JP7347986B2 - エッジトリミング装置 - Google Patents
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Description
したがって、エッジトリミング装置においては、上面(保持面)に加工屑が付着していないチャックテーブルでウェーハを保持させるという課題がある。
本発明に係る図1に示すエッジトリミング装置1(以下、実施形態1のエッジトリミング装置1とする)は、チャックテーブル30に保持されたウェーハWを回転する切削ブレード613を備えた第1の切削手段61又は第2の切削手段62によってエッジトリミングすることができる装置である。なお、エッジトリミング装置1は、ウェーハWをデュアルカット(2軸同時切削)可能な型のものに限定されない。
なお、ウェーハWはシリコン以外にガリウムヒ素、サファイア、窒化ガリウム、セラミックス、樹脂、又はシリコンカーバイド等で構成されていてもよいし、デバイスが形成されていなくてもよい。
チャックテーブル30の環状凸部30Bの上面300である保持面300の環状溝301より外側の領域を、領域300aとする。
例えば、チャックテーブル30による貼り合わせウェーハW1の吸引保持を解除して、チャックテーブル30から貼り合わせウェーハW1を搬出したい場合には、エア源38が圧縮エアを吸引孔301aに供給する。その結果、吸引孔301aから保持面300上に噴出するエアによって、保持面300と貼り合わせウェーハW1との間に残存する真空吸着力を排除して、貼り合わせウェーハW1を保持面300からクランプ等によって把持して離脱可能な状態にすることができる。
スピンドルハウジング611中に回転可能に収容されているスピンドル610は、スピンドルハウジング611内からその先端側が-Y方向側に突出しており、該先端側に図示しないマウントが装着されている。
なお、洗浄ノズル70は、図示しないエア供給源にも接続されており、水供給源68から供給された水と、エア供給源から供給されたエアとを混合した二流体を噴射可能であってもよい。また、洗浄ノズル70は超音波振動を付与した洗浄水を噴射可能であってもよい。
第2の水平移動手段16は、例えば、Y軸方向に延在する軸心を有するボールネジ160と、ボールネジ160と平行に配設された一対のガイドレール151と、ボールネジ160に連結されたモータ162と、内部のナットがボールネジ160に螺合し側部がガイドレール161に摺接する可動板163とを備えている。そして、モータ162がボールネジ160を回動させると、これに伴い可動板163がガイドレール151にガイドされてY軸方向に移動し、可動板163上に第2の切り込み送り手段18を介して配設された第2の切削手段62がY軸方向に水平移動(割り出し送り)される。
この状態で、図6に示す水供給源68が洗浄ノズル70に高圧水を供給する。図6に示すように、洗浄ノズル70の噴射口700から洗浄水が下方に向かって略扇状に拡がって噴射され、該洗浄水によって主に環状溝301の溝底および側壁に付着していた切削屑や保持面300(上面300)に付着していた切削屑等が広範囲に渡って洗浄除去される。
また、水供給源68が洗浄ノズル73に高圧水を供給することで、図6に示すように、洗浄ノズル73の噴射口730から洗浄水が下方に向かって円柱状に噴射され、該洗浄水によって保持面300の環状溝301より外側の領域300aがピンポイントで集中的に洗浄され、領域300aに付着していた切削屑等が除去される。
まず、ウェーハWの中心とチャックテーブル30の保持面300の中心とが略合致するようにして、貼り合わせウェーハW1がサブストレートSBを下側に向けた状態で保持面300に環状溝301を塞ぐように載置される。そして、図7に示す吸引源39が駆動して生み出される吸引力が吸引孔301a及び環状溝301を通り保持面300に伝達され、チャックテーブル30が保持面300上でウェーハWの下面Wa(表面Wa)に貼着されているサブストレートSBの外周領域を吸引保持する。また、貼り合わせウェーハW1は、昇降テーブル31の上面に載置された状態になる。
なお、第1の切削手段61と第2の切削手段62とにより、ウェーハWの面取り部Wdをデュアルエッジトリミングしてもよい。
図8に示す実施形態2のエッジトリミング装置1Aは、図1に示す実施形態1のエッジトリミング装置1の構成要素の一部を変更した装置である。以下に、実施形態2のエッジトリミング装置1Aの実施形態1のエッジトリミング装置1との構成が相違する部分について説明する。
スポンジ用ノズル81の噴射口はスポンジ80に向かって開口しており、水供給源68に連通している。
また、水供給源68がスポンジ用ノズル81に対して洗浄水を送出し、スポンジ用ノズル81から噴射された洗浄水をスポンジ80が吸収することで、スポンジ80が膨らみ弾力性を備えるようになる。なお、スポンジ80は、洗浄水を吸収しても膨らまないものであってもよい。また、スポンジ用ノズル81から、チャックテーブル30の環状溝301及び領域300aに対して直接洗浄水を供給してもよい。
なお、例えば、チャックテーブル30は、回転による回転乾燥、又は、図示しないエア源に連通するスポンジ用ノズル81からエアを噴出して乾燥させてもよい。
例えば、実施形態2のエッジトリミング装置1Aのエアノズル86を、実施形態1のエッジトリミング装置1は備えてもよい。
1:エッジトリミング装置 10:基台 11:アライメント手段 13:切削送り手段
30:チャックテーブル 30A:基部 30B:環状凸部 300:チャックテーブルの保持面(上面) 300a:環状溝より外側の領域
301:環状溝 301a:吸引孔 390:吸引流路 39:吸引源 38:エア源
31:昇降テーブル 310:エアシリンダ 32:テーブル回転手段
14:門型コラム 15:第1の水平移動手段 150:ボールネジ 151:一対のガイドレール 153:可動板
17:第1の切り込み送り手段 170:ボールネジ 172:モータ
61:第1の切削手段
61A:スピンドルユニット 610:スピンドル 611:スピンドルハウジング 612:モータ 613:切削ブレード 613b:切り刃 613a:固定フランジ
614:ブレードカバー 614a:ブレードカバー基部
614b:スライドカバー部 614c:ノズル支持ブロック 651:シャワーノズル
652:切削水ノズル 653:ブレード冷却水ノズル 653a:スリット
68:水供給源
7:洗浄手段 70:洗浄ノズル 700:噴射口 71:洗浄ノズル支持ブロック
16:第2の水平移動手段 160:ボールネジ 162:モータ
18:第2の切り込み送り手段 180:ボールネジ 182:モータ
62:第2の切削手段
73:洗浄ノズル 730:噴射口
1A:エッジトリミング装置
8:洗浄手段 80:スポンジ 81:スポンジ用ノズル
88:支持ブリッジ 84:スポンジ昇降手段 86:エアノズル
Claims (1)
- ウェーハの外径より小さい外径の環状溝を吸引源に連通させ該環状溝でウェーハの下面を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルを回転させるテーブル回転手段と、切削ブレードを装着したスピンドルを回転させ該チャックテーブルに保持されたウェーハの外周部分を環状に切削する切削手段と、該切削手段を該スピンドルの軸心方向に移動させる水平移動手段と、を備えるエッジトリミング装置であって、
該切削手段は、前記切削ブレードを装着するマウントを連結させた該スピンドルを回転させるスピンドルユニットと、該マウントと該切削ブレードとを囲繞するブレードカバーと、を備え、
該チャックテーブルの上面の該環状溝より外側の領域と該環状溝を含めた該チャックテーブルの上面とを洗浄する洗浄手段を備え、
該洗浄手段は、該ブレードカバーに装着され下方向に高圧水を噴射する洗浄ノズルを備え、
該水平移動手段で該洗浄ノズルから噴射される高圧水の着地エリアを該チャックテーブルの上面の前記環状溝より外側の領域と該環状溝を含めた該チャックテーブルの上面とに位置づけ、該テーブル回転手段で該チャックテーブルを回転させ、該チャックテーブルの上面の該環状溝より外側の領域と該環状溝を含めた該チャックテーブルの上面とを洗浄するエッジトリミング装置。
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