JP2024000151A - 吸着ノズル検査装置および吸着ノズル管理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】吸着ノズルの内部における異物の滞留状況や吸着ノズルの狭窄変形の有無などを判定可能な画像を取得することができる吸着ノズル検査装置を提供する。【解決手段】吸着ノズル検査装置は、基端側からエア流路に負圧エアが供給されて先端側の開口部で部品を吸着する吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部と、保持された前記吸着ノズルの前記エア流路に連通する連通流路を経由して、前記吸着ノズルの前記基端側から内部に向けて照明光を照射する第１ライトと、前記第１ライトが前記照明光を照射しているときに、前記吸着ノズルの先端および前記内部を撮像して第１画像を取得するカメラと、を備える。【選択図】図５

Description

本明細書は、部品の装着動作を行う吸着ノズルを検査する吸着ノズル検査装置、およびこの吸着ノズル検査装置を含んで構成される吸着ノズル管理装置に関する。

回路パターンが形成された基板に対基板作業を実施して、基板製品を量産する技術が普及している。対基板作業を実施する対基板作業機の代表例として、部品の装着作業を実施する部品装着機がある。多くの部品装着機は、負圧エアの供給により部品を吸着して基板への装着を行う吸着ノズルを使用する。吸着ノズルを長期にわたって使用すると、内部のエア流路に塵埃等の異物が侵入して滞留し、性能が低下するおそれが生じる。この対策として、吸着ノズルの内部を清掃したり、吸着ノズルの性能を検査したりする吸着ノズル管理装置が実用化されている。吸着ノズル管理装置に関連する技術例が、特許文献１、２に開示されている。

特許文献１の吸着ノズル管理装置では、洗浄水を用いて吸着ノズルの内部を洗浄した後に、吸着ノズルの上方および下方から交互にエアを吹き込んで乾燥を行う。これによれば、吸着ノズルを十分に乾燥することができ、その後に行う荷重検査やエア流量検査の精度を低下させない効果が生じる、とされている。

また、特許文献２の物品保持ヘッドは、先端で物品を保持するノズルと、透明な材質で構成されてノズルを保持する透明保持部材と、ノズルの基端側に形成されて透明保持部材を介して物品を撮像するための撮像空間と、を備える。これによれば、透明保持部材を介する撮像により、ノズルと物品の位置関係を認識して、物品を被搭載物に載置するときの位置決め精度を向上させることができる、とされている。

国際公開第２０１９／２４４１９７号 特開２０２２－３６４４８号公報

ところで、特許文献１の装置において、吸着ノズル内部のエア流路に異物が滞留しているか否かを、エア流量検査によって間接的に検査する。しかしながら、間接的な検査方法であるため、異物の滞留状況の判定において、要求される判定精度によっては十分な結果を得られないおそれがある。特に細径の吸着ノズルに関しては、動作時のエア流量が少ないので、測定誤差やエアリークの影響等により判定精度が低下しがちであった。このため、異物の滞留状況を視覚的に直接的に検査する一方法として撮像検査が行われる。撮像検査では、吸着ノズルの先端から内部に向けて照明光を照射し、カメラを用いて撮像を行う。しかしながら、細径の吸着ノズルでは、内部まで照明光が到達しないので、異物を撮像することが困難となっていた。

また、特許文献２に開示される吸着ノズルを基端側から撮像する方法を異物の撮像に応用しても、吸着ノズルを保持するノズル保持部がカメラ視野に含まれて撮像を阻害するため、吸着ノズルの内部を撮像することが難しい。また、開示されるように透明な材質のノズル保持部を介する撮像を行っても、照明光の散乱や通過光量の低下などによる画質低下のおそれがあり、十分な判定精度を期待することができない。

それゆえ、本明細書では、吸着ノズルの内部における異物の滞留状況や吸着ノズルの狭窄変形の有無などを判定可能な画像を取得することができる吸着ノズル検査装置、および、この吸着ノズル検査装置を含んで構成される吸着ノズル管理装置を提供することを解決すべき課題とする。

本明細書は、基端側からエア流路に負圧エアが供給されて先端側の開口部で部品を吸着する吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部と、保持された前記吸着ノズルの基端側から内部に向けて照明光を照射する第１ライトと、前記第１ライトが前記照明光を照射しているときに、先端側から前記内部を撮像して第１画像を取得するカメラと、を備える吸着ノズル検査装置を開示する。

また、本明細書は、前記した吸着ノズル検査装置と、前記吸着ノズルの前記内部を液体で洗浄または気体でブローする清掃装置、前記吸着ノズル検査装置と異なる検査項目を実施する異種検査装置、ならびに、前記吸着ノズルの少なくとも清掃および検査に関する履歴を管理する履歴管理装置のうち一つ以上の装置と、を具備する吸着ノズル管理装置を開示する。

なお、本明細書では、出願当初の請求項４において「請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置」を「請求項１～３のいずれか一項に記載の吸着ノズル検査装置」に変更した技術的思想、出願当初の請求項６において「請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置」を「請求項１～５のいずれか一項に記載の吸着ノズル検査装置」に変更した技術的思想、出願当初の請求項７において「請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置」を「請求項１～６のいずれか一項に記載の吸着ノズル検査装置」に変更した技術的思想、および、出願当初の請求項９において「請求項３に記載の吸着ノズル検査装置」を「請求項３または５に記載の吸着ノズル検査装置」に変更した技術的思想を開示している。さらに、本明細書では、出願当初の請求項１２において「請求項１０に記載の吸着ノズル管理装置」を「請求項１０または１１に記載の吸着ノズル管理装置」に変更した技術的思想を開示している。

本明細書で開示する吸着ノズル検査装置や吸着ノズル管理装置では、第１ライトが吸着ノズルの基端側から内部に向けて照明光を照射しているときに、カメラが先端側から内部を撮像して第１画像を取得する。このとき、吸着ノズルの内部に滞留する異物や吸着ノズルの狭窄変形などに応じて照明光の通過状況が正常時から変化し、第１画像に反映される。したがって、吸着ノズルの内部における異物の滞留状況や吸着ノズルの狭窄変形の有無などを判定可能な画像を取得することができる。

吸着ノズルを使用する部品装着機の斜視図である。 吸着ノズルの外観を示す斜視図である。 吸着ノズル検査装置を含んで構成される吸着ノズル管理装置の外観を示す斜視図である。 吸着ノズル管理装置の外装ケースを取り外して内部構造を示した斜視図である。 吸着ノズルの側面断面、および第１実施形態の吸着ノズル検査装置の構成を模式的に示す側面部分断面図である。 吸着ノズルの内部が正常である場合の第１画像の例を模式的に示す図である。 吸着ノズルの内部に異物が滞留している状況を模式的に示す側面断面図である。 吸着ノズルの内部に異物が滞留している場合の第１画像の例を模式的に示す図である。 第２実施形態の吸着ノズル検査装置の構成を模式的に示す側面部分断面図である。 第２実施形態の吸着ノズル検査装置の動作を説明する動作フローの図である。 第２画像の一例を模式的に示す図である。 第１画像の一例を模式的に示す図である。 明優先処理により図１１の第２画像と図１２の第１画像を合成した合成画像を模式的に示す図である。 吸着ノズル管理装置の総合的な動作を説明する動作フローの図である。

１．吸着ノズル６０および部品装着機１４の構成
まず、第１実施形態の吸着ノズル検査装置１７０（図５参照）の検査対象となる吸着ノズル６０、および吸着ノズル６０を使用する部品装着機１４の構成について、図１、図２、および図５を参考にして説明する。図１に示されるように、２台の部品装着機１４がシステムベース１２の上に隣接して配置される。部品装着機１４が並ぶ方向は、基板を搬送するＸ軸方向に一致しており、Ｘ軸方向に直交する水平方向がＹ軸方向となる。部品装着機１４は、装着機筐体２０、基板搬送装置２２、ヘッド移動装置２４、装着ヘッド２６、部品供給装置２８、ノズルステーション３０、および部品カメラ３１などを備える。

装着機筐体２０は、フレーム部３２と、フレーム部３２の上部に架け渡されたビーム部３４とにより構成される。さらに、ビーム部３４の上方には、開閉可能なカバー３５が設けられる。カバー３５は、左奥側の部品装着機１４に示され、右手前側の部品装着機１４では図示省略されている。

基板搬送装置２２は、二組のコンベア装置（４０、４２）および基板保持機構（図示省略）を備える。二つのコンベア装置（４０、４２）は、互いに平行し、かつＸ軸方向に延びるようにフレーム部３２に設けられる。コンベア装置（４０、４２）の各々は、モータ（図示省略）によって輪転駆動され、支持する基板をＸ軸方向に搬送する。二つの基板保持機構は、コンベア装置（４０、４２）の各々の概ね中央の下部に配置される。基板保持機構の各々は、基板を所定の装着作業位置に保持する。

部品供給装置２８は、図１に示されるように、複数のテープフィーダ７２がＸ軸方向に並んで構成される。テープフィーダ７２の各々は、テープリールを回転可能に収容する。テープリールには、複数の部品を一列に並べて保持するキャリアテープが巻回されている。テープフィーダ７２の各々は、テープ送り機構（図示省略）を用いてキャリアテープをピッチ送りで供給位置に送り出す。これにより、テープフィーダ７２は、供給位置で部品を供給する。

ヘッド移動装置２４は、ＸＹロボット型の装置である。ヘッド移動装置２４は、スライダ５０をＸ軸方向にスライドさせるＸ軸モータ（図示省略）、およびスライダ５０をＹ軸方向にスライドさせるＹ軸モータ（図示省略）を備える。スライダ５０の側面に、装着ヘッド２６が取り付けられる。装着ヘッド２６は、Ｘ軸モータおよびＹ軸モータに駆動されて、フレーム部３２上の任意の位置に移動することができる。装着ヘッド２６の下側に、吸着ノズル６０が設けられる。装着ヘッド２６は、吸着ノズル６０を用いてテープフィーダ７２の供給位置から部品を吸着し、その部品を基板に装着する。

吸着ノズル６０は、図２に示されるように、胴体筒６１、２本の掛止ピン６２、フランジ部６４、吸着管６６、および付勢ばね７４（図５参照）などで構成される。胴体筒６１は、起立した円筒形状を有する。２本の掛止ピン６２は、胴体筒６１の上端寄りの高さ位置であって、周方向に１８０°離れた位置にそれぞれ設けられる。掛止ピン６２の各々は、胴体筒６１の外周面から径方向外向きに延在するとともに（図２参照）、胴体筒６１の内周面から径方向内向きに突出する（図５参照）。

フランジ部６４は、円環形板状の部材で形成され、胴体筒６１の下側に固定される。フランジ部６４は、胴体筒６１よりも周方向外側および周方向内側に張り出している。フランジ部６４の上面には、二次元コード６５が付される。二次元コード６５は、少なくとも吸着ノズル６０の個体識別情報を含み、吸着ノズル６０の取り扱い方法等の他情報が対応付けられていてもよい。また、二次元コード６５と異なる形式のコード、例えばバーコードや数値列コードが吸着ノズル６０に付されてもよい。

吸着管６６は、胴体筒６１よりも細径の起立した円筒形状を有し、かつ胴体筒６１よりも長い。吸着管６６は、胴体筒６１およびフランジ部６４の内部に配置され、フランジ部６４よりも下方に突出する。吸着管６６の上面は、吸着ノズル６０の基端６７となり、吸着管６６の下面は、吸着ノズル６０の先端６８となる。また、吸着管６６の内部は、エア流路７０となる。エア流路７０は、基端６７側から先端６８側の開口部７１まで連通する。以降の説明で、異物が滞留し得る吸着ノズル６０の内部は、主としてエア流路７０を意味する。

開口部７１の開口形状として、長円形を例示することができる（図６参照）。長円形の開口部７１を有する吸着ノズル６０は、長方形の被吸着面をもつ部品の吸着に適する。これに限定されず、開口部７１の開口形状は、円形や楕円形、瓢箪形などでもよい。また、吸着管６６は、例えばジルコニアの焼成によって製造され、形状の個体差がある。このため、開口部７１のばらつきがある開口面積は、最小開口面積にプラスの誤差を許容した範囲で製造管理される。つまり、複数の吸着ノズル６０の開口部７１の実際の開口面積は、最小開口面積以上でばらつく。

図５に示されるように、吸着管６６の外周面の概ね中間高さ位置に、径方向外向きに突出する鍔部７３が設けられる。吸着管６６の外側に、コイル形状の付勢ばね７４が圧縮状態で挿入されている。付勢ばね７４は、胴体筒６１の径方向内向きに突出する掛止ピン６２と、吸着管６６の鍔部７３との間に位置する。付勢ばね７４は、胴体筒６１に対して吸着管６６を下方に付勢する。この構成によれば、吸着管６６は、胴体筒６１に対して相対的に昇降可能であり、換言すると、相対的に伸縮可能となっている。かつ、吸着管６６は、通常時に鍔部７３がフランジ部６４に接する伸長状態となる（図５に示される状態）。

装着ヘッド２６に設けられた吸着ノズル６０は、ノズル昇降機構（図示省略）に駆動されて昇降する。また、吸着ノズル６０のエア流路７０の基端６７側は、負圧エア流路および正圧エア流路（図示省略）を介して正負圧供給装置（図示省略）に連通する。吸着ノズル６０は、基端６７側からエア流路７０に負圧エアが供給されたときに、先端６８側の開口部７１で部品を吸着する。また、吸着ノズル６０は、エア流路７０に正圧エアが供給されたときに、開口部７１の部品を解放して基板に装着する。

吸着ノズル６０が下降して部品の吸着を行う際、吸着管６６の先端６８が部品に当接した後、さらに胴体筒６１が若干下降する。このとき、吸着管６６は、付勢ばね７４を圧縮して、鍔部７３がフランジ部６４から離隔した縮短状態に変化する。この結果、付勢ばね７４から吸着管６６を介して部品に作用する下向きの荷重が発生する。また、吸着ノズル６０が下降して部品の装着を行う際、吸着管６６の先端６８に保持している部品が基板に当接した後、さらに胴体筒６１が若干下降する。このとき、吸着管６６は、前述と同様、伸長状態から縮短状態に変化する。この結果、付勢ばね７４から吸着管６６を介して部品および基板に作用する下向きの荷重が発生する。部品が介在しない場合でも、吸着管６６が下降して何らかの物体に当接すれば、下向きの荷重が発生する。

図１に戻り、ノズルステーション３０は、部品供給装置２８に隣接して設けられる。ノズルステーション３０は、複数の吸着ノズル６０が入れ替え可能に収容されたノズルトレイ７６を有する。ノズルステーション３０では、装着ヘッド２６に取り付けられている吸着ノズル６０と、ノズルトレイ７６に収容されている吸着ノズル６０との交換が必要に応じて行われる。ノズルトレイ７６は、ノズルステーション３０に着脱可能であり、かつ、後述する吸着ノズル管理装置８０への搬入出が可能である。

部品カメラ３１は、基板搬送装置２２と部品供給装置２８の間に設けられる。部品カメラ３１は、光軸が上向きとなるように配置される。部品カメラ３１は、装着ヘッド２６が部品供給装置２８から基板に移動する途中で、吸着ノズル６０に保持された部品を下方から撮像して認識する。これにより、吸着ノズル６０に対する部品の位置や向きが検出されて装着作業に反映される。部品カメラ３１として、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置を例示することができる。

部品装着機１４では、基板搬送装置２２よって装着作業位置に保持された基板に対し、装着ヘッド２６に設けられた吸着ノズル６０を用いて部品の装着作業を行う。吸着ノズル６０を長期にわたって使用すると、内部のエア流路７０に塵埃等の異物が侵入する不具合、吸着ノズル６０の狭窄変形、およびその他の不具合が発生するおそれが高まる。このため、吸着ノズル６０を定期的にまたは必要に応じてメンテナンスし、管理することが好ましい。吸着ノズル６０を管理するために吸着ノズル管理装置８０を用いることができる。

２．吸着ノズル管理装置８０の全体構成
次に、吸着ノズル管理装置８０の全体構成について、図３および図４を参考にして説明する。吸着ノズル管理装置８０は、第１実施形態の吸着ノズル検査装置１７０を含んで構成される。吸着ノズル管理装置８０は、図３に示されるように、概ね縦長の直方体形状の外観を有する。吸着ノズル管理装置８０の正面の概ね中間高さに、扉８２が設けられる。扉８２は、前述したノズルトレイ７６の出し入れを可能としている。扉８２の上側に、タッチパネル８６が設けられる。タッチパネル８６は、各種情報の表示およびオペレータの入力操作を可能としている。

吸着ノズル管理装置８０は、図４に示されるように、筐体９０、パレット収容装置９２、移載装置９４、異種検査装置９６、洗浄装置９８、乾燥装置１００、制御装置１６０、および吸着ノズル検査装置１７０などで構成される。筐体９０は、中空枠構造のフレーム部１０２、およびフレーム部１０２の上方に架け渡された構造のビーム部１０４により構成される。

パレット収容装置９２は、フレーム部１０２の内部に設けられ、かつフレーム部１０２の上面に露出する。パレット収容装置９２は、複数のパレット載置棚１０６および支持アーム１０８を有する。複数のパレット載置棚１０６は、上下方向に並んで配置される。パレット載置棚１０６は、ノズルパレット１１０を載置するための棚である。ノズルパレット１１０の各々に、複数の吸着ノズル６０が収容される。

支持アーム１０８は、アーム駆動機構（図示省略）に駆動されて、複数のパレット載置棚１０６の前方で昇降するとともに、パレット載置棚１０６に接近および離間する。これにより、支持アーム１０８は、操作対象とするノズルパレット１１０をパレット載置棚１０６から取り出し、またノズルパレット１１０を逆方向に収納する。パレット載置棚１０６から取り出されたノズルパレット１１０は、支持アーム１０８の上昇によりフレーム部１０２の上面側に移動する。これにより、ノズルパレット１１０から吸着ノズル６０を取り出すことが可能となる。なお、ノズルトレイ７６は、ノズルパレット１１０と概ね同形であって、ノズルパレット１１０と同様に取り扱われてもよい。

移載装置９４は、ビーム部１０４に配設されている。移載装置９４は、移載ヘッド１２０およびヘッド駆動機構１２２を有する。ヘッド駆動機構１２２は、移載ヘッド１２０をフレーム部１０２上で前後方向、左右方向、および上下方向に移動させるＸＹＺ型の駆動機構である。一方、フレーム部１０２の前方側の上面には、ノズルトレイ７６をセットするための固定ステージ１３１が二つ設けられている。移載装置９４は、搬入されて固定ステージ１３１にセットされたノズルトレイ７６と、パレット収容装置９２の支持アーム１０８に支持されたノズルパレット１１０との間で、吸着ノズル６０を移載する。さらに、移載装置９４は、吸着ノズル６０を移動させる後述の様々な場面で動作する。移載ヘッド１２０の下面には、下方を向いた状態のカメラ１２６、吸着ノズル６０を着脱可能に保持するノズル保持部１２８、およびエア供給装置１３０が設けられる。

異種検査装置９６は、吸着ノズル検査装置１７０と異なる検査項目を実施する。異種検査装置９６は、ロードセル１４２およびジョイント１４６を有するとともに、移載装置９４を含んで構成される。ロードセル１４２は、フレーム部１０２の上面に配置される。ロードセル１４２を用いて、吸着ノズル６０の吸着管６６の伸縮状態を検査する荷重検査が行われる。詳述すると、検査対象の吸着ノズル６０は、その胴体筒６１が移載ヘッド１２０のノズル保持部１２８によって保持される。次に、ヘッド駆動機構１２２が移載ヘッド１２０および吸着ノズル６０を下降させて、吸着管６６をロードセル１４２に当接させる。このとき、ロードセル１４２は、付勢ばね７４から吸着管６６を介して作用する荷重を測定する。測定された荷重に基づいて、吸着管６６の伸縮状態の良否が判定される。

ジョイント１４６は、エア供給装置１３０の下面に配置されて、エア供給装置１３０からエアが供給される。エア供給装置１３０からジョイント１４６に供給されるエアを用いて、吸着ノズル６０のエア流量検査が行われる。詳述すると、ジョイント１４６は、ヘッド駆動機構１２２に駆動されて後述する洗浄パレット１５８に載置された吸着ノズル６０の上方に移動し、吸着ノズル６０に接続される。次に、エア供給装置１３０からジョイント１４６を経由して吸着ノズル６０にエアが供給される。エアの供給時に、エアの流量が測定され、吸着ノズル６０の内部におけるエアの流れの良否が判定される。検査に供給されるエアとして、例えば圧力が既知の正圧エアが用いられる。なお、エア流量検査に代えて、流れているエアの圧力を測定する検査が行われてもよい。

洗浄装置９８は、パレット収容装置９２の隣に設けられる。洗浄装置９８は、露出位置（図４で洗浄パレット１５８が図示されている位置）をもち、洗浄乾燥機構１５０および洗浄パレット移動機構１５２などで構成される。露出位置において、移載装置９４により吸着ノズル６０が洗浄パレット１５８に移載される。洗浄乾燥機構１５０は、洗浄パレット１５８に移載された吸着ノズル６０を対象として、洗浄水等の液体を用いる洗浄、およびエア等の気体を吹き付ける乾燥を内部で行う。洗浄パレット移動機構１５２は、洗浄パレット１５８を露出位置と、洗浄乾燥機構１５０の内部との間で移動させる。洗浄装置９８は、吸着ノズル６０の内部を液体で洗浄する清掃装置の一実施形態であり、吸着ノズル６０の内部を気体でブローする清掃装置に置き換えられてもよい。

乾燥装置１００は、露出位置に位置する洗浄パレット１５８の隣に設けられる。乾燥装置１００は、吸着ノズル６０の最終乾燥を行う。詳述すると、洗浄乾燥機構１５０では、洗浄パレット１５８に搭載された状態で吸着ノズル６０の乾燥が行われるため、十分に乾燥できないおそれがある。特に、吸着ノズル６０の相対移動可能な胴体筒６１と吸着管６６との間に洗浄水が残存して、荷重検査に影響を及ぼす場合が生じ得る。そこで、乾燥装置１００では、吸着ノズル６０の基端６７側および先端６８側から交互に乾燥用のエアを内部へ送り込んで、十分な最終乾燥を行う。

フレーム部１０２の上面には、複数の廃棄ボックス１４８が設けられる。いずれかの検査で不良と判定された吸着ノズル６０は、その大きさまたは種類、不良と判定された検査項目、再利用の可能性の有無などに基づいて分別され、廃棄ボックス１４８に廃棄される。一方、すべての検査で良と判定された吸着ノズル６０は、ノズルパレット１１０またはノズルトレイ７６に返却される。なお、不良と判定された吸着ノズル６０を直ちに廃棄せずに、洗浄装置９８および乾燥装置１００によるメンテンナンスの実施後に再検査を行うようにしてもよい。

制御装置１６０は、ＣＰＵやメモリ等を備えるコンピュータを用いて構成される。制御装置１６０は、通信接続されたタッチパネル８６の表示を制御するとともに、入力操作を受け付ける。制御装置１６０は、パレット収容装置９２、移載装置９４、異種検査装置９６、洗浄装置９８、乾燥装置１００、エア供給装置１３０、および吸着ノズル検査装置１７０を制御または駆動する。

制御装置１６０のソフトウェアを用いて履歴管理装置１６２が構成される。履歴管理装置１６２は、吸着ノズル６０の少なくとも清掃（洗浄）および検査に関する履歴をメモリ１６４に記憶して管理する。記憶された履歴は、部品装着機１４の稼動を管理する上位のホスト制御装置（図示省略）に転送される。また、部品装着機１４の制御部では、吸着ノズル６０の使用履歴を記憶するとともに、ホスト制御装置に転送する。ホスト制御装置は、吸着ノズル６０ごとに履歴データを編集して一元的に管理する。履歴データは、適宜更新処理されるとともに、履歴管理装置１６２および部品装着機１４の制御部から参照可能とされる。

３．第１実施形態の吸着ノズル検査装置１７０の構成
次に、第１実施形態の吸着ノズル検査装置１７０の構成について、図５を参考にして説明する。吸着ノズル検査装置１７０は、カメラ１８２で撮像した画像を用いて吸着ノズル６０の内部の状況を視覚的に検査し、または検査用の画像を表示する装置である。吸着ノズル検査装置１７０は、前述したノズル保持部１２８に加え、第１ライト１７８、カメラ１８２、および画像処理部１８４などで構成される。

図５に示されるように、ノズル保持部１２８は、三つ割りのチャック１７２を下側に有する。三つのチャック１７２は、互いに接近することで吸着ノズル６０の胴体筒６１を掴み、互いに離間することで掴んでいた吸着ノズル６０を解放する。三つのチャック１７２は、互いに接近することで気密性や水密性を確保する構造をもつ。なお、チャック１７２の数量は、三つに限定されない。ノズル保持部１２８には、連通流路１７４が形成されている。連通流路１７４は、直進連通流路１７５および連携流路１７６からなる。直進連通流路１７５は、鉛直方向に延びており、チャック１７２に保持された吸着ノズル６０のエア流路７０の基端６７側に直進して連通する。連携流路１７６は、水平方向に延びており、エア供給装置１３０と直進連通流路１７５の間を連携する。

連通流路１７４により、エア供給装置１３０から吸着ノズル６０にエアを供給することができる。したがって、ジョイント１４６に代えて連通流路１７４を用いても、吸着ノズル６０にエアを流通させて性能を検査するエア流量検査が可能となる。また、連通流路１７４は、吸着ノズル６０を洗浄した後に気体を用いて乾燥させる用途や、吸着ノズル６０の内部を気体でブローして清掃する用途に使用されてもよい。さらに、連通流路１７４は、洗浄水等の液体が流れる流路であって、吸着ノズル６０の内部を液体で洗浄する用途に使用されてもよい。

第１ライト１７８は、ノズル保持部１２８の上部の位置であって、直進連通流路１７５を上方に伸ばした延長線上の位置に配置される。第１ライト１７８は、下方に向けて照明光Ｌ１を照射する。照明光Ｌ１は、直進連通流路１７５を通って吸着ノズル６０の内部に向かい、外部に漏出しない。つまり、第１ライト１７８は、保持された吸着ノズル６０に近接して配置され、照明光Ｌ１を外部に漏出させない。第１ライト１７８として、例えば面発光体を用いることができ、これに限定されない。第１ライト１７８の下側に凸レンズ１８０が設けられる。凸レンズ１８０は、調光作用を備えるとともに、連通流路１７４の気密を維持する役割を果たす。

なお、第１ライト１７８を小型化して、直進連通流路１７５の内部に配置してもよい。また、凸レンズ１８０を省略してもよく、あるいは、凸レンズ１８０に代えて気密を維持するためのカバーガラスを用いてもよい。さらに、チャック１７２に保持された吸着ノズル６０の上方以外の直射ができない位置に、第１ライト１７８を配置することが可能である。つまり、プリズムやミラーなどの光学部材を使用することにより、第１ライト１７８から照射された照明光Ｌ１を屈折または反射させて吸着ノズル６０に到達させることができる。

カメラ１８２は、図４に示されるように、フレーム部１０２の上面のロードセル１４２の隣の位置に、光軸が上向きとなるように配置される。カメラ１８２として、ＣＣＤやＣＭＯＳ等の撮像素子を有するデジタル式の撮像装置を用いる。カメラ１８２は、少なくとも吸着ノズル６０の先端６８を撮像できる撮像視野を必要とする。カメラ１８２は、色彩を検出せずに明度（輝度）のみを検出する白黒カメラでよい。カメラ１８２の画素数、および明度の段階数に特別な制約はない。吸着ノズル検査装置１７０が動作するとき、カメラ１８２の光軸は、吸着ノズル６０の開口部７１に向けられる。

第１ライト１７８およびカメラ１８２は、制御装置１６０からの撮像指令にしたがって動作する。カメラ１８２は、第１ライト１７８が照明光Ｌ１を照射しているときに、吸着ノズル６０の先端６８および内部を撮像して第１画像を取得する。このとき、照明光Ｌ１の一部は、直進連通流路１７５を経由し、吸着ノズル６０の基端６７を通過して内部に進入し、さらに、先端６８の開口部７１を通過してカメラ１８２に到達する。カメラ１８２は、取得した第１画像を画像処理部１８４に転送する。

画像処理部１８４は、制御装置１６０のソフトウェアによって構成される。画像処理部１８４は、第１画像に画像処理を施して、吸着ノズル６０の内部の状況の良否を判定する。具体的には、画像処理部１８４は、吸着ノズル６０の内部の異物の滞留状況や、吸着ノズル６０の狭窄変形の状況の良否を判定することができる。なお、画像処理部１８４は、カメラ１８２の内部に設けられ、判定結果を制御装置１６０に転送する構成でもよい。また、画像処理部１８４は、第１画像を単に表示するだけでもよい。この場合、良否の判定は、第１画像を視認するオペレータに委ねられる。

良否の判定を行う画像処理部１８４は、第１画像に含まれる複数の画素の各々の明度に基づいて、吸着ノズル６０の内部を通過した照明光Ｌ１が開口部７１において占める実効開口面積を演算する。具体的には、画像処理部１８４は、明度が所定値以上の画素の数量に相当する実効開口面積を演算し、さらに実効開口面積と予め設定した所定面積とを比較して良否を判定する。第１画像、処理済み画像、演算内容、および判定結果等は、タッチパネル８６や他の表示装置に適宜表示される。なお、１画素に相当する面積は、吸着ノズル６０の先端６８とカメラ１８２との既知の離間距離から自動的に定められる。

一例として、純黒を示す０から純白を示す２５５までの２５６段階で明度が表される場合を想定する。この場合に、例えば所定値を１２８に設定する。すると、明度が１２８以上の画素は、照明光Ｌ１が到達した画素となって実効開口面積の一部となる。また、明度が１２８未満の画素は、開口部７１以外を撮像した画素、または、開口部７１を撮像した画素であっても異物の存在や狭窄変形などによって照明光Ｌ１が遮断された画素となり、実効開口面積から除外される。

また、所定面積として、前述した最小開口面積に１未満の許容低減率を乗算した値が設定される。許容低減率として、例えば０．９が採用される。つまり、最小開口面積の９０％以上の実効開口面積が確保されていれば、異物の滞留などによる性能低下は問題にならないと考えられるため、当該の吸着ノズル６０は良と判定される。なお、明度の段階数、所定値、および所定面積は、例示した以外の数値でもよい。

４．吸着ノズル検査装置１７０の動作
次に、吸着ノズル検査装置１７０の動作について、図６～図８を参考にして説明する。吸着ノズル検査装置１７０の動作において、まず、ノズル保持部１２８および吸着ノズル６０がヘッド駆動機構１２２に駆動されてカメラ１８２の真上に移動する。これにより、図５に示される位置関係が成立する。次に、第１ライト１７８およびカメラ１８２は、制御装置１６０からの撮像指令にしたがって撮像準備を進め、さらに照明光Ｌ１を照射した撮像を実行する。カメラ１８２は、図６に例示される第１画像ＧＢ１を取得し、画像処理部１８４に転送する。

画像処理部１８４は、第１画像ＧＢ１の各画素の明度を所定値と比較して、所定値よりも明るい明領域と、所定値よりも暗い暗領域とを区別する。図６において、明領域は白地で示され、暗領域はハッチングを付して示される（図８も同様）。明領域は、照明光Ｌ１が到達した実効開口面積を指し示す。吸着ノズル６０の内部が正常である場合、明領域は、開口部７１の実際の開口形状および開口面積に概ね等しくなる。つまり、画像処理部１８４は、開口部７１の実際の開口形状および開口面積を認識することができる。一方、画像処理部１８４は、図６に破線で示される先端６８の外形形状を認識することができない。

ここで、図７に示されるように、吸着ノズル６０の内部に異物Ｘ１が滞留している場合がある。異物Ｘ１として、カバー３５を開放したときなどに侵入する浮遊塵埃、テープフィーダ７２が使用するキャリアテープのちぎれた端材、破損した部品の微細破片などがある。異物Ｘ１が滞留している場合、カメラ１８２は、図８に例示される第１画像ＧＢ２を取得し、画像処理部１８４に転送する。

第１画像ＧＢ２において、異物Ｘ１、吸着ノズル６０の先端６８、および先端６８の外部は、全て暗領域となり、区別されない。それでも、異物Ｘ１によって照明光Ｌ１の一部が遮断されたことにより、明領域は、第１画像ＧＢ１と比較して半分程度に減少している。つまり、異物Ｘ１の滞留状況に応じて照明光Ｌ１の通過状況が変化し、第１画像ＧＢ１が第１画像ＧＢ２へと変化する。そして、明領域が指し示す実効開口面積は、所定面積よりも小さくなっている。したがって、画像処理部１８４は、当該の吸着ノズル６０を不良と判定する。当該の吸着ノズル６０は、廃棄され、または洗浄装置９８および乾燥装置１００によるメンテンナンスが実施される。

また、上述した画像処理および良否判定の方法から分かるように、吸着ノズル検査装置１７０は、吸着ノズル６０の狭窄変形の不良を判定することができる。なお、画像処理部１８４が第１画像（ＧＢ１、ＧＢ２）を単に表示するだけで実効開口面積を演算しない構成とされてもよい。この場合、オペレータは、第１画像（ＧＢ１、ＧＢ２）を視認して、吸着ノズル６０の良否を適正に判定することができる。

第１実施形態の吸着ノズル検査装置１７０では、第１ライト１７８が吸着ノズル６０の基端６７側から内部に向けて照明光Ｌ１を照射しているときに、カメラ１８２が先端６８側から内部（エア流路７０）を撮像して第１画像（ＧＢ１、ＧＢ２）を取得する。このとき、吸着ノズル６０の内部に滞留する異物Ｘ１や吸着ノズル６０の狭窄変形などに応じて照明光Ｌ１の通過状況が正常時から変化し、第１画像（ＧＢ１、ＧＢ２）に反映される。したがって、吸着ノズル６０の内部における異物の滞留状況や吸着ノズル６０の狭窄変形の有無などを判定可能な画像を取得することができる。

さらに、画像処理部１８４を備えることにより、明領域と暗領域とを区別する視覚的検査によって吸着ノズル６０の良否の自動判定が可能となる。また、ノズル保持部１２８が吸着ノズル６０を保持したままの状態で、連通流路１７４を用いたエア流量検査やエアブローによる乾燥および清掃が可能であるとともに、吸着ノズル６０の内部の状況の良否を検査することができる。これに対して、従来技術では、吸着ノズル６０を連通流路の下側に移動させてエア流量検査やエアブローによる乾燥、清掃等を実施した後に、吸着ノズル６０をカメラの上方に移動させて内部の状況を検査する必要が有った。したがって、第１実施形態によれば、従来技術と比較して、検査や清掃などに要するメンテナンス時間が短縮される。

５．第２実施形態の吸着ノズル検査装置２００の構成
次に、第２実施形態の吸着ノズル検査装置２００の構成について、図９を参考にして説明する。第２実施形態では、第１実施形態と比較して側射ライト２０２および落射ライト２０４等が追加される。側射ライト２０２および落射ライト２０４は、吸着ノズル６０の先端６８に向けて照明光（Ｌ２、Ｌ３）を照射する第２ライトに該当する。また、画像処理部１８４に代えて二画像処理部２１０が設けられる。

側射ライト２０２は、カメラ１８２の上方の光軸から離れた周辺位置に複数が設けられる。側射ライト２０２は、第１ライト１７８と同様の面発光体でもよいし、複数のＬＥＤ等の光源を用いて構成されてもよい。側射ライト２０２は、斜め上方に位置する吸着ノズル６０の先端６８に向けて照明光Ｌ２を照射する。照明光Ｌ２は、吸着ノズル６０の先端６８に斜め下方向から入射する。

落射ライト２０４は、ハーフミラー２０６と組み合わせて設けられる。ハーフミラー２０６は、カメラ１８２の光軸上に４５度の傾斜角度で配置される。落射ライト２０４は、ハーフミラー２０６と同じ高さ位置であって、カメラ１８２の光軸から離れた周辺位置に配置される。落射ライト２０４は、ハーフミラー２０６に向けて水平方向に照明光Ｌ３を照射する。照明光Ｌ３は、ハーフミラー２０６で反射されて上方に向かい、吸着ノズル６０の先端６８に真下から入射する。

照明光Ｌ２および照明光Ｌ３の一部は、吸着ノズル６０の先端６８で反射して下方に向かう反射光Ｒ４となる。反射光Ｒ４は、ハーフミラー２０６を透過してカメラ１８２に到達する。同様に、第１ライト１７８から照射されて吸着ノズル６０の内部を通過した照明光Ｌ１は、ハーフミラー２０６を透過してカメラ１８２に到達する。なお、側射ライト２０２および落射ライト２０４の一方が省略されてもよい。

カメラ１８２は、側射ライト２０２および落射ライト２０４が照明光（Ｌ２、Ｌ３）を照射してかつ第１ライト１７８が照明光Ｌ１を照射していないときに、吸着ノズル６０の先端６８を撮像して第２画像を取得する。さらに、カメラ１８２は、第１ライト１７８が照明光Ｌ１を照射してかつ側射ライト２０２および落射ライト２０４が照明光（Ｌ２、Ｌ３）を照射していないときに、先端６８側から内部を撮像して第１画像を取得する。カメラ１８２は、取得した第２画像および第１画像を二画像処理部２１０に転送する。第２実施形態で取得される第１画像は、照明条件が第１実施形態と同じであるので、第１実施形態で取得される第１画像と同一になる。

二画像処理部２１０は、制御装置１６０のソフトウェアによって構成される。二画像処理部２１０は、第２画像および第１画像に画像処理を施して、吸着ノズル６０の内部の状況の良否を判定する。なお、二画像処理部２１０は、カメラ１８２の内部に設けられ、判定結果を制御装置１６０に転送する構成でもよい。また、二画像処理部２１０は、第２画像、第１画像、および画像処理を施した処理済み画像を単に表示するだけでもよい。この場合、良否の判定は、画像を視認するオペレータに委ねられる。

二画像処理部２１０は、第一演算部２１２、第二演算部２１４、面積判定部２１６、および画像合成部２２０からなる。第一演算部２１２は、第２画像が転送されたときに自動で動作する。第一演算部２１２は、第２画像に含まれる複数の画素の各々の明度に基づいて、吸着ノズル６０の先端６８の外形を演算して外観の良否を判定する。さらに、第一演算部２１２は、第２画像に含まれる複数の画素の各々の明度に基づいて、吸着ノズル６０の開口部７１の実際の開口面積を演算する。

第二演算部２１４は、第１画像が転送されたときに自動で動作する。第二演算部２１４は、第１画像に含まれる複数の画素の各々の明度に基づいて、吸着ノズル６０の内部を通過した照明光Ｌ１が開口部７１において占める実効開口面積を演算する。具体的には、第二演算部２１４は、第１実施形態の画像処理部１８４と同じ演算処理を行う。

面積判定部２１６は、第一演算部２１２および第二演算部２１４の演算処理が終了した後に自動で動作する。面積判定部２１６は、第一演算部２１２が演算した実際の開口面積、および、第二演算部２１４が演算した実効開口面積に基づいて、吸着ノズルの内部の状況の良否を判定する。

画像合成部２２０は、オペレータからの動作指令にしたがって動作する。例えば、オペレータは、不良と判定された吸着ノズル６０の状況を確認したい場合や、面積判定部２１６の判定結果が疑問視される場合に、画像合成部２２０を動作させる動作指令をタッチパネル８６に入力する。動作指令を受け付けた画像合成部２２０は、明優先処理により第２画像と第１画像とを合成した合成画像を作成する。明優先処理とは、第２画像および第１画像にそれぞれ含まれて位置的に対応する複数組の画素について、明度が高い側の画素を優先する処理である。二画像処理部２１０（第一演算部２１２、第二演算部２１４、面積判定部２１６、画像合成部２２０）の機能については、次の動作の説明の中でさらに詳述する。

６．吸着ノズル検査装置２００の動作
次に、吸着ノズル検査装置２００の動作について、図１０～図１３を参考にして説明する。吸着ノズル検査装置２００の動作において、まず、ノズル保持部１２８および吸着ノズル６０がヘッド駆動機構１２２に駆動されてカメラ１８２の真上に移動する。これにより、図９に示される位置関係が成立する。この後、図１０に示される動作フローが実行される。

図１０のステップＳ１で、側射ライト２０２、落射ライト２０４、およびカメラ１８２は、制御装置１６０からの撮像指令にしたがって撮像準備を進め、さらに照明光Ｌ２および照明光Ｌ３を照射した撮像を実行する。カメラ１８２は、図１１に例示される第２画像ＧＦ１を取得し、二画像処理部２１０に転送する。

次のステップＳ２で、二画像処理部２１０の第一演算部２１２は、吸着ノズル６０の外観の良否を判定する。具体的には、第一演算部２１２は、第２画像ＧＦ１において明度が第一所定値以上の複数の画素からなる環形の明領域を演算する。第一所定値は、第１実施形態の所定値と同じでもよいし、相違してもよい。図１１において、明領域は白地で示され、暗領域はハッチングを付して示される（図１２も同様）。明領域は、照明光（Ｌ２、Ｌ３）を反射して反射光Ｒ４とする吸着ノズル６０の先端６８の平面を指し示す。また、暗領域は、反射光Ｒ４が少なくなる吸着ノズル６０の先端６８よりも外側の部分、および開口部７１の内側の部分を指し示す。

したがって、環形の明領域の外側境界線が先端６８の外形線７７に一致する。第一演算部２１２は、求めた外形線７７の形状と、予め設定した所定の外形形状との差分が許容誤差の範囲内で一致した場合に良と判定する。一方、第一演算部２１２は、外形線７７の形状と所定の外形形状との差分が許容誤差の範囲を逸脱している場合に、先端６８の変形等の不良と判定する。

次のステップＳ３で、第一演算部２１２は、吸着ノズル６０の開口部７１の実際の開口面積を演算する。詳述すると、環形の明領域の内側境界線は、開口部７１の実際の開口形状を表す輪郭線７８に一致する。したがって、第一演算部２１２は、輪郭線７８の内部に位置する暗領域の画素の数量に基づいて、実際の開口面積を演算することができる。このとき、開口部７１の全体が暗領域となっているので、吸着ノズル６０の内部の状況は、実際の開口面積の演算に影響しない。

次のステップＳ４で、第１ライト１７８およびカメラ１８２は、制御装置１６０からの撮像指令にしたがって撮像準備を進め、さらに照明光Ｌ１を照射した撮像を実行する。カメラ１８２は、図１２に例示される第１画像ＧＢ３を取得し、二画像処理部２１０に転送する。この第１画像ＧＢ３は、吸着ノズル６０の内部に異物Ｘ２が滞留している場合の画像である。吸着ノズル６０の内部が正常である場合の第１画像は、既に図６に示されている。

次のステップＳ５で、第二演算部２１４は、第１画像ＧＢ３に画像処理を施して、吸着ノズル６０の開口部７１の実効開口面積を演算する。画像処理および演算の方法は、第１実施形態と同様である。ただし、明領域と暗領域とを区別する第二所定値は、第１実施形態の所定値と同じであることが好ましく、前述した第一所定値とは相違してもよい。第１画像ＧＢ３において、吸着管６６の内周面に環状に付着した異物Ｘ２によって照明光Ｌ１の一部が遮断されている。第二演算部２１４は、吸着ノズル６０の先端６８の平面と異物Ｘ２とを区別することができないが、照明光Ｌ１が到達した実効開口面積を演算することができる。

次のステップＳ６で、面積判定部２１６は、吸着ノズル６０の内部の状況の良否を判定する。具体的には、面積判定部２１６は、実効開口面積を実際の開口面積で除算した実効開口比率と、予め設定した所定開口比率とを比較して判定する。所定開口比率として、例えば０．９が採用される。つまり、実際の開口面積の９０％以上の実効開口面積が確保されていれば、異物Ｘ２の滞留などによる性能低下は問題ないと考えられるため、当該の吸着ノズル６０は良と判定される。これによれば、実際の開口面積がばらつく複数の吸着ノズル６０に対して、二画像処理部２１０は、所定開口比率を用いて適正な判定を行うことができる。

この後、動作フローでは省略されているが、オペレータからの動作指令にしたがって画像合成部２２０が動作する。画像合成部２２０は、第２画像ＧＦ１および第１画像ＧＢ３を対象とする明優先処理により、図１３に例示される合成画像ＧＭ１を作成する。合成画像ＧＭ１において、吸着ノズル６０の先端６８の平面については、第２画像ＧＦ１の明領域が優先される。また、吸着ノズル６０の開口部７１については、第１画像ＧＢ３の明領域が優先される。この結果、暗領域で示される異物Ｘ２は、明領域で示される吸着ノズル６０の先端６８および内部の空間と明瞭に区別される。したがって、オペレータは、吸着ノズル６０の内部に異物Ｘ２が滞留している詳細な状況を視認することができる。

第２実施形態の吸着ノズル検査装置２００によれば、第１実施形態と同様、吸着ノズル６０の内部の状況の良否を判定可能な画像を取得することができる。また、第一演算部２１２、第二演算部２１４、および面積判定部２１６を備えることにより、実際の開口面積がばらつく複数の吸着ノズル６０に対して適正な良否判定が可能となる。さらに、画像合成部２２０を備えることにより、吸着ノズル６０の内部の詳細な状況、例えば異物Ｘ２の滞留状況が明瞭に表示されるので、オペレータは、容易な視認、および適正な良否判定を行うことができる。

加えて、ノズル保持部１２８が吸着ノズル６０を保持したままの状態で、吸着ノズル６０の外観および内部の状況の両方を検査することができる。これに対して、従来技術では、吸着ノズル６０の外観を第１カメラで撮像して検査した後、吸着ノズル６０を持ち替えて内部を撮像できるように移動させた後に第２カメラで撮像を行う必要があった。したがって、第２実施形態によれば、従来技術と比較して検査時間が短縮されるとともに、装置コストの上昇が抑制される。

７．吸着ノズル管理装置８０の総合動作
次に、吸着ノズル管理装置８０の総合的な動作について、図１４の動作フローを参考にして説明する。吸着ノズル管理装置８０は、第２実施形態の吸着ノズル検査装置２００を含んで構成されているものとする。吸着ノズル管理装置８０は、動作モードの設定が可能となっている。詳細には、タッチパネル８６等を用いた設定操作により、通常モードと検査モードの設定変更が可能となっている。洗浄装置９８および乾燥装置１００は、通常モードで動作するが、検査モードでは動作しない。動作フローの実行に先立ち、オペレータによって扉８２が開放され、複数の吸着ノズル６０を収容したノズルトレイ７６が固定ステージ１３１に搬入される。

図１４のステップＳ１１で、制御装置１６０は、動作モードを確認して、次に実行するステップを決定する。通常モードの場合に実行されるステップＳ１２で、制御装置１６０は、洗浄装置９８による洗浄および乾燥を行い、終了後に動作フローをステップＳ１３に進める。検査モードの場合、制御装置１６０は、ステップＳ１２を省略して、直ちに動作フローをステップＳ１３に進める。

ステップＳ１３で、制御装置１６０は、エア供給装置１３０およびジョイント１４６を用いたエア流量検査、またはエア供給装置１３０および連通流路１７４を用いたエア流量検査を実行する。次のステップＳ１４で、制御装置１６０は、ロードセル１４２を用いた荷重検査を実行する。なお、通常モードでステップＳ１２が実行済みの場合には、荷重検査の前に乾燥装置１００を用いた最終乾燥が行われる。次のステップＳ１５で、制御装置１６０は、吸着ノズル６０の種類を調査して、次に実行するステップを決定する。

小型または中型の吸着ノズル６０である場合のステップＳ１６で、制御装置１６０は、吸着ノズル検査装置２００を動作させて、二画像処理部２１０による良否判定を行う。また、大型の吸着ノズル６０については、ステップＳ１３のエア流量検査により内部の状況の良否判定を行うことができる。この場合、制御装置１６０は、動作フローをステップＳ１５から直接ステップＳ１８に進める。また、一部の特殊な吸着ノズル６０、例えばエア流路７０が下方にラッパ状に拡がる吸着ノズル６０では、内部の状況（異物など）が第２画像に撮像される。この場合のステップＳ１７で、制御装置１６０は、吸着ノズル検査装置２００を動作させ、第２画像だけを取得して画像処理を行い（第２画像処理）、吸着ノズル６０の内部の状況の良否判定を行う。制御装置１６０は、ステップＳ１６またはステップＳ１７の実行後、動作フローをステップＳ１８に進める。

ステップＳ１８で、制御装置１６０は、エア流量検査、荷重検査、および内部の状況の視覚的検査のそれぞれについて、検査結果を確認する。全項目の検査結果が良である場合のステップＳ１９で、制御装置１６０は、当該の吸着ノズル６０の返却処理を行う。また、一項目以上の検査結果が不良である場合のステップＳ２０で、制御装置１６０は、当該の吸着ノズル６０の廃棄処理を行う。なお、前述したように、制御装置１６０は、不良と判定した吸着ノズル６０を直ちに廃棄せずに、ステップＳ１１からステップＳ１８までの処理を規定回数の範囲内で繰り返してもよい。制御装置１６０は、ステップＳ１９またはステップＳ２０の実行後、動作フローをステップＳ２１に進める。

ステップＳ２１で、制御装置１６０内の履歴管理装置１６２は、ステップＳ１２、Ｓ１３、Ｓ１４、Ｓ１６、Ｓ１７の実行に関する履歴をメモリ１６４に記憶して管理する。次のステップＳ２２で、制御装置１６０は、ノズルトレイ７６に収容されていた全ての吸着ノズル６０の処理が終了したか否かを判定する。否の場合、制御装置１６０は、次の吸着ノズル６０を対象として、動作フローをステップＳ１１から繰り返す。全ての吸着ノズル６０の処理が終了すると、動作フローが終了となる。以上説明したように、吸着ノズル管理装置８０によれば、複数の吸着ノズル６０を対象とする洗浄および乾燥、複数の検査項目の実施、ならびに履歴管理を行うことができる。

８．実施形態の応用および変形
なお、第１実施形態において、ノズル保持部１２８、エア供給装置１３０、および第１ライト１７８が固定され、カメラ１８２が移動して光軸合わせおよび距離合わせが行われてもよい。また、第２実施形態において、画像合成部２２０は、元の多段階の明度を保持した合成画像ＧＭ１を作成するが、二値化された明領域および暗領域からなる合成画像を作成してもよい。また、画像合成部２２０を省略した構成を採用してもよい。逆に、第一演算部２１２、第二演算部２１４、および面積判定部２１６を省略して、画像合成部２２０が自動で動作する態様としてもよい。この態様では、オペレータは、合成画像ＧＭ１を視認する視覚的検査により、吸着ノズル６０の内部の状況（異物Ｘ２の滞留状況など）の良否を判定する。

また、吸着ノズル管理装置８０は、洗浄装置９８および乾燥装置１００を省略して、複数の検査項目を実施する検査装置に特化した構成としてもよい。また、吸着ノズル管理装置８０は、ロードセル１４２およびジョイント１４６の一方を省略して検査項目を削減した簡易な構成や、履歴管理装置１６２を省略した構成としてもよい。第１および第２実施形態の吸着ノズル検査装置（１７０、２００）ならびに吸着ノズル管理装置８０は、その他にも様々な応用や変形が可能である。

１４：部品装着機 ６０：吸着ノズル ６１：胴体筒 ６６：吸着管 ６７：基端 ６８：先端 ７０：エア流路 ７１：開口部 ７７：外形線 ７８：輪郭線 ８０：吸着ノズル管理装置 ９４：移載装置 ９６：異種検査装置 １３０：エア供給装置 １６０：制御装置 １６２：履歴管理装置 １７０：吸着ノズル検査装置 １７２：チャック １７４：連通流路 １７８：第１ライト １８２：カメラ １８４：画像処理部 ２００：吸着ノズル検査装置 ２０２：側射ライト ２０４：落射ライト ２０６：ハーフミラー ２１０：二画像処理部 ２１２：第一演算部 ２１４：第二演算部 ２１６：面積判定部 ２２０：画像合成部 ＧＢ１、ＧＢ２、ＧＢ３：第１画像 ＧＦ１：第２画像 ＧＭ１：合成画像 Ｌ１、Ｌ２、Ｌ３：照明光 Ｒ４：反射光 Ｘ１、Ｘ２：異物

Claims (12)

1. 基端側からエア流路に負圧エアが供給されて先端側の開口部で部品を吸着する吸着ノズルを着脱可能に保持するノズル保持部と、
   保持された前記吸着ノズルの基端側から内部に向けて照明光を照射する第１ライトと、
   前記第１ライトが前記照明光を照射しているときに、先端側から前記内部を撮像して第１画像を取得するカメラと、
   を備える吸着ノズル検査装置。
2. 前記第１ライトは、保持された前記吸着ノズルに近接して配置され、前記照明光を外部に漏出させない、請求項１に記載の吸着ノズル検査装置。
3. 保持された前記吸着ノズルの前記基端側に連通する連通流路を備える、請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置。
4. 前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルを掴む複数のチャックを有する、請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置。
5. 前記第１ライトは、前記エア流路に直進して連通する前記連通流路の内部、または前記連通流路の延長線上に気密を維持して配置される、
   請求項３に記載の吸着ノズル検査装置。
6. 前記第１画像に画像処理を施して、前記吸着ノズルの前記内部に滞留し得る異物の滞留状況を判定または表示する画像処理部を備える、請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置。
7. 前記吸着ノズル検査装置は、前記吸着ノズルの先端に向けて照明光を照射する第２ライトを備え、
   前記カメラは、
   前記第２ライトが前記照明光を照射してかつ前記第１ライトが前記照明光を照射していないときに、前記先端を撮像して第２画像を取得し、さらに、
   前記第１ライトが前記照明光を照射してかつ前記第２ライトが前記照明光を照射していないときに、先端側から前記内部を撮像して前記第１画像を取得する、
   請求項１または２に記載の吸着ノズル検査装置。
8. 前記第２画像および前記第１画像に画像処理を施して、前記吸着ノズルの前記内部に滞留し得る異物の滞留状況を判定または表示する二画像処理部を備える、請求項７に記載の吸着ノズル検査装置。
9. 前記連通流路は、前記吸着ノズルの前記内部を液体で洗浄する用途、洗浄した後に気体を用いて乾燥させる用途、前記吸着ノズルの前記内部を気体でブローする用途、および前記吸着ノズルに気体を流通させて性能を検査する用途のうち一つ以上の用途に用いられる、請求項３に記載の吸着ノズル検査装置。
10. 請求項１または２に記載された吸着ノズル検査装置と、
    前記吸着ノズルの前記内部を液体で洗浄または気体でブローする清掃装置、前記吸着ノズル検査装置と異なる検査項目を実施する異種検査装置、ならびに、前記吸着ノズルの少なくとも清掃および検査に関する履歴を管理する履歴管理装置のうち一つ以上の装置と、
    を具備する吸着ノズル管理装置。
11. 前記吸着ノズル管理装置は、通常モードと検査モードの設定変更が可能とされ、かつ前記通常モードで動作して前記検査モードで動作しない前記清掃装置を具備しており、
    前記吸着ノズル検査装置は、前記通常モードが設定された場合には前記清掃装置によって清掃された後の前記吸着ノズルを検査対象とし、前記検査モードが設定された場合には清掃されない前記吸着ノズルを検査対象とする、
    請求項１０に記載の吸着ノズル管理装置。
12. 前記吸着ノズル管理装置は、前記異種検査装置を具備しており、
    前記吸着ノズルの種類に応じて、前記吸着ノズル検査装置および前記異種検査装置の少なくとも一方が動作するか否かが変更される、
    請求項１０に記載の吸着ノズル管理装置。

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