JP2019016730A - 切削装置及び被加工物の分割方法 - Google Patents
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Abstract
Description
10a クランプ
11 半導体ウェーハ
13 分割予定ライン
14 切削ユニット
15 デバイス
17 フレームユニット
46 吸引源
50 吸引保持部
50a 保持面
54 吸引路
55 バキュームユニット
56 電磁切換え弁
58 負圧測定器
Claims (2)
- 粘着テープを介して環状フレームの開口に支持された被加工物を該粘着テープ越しに吸引保持部の保持面で吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルに保持された被加工物をスピンドルに装着された切削ブレードで切削する切削ユニットと、該チャックテーブルの該吸引保持部に負圧を発生させるバキュームユニットと、少なくとも該チャックテーブル、該切削ユニット及び該バキュームユニットを制御する制御ユニットと、を備えた切削装置であって、
該チャックテーブルは、
該吸引保持部を囲繞する枠体と、
該枠体の外周で該吸引保持部の該保持面より下方に該環状フレームを引き落としつつ固定するクランプと、を含み、
該バキュームユニットは、
該チャックテーブルの該吸引保持部に作用させる負圧を測定する負圧測定器を含み、
該制御ユニットは、
該吸引保持部が被加工物を吸引保持した際に該負圧測定器で測定される負圧が閾値より大きい負圧になった後に、該クランプで該環状フレームをクランプして引き落としつつ固定することを特徴とする切削装置。 - 板状の被加工物を切削して個々のチップに分割する被加工物の分割方法であって、
粘着テープを介して環状フレームの開口に被加工物を支持するフレーム固定ステップと、
該環状フレームに固定した被加工物を該粘着テープを介してチャックテーブルの吸引保持部で吸引保持する吸引保持ステップと、
該吸引保持部で被加工物の吸引保持を開始した後、該吸引保持部に作用させる負圧が閾値より大きい負圧になったか否かを判定する判定ステップと、
該判定ステップで該吸引保持部に作用させる負圧が該閾値より大きい負圧になったと判定した後、該環状フレームを該保持面より下方に引き落としつつ固定するフレーム固定ステップと、
該フレーム固定ステップを実施した後、切削ブレードを該粘着テープに切り込ませつつ被加工物を切削して被加工物を個々のチップに分割する分割ステップと、
を備えたことを特徴とする被加工物の分割方法。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN112318337A (zh) * | 2019-12-20 | 2021-02-05 | 沈阳和研科技有限公司 | 一种砂轮划片机切割有翘曲变形玻璃的方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006130625A (ja) * | 2004-11-08 | 2006-05-25 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 真空チャック装置及び吸着圧力制御方法 |
JP2014225555A (ja) * | 2013-05-16 | 2014-12-04 | 株式会社ディスコ | 切削溝の検出方法 |
-
2017
- 2017-07-10 JP JP2017134526A patent/JP2019016730A/ja active Pending
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