JP4540519B2 - 洗浄装置、液晶表示器の基板洗浄装置及び液晶表示器組付装置 - Google Patents
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Description
また、請求項2の発明は、間隙にガスをガス流方向に流し、先端部においては、長辺方向に沿った矩形形状をし、ガスを導入する部分では円筒状をし、ガス流方向に沿ってテーパ状に拡大したガス流路を形成する治具を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置である。
また、請求項3の発明は、吸着物は有機物質であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の洗浄装置であり、請求項4の発明は、物体はガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の洗浄装置である。
以上の発明の装置は、物体に付着した有機物質などの不純物を除去するのに用いることができる。
請求項5の発明は、液晶表示装置の基板の洗浄装置であって、ガス流方向に垂直な方向に長辺方向を有するストライプ状の開口部を形成し、ガス流方向に1〜30mmの厚さと、長辺方向に長さを有する、それぞれの対向面を、間隙を挟んで配置した2つの電極と、2つの対向面のうち少なくとも一方の面に、ガス流方向の複数の箇所に、長辺方向に沿って連続し、ガス流方向の幅が1mm以下の溝が形成されており、2つの対向面の間に、ガス流方向に垂直な方向に電界を印加し、開口部とは逆側から間隙に大気圧においてプラズマを発生させるガスをガス流方向に注入することで、溝においてホローカソード放電によるプラズマを大気圧において発生可能とし、開口部からプラズマをガス流方向に放出可能とし、基板の端子部に異方性導電フィルムを貼付する前に、開口部に対して対向するように配置された基板にプラズマを照射するようにしたことを特徴とする液晶表示装置の基板洗浄装置である。
本発明は凹部において生じるマイクロホローカソード放電によって、開口部に供給されたガスをプラズマ化する装置である。
本発明は、上記の基板洗浄装置を有することに特徴を有する液晶表示器組付装置である。
本発明は、ACFを貼付する工程に液晶表示器の基板を搬送する過程において、基板を洗浄することを特徴とした液晶表示器組付装置である。
以上の全ての発明において、大気圧には、0.5〜2気圧程度も大気圧とする。
本発明は開口部付近においてプラズマを発生させ、開口部間近に配置された液晶表示器の基板に当該プラズマを照射させるので、他の大きなプラズマ発生領域は必要ではない。開口部を形成するためには、2つの電極と、それを固定するための絶縁体から成る治具が必要である。当該絶縁体にガス流路を設け、当該ガス流路の終端に2つの電極を配設することが最も簡単な構成となる。例えば矩形形状(ストライプ状)の開口部を形成するためには、2つの電極の互いに対峙する面と、絶縁体から成る治具により4辺(面)を形成すると良い。ガス流路を有する絶縁体から成る治具は、1個で構成しても、複数個の部品を組み合わせて構成しても良い。
図1は本発明の具体的な一実施例に係る基板洗浄装置の特徴ある要部の構成を示す図であり、図1.Aは開口部101付近を示す外観図、図1.Bはガス流路201に沿った断面図、図1.Cは電極10A及び10Bの溝部11の詳細を示す断面図である。
11:凹部または溝部
20:絶縁体から成る治具
30A、30B:ボルト
40:ガラス基板
101:開口部
201:ガス流路
201t:ガス流路のテーパ部
202:ガス流路の先端部
203:接続部
210A、210B:電極10A、10Bを組付けるための凹部
211:突出部
Claims (8)
- 物体の吸着物を除去する洗浄装置であって、
ガス流方向に垂直な方向に長辺方向を有するストライプ状の開口部を形成し、前記ガス流方向に1〜30mmの厚さと、前記長辺方向に長さを有する、それぞれの対向面を、間隙を挟んで配置した2つの電極を有し、
2つの前記対向面のうち少なくとも一方の面に、前記ガス流方向の複数の箇所に、前記長辺方向に沿って連続し、前記ガス流方向の幅が1mm以下の溝が形成されており、
2つの前記対向面の間に、前記ガス流方向に垂直な方向に電界を印加し、前記開口部とは逆側から前記間隙に大気圧においてプラズマを発生させるガスを前記ガス流方向に注入することで、前記溝においてホローカソード放電によるプラズマを大気圧において発生可能とし、前記開口部からプラズマを前記ガス流方向に放出可能とし、
前記開口部に対して対向するように配置された前記物体に前記プラズマを照射するようにしたことを特徴とする洗浄装置。 - 前記間隙に前記ガスを前記ガス流方向に流し、先端部においては、前記長辺方向に沿った矩形形状をし、ガスを導入する部分では円筒状をし、前記ガス流方向に沿ってテーパ状に拡大したガス流路を形成する治具を有することを特徴とする請求項1に記載の洗浄装置。
- 前記吸着物は有機物質であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の洗浄装置。
- 前記物体はガラス基板であることを特徴とする請求項1乃至請求項3の何れか1項に記載の洗浄装置。
- 液晶表示装置の基板の洗浄装置であって、
ガス流方向に垂直な方向に長辺方向を有するストライプ状の開口部を形成し、前記ガス流方向に1〜30mmの厚さと、前記長辺方向に長さを有する、それぞれの対向面を、間隙を挟んで配置した2つの電極を有し、
2つの前記対向面のうち少なくとも一方の面に、前記ガス流方向の複数の箇所に、前記長辺方向に沿って連続し、前記ガス流方向の幅が1mm以下の溝が形成されており、
2つの前記対向面の間に、前記ガス流方向に垂直な方向に電界を印加し、前記開口部とは逆側から前記間隙に大気圧においてプラズマを発生させるガスを前記ガス流方向に注入することで、前記溝においてホローカソード放電によるプラズマを大気圧において発生可能とし、前記開口部からプラズマを前記ガス流方向に放出可能とし、
前記基板の端子部に異方性導電フィルムを貼付する前に、前記開口部に対して対向するように配置された前記基板に前記プラズマを照射するようにしたことを特徴とする液晶表示装置の基板洗浄装置。 - 前記間隙に前記ガスを前記ガス流方向に流し、先端部においては、前記長辺方向に沿った矩形形状をし、ガスを導入する部分では円筒状をし、前記ガス流方向に沿ってテーパ状に拡大したガス流路を形成する治具を有することを特徴とする請求項5に記載の洗浄装置
- 前記異方性導電性フィルム上に液晶素子を駆動する半導体素子又はFPCを配設する液晶表示器を組み付ける液晶表示器組付装置において、
請求項5又は請求項6に記載の洗浄装置を設けたことを特徴とする液晶表示器組付装置。 - 前記洗浄装置の前記開口部に対向する前記基板は、前記開口部に対して移動されており、前記基板の搬送過程において、プラズマによる洗浄が行われることを特徴とする請求項7に記載の液晶表示器組付装置。
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