置，装片装置将硅片装入硅片小舟，硅片小舟搬运夹爪搬运满载硅片的小舟，并将小舟由水平位置翻转成竖直位置，然后放置在对接送料跑道上，对接送料跑道将满载硅片的小舟输送至反应炉，上述操作实现了硅片的自动化运转，避免了人工搬运，节约了大量人力物力，大大提高了硅片转运效率。

特别地，还包括对接接料跑道，对接跑道对应硅片小舟搬运夹爪并与卸片装置对接。

通过对接接料跑道的设置，使得从反应炉出来的满载硅片的小舟可以通过对接接料跑道输送会硅片转运装置，共用入料时候的搬运，卸片，装片位置的机械装置，实现了反应过的硅片能够脱离小舟和花篮的操作，完整实现了反应炉之前的送料和卸料操作，大大提高了反应炉的进出料效率，实现了硅片转运的高度智能化集成。

具体的，硅片小舟搬运夹爪包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，旋转部包括旋转动力装置和安装板，旋转动力装置的动力端与安装板连接，夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块，夹紧块连接在夹紧动力传输部的一端，夹紧动力装置连接在夹紧动力传输部的一端，夹紧动力装置安装在安装板上，抵接部包括抵接板、抵接动力装置，抵接动力装置的固定端固定在安装板上，抵接动力装置的活动端与抵接板一端铰接，抵接板与安装板铰接，托举部包括托举板，托举板设置在夹紧块上。

通过夹紧动力装置将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块上，通过夹紧块夹紧硅片小舟，从而实现对硅片小舟的位置的固定，再次通过抵接板抵接硅片小舟的端耳，进一步固定小舟在夹爪中的位置，通过旋转动力装置带动安装板的旋转，从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作，通过托举板的设置，保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来，进而避免了产品的损坏，通过托举板的托举作用保证了产品的良品率。

具体的，夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板，载板与安装板固定连接，连接板通过滑轨滑块可活动的安装在载板上，夹紧动力装置的固定端固定在载板上，夹紧动力装置的活动端与三角板的第一个角点铰接，三角板的第二个角点与载板铰接，载板对应三角板的第三个角点开设有腰孔，三角板的第三个角点上设有滚轮，滚轮安装在腰孔内。

夹紧动力装置将动力直接传输达到三角板的第一角点上，通过腰孔的设置舍得三角板的第三个点能够在腰孔内上下运动，进而使得连接板可以相对于载板进行横移的动作，从而实现了夹爪的夹合动作。

特别地，托举板上对应硅片的位置设有齿条。

通过齿条的设置，使得硅片可以卡盛在齿条上的齿槽内，从而保证了硅片的位置不会发生相对错位，进而提高了硅片的稳定性。

具体的，托举部还设有伸缩动力装置，伸缩动力装置的固定端固定在安装板上，伸缩动力装置的活动端连接托举板。

通过伸缩动力装置的设置，使得托举板可以在未翻转的时候就可以贴近小舟里面的硅片从而避免硅片在翻转的时候需要产生较大的位移，从而避免了硅片的损坏，进而提高了产品的良品率。

具体的，旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆，旋转气缸的固定端固定在安装板上，旋转气缸的活动端与第一连杆的一端铰接，第一连杆的另一端与第二连杆的一端铰接，第二连杆的另一端与安装板铰接。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成说明书的一部分，示出了符合本发明的实施例，并与说明书一起用于解释本发明的原理，其中：

图1为本发明一种实施方式所示的LPCVD前道硅片运转装置的俯视图；

图2为本发明一种实施方式所示的硅片小舟搬运夹爪的立体结构示意图；

图3为图1中去除翻转装置的硅片小舟搬运夹爪的另一视角的立体结构示意图；

图4为抵接部的立体结构示意图；

图5为夹紧部的立体结构示意图；

图6为硅片小舟的立体结构示意图。

附图说明：1硅片小舟、2小舟端耳、3安装板、4旋转动力装置、5夹紧动力装置、6夹紧块、7抵接板、8抵接动力装置、9托举板、10载板、11连接板、12三角板、13齿条、14伸缩动力装置、15第一连杆、16第二连杆17花篮流转装置、18硅片入花篮装置、19硅片翻转入缓存机械手、20卸片装置、21装片装置、22小舟定位装置、23硅片小舟搬运夹爪、24对接送料跑道、25对接接料跑道、26硅片缓存装置

具体实施方式

下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本发明的不同结构。为了简化本发明的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本发明。此外，本发明可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简化和清楚的目的，其本身不指示所讨论各种实施方式和/或设置之间的关系。此外，本发明提供了的各种特定的工艺和材料的例子，但是本领域普通技术人员可以意识到其他工艺的应用和/或其他材料的使用。

现市面上LPCVD前的硅片搬运和输送还是采用的原始的人工进行搬运和装卸片，反应炉内的气体液体都会带有一定的毒性，对人员的身体健康造成了极大的影响，同时人工操作效率低下。

为了能够提高硅片转运的效率，本发明提供了一种LPCVD前道硅片运转装置，技术方案如下：

下面根据附图1至图6对本发明做进一步详细说明。

如图6所示，硅片小舟1两侧面伸出两片连接片，此连接片称为小舟端耳2。

如图1至图5所示，一种LPCVD前道硅片运转装置，包括花篮流转装置17、硅片入花篮装置18、硅片缓存装置26、硅片翻转入缓存机械手19、卸片装置20、装片装置21、小舟定位装置22、硅片小舟搬运夹爪23和对接送料跑道24，花篮流转装置17被配置为接收和输出空花篮，硅片入花篮装置18被配置为将硅片送入花篮中，硅片入花篮装置18与花篮流转装置17对接，硅片缓存装置26设置在硅片入花篮装置18上，硅片缓存装置26被配置为缓存硅片入花篮装置18输送的硅片，硅片翻转入缓存机械手19对接硅片入花篮装置18和卸片装置20，硅片翻转入缓存机械手19被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给卸片装置20，卸片装置20被配置为将硅片从花篮中卸除，卸片装置20与装片装置21对接，装片装置21被配置为将硅片转存至硅片小舟中，小舟定位装置22被配置为固定硅片小舟的位置，硅片小舟搬运夹爪23与对接送料跑道24对接，硅片小舟搬运夹爪23被配置为将硅片小舟搬运并旋转放置在对接送料跑道24上。

空花篮通过花篮流转装置17进入LPCVD前道硅片运转装置，然后硅片入花篮装置18将散装的硅片依次送入空花篮中，实现硅片入花篮的动作，花篮入满硅片且下一个花篮没有到位的时候，硅片缓存装置26就缓存硅片入花篮装置18输送的硅片直至下个空花篮到位，硅片翻转入缓存机械手19将卸片装置20来不及卸片的满载花篮搬运并放置到缓存位，同时实现将硅片入花篮位置的满载花篮搬运至卸片装置20位置，卸片装置20将花篮中的硅片卸除并移动给装片装置21，装片装置21将硅片装入硅片小舟，硅片小舟搬运夹爪23搬运满载硅片的小舟，并将小舟由水平位置翻转成竖直位置，然后放置在对接送料跑道24上，对接送料跑道24将满载硅片的小舟输送至反应炉，上述操作实现了硅片的自动化运转，避免了人工搬运，节约了大量人力物力，大大提高了硅片转运效率。

特别地，还包括对接接料跑道25，对接跑道对应硅片小舟搬运夹爪23并与卸片装置20对接。

通过对接接料跑道25的设置，使得从反应炉出来的满载硅片的小舟可以通过对接接料跑道25输送会硅片转运装置，共用入料时候的搬运，卸片，装片位置的机械装置，实现了反应过的硅片能够脱离小舟和花篮的操作，完整实现了反应炉之前的送料和卸料操作，大大提高了反应炉的进出料效率，实现了硅片转运的高度智能化集成。

具体的，硅片小舟搬运夹爪23包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，旋转部包括旋转动力装置4和安装板3，旋转动力装置4的动力端与安装板3连接，夹紧部包括夹紧动力装置5、夹紧动力传输部和夹紧块6，夹紧块6连接在夹紧动力传输部的一端，夹紧动力装置5连接在夹紧动力传输部的一端，夹紧动力装置5安装在安装板3上，抵接部包括抵接板7、抵接动力装置8，抵接动力装置8的固定端固定在安装板3上，抵接动力装置8的活动端与抵接板7一端铰接，抵接板7与安装板3铰接，托举部包括托举板9，托举板9设置在夹紧块6上。

通过夹紧动力装置5将夹紧动力通过夹紧动力传输部传输带夹紧块6上，通过夹紧块6夹紧硅片小舟，从而实现对硅片小舟的位置的固定，再次通过抵接板7抵接硅片小舟的端耳，进一步固定小舟在夹爪中的位置，通过旋转动力装置4带动安装板3的旋转，从而使得夹爪实现翻转的动作进而带动硅片小舟实现翻转操作，通过托举板9的设置，保证了小舟翻转以后小舟内部的硅片不会洒落出来，进而避免了产品的损坏，通过托举板9的托举作用保证了产品的良品率。

具体的，夹紧动力传输部包括载板10、连接板11、三角板12，载板10与安装板3固定连接，连接板11通过滑轨滑块可活动的安装在载板10上，夹紧动力装置5的固定端固定在载板10上，夹紧动力装置5的活动端与三角板12的第一个角点铰接，三角板12的第二个角点与载板10铰接，载板10对应三角板12的第三个角点开设有腰孔，三角板12的第三个角点上设有滚轮，滚轮安装在腰孔内。

夹紧动力装置5将动力直接传输达到三角板12的第一角点上，通过腰孔的设置舍得三角板12的第三个点能够在腰孔内上下运动，进而使得连接板11可以相对于载板10进行横移的动作，从而实现了夹爪的夹合动作。

特别地，托举板9上对应硅片的位置设有齿条13。

通过齿条13的设置，使得硅片可以卡盛在齿条13上的齿槽内，从而保证了硅片的位置不会发生相对错位，进而提高了硅片的稳定性。

具体的，托举部还设有伸缩动力装置14，伸缩动力装置14的固定端固定在安装板3上，伸缩动力装置14的活动端连接托举板9。

通过伸缩动力装置14的设置，使得托举板9可以在未翻转的时候就可以贴近小舟里面的硅片从而避免硅片在翻转的时候需要产生较大的位移，从而避免了硅片的损坏，进而提高了产品的良品率。

具体的，旋转动力装置4包括旋转气缸、第一连杆15和第二连杆16，旋转气缸的固定端固定在安装板3上，旋转气缸的活动端与第一连杆15的一端铰接，第一连杆15的另一端与第二连杆16的一端铰接，第二连杆16的另一端与安装板3铰接。

基于申请号为CN201721142156提供的硅片花篮导片装置，实现了硅片从花篮中导出和导入的动作，基于申请号为CN 201721142190的硅片分片吸盘组件，实现片硅片的获取和放置。

除非另作定义，此处使用的技术术语或者科学术语应当为本发明所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本发明专利申请说明书以及权利要求书中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语不代表任何顺序，数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“一端”、“另一端”仅表示相对的位置关系，当被描述的对象的绝对位置关系改变后，则该想对应的位置关系也相应的改变。另外文中所讲的“至少一个”包括一个、两个或两个以上。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里发明的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本发明的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (4)

1.LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，包括花篮流转装置、硅片入花篮装置、硅片缓存装置、硅片翻转入缓存机械手、卸片装置、装片装置、小舟定位装置、硅片小舟搬运夹爪和对接送料跑道，所述花篮流转装置被配置为接收和输出空花篮，所述硅片入花篮装置被配置为将硅片送入花篮中，所述硅片入花篮装置与所述花篮流转装置对接，所述硅片缓存装置设置在所述硅片入花篮装置上，所述硅片缓存装置被配置为缓存所述硅片入花篮装置输送的硅片，所述硅片翻转入缓存机械手对接所述硅片入花篮装置和所述卸片装置，所述硅片翻转入缓存机械手被配置为搬运和翻转带有硅片的花篮并搬运给所述卸片装置，所述卸片装置被配置为将硅片从花篮中卸除，所述卸片装置与所述装片装置对接，所述装片装置被配置为将硅片转存至硅片小舟中，所述小舟定位装置被配置为固定所述硅片小舟的位置，所述硅片小舟搬运夹爪与所述对接送料跑道对接，所述硅片小舟搬运夹爪被配置为将所述硅片小舟搬运并旋转放置在所述对接送料跑道上；

所述硅片小舟搬运夹爪，包括旋转部、夹紧部、抵接部和托举部，所述旋转部包括旋转动力装置和安装板，所述旋转动力装置的动力端与所述安装板连接，所述夹紧部包括夹紧动力装置、夹紧动力传输部和夹紧块，所述夹紧块连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置连接在所述夹紧动力传输部的一端，所述夹紧动力装置安装在所述安装板上，所述抵接部包括抵接板、抵接动力装置，所述抵接动力装置的固定端固定在所述安装板上，所述抵接动力装置的活动端与所述抵接板一端铰接，所述抵接板与所述安装板铰接，所述托举部包括托举板，所述托举板设置在所述夹紧块上；

所述夹紧动力传输部包括载板、连接板、三角板，所述载板与所述安装板固定连接，所述连接板通过滑轨滑块可活动的安装在所述载板上，所述夹紧动力装置的固定端固定在所述载板上，所述夹紧动力装置的活动端与所述三角板的第一个角点铰接，所述三角板的第二个角点与所述载板铰接，所述载板对应所述三角板的第三个角点开设有腰孔，所述三角板的第三个角点上设有滚轮，所述滚轮安装在所述腰孔内；

所述旋转动力装置包括旋转气缸、第一连杆和第二连杆，所述旋转气缸的固定端固定在所述安装板上，所述旋转气缸的活动端与所述第一连杆的一端铰接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端铰接，所述第二连杆的另一端与所述安装板铰接。

2.根据权利要求1所述的LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，还包括对接接料跑道，所述对接接料跑道对应所述硅片小舟搬运夹爪并与所述卸片装置对接。

3.根据权利要求1所述的LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，所述托举板上对应硅片的位置设有齿条。

4.根据权利要求1所述的LPCVD前道硅片运转装置，其特征在于，所述托举部还设有伸缩动力装置，所述伸缩动力装置的固定端固定在所述安装板上，所述伸缩动力装置的活动端连接所述托举板。