JP2018031709A - 検査装置、および検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims abstract description 123
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 13
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims abstract description 163
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims abstract description 157
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 32
- 238000007726 management method Methods 0.000 description 10
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 被検査物に照射された光に基づいて前記被検査物を検査するための検査装置であって、当該検査装置が、前記被検査物に光を照射する落射照明と、前記被検査物に光を照射する側射照明と、前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記被検査物により反射した光に基づいて前記被検査物を撮像する撮像装置とを備え、前記撮像装置が、前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像を行うことを特徴とする検査装置。
- 前記撮像装置が、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像との全ての撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。
- 前記撮像装置が、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの1の撮像と、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と別の撮像とを行う際に、前記1の撮像時のシャッタースピードと前記別の撮像時のシャッタースピードとを変更することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 被検査物に光を照射する落射照明と、前記被検査物に光を照射する側射照明と、前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記被検査物により反射した光に基づいて前記被検査物を撮像する撮像装置とを備えた検査装置を用いて、前記被検査物を検査する検査方法であって、当該検査方法が、前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像を、前記撮像装置により行う撮像工程と、前記撮像工程において行われた前記少なくとも2つの撮像により得られる画像に基づいて、前記被検査物を検査する検査工程とを含むことを特徴とする検査方法。
- 被検査物に照射された光に基づいて前記被検査物を検査するための検査装置であって、当該検査装置が、前記被検査物に光を照射する第1照明と、前記被検査物に光を照射する第2照明と、前記第1照明と前記第2照明との少なくとも一方から照射された際に前記被検査物により反射した光に基づいて前記被検査物を撮像する撮像装置とを備え、前記撮像装置が、前記第1照明と前記第2照明との両方から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である全照射撮像と、前記第2照明から照射されず、前記第1照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である第1照射撮像と、前記第1照明から照射されず、前記第2照明から照射された際に、前記被検査物により反射した光に基づく前記被検査物の撮像である第2照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像を行うことを特徴とする検査装置。
- 前記被検査物が、前記第1照明と前記第2照明との少なくとも一方と向かい合う端面を有し、当該検査装置が、前記全照明撮像と前記第1撮像と前記第2撮像とのうちの1の撮像により得られる画像に基づいて、前記被検査物の前記端面を検査し、前記全照明撮像と前記第1撮像と前記第2撮像とのうちの前記1の撮像と異なる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記被検査物の前記端面以外の部分を検査することを特徴とする請求項5に記載の検査装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2016165228A JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2016165228A JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2018031709A true JP2018031709A (ja) | 2018-03-01 |
JP6830329B2 JP6830329B2 (ja) | 2021-02-17 |
Family
ID=61303155
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016165228A Active JP6830329B2 (ja) | 2016-08-26 | 2016-08-26 | 検査装置、および検査方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP6830329B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2021163777A (ja) * | 2020-03-30 | 2021-10-11 | ヤマハ発動機株式会社 | 実装機 |
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