JP7364338B2

JP7364338B2 - 保持面洗浄装置

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Publication number: JP7364338B2
Application number: JP2019008430A
Authority: JP
Inventors: 俊洙禹; 孝雅鈴木
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-01-22
Filing date: 2019-01-22
Publication date: 2023-10-18
Anticipated expiration: 2039-01-22
Also published as: JP2020116665A

Description

本発明は、チャックテーブルの保持面を洗浄する保持面洗浄装置に関する。

研削砥石で被加工物を研削し薄化する研削装置は、チャックテーブルのポーラス部材等からなる保持面で被加工物を吸引保持している。研削加工で排出される研削屑は、保持面中において特に被加工物の外周縁を吸引保持している部分によって吸引され、保持面の該部分に付着してしまう。そして、研削加工後、被加工物を保持面から離間させると、保持面の該部分には研削屑が付着したままになる場合がある。

そのため、特許文献１等に開示されている研削装置は、洗浄砥石を保持面に接触させ保持面に付着している研削屑を削り落とす保持面洗浄装置を備えている。

特開２０１７－１４０６６３号公報

しかし、付着している研削屑を削ることで発生する細かな研削屑が保持面に再付着してしまうと言う問題がある。また、洗浄砥石が削り落とす保持面に付着している研削屑は、保持面からわずかに飛び出ている（例えば、ポーラス部材の隙間に刺さっている）ことがあり、その飛び出た研削屑と細かくなって再付着した研削屑とによって次に保持面が吸引保持した被加工物を均一な厚みに研削することができなくなるという問題もある。さらに、洗浄砥石を用いた洗浄では、保持面に付着した研削屑を保持面ごと削り落としていたため、削り残しがあった。そして、削り残しが無いように洗浄砥石による洗浄時間を長くすると、保持面の平坦度（研削砥石の研削面に対する保持面の平行度）を低下させ、そのために研削砥石でチャックテーブルの保持面に保持した被加工物を研削した場合に被加工物が均一な厚みにならないという問題があった。

よって、被加工物を保持するチャックテーブルの保持面を洗浄する保持面洗浄装置においては、保持面に研削屑を残すことや研削屑を再付着させることがないようにするとともに、保持面の平坦度を低下させないようにするという課題がある。

上記課題を解決するための本発明は、被加工物を保持するチャックテーブルのポーラス部材からなる吸着部の露出面である保持面を洗浄する保持面洗浄装置であって、該保持面に接触させる、該保持面の半径より長い直線状の刃先を有するナイフと、該保持面に該刃先を向けて該ナイフを把持する把持部と、該刃先を該保持面に接触、又は該保持面から離間させるため該把持部を移動させる移動手段と、該移動手段を昇降させる昇降手段と、を備え、該刃先が移動方向に向かって先行するよう傾けられた該ナイフを該昇降手段により下降させ、該保持面の半径全域に該刃先を接触させ、該保持面の中心を軸に該保持面と該ナイフとを相対的に回転させ、該保持面に付着する付着物を該刃先で切り取り除去する保持面洗浄装置である。

本発明に係る保持面洗浄装置は、前記保持面に対して水とエアとの混合液を噴射する２流体ノズルと、該ナイフと、該把持部と、該移動手段と、該２流体ノズルとを収容し該保持面に対面する下面が開口したボックスと、を備え、該昇降手段により該ボックスを下降させて該保持面に接近させ、該移動手段により該開口から下方に該刃先を突出させ、該保持面と該ナイフとを相対的に該保持面に平行な方向に移動させ、該刃先で該保持面に付着する付着物を切り取り除去し、該２流体ノズルから噴射した２流体で付着物を該保持面上から流されて除去すると好ましい。
該把持部と該移動手段との間に配置され、該間を広げる方向の付勢力を有する弾性部材を備え、該移動手段によって該把持部を下降させた際に、該弾性部材によって該保持面の高さの変化に応じて該把持部を上下動自在として該刃先を該保持面に接触させることが好ましい。
該移動手段は、該保持面に対して平行な方向を軸とし該把持部を上下反転させる回動部およびエアシリンダー機構であることが好ましい。

チャックテーブルの保持面を洗浄する本発明に係る保持面洗浄装置は、保持面に接触させる直線状の刃先を有するナイフと、保持面に刃先を向けてナイフを把持する把持部と、刃先を保持面に接触、又は保持面から離間させる移動手段と、を備えていることで、保持面に刃先を接触させ刃先が移動方向に向かって先行するようナイフを傾けて保持面とナイフとを相対的に移動させ、保持面に付着する付着物を刃先で切り取り除去することが可能となる。そのため、被加工物を保持する保持面に研削屑等の付着物を残すことや研削屑を再付着させることがないようにすることが可能となり、また、保持面を洗浄砥石で削ることがないため保持面の平坦度を低下させることがなくなる。よって、洗浄後の保持面で被加工物を吸引保持して研削を行うことで、被加工物を均一な厚みに研削することが可能となる。

また、本発明に係る保持面洗浄装置は、チャックテーブルの保持面に対して水とエアとの混合液を噴射する２流体洗浄ユニットを備え、２流体洗浄ユニットは、水とエアとの混合液を保持面に噴射する２流体ノズルと、２流体ノズルを収容し保持面に対面する下面が開口したボックスと、ボックスを保持面に対して垂直方向に昇降させる昇降手段と、を備え、ボックス内に移動手段を配設し、刃先をボックスの開口から突出可能又は刃先をボックス内に収納可能とし、開口から突出させた刃先で保持面に付着する付着物を切り取り除去することで、２流体による洗浄により被加工物を保持する保持面に研削屑等の付着物を残すことや研削屑を再付着させることがよりないようにすることが可能となり、ボックスにより付着物を洗浄した２流体が広範囲に飛び散ることもなく、且つ、保持面を洗浄砥石で削ることがないため保持面の平坦度を低下させることがなくなる。よって、洗浄後の保持面で被加工物を吸引保持して研削を行うことで、被加工物をより均一な厚みに研削することが可能となる。

保持面洗浄装置を備える研削装置の一例を示す斜視図である。保持面洗浄装置の一例を示す断面図である。把持部を回動させる移動手段を備える保持面洗浄装置を示す断面図である。

図１に示す研削装置１は、チャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗを研削手段７によって研削する装置であり、本発明に係る保持面洗浄装置８を備えている。研削装置１のベース１０上の前方（－Ｙ方向側）は、チャックテーブル３０に対して被加工物Ｗの着脱が行われる領域であり、ベース１０上の後方（＋Ｙ方向側）は、研削手段７によってチャックテーブル３０上に保持された被加工物Ｗの研削が行われる領域である。

被加工物Ｗは、例えば、シリコン母材等からなる円形の半導体ウェーハであり、図１においては下方を向いている被加工物Ｗの表面Ｗａは、複数のデバイスが形成されており、図示しない保護テープが貼着されて保護されている。被加工物Ｗの裏面Ｗｂは、研削加工が施される被加工面となる。なお、被加工物Ｗはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、矩形のパッケージ基板等であってもよい。

被加工物Ｗを保持するチャックテーブル３０は、例えば、その外形が円形状であり、ポーラス部材等からなり被加工物Ｗを吸着する吸着部３００と、吸着部３００を支持する枠体３０１とを備える。吸着部３００は図示しない吸引源に連通し、吸着部３００の露出面である保持面３００ａ上で被加工物Ｗを吸引保持する。なお、保持面３００ａは平坦面であってもよいし、チャックテーブル３０の回転中心を頂点とする極めてなだらかな円錐面となっていてもよい。

チャックテーブル３０は、カバー３９によって囲繞されていると共に、その下方に配設されたモータ等からなる回転手段３３（図２参照）によりＺ軸方向の軸心周りに回転可能である。また、チャックテーブル３０は、図１に示すカバー３９及びカバー３９に連結された蛇腹カバー３９ａの下方に配設された図示しない移動手段によってＹ軸方向に往復移動可能となっている。

チャックテーブル３０の移動経路両脇には、図示しないウォーターケースの開口が位置している。ウォーターケースは、被加工物Ｗが研削されることで排出される研削屑を含みチャックテーブル３０から流下する加工廃液等を受け止めて、図示しない廃液処理機構へと送る。

研削領域には、コラム１１が立設されており、コラム１１の前面には研削手段７をチャックテーブル３０に対して離間又は接近するＺ軸方向（鉛直方向）に研削送りする研削送り手段５が配設されている。研削送り手段５は、鉛直方向の軸心を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０と平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０の上端に連結しボールネジ５０を回動させるモータ５２と、内部のナットがボールネジ５０に螺合し側部がガイドレール５１に摺接する昇降板５３とを備えており、モータ５２がボールネジ５０を回動させると、これに伴い昇降板５３がガイドレール５１にガイドされてＺ軸方向に往復移動し、昇降板５３に固定された研削手段７がＺ軸方向に研削送りされる。

チャックテーブル３０に保持された被加工物Ｗを研削する研削手段７は、軸方向がＺ軸方向であるスピンドル７０と、スピンドル７０を回転可能に支持するハウジング７１と、スピンドル７０を回転駆動するモータ７２と、スピンドル７０の下端に接続された円環状のマウント７３と、マウント７３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール７４と、ハウジング７１を支持し研削送り手段５の昇降板５３にその側面が固定されたホルダ７５とを備える。

研削ホイール７４は、ホイール基台７４１と、ホイール基台７４１の底面に環状に配置された略直方体形状の複数の研削砥石７４０とを備える。研削砥石７４０は、適宜のバインダー（接着剤）でダイヤモンド砥粒等が固着されて成形されており、主にその下面が研削面となる。

スピンドル７０の内部には、研削水供給源に連通し研削水の通り道となる図示しない流路が、スピンドル７０の軸方向（Ｚ軸方向）に貫通して設けられており、該流路は、さらにマウント７３を通り、ホイール基台７４１の底面において研削砥石７４０に向かって研削水を噴出できるように開口している。

チャックテーブル３０の移動経路上方には、本発明に係る保持面洗浄装置８が配設されている。図２に示す保持面洗浄装置８は、チャックテーブル３０の保持面３００ａに接触させる直線状の刃先８００を有するナイフ８０と、保持面３００ａに刃先８００を向けてナイフ８０を把持する把持部８１と、刃先８００を保持面３００ａに接触、又は保持面３００ａから離間させる移動手段８２と、を備えている。
また、本実施形態における保持面洗浄装置８は、上記構成要素に加えて、チャックテーブル３０の保持面３００ａに対して水とエアとの混合液を噴射する２流体洗浄ユニット８５を備えている。なお、保持面洗浄装置８は、２流体洗浄ユニット８５を備えなくてもよい。

２流体洗浄ユニット８５は、水とエアとの混合液をチャックテーブル３０の保持面３００ａに噴射する２流体ノズル８５０と、２流体ノズル８５０を収容し保持面３００ａに対面する下面が開口したボックス８５１と、ボックス８５１を保持面３００ａに対して垂直方向に昇降させる昇降手段８５２と、を備えている。

２流体ノズル８５０は、ポンプ等からなり洗浄水として例えば純水を供給する水供給源８６、及びコンプレッサー等からなり圧縮エアを供給するエア供給源８７に連通しており、チャックテーブル３０に向く噴射口８５０ａをその下端に有している。水供給源８６から供給された洗浄水とエア供給源８７から供給されたエアとは、２流体ノズル８５０内で混合されて、噴射口８５０ａから下方に噴射される。

ボックス８５１は、例えば、略直方体状の外形を備えており、その下面側に開口８５１ａを備えている。ボックス８５１の内部には、２流体ノズル８５０、ナイフ８０、把持部８１、及び移動手段８２が収容されている。ボックス８５１は、チャックテーブル３０の保持面３００ａの洗浄時において、保持面３００ａに噴射された２流体が広範囲に飛び散らないようにするためのものである。例えば、ボックス８５１の開口８５１ａには、洗浄に使用した２流体を吸引する図示しない吸引源に連通するダクトホースが連通していてもよい。

チャックテーブル３０の保持面３００ａに接触させる直線状の刃先８００を有するナイフ８０は、例えば、ＳＵＳ等の合金で構成されており、チャックテーブル３０の半径よりも僅かに長い程度の長さを備えており、図１、２に示す例においてはチャックテーブル３０の移動方向であるＹ軸方向と水平面において直交するＸ軸方向に延在している。なお、ナイフ８０の材質、長さ等は上記例に限定されるものではない。また、ナイフ８０の厚みは、保持面３００ａにナイフ８０が押し付けられた際に、ナイフ８０が撓むことができる程度の薄い厚みであってもよい。
ナイフ８０の直線状の刃先８００は、例えば断面Ｖ字状の鋭角に形成されている。

チャックテーブル３０の保持面３００ａに刃先８００を向けてナイフ８０を把持する把持部８１は、例えば、ナイフ８０の延在方向（図１、２に示す例においてはＸ軸方向）と同方向に延在する略直方体状の支持部材８１０を備えており、該支持部材８１０の例えば下面には、ナイフ８０を傾けて挿嵌することができる挿嵌孔８１０ａが形成されている。また、支持部材８１０の側面には、ボルト挿通穴８１０ｂが挿嵌孔８１０ａに上側斜め方向から交差するように形成されており、挿嵌孔８１０ａにナイフ８０を挿嵌した状態で固定ボルト８１０ｃをボルト挿通穴８１０ｂに螺合させていくことで、固定ボルト８１０ｃの先端でナイフ８０を刃先８００を保持面３００ａに対して鉛直方向から斜めに所定の角度傾けた状態で固定することができる。

支持部材８１０の上面には、例えば弾性部材８１３が複数（又は、１つ）配設されており、該弾性部材８１３の上端側には、移動手段８２を把持部８１に連結するための平板状の連結部材８１４が取り付けられている。弾性部材８１３は、ナイフ８０の刃先８００が保持面３００ａに接触した際の衝撃を吸収すると共に、保持面３００ａを洗浄中のナイフ８０が所定の押圧力で押し付けられつつ保持面３００ａの高さの変化に応じて自由にＺ軸方向に動くことができるようにしている。
弾性部材８１３は、例えば、自然長より収縮することで戻ろうとするコイルバネであるが、コイルバネに限定されるものではなくゴム柱等であってもよい。例えば、ナイフ８０が保持面３００ａに押されていない状態において弾性部材８１３の長さは自然長になっている。

移動手段８２は、例えば、エアシリンダー、電動シリンダー、又はボールネジ機構等であり、ナイフ８０の刃先８００を所定の高さ位置に位置付けることができる。
ボックス８５１を保持面３００ａに対して垂直方向に昇降させる昇降手段８５２は、例えば、エアシリンダー、電動シリンダー、又はボールネジ機構等である。

保持面洗浄装置８において、例えば、連結部材８１４には図３に示す移動手段８８が接続されていてもよい。なお、図３においては、２流体洗浄ユニット８５を省略して示している。
ナイフ８０の刃先８００を保持面３００ａに接触、又は保持面３００ａから離間させる移動手段８８は、例えば、把持部８１を上下反転させる回動部８８０と、回動部８８０に接続されたエアシリンダー機構８８１とを備えている。

回動部８８０は、例えば、軸方向が支持部材８１０の延在方向（Ｘ軸方向）と同一であるスピンドルと、スピンドルの一端に連結されたモータ等とから構成されており、把持部８１を上下反転させて、ナイフ８０の刃先８００を保持面３００ａに接触させる、又はナイフ８０の刃先８００を保持面３００ａから離間させることができる。

エアシリンダー機構８８１は、例えば、回動部８８０に機械的に接続され回動部８８０をＺ軸方向に上下動させることでナイフ８０の刃先８００の高さ位置を調整できるエアシリンダー８８１ａと、エアシリンダー８８１ａにエアを供給する図示しないエア源と、該エア源からエアシリンダー８８１ａに供給されるエアの圧力調整を行うことでエアシリンダー８８１ａによるナイフ８０のチャックテーブル３０の保持面３００ａに対する押し付け力を一定に調整可能なレギュレータ８８１ｂと、レギュレータ８８１ｂに接続されたエアオペレーションバルブ８８１ｃと、図示しないスピコン等とから構成されている。

以下に上記図２に示す保持面洗浄装置８によりチャックテーブル３０の保持面３００ａを洗浄する場合の、保持面洗浄装置８の動作について図１、２を用いて説明する。
まず、図１に示す被加工物Ｗを保持していないチャックテーブル３０が、保持面洗浄装置８の下までＹ軸方向へ移動する。そして、図２に示すように保持面洗浄装置８のナイフ８０の刃先８００の下方にチャックテーブル３０の保持面３００ａが位置付けられる。該位置付けは、例えば、チャックテーブル３０の保持面３００ａの中心がナイフ８０の刃先８００上に位置し、かつ、ナイフ８０の刃先８００が保持面３００ａのみならず枠体３０１の上端面にも僅か掛かるようにすると好ましい。即ち、ナイフ８０の刃先８００がチャックテーブル３０の半径上に沿うように位置付けがされると好ましい。
また、例えば、ナイフ８０をその延在方向であるＸ軸方向に移動させるＸ軸方向移動手段８８４を保持面洗浄装置８は備えていても良い。例えばエアシリンダーで構成される該Ｘ軸方向移動手段８８４でナイフ８０をＸ軸方向に往復移動させながら保持面３００ａを洗浄すると、刃先８００が確実に保持面３００ａの中心を通ることが可能になる。なお、保持面３００ａの外周部分に研削屑が付着するため、刃先８００が保持面３００ａの中心を通らなくてもよい。また、図２においては、Ｘ軸方向移動手段８８４は、移動手段８２に接続されているが、接続位置はこれに限定されるものではない。Ｘ軸方向移動手段８８４は、図３に示すように保持面洗浄装置８が移動手段８８を備える場合においても、上記と同様の理由から備えていてもよく、図３においては回動部８８０に接続されているが、接続位置はこれに限定されるものでもない。

本実施形態における保持面洗浄装置８は、２流体洗浄ユニット８５を備えているため、図２に示す昇降手段８５２によりボックス８５１が－Ｚ方向へと下降し、ボックス８５１の下面と保持面３００ａとの間に２流体を逃すための所定の隙間が形成される高さ位置にボックス８５１が位置付けられる。
この状態で、水供給源８６から洗浄水が２流体ノズル８５０に供給され、かつ、エア供給源８７から高圧エアが２流体ノズル８５０に供給され、２流体ノズル８５０の噴射口８５０ａから２流体が保持面３００ａに向かって噴射される。また、チャックテーブル３０がＺ軸方向の軸心周りに回転するのに伴って、２流体によって保持面３００ａ全面が洗浄され、保持面３００ａに付着している細かい研削屑等の付着物が洗い落とされる。
付着物を洗い落とした２流体は、ボックス８５１と保持面３００ａとの隙間から、図示しないウォーターケースに流れていく。

２流体による保持面３００ａの洗浄が行われた後、又は洗浄が行われているのと並行して、ボックス８５１内に収容された移動手段８２により連結部材８１４が－Ｚ方向へと降下して、ボックス８５１の開口８５１ａからナイフ８０の刃先８００が突出すると共に、ナイフ８０の刃先８００が保持面３００ａに接触する。また、ナイフ８０の刃先８００が保持面３００ａに接触した後に、さらにナイフ８０を下降させることで、弾性部材８１３が自然長より収縮し、弾性部材８１３が蓄える付勢力によりナイフ８０が保持面３００ａに対して傾いた状態で所定の押し付け力で押し付けられる。その後、さらにナイフ８０を下降させて、ナイフ８０の刃先８００を保持面３００ａに沿って撓ませた状態にしてもよい。
なお、保持面洗浄装置８において、連結部材８１４に図３に示す移動手段８８が接続されている場合には、回動部８８０によって把持部８１がナイフ８０が下側を向くように回動され、さらに、移動手段８８のエアシリンダー機構８８１によってナイフ８０の刃先８００が保持面３００ａに一定の押し付け力で押し付けられた状態で維持される。

ナイフ８０が保持面３００ａに押し付けられことで、回転するチャックテーブル３０によって、ナイフ８０の刃先８００が移動方向に向かって先行するようナイフ８０が傾けられた状態で保持面３００ａとナイフ８０とが相対的に移動し、保持面３００ａに付着する付着物が刃先８００で切り取られて除去される。即ち、水平面方向においては固定された状態になっているナイフ８０の刃先８００に対して、保持面３００ａに付着していた付着物が突っ込んでいくことで、刃先８００で付着物がその根元付近から切り取られる。そして、切り取られた付着物はナイフ８０の刃先８００の上面上に積み重ねられていき、保持面３００ａから除去される。

ナイフ８０で保持面３００ａから切り取られた付着物は、再付着しないようにナイフ８０の刃先８００の上面上に積まれていくが、切り取られた後に保持面３００ａに残ってしまった付着物もあり、該残った付着物が保持面３００ａに再付着しないようにするために、保持面３００ａに対して２流体が２流体ノズル８５０から吹きつけられて、該２流体によって保持面３００ａ上から流されて除去されていく。
なお、保持面洗浄装置８が２流体洗浄ユニット８５を備えていない場合には、上記のような２流体による洗浄を行わなくてもよい。
そして、保持面３００ａの洗浄が完了した後、２流体ノズル８５０への２流体の供給が停止され、昇降手段８５２がボックス８５１を上方に引き上げ、かつ、移動手段８２がナイフ８０を上方に引き上げ保持面３００ａから離間させる。

次に、洗浄された保持面３００ａで被加工物Ｗを吸引保持して、図１に示す研削手段７で被加工物Ｗの裏面Ｗｂを研削する場合について説明する。保持面３００ａによって被加工物Ｗが裏面Ｗｂが上側を向いた状態で吸引保持される。次いで、被加工物Ｗを保持したチャックテーブル３０が、研削手段７の下まで＋Ｙ方向へ移動する。研削手段７が研削送り手段５により－Ｚ方向へと送られ、スピンドル７０の回転に伴って回転する研削砥石７４０が被加工物Ｗの裏面Ｗｂに当接することで研削が行われる。研削中は、チャックテーブル３０が回転するのに伴って、保持面３００ａ上に保持された被加工物Ｗも回転するので、研削砥石７４０が被加工物Ｗの裏面Ｗｂの全面の研削加工を行う。また、研削水が研削砥石７４０と被加工物Ｗとの接触部位に対して供給され、接触部位が冷却・洗浄される。チャックテーブル３０の保持面３００ａは、保持面洗浄装置８によって付着物が洗浄除去され、また、平坦度も良好な値になっているため、被加工物Ｗの表面Ｗａとチャックテーブル３０の保持面３００ａとの間に異物が介在せず、均一な所望の厚みに被加工物Ｗを研削することができる。

上記のように、チャックテーブル３０の保持面３００ａを洗浄する本発明に係る保持面洗浄装置８は、保持面３００ａに接触させる直線状の刃先８００を有するナイフ８０と、保持面３００ａに刃先８００を向けてナイフ８０を把持する把持部８１と、刃先８００を保持面３００ａに接触、又は保持面３００ａから離間させる移動手段８２（又は、移動手段８８）と、を備えていることで、保持面３００ａに刃先８００を接触させ刃先８００が移動方向に向かって先行するようナイフ８０を傾けて保持面３００ａとナイフ８０とを相対的に移動させ、保持面３００ａに付着する付着物を刃先８００で切り取り除去することが可能となる。そのため、被加工物Ｗを保持する保持面３００ａに研削屑等の付着物を残すことや研削屑を再付着させることがないようにすることが可能となり、また、保持面３００ａを洗浄砥石で削ることがないため保持面３００ａの平坦度を低下させることがなくなる。よって、洗浄後の保持面３００ａで被加工物Ｗを吸引保持して研削を行うことで、被加工物Ｗを均一な厚みに研削することが可能となる。

また、本発明に係る保持面洗浄装置８は、チャックテーブル３０の保持面３００ａに対して水とエアとの混合液を噴射する２流体洗浄ユニット８５を備え、２流体洗浄ユニット８５は、水とエアとの混合液を保持面３００ａに噴射する２流体ノズル８５０と、２流体ノズル８５０を収容し保持面３００ａに対面する下面が開口したボックス８５１と、ボックス８５１を保持面３００ａに対して垂直方向に昇降させる昇降手段８５２と、を備え、ボックス８５１内に移動手段８２を配設し、刃先８００をボックス８５１の開口８５１ａから突出可能又は刃先８００をボックス８５１内に収納可能とし、開口から突出させた刃先８００で保持面３００ａに付着する付着物を切り取り除去することで、２流体による洗浄により被加工物Ｗを保持する保持面３００ａに研削屑等の付着物を残すことや研削屑を再付着させることがよりないようにすることが可能となり、ボックス８５１により付着物を洗浄した２流体が広範囲に飛び散ることもなく、且つ、保持面３００ａを洗浄砥石で削ることがないため保持面３００ａの平坦度を低下させることがなくなる。よって、洗浄後の保持面３００ａで被加工物Ｗを吸引保持して研削を行うことで、被加工物Ｗをより均一な厚みに研削することが可能となる。

本発明に係る保持面洗浄装置８は上記実施形態に限定されず、その技術的思想の範囲内において種々異なる形態にて実施されてよいことは言うまでもない。また、添付図面に図示されている研削装置１の構成等についても、これに限定されず、本発明の効果を発揮できる範囲内で適宜変更可能である。

例えば、チャックテーブル３０の保持面３００ａが、回転中心を頂点とする極めてなだらかな円錐面ではなく面一な平坦面となっている場合には、図１に示すチャックテーブル３０をＹ軸方向に移動させつつ、Ｘ軸方向に延在するナイフ８０を保持面３００ａに刃先８００を接触させ刃先８００が移動方向に向かって先行するようナイフ８０を傾けて保持面３００ａの付着物を切り取り除去してもよい。

Ｗ：被加工物
１：研削装置１０：ベース１１：コラム
３０：チャックテーブル３００：吸着部３００ａ：保持面３０１：枠体
３９：カバー３９ａ：蛇腹カバー
５：研削送り手段５０：ボールネジ５２：モータ
７：研削手段７０：スピンドル７２：モータ７４：研削ホイール７４０：研削砥石
８：保持面洗浄装置８０：ナイフ８００：刃先
８１：把持部８１０：支持部材８１０ａ：挿嵌孔８１０ｂ：ボルト挿通穴８１０ｃ：固定ボルト８１３：弾性部材８１４：連結部材
８２：移動手段
８５：２流体洗浄ユニット８５０：２流体ノズル８５０ａ：噴射口８５１：ボックス８５１ａ：ボックスの開口８５２：昇降手段
８６：水供給源８７：エア供給源
８８：移動手段８８０：回動部８８１：エアシリンダー機構８８１ａ：エアシリンダー８８１ｂ：レギュレータ

Claims

被加工物を保持するチャックテーブルのポーラス部材からなる吸着部の露出面である保持面を洗浄する保持面洗浄装置であって、
該保持面に接触させる、該保持面の半径より長い直線状の刃先を有するナイフと、
該保持面に該刃先を向けて該ナイフを把持する把持部と、
該刃先を該保持面に接触、又は該保持面から離間させるため該把持部を移動させる移動手段と、
該移動手段を昇降させる昇降手段と、を備え、
該刃先が移動方向に向かって先行するよう傾けられた該ナイフを該昇降手段により下降させ、該保持面の半径全域に該刃先を接触させ、該保持面の中心を軸に該保持面と該ナイフとを相対的に回転させ、該保持面に付着する付着物を該刃先で切り取り除去する保持面洗浄装置。
前記保持面に対して水とエアとの混合液を噴射する２流体ノズルと、
該ナイフと、該把持部と、該移動手段と、該２流体ノズルとを収容し該保持面に対面する下面が開口したボックスと、を備え、
該昇降手段により該ボックスを下降させて該保持面に接近させ、該移動手段により該開口から下方に該刃先を突出させ、該保持面と該ナイフとを相対的に該保持面に平行な方向に移動させ、
該刃先で該保持面に付着する付着物を切り取り除去し、該２流体ノズルから噴射した２流体で付着物を該保持面上から流されて除去する請求項１記載の保持面洗浄装置。
該把持部と該移動手段との間に配置され、該間を広げる方向の付勢力を有する弾性部材を備え、
該移動手段によって該把持部を下降させた際に、該弾性部材によって該保持面の高さの変化に応じて該把持部を上下動自在として該刃先を該保持面に接触させる、
請求項１記載の保持面洗浄装置。
該移動手段は、該保持面に対して平行な方向を軸とし該把持部を上下反転させる回動部およびエアシリンダー機構である、
請求項３記載の保持面洗浄装置。