JP2016198874A - チャックテーブルの洗浄方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】吸引源(52)と流体供給源(56)とに選択的に接続可能な保持面(48a)を有し、保持面で被加工物(11)を吸引保持するチャックテーブル(14)と、チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段(18)と、チャックテーブルを切削送り方向に移動させるチャックテーブル移動手段と、チャックテーブルの移動経路を跨いで配置され保持面に向かって流体(B)を噴射するノズル(44)と、を備える切削装置(2)のチャックテーブルを洗浄する際に用いられるチャックテーブルの洗浄方法であって、保持面を流体供給源に接続して保持面から流体(A)を噴出させると共にノズルから流体を噴射させた状態で、ノズルの下を通過するようにチャックテーブルを移動させ、保持面上の異物を除去する。
【選択図】図3
Description
13 ダイシングテープ
15 フレーム
17 チップ
19 異物
A,B 流体
2 切削装置
4 基台
4a,4b 開口
6 カセットエレベーター
8 カセット
10 X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14 チャックテーブル
16 クランプ
18 切削ユニット(切削手段)
20 支持構造
22 切削ユニット移動機構
24 Y軸ガイドレール
26 Y軸移動プレート
28 Y軸ボールネジ
30 Z軸ガイドレール
32 Z軸移動プレート
34 Z軸ボールネジ
36 Z軸パルスモータ
38 切削ブレード
40 カメラ
42 洗浄ユニット
44 ノズル
46 枠体
46a 凹部
46b 流路
48 保持板
48a 保持面
50 バルブ
52 吸引源
54 バルブ
56 流体供給源
58 搬送ユニット
60 保持ハンド
62 吸着具
Claims (1)
- 吸引源と流体供給源とに選択的に接続可能な保持面を有し、該保持面で被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削手段と、該チャックテーブルを切削送り方向に移動させるチャックテーブル移動手段と、該チャックテーブルの移動経路を跨いで配置され該保持面に向かって流体を噴射するノズルと、を備える切削装置の該チャックテーブルを洗浄する際に用いられるチャックテーブルの洗浄方法であって、
該保持面を該流体供給源に接続して該保持面から流体を噴出させると共に該ノズルから流体を噴射させた状態で、該ノズルの下を通過するように該チャックテーブルを移動させ、該保持面上の異物を除去することを特徴とするチャックテーブルの洗浄方法。
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