JP7289596B2 - 加工装置及び加工方法 - Google Patents

Description

本発明は、可動部を移動させるためのアクチュエータを備える加工装置、及び、当該アクチュエータの動作を確認した後に被加工物を加工する加工方法に関する。

半導体ウェーハ等の被加工物に対して切削等の加工を施す加工装置が知られている。加工装置の一つとして、作業者が加工開始ボタンを押下すると、自動的に、被加工物の搬送、加工及び洗浄を行うフルオートダイサーがある。

フルオートダイサーでは、例えば、複数の被加工物が収容されたカセットから被加工物が順次搬出される。そして、搬出された各被加工物は、切削及び洗浄され、その後、再びカセットへ搬入される。

フルオートダイサーは、エアシリンダ等のアクチュエータにより動かされる可動部を有する。可動部は、例えば、被加工物のアライメントに用いる顕微鏡のカバー部（例えば、特許文献１参照）である。

通常、フルオートダイサーの定期メンテナンスの際には、アクチュエータは点検されない。それゆえ、作業者が加工開始ボタンを押下した後、加工途中にアクチュエータが動作しないという不具合が生じて初めて、不具合が生じたアクチュエータの修理、交換等が行われる。

特開２００９－２２６５５５号公報

しかし、加工中にアクチュエータの不具合が生じた場合には、フルオートダイサーの動作を停止させ、フルオートダイサーから被加工物を取り除き、更に、フルオートダイサーの復旧作業を行わなければならないので手間が掛かる。更に、被加工物を取り除く際に、落下、衝突等により被加工物が破損する恐れもある。

本発明は係る問題点に鑑みてなされたものであり、被加工物の加工中にアクチュエータが動作しなくなる可能性を低減することを目的とする。

本発明の一態様によれば、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを制御する制御部と、該制御部に情報を入力可能なタッチパネル式のモニタである入力部と、を備える加工装置であって、第１位置から第２位置に移動させられる様に構成されている可動部と、該被加工物を加工する場合に、該可動部を該第１位置から該第２位置に移動させるためのアクチュエータと、該可動部が該第１位置及び該第２位置のどちらに位置しているかを検出するセンサ部と、該可動部が該第１位置に位置していることを該センサ部が検出した場合に警告を発する警告部と、を備え、該モニタが起動状態であるときに、該モニタには、該アクチュエータを動作させて該可動部を該第１位置から該第２位置へと移動させる場合に使用される動作確認ボタンが表示され、該加工装置による該被加工物のフルオートでの加工の開始前に、オペレータが該動作確認ボタンを押すことにより、該可動部の動作確認が行われ、該可動部を該第１位置から該第２位置へと移動させるために該制御部が該アクチュエータを動作させようとしたにも関わらず、該可動部が該第２位置へ移動せずに該第１位置に位置する場合に、該警告部は警告を発する加工装置が提供される。

本発明の他の態様によれば、被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを制御する制御部と、該制御部に情報を入力可能なタッチパネル式のモニタである入力部と、を備える加工装置で該被加工物を加工する加工方法であって、アクチュエータにより第１位置から第２位置に移動させられる様に構成されている可動部を該第１位置から該第２位置へ移動させるために、該モニタが起動状態であるときに該モニタに表示される動作確認ボタンを使用して該アクチュエータが該第１位置から該第２位置へと正常に動作するか否かを確認する事前確認ステップと、該事前確認ステップ後、該保持テーブルで該被加工物を保持し、該加工ユニットで該被加工物に対してフルオートでの加工を行う加工ステップと、を備える加工方法が提供される。

好ましくは、該可動部が該第１位置及び該第２位置のどちらに位置しているかを検出するセンサ部が該第２位置に該可動部が位置していることを検出し、該第１位置に該可動部が位置していることを該センサ部が検出したときに警告を発する警告部が警告を発しなかった場合、該事前確認ステップ後、該加工ステップが行われ、該第１位置に該可動部が位置していることを該センサ部が検出し、該警告部が警告を発した場合、該アクチュエータのメンテナンスを行うメンテナンスステップを、該事前確認ステップ後且つ該加工ステップの前に更に備える。

本発明の一態様に係る加工装置は、被加工物を加工する場合に第１位置から第２位置に移動させられる様に構成されている可動部と、被加工物を加工する場合に可動部を第１位置から第２位置に移動させるためのアクチュエータと、可動部が第１位置及び第２位置のどちらに位置しているかを検出するセンサ部と、可動部が第１位置に位置していることをセンサ部が検出した場合に警告を発する警告部と、を備える。

更に、入力部は、アクチュエータを動作させて可動部を第１位置から第２位置へと移動させる場合に使用される動作指示部を有する。この加工装置を用いて被加工物を加工する前には、アクチュエータが正常に動作するか否か事前確認が行われる。具体的には、オペレータが動作指示部を使用して、可動部をアクチュエータで移動させる。そして、検出センサ部が、第１位置及び第２位置のどちらに可動部が位置するかを検出する。

アクチュエータが正常状態である場合、アクチュエータを動作させると、可動部は第１位置から第２位置へと移動する。これに対して、アクチュエータが故障状態又は異常状態である場合、アクチュエータを動作させても、可動部は第２位置へ移動せず第１位置に位置したままである。

可動部が第１位置に留まる場合、警告部は警告を発するので、オペレータは、アクチュエータの故障又は異常を把握できる。この様に、被加工物の加工前に、アクチュエータが正常に動作するか否かを確認できるので、被加工物の加工中にアクチュエータが動作しなくなる可能性を低減できる。

切削装置を左側面側から見た斜視図である。 切削装置を右側面側から見た斜視図である。 カメラ収容部等の一部断面側面図である。 図４（Ａ）はカバー板が第１位置にある場合のカバー板移動機構等の側面図であり、図４（Ｂ）はカバー板が第２位置にある場合のカバー板移動機構等の側面図である。 モニタの表示の一例を示す図である。 加工方法を示すフロー図である。 図７（Ａ）は嘴部が開状態である場合のヘッド部の側面図であり、図７（Ｂ）は嘴部が閉状態である場合のヘッド部の側面図である。 図８（Ａ）は収縮状態のアッパーアームの側面の部分拡大図であり、図８（Ｂ）は延伸状態のアッパーアームの側面の部分拡大図である。 図９（Ａ）は開状態のクランプの斜視図であり、図９（Ｂ）は開状態のクランプの斜視図である。 図１０（Ａ）は閉状態のクランプの側面図であり、図１０（Ｂ）は閉状態のクランプの側面図である。

添付図面を参照して、本発明の一態様に係る実施形態について説明する。図１は、切削装置（加工装置）２を左側面側から見た斜視図である。なお、図１では構成要素の一部をブロック図で示す。切削装置２は、後述する被加工物をフルオート（完全自動）で加工するフルオートダイサーの一例である。

切削装置２は、各構造を支持する基台４を備える。基台４の上方には、基台４を覆うカバー６が設けられている。カバー６の内側には、空間が形成されている。この空間には、被加工物１１を切削（加工）するための切削ユニット（加工ユニット）８が収容されている。

切削ユニット８は、切削ユニット移動機構（不図示）によって前後方向（Ｙ軸方向、割り出し送り方向）及び上下方向（Ｚ軸方向、切り込み送り方向）に移動可能である。切削ユニット８は、スピンドルハウジングを有する。

スピンドルハウジング内には、回転可能な態様でスピンドル（不図示）が収容されている。スピンドルの一端にはモーター（不図示）が連結されており、スピンドルの他端には切削ブレードが装着されている。モーターで高速に回転させた切削ブレードを被加工物１１に切り込むことにより、被加工物１１は切削（加工）される。

切削ユニット８には、直方体形状のカメラ収容部８ａが固定されている。カメラ収容部８ａにはカメラ付き顕微鏡（カメラユニット８ｂ（図３参照））が設けられている。カメラユニット８ｂは、例えば、被加工物１１の表面を撮像する。カメラユニット８ｂで撮像された画像は、被加工物１１のアライメント、カーフチェック等に利用される。

カメラ収容部８ａの下方には、基台４の上面に形成された開口４ａが設けられている。開口４ａは、上面視で矩形形状を有し、Ｙ軸及びＺ軸と直交するＸ軸方向（加工送り方向）に沿う長辺を有する。開口４ａには、被加工物１１を保持するためのチャックテーブル（保持テーブル）１０が設けられている。

チャックテーブル１０の下方には、チャックテーブル移動機構（不図示）及び回転機構（不図示）が設けられている。チャックテーブル１０は、チャックテーブル移動機構によってＸ軸方向（加工送り方向）に移動可能であり、回転機構によってＺ軸方向に平行な回転軸の周りに回転可能である。

チャックテーブル１０は、金属で形成された略円盤状の枠体を有する。枠体には、円盤状の空間から成る凹部が形成されている。凹部の底面には、枠体の底面に達する吸引路（不図示）が形成されており、この吸引路にはエジェクタ等の吸引源（不図示）が接続されている。

枠体の凹部には、多孔質部材で形成されたポーラス板が設けられている。吸引源を動作させると、吸引路を通じてポーラス板の表面には負圧が生じるので、ポーラス板の表面は、被加工物１１を吸引して保持する保持面１０ａとして機能する。

チャックテーブル１０の側方には、複数のクランプ１０ｂが設けられている。本実施形態では、チャックテーブル１０の周方向の異なる４箇所の各々に、１つのクランプ１０ｂが固定されている。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体で形成された基板を有する円盤状のウェーハである。この被加工物１１の表面は、例えば、格子状に配列された分割予定ライン（ストリート）で複数の領域に区画されており、各領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）、ＭＥＭＳ（Micro Electro Mechanical Systems）等のデバイスが形成されている。

なお、被加工物１１を構成する基板の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、被加工物１１は、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等の材料でなる基板を有してもよい。同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくてもよい。

被加工物１１は、例えば、樹脂製のダイシングテープ１３を介して金属製の環状フレーム１５と一体化された被加工物ユニット１７の状態で加工される。被加工物ユニット１７は、例えば、環状フレーム１５の開口部に被加工物１１を配置した状態で、環状フレーム１５の開口部を塞ぐ様に環状フレーム１５の一面と被加工物１１の裏面とにダイシングテープ１３を貼り付けることで形成される。

１以上の被加工物ユニット１７は、カセット１２ａに収容されて、切削装置２へ搬送される。カバー６の前面６ａ側から見て基台４の前方右側の角部には、カセット１２ａを載置するためのカセット支持台１２が設けられている。カセット支持台１２の高さ（Ｚ軸方向の位置）は、被加工物１１を適切に搬出、搬入できるように昇降機構（不図示）等によって制御される。

カバー６の前面６ａには、ユーザインタフェースとなるタッチパネル式のモニタ（入力部）１４が設けられている。このモニタ１４は、上述した切削ユニット８、切削ユニット移動機構、チャックテーブル１０、チャックテーブル移動機構、回転機構、カセット支持台１２、昇降機構等と共に、切削装置２の各部を制御する制御部１６に接続されている。

オペレータは、モニタ１４を介して、切削ユニット８等の動作を制御するための情報を制御部１６に入力できる。制御部１６は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されるプログラム等のソフトウェアに従い処理装置を動作させることによって、制御部１６は、ソフトウェアと処理装置（ハードウェア資源）とが協働した具体的手段として機能する。

モニタ１４の上方には、切削装置２の稼動状況を表示する表示ランプ１８が設けられている。表示ランプ１８は、例えば、切削装置２が正常に稼働しているときには緑色で点灯し、切削装置２に故障や異常が生じた場合には赤色で点滅する。表示ランプ１８の赤色の点滅は、オペレータに対して切削装置２の異常等を知らせる警告となる。

切削装置２には、表示ランプ１８に加えて、スピーカー（不図示）が設けられてもよい。スピーカーは、例えば、切削装置２に故障や異常が生じた場合に所定の音を発する。つまり、所定の音は、切削装置２の異常等を知らせる警告となる。

なお、モニタ１４は、切削装置２に故障や異常が生じた場合に、所定の文字、画像等を表示してもよい。モニタ１４に表示される所定の文字、画像等も、切削装置２の異常等を知らせる警告となる。この様に、表示ランプ１８等は、警告を発する警告部として機能する。

図２は、切削装置２を右側面側から見た斜視図である。図２は、カバー６の前面６ａ側から見て、カバー６の右側が取り外された状態を示す。なお、図２では、チャックテーブル１０が、モニタ１４の後方の位置（図１参照）からカセット支持台１２の後方の位置に移動した状態が示されている。

基台４上には、切削装置２の内部に設けられた複数の構成要素を支持するための支持構造（不図示）が設けられている。支持構造の一側面には、プッシュプルアーム移動機構２０が設けられている。

プッシュプルアーム移動機構２０は、Ｙ軸方向に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール（不図示）を含む。一対のＹ軸ガイドレールには、移動プレート２２ａがスライド可能に取り付けられている。移動プレート２２ａは、所定形状の細長い板部材である。

移動プレート２２ａの一端部の裏面側には、ナット部（不図示）が設けられている。このナット部には、一対のＹ軸ガイドレールの間でＹ軸方向に沿って設けられたＹ軸ボールネジ（不図示）が、回転可能な態様で連結している。

Ｙ軸ボールネジの一端部には、Ｙ軸パルスモーター（不図示）が連結されており、Ｙ軸パルスモーターでＹ軸ボールネジを回転させれば、移動プレート２２ａは、Ｙ軸ガイドレールに沿ってＹ軸方向に移動する。

移動プレート２２ａの他端部には、Ｘ－Ｙ平面方向に略平行な平板状のアーム部２２ｂが固定されている。移動プレート２２ａとは反対側に位置するアーム部２２ｂの先端部には、直方体形状のヘッド部２２ｃが固定されている。

ヘッド部２２ｃは、被加工物ユニット１７の環状フレーム１５を挟持するための嘴部２２ｄを有する。この嘴部２２ｄは、ヘッド部２２ｃの前面の下部に設けられている。なお、ヘッド部２２ｃの前面のうち、嘴部２２ｄとアーム部２２ｂとの間の領域は、環状フレーム１５を押し出すための押し当て部２２ｅとして機能する。

開口４ａの上方において、カセット支持台１２とＹ軸方向に隣接する位置には、被加工物１１を仮置きするするための一対のガイドレール２４が設けられている。一対のガイドレール２４は、被加工物ユニット１７の環状フレーム１５をＸ軸方向で挟み込むことにより、被加工物ユニット１７のＸ軸方向の位置を所定の位置に合わせる。

支持構造の一側面のうち、プッシュプルアーム移動機構２０の上方には、アッパーアーム移動機構（不図示）が設けられている。アッパーアーム移動機構は、Ｙ軸方向に概ね平行な一対のＹ軸ガイドレール（不図示）を含む。

一対のＹ軸ガイドレールには、アッパーアーム３０を構成する移動プレート３０ａがスライド可能に取り付けられている。移動プレート３０ａの裏面側には、ナット部（不図示）が設けられている。

このナット部には、一対のＹ軸ガイドレールの間でＹ軸方向に沿って設けられたＹ軸ボールネジ（不図示）が、回転可能な態様で連結している。Ｙ軸ボールネジの一端部には、Ｙ軸パルスモーター（不図示）が連結されており、Ｙ軸パルスモーターでＹ軸ボールネジを回転させれば、移動プレート３０ａはＹ軸ガイドレールに沿ってＹ軸方向に移動する。

移動プレート３０ａの表面側には、直方体形状のエアシリンダ部３０ｂが固定されている。エアシリンダ部３０ｂ内の円筒形状のシリンダチューブ（不図示）には、ピストンロッド３０ｃが嵌入している。エアシリンダ部３０ｂから露出したピストンロッド３０ｃの一端部には、直方体形状のアーム部３０ｄが固定されている。

ピストンロッド３０ｃとは反対側のアーム部３０ｄの先端部には、ハンド部３０ｅが固定されている。ハンド部３０ｅは上面視でＨ字形状であり、４つの自由端部を有する。各自由端部の下面側には、被加工物ユニット１７の環状フレーム１５を真空吸着により吸着するための吸着部３０ｆが設けられている。

なお、図２では省略されているが、支持構造の一側面のうち、プッシュプルアーム移動機構２０とアッパーアーム移動機構との間に位置する領域には、ロアアーム移動機構（不図示）が設けられている。ロアアーム移動機構は、プッシュプルアーム移動機構２０と略同じ構造を有する。

また、ロアアーム移動機構には、Ｙ軸方向に移動可能な態様でロアアーム（不図示）が連結されている。ロアアームは、アッパーアーム３０と略同じ機構を有するので、説明を省略する。なお、開口４ａに対してカセット支持台１２とは反対側に設けられている洗浄ユニット（不図示）が設けられている。

次に、被加工物１１を切削するための切削手順を説明する。まず、カセット１２ａ中の被加工物ユニット１７の環状フレーム１５を嘴部２２ｄで挟持した状態で、移動プレート２２ａをカセット１２ａから離れる向きに移動させる。これにより、被加工物ユニット１７をガイドレール２４に引き出す。

次に、ガイドレール２４に引き出された被加工物ユニット１７を、ロアアームでチャックテーブル１０に搬送する。そして、吸引源を動作させて、被加工物１１の裏面側をチャックテーブル１０の保持面１０ａで保持する。この状態で、チャックテーブル１０をＸ軸方向に移動させ、切削ユニット８の下方に位置付ける。

次に、カメラユニット８ｂ（図３参照）で被加工物１１の表面側を撮像し、撮像により得られた画像に基づいて、被加工物１１のアライメントを行う。アライメント後、切削ユニット８を用いて被加工物１１を切削（加工）する。

切削後、チャックテーブル１０をＸ軸方向に移動させ、アッパーアーム３０の下方に位置付ける。そして、アッパーアーム３０で被加工物ユニット１７を洗浄ユニットへ搬送し、洗浄ユニットで被加工物ユニット１７を洗浄する。

洗浄後、ロアアームで、被加工物ユニット１７をガイドレール２４に搬送する。そして、環状フレーム１５の外周の一部を押し当て部２２ｅに接触させた状態で、移動プレート２２ａをカセット１２ａに近づく向きに移動させる。これにより、被加工物ユニット１７をガイドレール２４からカセット１２ａへ押し込む。

次に、カメラ収容部８ａ、カメラユニット８ｂ等について説明する。図３は、カメラ収容部８ａ等の一部断面側面図である。なお、図３では、カメラ収容部８ａのみ断面で示す。また、構成要素の一部をブロック図で示す。

カメラ収容部８ａの下面のうち、カメラユニット８ｂの下方に対応する位置には、円形の開口３２ａが設けられている。また、カメラ収容部８ａの上面には、カメラユニット８ｂの構成要素を貫通させるための円形の開口３２ｂ及び３２ｃが設けられている。

更に、カメラ収容部８ａの上面のうち開口３２ｂ及び開口３２ｃと異なる位置には、カメラ収容部８ａ内にエアーＡを供給するための円筒形状の供給口３２ｄが設けられている。供給口３２ｄには、電磁弁３４を介して、エアー供給源３６が接続されている。エアー供給源３６は、例えば、コンプレッサーで圧縮されたエアー（空気）から不純物や水分が除去された圧縮エアーが充填されたエアータンクである。

電磁弁３４を開状態にすると、カメラ収容部８ａ内にはエアーＡが供給され、カメラ収容部８ａ内はエアーＡで充填される。電磁弁３４を閉状態にすると、カメラ収容部８ａ内へのエアーＡの供給が停止される。なお、電磁弁３４の開閉は、例えば、制御部１６により制御される。

カメラ収容部８ａ内には、カメラユニット８ｂが収容されている。カメラユニット８ｂは、レンズホルダ３８を有する。レンズホルダ３８には、対物レンズ３８ａが固定されている。レンズホルダ３８及び対物レンズ３８ａは、カメラ収容部８ａ内の開口３２ａ上に位置する。

対物レンズ３８ａの上方には、略円柱状の固定部材４０が設けられている。固定部材４０は、上述の開口３２ｂを貫通する様に設けられている。固定部材４０の底部には、ＬＥＤ光源４０ａが固定されている。

また、対物レンズ３８ａの上方には、円筒形状の撮像素子固定部材４２が設けられている。撮像素子固定部材４２は、上述の開口３２ｃを貫通する様に設けられている。撮像素子固定部材４２内には、撮像素子４２ａが固定されている。

撮像素子４２ａは、例えば、ＣＣＤイメージセンサ、ＣＭＯＳイメージセンサ等である。ＬＥＤ光源４０ａ及び撮像素子４２ａと対物レンズ３８ａとの間には、ミラー４４ａ及び半透過ミラー４４ｂが設けられている。

ＬＥＤ光源４０ａが発した光は、ミラー４４ａで反射された後、半透過ミラー４４ｂに入射する。半透過ミラー４４ｂに入射した光の一部は、半透過ミラー４４ｂで反射されて、対物レンズ３８ａに入射する。

対物レンズ３８ａを透過した光は、被加工物１１等に照射される。被加工物１１等からの反射光は、対物レンズ３８ａ及び半透過ミラー４４ｂを透過し、撮像素子４２ａで受光される。

カメラ収容部８ａ内において、カメラユニット８ｂとは異なる位置には、カバー板移動機構４６が設けられている。カバー板移動機構４６は、略円筒形状のエアシリンダ（アクチュエータ）４８を有する。エアシリンダ４８は、低透磁率の金属（例えば、非磁性ステンレス鋼）で形成されている。

エアシリンダ４８には、給気機構及び排気機構（いずれも不図示）が接続されている。エアシリンダ４８の給気機構及び排気機構には、例えば、エアー供給源３６からエアーＡが供給される。なお、給気機構及び排気機構は、例えば、制御部１６により制御される。

エアシリンダ４８のシリンダチューブ内には、ロッド５０の一端側が収容されている。ロッド５０の他端側には、カバー板（可動部）５２が取り付けられている。カバー板５２の位置は、エアシリンダ４８のシリンダチューブ内に給気するか、シリンダチューブから排気するかにより制御される。

シリンダチューブ内に給気された場合、ロッド５０が押し出される。図３は、ロッド５０が押し出された状態を示す。このときカバー板５２は、対物レンズ３８ａと開口３２ａとの間の位置（第１位置）にある。

カバー板５２が第１位置にあるとき、カバー板５２と開口３２ａとの間には、環状の隙間Ｂが形成される。また、このとき、固定部材４０と開口３２ｂとの間には環状の隙間Ｃが形成され、撮像素子固定部材４２と開口３２ｃとの間には環状の隙間Ｄが形成される。

この状態で、電磁弁３４を開状態にすると、隙間Ｂ、Ｃ及びＤには、カメラ収容部８ａの内側から外側へエアーＡの流れ（矢印を参照）が生じるので、カメラ収容部８ａの外部から、コンタミネーション、ミスト等が入り込むことを防止できる。それゆえ、コンタミネーション、ミスト等による、カメラユニット８ｂの劣化を防止できる。

エアシリンダ４８からエアーＡが排気された場合、ロッド５０はエアシリンダ４８内に引き込まれる。これにより、（第１位置）から退避して、エアシリンダ４８近傍の位置（第２位置）に移動する。

例えば、被加工物１１の加工前のアライメントや、加工中のカーフチェック時には、被加工物１１を撮像するために、カバー板５２を第２位置へ移動させる。これにより、対物レンズ３８ａは、開口３２ａを通じて外部に露出される。

なお、再び、エアシリンダ４８内にエアーＡを充填させると、カバー板５２は、対物レンズ３８ａと開口３２ａとの間の位置（第１位置）に移動する。この様に、給気及び排気により、カバー板５２は、第１位置と第２位置との間で移動する。

図４（Ａ）は、カバー板５２が第１位置Ｐ１にある場合のカバー板移動機構４６等の側面図である。図４（Ｂ）はカバー板５２が第２位置Ｐ２にある場合のカバー板移動機構４６等の側面図である。

カバー板５２とは反対側のロッド５０の端部には、円盤状のピストン５４が設けられている。ピストン５４の外周の一部には、永久磁石５６が設けられている。また、エアシリンダ４８の上部側には、センサ部５８が設けられている。

センサ部５８は、各々ホール素子、フラックス・ゲートセンサ等である、第１の磁気センサ５８ａ及び第２の磁気センサ５８ｂを有する。第１の磁気センサ５８ａと第２の磁気センサ５８ｂとは、エアシリンダ４８の上部側の表面に固定されている。

第１の磁気センサ５８ａは、カバー板５２が位置Ｐ１にある場合の永久磁石５６の上方に位置する。カバー板５２が位置Ｐ１にある場合、第１の磁気センサ５８ａは、永久磁石５６からの磁束を検出して検出信号を生成する。

これに対して、第２の磁気センサ５８ｂは、カバー板５２が位置Ｐ２にある場合の永久磁石５６の上方に位置する。カバー板５２が位置Ｐ２にある場合、第２の磁気センサ５８ｂは、永久磁石５６からの磁束を検出して検出信号を生成する。

この様にして、センサ部５８は、カバー板５２が位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）のどちらに位置しているか検出できる。センサ部５８で生成された検出信号は、例えば、制御部１６へ送られる。

切削装置２でのフルオート加工の開始前、カバー板５２は、通常、位置Ｐ１にある。本実施形態では、フルオート加工の開始前に、エアシリンダ４８が正常に動作するか否かの動作確認を行う。具体的には、オペレータがモニタ１４を使用して、制御部１６からエアシリンダ４８へ駆動信号を送る。

エアシリンダ４８が正常に動作すると、カバー板５２は位置Ｐ２に移動し、第２の磁気センサ５８ｂから制御部１６へ検出信号が送られる。本実施形態の制御部１６は、第２の磁気センサ５８ｂから検出信号を受信する場合、表示ランプ１８等の警告部を動作させない。

これに対して、制御部１６からエアシリンダ４８へ駆動信号を送り、エアシリンダ４８を動作させようとしてもカバー板５２が位置Ｐ２へ移動しない場合、カバー板５２が位置Ｐ１（第１位置）に位置していることを第１の磁気センサ５８ａが検出する。そして、第１の磁気センサ５８ａは、制御部１６へ検出信号を送る。

この場合、制御部１６は、エアシリンダ４８が故障している又は異常であると判断し、表示ランプ１８等の警告部を動作させる。表示ランプ１８等の警告部が警告を発することで、オペレータは、エアシリンダ４８が故障状態又は異常状態であることが分かる。

これにより、被加工物１１の加工前に、エアシリンダ４８が正常に動作するか否かを確認できる。それゆえ、被加工物１１の加工中にエアシリンダ４８が動作しなくなる可能性を低減できる。

図５は、モニタ１４の表示の一例を示す図である。モニタ１４が起動状態であるとき、モニタ１４には、アイコン、文字等で構成された複数のボタンが表示されている。動作確認ボタン（動作指示部）１４ａは、フルオート加工の開始前に、エアシリンダ４８の動作確認を行うためのボタンである。

オペレータが、動作確認ボタン１４ａを押下又はタッチ（使用）すると、制御部１６は、エアシリンダ４８を動作させてカバー板５２を位置Ｐ１から位置Ｐ２へと移動させる様に、エアシリンダ４８へ駆動信号を送る。なお、クリアボタン１４ｂは、表示ランプ１８等の警告部が発した警告を停止させるためのボタンである。

イニシャルボタン１４ｃは、切削装置２の起動時に、切削装置２に設けられているボールネジの動作確認を行うためのボタンである。イニシャルボタン１４ｃを押下又はタッチすると、ナット部が原点位置へ移動するまで、ボールネジが回転する。

フルオート開始ボタン１４ｄは、切削装置２においてフルオート加工を開始させるためのボタンである。フルオート開始ボタン１４ｄが押下又はタッチすると、上述の切削手順に従い、被加工物１１が切削される。

エンターボタン１４ｅは、モニタ１４に表示された他のボタン（不図示）を用いて、空欄（不図示）に入力した内容を決定するためのボタンである。また、リターンボタン１４ｆは、空欄（不図示）に入力した内容を削除又は修正するためのボタンである。

次に、切削装置２を用いて被加工物１１を加工する加工方法について説明する。図６は、加工方法を示すフロー図である。まず、切削装置２が起動していない場合には、電源ボタン（不図示）を押下して、切削装置２を起動させる。

そして、モニタ１４のイニシャルボタン１４ｃを押下又はタッチして、ボールネジの動作確認を行う。なお、切削装置２が既に起動している場合は、ボールネジの動作確認を省略する。

次に、切削装置２を用いたフルオート加工の開始前に、モニタ１４の動作確認ボタン１４ａを押下又はタッチ（使用）して、制御部１６からエアシリンダ４８へ駆動信号を送る（動作確認開始ステップ（Ｓ２））。

そして、センサ部５８を用いて、エアシリンダ４８と一体となっているカバー板５２の位置を、制御部１６が判定することで、エアシリンダ４８等が正常に動作するか否かを確認する（確認ステップ（Ｓ４））。なお、本実施形態では、動作確認開始ステップ（Ｓ２）と、確認ステップ（Ｓ４）とを合わせて、事前確認ステップ（Ｓ１０）と称する。

Ｓ４で、カバー板５２が位置Ｐ２に位置していることをセンサ部５８が検出し、表示ランプ１８等の警告部が警告を発しなかった場合には（Ｓ４でＹＥＳ）、加工ステップ（Ｓ２０）が行われる。加工ステップ（Ｓ２０）では、上述の切削手順に従い、複数の被加工物１１がフルオートで加工される。

しかし、位置Ｐ１にカバー板５２が位置していることをセンサ部５８が検出し、表示ランプ１８等の警告部が警告を発した場合には（Ｓ４でＮＯ）、メンテナンスステップ（Ｓ３０）が行われる。

メンテナンスステップ（Ｓ３０）では、例えば、オペレータがエアシリンダ４８のメンテナンスを行う。例えば、オペレータは、エアシリンダ４８の修理、交換等を行う。そして、メンテナンスステップ（Ｓ３０）の後、再び、Ｓ２及びＳ４が行われる。Ｓ４でＹＥＳの場合、加工ステップ（Ｓ２０）が行われるが、Ｓ４でＮＯの場合、再び、メンテナンスステップ（Ｓ３０）が行われる。

本実施形態では、フルオート加工の開始前の事前確認ステップ（Ｓ１０）で、エアシリンダ４８が正常に動作するか否かを確認できる。それゆえ、被加工物１１の加工中にエアシリンダ４８が動作しなくなる可能性を低減できる。

次に、アクチュエータの他の実施形態について説明する。図７（Ａ）及び図７（Ｂ）を用いて、プッシュプルアーム２２内に設けられたエアシリンダ（アクチュエータ）６０の動作を説明する。

図７（Ａ）は、嘴部２２ｄが開状態である場合のヘッド部２２ｃの側面図であり、図７（Ｂ）は、嘴部２２ｄが閉状態である場合のヘッド部２２ｃの側面図である。なお、ヘッド部２２ｃは、低透磁率の金属（例えば、非磁性ステンレス鋼）で形成されている。

嘴部２２ｄは、一対の板部（第１の板部６２ａ及び第２の板部６２ｂ）を有する。第１の板部６２ａ及び第２の板部６２ｂの一端側は、ヘッド部２２ｃの前面側の側面に露出しているが、第１の板部６２ａ及び第２の板部６２ｂの他端側は、ヘッド部２２ｃ内に収容されている。なお、第１の板部６２ａの位置は、ヘッド部２２ｃに対して固定されている。

ヘッド部２２ｃ内には、略円筒形状のエアシリンダ６０が設けられており、エアシリンダ６０のシリンダチューブ（不図示）には、ロッド６２が嵌入している。第１の板部６２ａとは反対側の第２の板部６２ｂの一面には、エアシリンダ６０のロッド６２が固定されており、第２の板部（可動部）６２ｂは、第１の板部６２ａに対して相対的に移動できる。

第２の板部６２ｂとは反対側のロッド６２の端部には、円盤状のピストン６４が設けられている。ピストン６４の外周の一部（例えば、ヘッド部２２ｃの後面側）には、永久磁石６６が設けられている。

エアシリンダ６０の後面側の側面には、センサ部６８が設けられている。なお、センサ部６８も、エアシリンダ６０と同様に、ヘッド部２２ｃ内に設けられている。センサ部６８は、第１の磁気センサ６８ａと、第１の磁気センサ６８ａよりもヘッド部２２ｃの底面側に位置する第２の磁気センサ６８ｂとを有する。

嘴部２２ｄが開状態である場合、第２の板部６２ｂは、第１の板部６２ａから比較的離れた位置Ｐ１（第１位置）にある。この場合、第１の磁気センサ６８ａは、永久磁石６６の側方に位置するので、永久磁石６６からの磁束を検出して検出信号を生成する。

これに対して、嘴部２２ｄが閉状態である場合、第２の板部６２ｂは、第１の板部６２ａに比較的近い位置Ｐ２（第２位置）にある。この場合、第２の磁気センサ６８ｂは、永久磁石６６の側方に位置するので、永久磁石６６からの磁束を検出して検出信号を生成する。それゆえ、センサ部６８により、第２の板部６２ｂが位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）のどちらに位置しているか検出できる。

上述の事前確認ステップ（Ｓ１０）で、エアシリンダ６０が正常に動作するか否かを確認する場合、エアシリンダ６０が正常に動作すると、第２の板部６２ｂが位置Ｐ２に移動し、第２の磁気センサ６８ｂから制御部１６へ検出信号が送られる。この場合、制御部１６は、表示ランプ１８等の警告部を動作させない。

これに対して、エアシリンダ６０を動作させようとしても第２の板部６２ｂが位置Ｐ２へ移動しない場合、第１の磁気センサ６８ａは、第２の板部６２ｂが位置Ｐ１（第１位置）に位置していることを検出し、制御部１６へ検出信号を送る。

制御部１６が第１の磁気センサ６８ａから検出信号を受信した場合、制御部１６は、エアシリンダ６０が故障している又は異常であると判断し、表示ランプ１８等の警告部を動作させる。表示ランプ１８等の警告部が警告を発することで、オペレータは、エアシリンダ６０が故障状態又は異常状態であることが分かる。

これにより、被加工物１１の加工前に、エアシリンダ６０が正常に動作するか否かを確認できる。それゆえ、被加工物１１の加工中にエアシリンダ６０が動作しなくなる可能性を低減できる。

なお、位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）は、上述の例に限定されるものではない。例えば、嘴部２２ｄが開状態である場合（図７（Ａ））の第２の板部６２ｂの位置を位置Ｐ２（第２位置）と見なし、嘴部２２ｄが閉状態である場合（図７（Ｂ））の第２の板部６２ｂの位置を位置Ｐ１（第１位置）と見なしてもよい。

次に、アクチュエータの更なる他の実施形態について説明する。本実施形態のアクチュエータは、アッパーアーム３０の昇降機構である。図８（Ａ）及び図８（Ｂ）は、アッパーアーム３０に設けられたエアシリンダ部（アクチュエータ）３０ｂの動作を示す。図８（Ａ）は、収縮状態のアッパーアーム３０の側面の部分拡大図であり、図８（Ｂ）は、延伸状態のアッパーアーム３０の側面の部分拡大図である。

ピストンロッド３０ｃの一端部にはアーム部（可動部）３０ｄが固定されている。ピストンロッド３０ｃの他端部には、円盤状のピストン７４が設けられている。ピストン７４の外周の一部（例えば、エアシリンダ部３０ｂの後面側）には、永久磁石７６が設けられている。

エアシリンダ部３０ｂは、低透磁率の金属（例えば、非磁性ステンレス鋼）で形成されており、エアシリンダ部３０ｂの後面側の側面には、センサ部７８が設けられている。センサ部７８は、第１の磁気センサ７８ａと、第１の磁気センサ７８ａよりも下方に位置する第２の磁気センサ７８ｂとを有する。

アッパーアーム３０が収縮状態である場合、アーム部３０ｄは、位置Ｐ１（第１位置）にある。この場合、第１の磁気センサ７８ａは、永久磁石７６の側方に位置するので、永久磁石６６からの磁束を検出して検出信号を生成する。

これに対して、アッパーアーム３０が延伸状態である場合、アーム部３０ｄは、位置Ｐ１よりも下方の位置Ｐ２（第２位置）にある。この場合、第２の磁気センサ７８ｂは、永久磁石７６の側方に位置するので、永久磁石７６からの磁束を検出して検出信号を生成する。それゆえ、センサ部７８は、アーム部３０ｄが位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）のどちらに位置しているか検出できる。

上述の事前確認ステップ（Ｓ１０）で、エアシリンダ部３０ｂが正常に動作するか否かを確認する場合、エアシリンダ部３０ｂが正常に動作すると、アーム部３０ｄが位置Ｐ２に移動し、第２の磁気センサ７８ｂから制御部１６へ検出信号が送られる。この場合、制御部１６は、表示ランプ１８等の警告部を動作させない。

これに対して、エアシリンダ部３０ｂを動作させようとしてもアーム部３０ｄが位置Ｐ２へ移動しない場合、第１の磁気センサ７８ａは、アーム部３０ｄが位置Ｐ１（第１位置）に位置していることを検出し、制御部１６へ検出信号を送る。

制御部１６が第１の磁気センサ７８ａから検出信号を受信した場合、制御部１６は、エアシリンダ部３０ｂが故障している又は異常であると判断し、表示ランプ１８等の警告部を動作させる。表示ランプ１８等の警告部が警告を発することで、オペレータは、エアシリンダ部３０ｂが故障状態又は異常状態であることが分かる。

これにより、被加工物１１の加工前に、エアシリンダ部３０ｂが正常に動作するか否かを確認できる。それゆえ、被加工物１１の加工中にエアシリンダ部３０ｂが動作しなくなる可能性を低減できる。

なお、位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）は、上述の例に限定されるものではない。例えば、アッパーアーム３０が収縮状態である場合（図８（Ａ））のアーム部３０ｄの位置を位置Ｐ２（第２位置）と見なし、アッパーアーム３０が延伸状態である場合（図８（Ｂ））のアーム部３０ｄの位置を位置Ｐ１（第１位置）と見なしてもよい。

次に、アクチュエータの更なる他の実施形態について説明する。図９（Ａ）は、開状態のクランプ１０ｂの斜視図であり、図９（Ｂ）は開状態のクランプ１０ｂの側面図である。クランプ１０ｂは、環状フレーム１５が載置されるフレーム支持部材８０を有する。

フレーム支持部材８０は、直方体形状の第１部材８０ａを含む。また、第１部材８０ａの長辺の両端には、この長辺に直交する態様で、略直方体形状の第２部材８０ｂがそれぞれ設けられている。第１部材８０ａ及び第２部材８０ｂは、低透磁率の金属（例えば、非磁性ステンレス鋼）で形成されている。

フレーム支持部材８０の一部（例えば、第１部材８０ａ）に固定される態様で、一対の第２部材８０ｂの間には、略円柱状の駆動部（アクチュエータ）８２が設けられている。駆動部８２内には、回転軸８２ａと、回転軸８２ａに固定されたベーン（不図示）とが設けられている。

駆動部８２は、エアーによりベーンを回転させるエアーアクチュエータである。駆動部８２内には、ベーンの移動範囲を所定範囲に留めるためのストッパ（不図示）が設けられている。更に、駆動部８２には、２つの給気孔（不図示）が設けられている。

第１の給気孔から駆動部８２内に給気し、第２の給気孔からは給気しないことで、ベーン及び回転軸８２ａは、例えば、時計回りに回転する。これに対して、第２の給気孔から駆動部８２内に給気し、第１の給気孔からは給気しないことで、ベーン及び回転軸８２ａは、例えば、反時計回りに回転する。

回転軸８２ａは、駆動部８２の円形の両側面から突出しており、この突出部分には、一対のアーム部８４ａの一端部が固定されている。回転軸８２ａとは反対側の各アーム部８４ａの他端部には、平板状のフレーム押さえ部８４ｂが接続している。一対のアーム部８４ａと、フレーム押さえ部８４ｂとは、フレーム固定部材（可動部）８４を構成する。

クランプ１０ｂが開状態であるとき、アーム部８４ａは第１部材８０ａの上面と略平行な位置Ｐ１（第１位置）にあり、フレーム押さえ部８４ｂは第１部材８０ａの上面から退避した位置にある。

アーム部８４ａの一端部と他端部との間には、永久磁石８６が設けられている。永久磁石８６は、回転軸８２ａと平行な方向で、１つの第２部材８０ｂの内側側面に対向している。

当該１つの第２部材８０ｂの外側側面には、第１の磁気センサ８８ａが設けられている。第１の磁気センサ８８ａは、クランプ１０ｂが開状態であるとき、第２部材８０ｂを介して、回転軸８２ａと平行な方向で永久磁石８６と対向する。このとき、第１の磁気センサ８８ａは、永久磁石８６からの磁束を検出して検出信号を生成する。

図１０（Ａ）は閉状態のクランプ１０ｂの斜視図であり、図１０（Ｂ）は閉状態のクランプ１０ｂの側面図である。クランプ１０ｂが閉状態であるとき、アーム部８４ａは第１部材８０ａの上面と略直交する位置Ｐ２（第２位置）にあり、フレーム押さえ部８４ｂは第１部材８０ａの上面を覆う位置にある。

上述の１つの第２部材８０ｂの外側側面において、第１の磁気センサ８８ａと異なる位置には、第２の磁気センサ８８ｂが設けられている。なお、第１の磁気センサ８８ａ及び第２の磁気センサ８８ｂは、センサ部８８を構成する。

第２の磁気センサ８８ｂは、クランプ１０ｂが閉状態であるとき、第２部材８０ｂを介して、回転軸８２ａと平行な方向で永久磁石８６と対向する。このとき、第２の磁気センサ８８ｂは、永久磁石８６からの磁束を検出して検出信号を生成する。それゆえ、センサ部８８は、アーム部８４ａが位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）のどちらに位置しているか検出できる。

上述の事前確認ステップ（Ｓ１０）で、駆動部８２の動作確認を行う場合、駆動部８２が正常に動作すると、フレーム固定部材８４が位置Ｐ２に移動し、第２の磁気センサ８８ｂから制御部１６へ検出信号が送られる。この場合、制御部１６は、表示ランプ１８等の警告部を動作させない。

これに対して、駆動部８２を動作させようとしてもフレーム固定部材８４が位置Ｐ２へ移動しない場合、第１の磁気センサ８８ａは、フレーム固定部材８４が位置Ｐ１（第１位置）に位置していることを検出し、制御部１６へ検出信号を送る。

制御部１６が第１の磁気センサ８８ａから検出信号を受信した場合、制御部１６は、駆動部８２が故障している又は異常であると判断し、表示ランプ１８等の警告部を動作させる。

表示ランプ１８等の警告部が警告を発することで、オペレータは、駆動部８２が故障状態又は異常状態であることが分かる。これにより、被加工物１１の加工前に、駆動部８２が正常に動作するか否かを確認できるので、被加工物１１の加工中に駆動部８２が動作しなくなる可能性を低減できる。

なお、位置Ｐ１（第１位置）及び位置Ｐ２（第２位置）は、上述の例に限定されるものではない。例えば、クランプ１０ｂが開状態である場合（図９（Ａ）及び図９（Ｂ））のフレーム固定部材８４の位置を位置Ｐ２（第２位置）と見なし、クランプ１０ｂが閉状態である場合（図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ））のフレーム固定部材８４の位置を位置Ｐ１（第１位置）と見なしてもよい。

その他、上記実施形態に係る構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。例えば、事前確認ステップ（Ｓ１０）では、１つのアクチュエータに限らず、複数のアクチュエータの動作を確認してもよい。

また、モニタ１４の画面構成は上述の例に限定されない。モニタ１４の画面において、動作確認ボタン１４ａは省略してもよい。この場合、フルオート開始ボタン１４ｄを使用（押下又はタッチ）すると、まず、事前確認ステップ（Ｓ１０）が行われる。

２ 切削装置
４ 基台
４ａ 開口
６ カバー
６ａ 前面
８ 切削ユニット（加工ユニット）
８ａ カメラ収容部
８ｂ カメラユニット
１０ チャックテーブル（保持テーブル）
１０ａ 保持面
１０ｂ クランプ
１１ 被加工物
１２ カセット支持台
１２ａ カセット
１３ ダイシングテープ
１４ モニタ（入力部）
１４ａ 動作確認ボタン（動作指示部）
１４ｂ クリアボタン
１４ｃ イニシャルボタン
１４ｄ フルオート開始ボタン
１４ｅ エンターボタン
１４ｆ リターンボタン
１５ 環状フレーム
１６ 制御部
１７ 被加工物ユニット
１８ 表示ランプ
２０ プッシュプルアーム移動機構
２２ プッシュプルアーム
２２ａ 移動プレート
２２ｂ アーム部
２２ｃ ヘッド部
２２ｄ 嘴部
２２ｅ 押し当て部
２４ ガイドレール
３０ アッパーアーム
３０ａ 移動プレート
３０ｂ エアシリンダ部
３０ｃ ピストンロッド
３０ｄ アーム部
３０ｅ ハンド部
３０ｆ 吸着部
３２ａ，３２ｂ，３２ｃ 開口
３２ｄ 供給口
３４ 電磁弁
３６ エアー供給源
３８ レンズホルダ
３８ａ 対物レンズ
４０ 固定部材
４０ａ ＬＥＤ光源
４２ 撮像素子固定部材
４２ａ 撮像素子
４４ａ ミラー
４４ｂ 半透過ミラー
４６ カバー板移動機構
４８，６０ エアシリンダ（アクチュエータ）
５０ ロッド
５２ カバー板（可動部）
５４，６４，７４ ピストン
５６，６６，７６，８６ 永久磁石
５８，６８，７８，８８ センサ部
５８ａ，６８ａ，７８ａ，８８ａ 第１の磁気センサ
５８ｂ，６８ｂ，７８ｂ，８８ｂ 第２の磁気センサ
６２ ロッド
６２ａ 第１の板部
６２ｂ 第２の板部（可動部）
８０ フレーム支持部材
８０ａ 第１部材
８０ｂ 第２部材
８２ 駆動部（アクチュエータ）
８２ａ 回転軸
８４ フレーム固定部材（可動部）
８４ａ アーム部
８４ｂ フレーム押さえ部
Ａ エアー
Ｂ，Ｃ，Ｄ 隙間
Ｐ１ 第１位置
Ｐ２ 第２位置

Claims (3)

1. 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを制御する制御部と、該制御部に情報を入力可能なタッチパネル式のモニタである入力部と、を備える加工装置であって、
   第１位置から第２位置に移動させられる様に構成されている可動部と、
   該被加工物を加工する場合に、該可動部を該第１位置から該第２位置に移動させるためのアクチュエータと、
   該可動部が該第１位置及び該第２位置のどちらに位置しているかを検出するセンサ部と、
   該可動部が該第１位置に位置していることを該センサ部が検出した場合に警告を発する警告部と、
   を備え、
   該モニタが起動状態であるときに、該モニタには、該アクチュエータを動作させて該可動部を該第１位置から該第２位置へと移動させる場合に使用される動作確認ボタンが表示され、
   該加工装置による該被加工物のフルオートでの加工の開始前に、オペレータが該動作確認ボタンを押すことにより、該可動部の動作確認が行われ、
   該可動部を該第１位置から該第２位置へと移動させるために該制御部が該アクチュエータを動作させようとしたにも関わらず、該可動部が該第２位置へ移動せずに該第１位置に位置する場合に、該警告部は警告を発することを特徴とする加工装置。
2. 被加工物を保持する保持テーブルと、該保持テーブルで保持された該被加工物を加工する加工ユニットと、該加工ユニットを制御する制御部と、該制御部に情報を入力可能なタッチパネル式のモニタである入力部と、を備える加工装置で該被加工物を加工する加工方法であって、
   アクチュエータにより第１位置から第２位置に移動させられる様に構成されている可動部を該第１位置から該第２位置へ移動させるために、該モニタが起動状態であるときに該モニタに表示される動作確認ボタンを使用して該アクチュエータが該第１位置から該第２位置へと正常に動作するか否かを確認する事前確認ステップと、
   該事前確認ステップ後、該保持テーブルで該被加工物を保持し、該加工ユニットで該被加工物に対してフルオートでの加工を行う加工ステップと、
   を備えることを特徴とする加工方法。
3. 該可動部が該第１位置及び該第２位置のどちらに位置しているかを検出するセンサ部が該第２位置に該可動部が位置していることを検出し、該第１位置に該可動部が位置していることを該センサ部が検出したときに警告を発する警告部が警告を発しなかった場合、該事前確認ステップ後、該加工ステップが行われ、
   該第１位置に該可動部が位置していることを該センサ部が検出し、該警告部が警告を発した場合、該アクチュエータのメンテナンスを行うメンテナンスステップを、該事前確認ステップ後且つ該加工ステップの前に更に備えることを特徴とする請求項２に記載の加工方法。
   

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