JP7039134B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
4 基台
6 X軸移動機構(加工送りユニット)
8 X軸ガイドレール
10 X軸移動テーブル
12 X軸ボールねじ
14 X軸パルスモータ
16 θテーブル
18 テーブル基台
18a 上面
18b 凸部
18c 凸部
18d 位置決め凸部
18e 溝
18f 流路(第2流路)
18g 流路(第3流路)
20 チャックテーブル
22 枠体
22a 凹部
22b 下面
22c 凹部
22d 凹部
22e 位置決め凹部
22f 凹部
22g 流路(第1流路)
24 ポーラス板
24a 上面(保持面)
26 クランプ
28 テーブルカバー
30 ウォーターケース
32 支持構造
34 切削ユニット移動機構(割り出し送りユニット、切り込み送りユニット)
36 Y軸ガイドレール
38 Y軸移動プレート
40 Y軸ボールねじ
42 Y軸パルスモータ
44 Z軸ガイドレール
46 Z軸移動プレート
48 Z軸ボールねじ
50 Z軸パルスモータ
52 切削ユニット
54 カメラ(撮像ユニット)
56 スピンドル
58 切削ブレード
60 切削液供給ノズル
62 ブレード位置検出ユニット
64 制御ユニット
66a 流路(第2流路)
66b 流路(第3流路)
66c 流路(第4流路)
66d 流路
68 エジェクタ
68a 吸気口
68b 供給口
68c 排気口
70a バルブ(第2バルブ)
70b バルブ(第3バルブ)
70c バルブ(第4バルブ)
70d バルブ(第1バルブ)
72a 逆止弁(第1逆止弁)
72b 逆止弁(第2逆止弁)
74a,74b エアー供給源
76 圧力計
78 リング部材
A 第1接続点
B 第2接続点
C 第3接続点
11 被加工物
13 ダイシングテープ
15 フレーム
17 切削液
Claims (1)
- チャックテーブルに保持された被加工物に切削液を供給しながら被加工物を切削する切削装置であって、
被加工物を保持する保持面を構成するポーラス板が枠体の凹部に接着材で固定され、一端が該凹部に接続し他端が該枠体の下面に開口する第1流路を該枠体の内部に有するチャックテーブルと、
該チャックテーブルに保持された被加工物を切削する切削ユニットと、
該切削ユニットで被加工物を切削する際に被加工物に切削液を供給する切削液供給ノズルと、
上面側に該チャックテーブルの該枠体が載置されるテーブル基台と、
エジェクタの供給口に対してエアーの供給を制御する第1バルブと、
該エジェクタの吸気口に一端が接続するとともに、他端が該テーブル基台の該上面に開口し、該枠体が該テーブル基台に載置された状態で該第1流路の他端と接続する第2流路と、
該第2流路の一端と他端との間に設けられた第2バルブと、
該第2流路の一端と該第2バルブとの間に設けられ、該第2流路の一端側から該第2バルブ側に流体が侵入するのを抑制する第1逆止弁と、
該第1逆止弁と該第2バルブとの間の該第2流路の第1接続点に一端が接続し、他端が該テーブル基台の該上面に開口する第3流路と、
該第3流路の一端と他端との間に設けられた第3バルブと、
該第2流路の他端と該第2バルブとの間の該第2流路の第2接続点に一端が接続し、他端がエアー供給源に接続する第4流路と、
該第4流路の一端と他端との間に設けられた第4バルブと、
該第2流路の他端と該第2バルブとの間の該第2流路の第3接続点に接続された圧力計と、
該第2流路の該第1接続点と該第2接続点との間に設けられ、該第2流路の該第1接続点側から該第2接続点側に流体が侵入するのを抑制する第2逆止弁と、
該チャックテーブルで被加工物を保持した状態で、該圧力計の示す該第2流路の圧力が第1閾値よりも高い場合に該第1バルブ及び該第2バルブを開き、該第2流路の圧力が第2閾値よりも低い場合に該第2バルブを開いたまま該第1バルブを閉じることで、該エジェクタへのエアーの供給を抑制しつつ該第2流路の圧力を維持する制御ユニットと、を備え、
該第2逆止弁により、該第3流路を通じて該第2流路の該第1接続点側に流入した該切削液が該第2接続点側に侵入するのを抑制することを特徴とする切削装置。
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JP2018106966A JP7039134B2 (ja) | 2018-06-04 | 2018-06-04 | 切削装置 |
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JP2018106966A JP7039134B2 (ja) | 2018-06-04 | 2018-06-04 | 切削装置 |
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JP2019212734A JP2019212734A (ja) | 2019-12-12 |
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Family
ID=68845246
Family Applications (1)
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Citations (2)
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JP2003145377A (ja) | 2001-11-08 | 2003-05-20 | Disco Abrasive Syst Ltd | 被加工物の保持装置 |
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Family Cites Families (4)
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JP4851282B2 (ja) * | 2006-09-21 | 2012-01-11 | 株式会社ディスコ | 切削装置 |
JP6340277B2 (ja) * | 2014-07-18 | 2018-06-06 | 株式会社ディスコ | 加工装置 |
JP6489970B2 (ja) * | 2015-07-24 | 2019-03-27 | 株式会社ディスコ | チャックテーブルの製造方法及び加工装置 |
-
2018
- 2018-06-04 JP JP2018106966A patent/JP7039134B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2008177406A (ja) | 2007-01-19 | 2008-07-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | ウエーハの加工装置 |
Also Published As
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