JP2022036448A - 物品保持ヘッド及び載置装置 - Google Patents

Abstract

【課題】搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させることができる物品保持ヘッド、載置装置を提供する。【解決手段】搬送対象となる物品をノズルによって保持する本発明の物品保持ヘッド６は、自身の先端で前記物品を保持するノズル６１と、透明な材質で構成されノズル６１の外周面に接触してノズル６１を保持する透明保持部材６５を有するノズル保持部６２と、ノズル６１の基端側に形成され、透明保持部材６５を介して、ノズル６１の先端で保持された物品を撮像するための撮像空間Ｓとを備える。【選択図】 図４

Description

本発明は、物品を被搭載物に載置する載置装置、及び、載置装置で用いられる物品保持ヘッドに関する。

従来、電子部品片（例えば、加速度センサのエレメント（ウエハチップ）、Ｓｉ基板を利用したＩＣチップ、水晶振動子、水晶・リチウムタンタレート・ニオブ酸リチウムなどの素材を利用したＳＡＷフィルターやＳＡＷ振動子など）などの搭載物を搬送して、相手側となる電子部品（例えば、基板）などの被搭載物に載置する搬送装置として、鉛直軸回りに回動するターレットで搭載物を搬送する態様のものがある（例えば、特許文献１及び２参照）。

この態様の搬送装置では、供給領域に供給されている搭載物を、ターレットの外周に設けられた部品保持ユニットで保持した上で、ターレットを回動して搭載領域に搬送し、搭載領域に事前に供給されている被搭載物に載置する。供給領域に存在する搭載物は、カメラで撮像されて位置情報が取得され、当該位置情報に基づいて位置が調整されてから、部品保持ユニットによって保持される。ターレットの部品保持ユニットで搬送される最中の搭載物は、下側に配置されるカメラによって保持姿勢が確認される。また、搭載領域に存在する被搭載物は、カメラで撮像されて位置情報が取得され、当該位置情報に基づいて位置が調整されて待機する。この被搭載物に対して、保持姿勢が確認された搭載物が移送される結果、搭載物の被搭載物に対する相対的な位置決めが可能となっている。

特開２０１１－０１４７５６号公報

ターレットの部品保持ユニットで搬送中の搭載物は、下側に配置されるカメラによって保持姿勢が確認される。しかし、搭載物は、その後もターレットによって搭載領域まで移動するので、移動中に新たに生じる誤差を認識できない。結果、搭載領域において、搭載物を被搭載物に搭載する際の精度が悪化する。特に、搭載物又は被搭載物の最大外寸が、５ｍｍ以下、更には１ｍｍ以下となる場合、ターレットの僅かな機械誤差も、搭載精度に悪影響を及ぼす。

この問題を解消するためには、搭載領域において、ターレット及び部品保持ユニットで搬送される搭載物の姿勢を、下側に配置されるカメラによって確認する必要があるが、カメラで撮影するためには、被搭載物側を一旦退避させるか、搭載物と被搭載物の距離を大きくとって、その間にカメラを挿入するかのいずれかが必要があり、結果として、搭載速度が低下するという新たな問題が生じる。

更に、この種の搬送装置では、駆動時に発生する熱などに起因して搬送装置の各部が撓む等すると、カメラ自体の撮像軸が変位するので、カメラの基準位置の誤差も位置決め精度を悪化させる要因となる。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、搭載速度の低下を抑制しつつも、搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させることができる物品保持ヘッド、載置装置を提供することを目的とする。

本発明の物品保持ヘッドは、搬送対象となる物品を保持する物品保持ヘッドであって、自身の先端で前記物品を保持するノズルと、透明な材質で構成され、前記ノズルの外周面に接触して前記ノズルを保持する透明保持部材を有するノズル保持部と、前記ノズルの基端側に形成され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像するための撮像空間と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドは、前記ノズルの中心軸線を回動中心として前記ノズル保持部を回動自在の状態で支持するベースと、前記ベースに対して前記ノズル保持部を相対回動させる回動駆動部と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記透明保持部材は、前記ノズルが挿入される挿入孔を有することを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記透明保持部材の内部又は表面には、前記ノズルまで負圧を案内する負圧経路が形成されることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記ノズル保持部は、前記透明保持部材と対向するように配置され、かつ、透明な材質で構成される透明カバー部材を有しており、前記透明カバー部材と前記透明保持部材によって挟まれる空間によって、前記ノズルまで負圧を案内する負圧経路が形成されることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記ノズル保持部は、前記ノズルの中心軸線と自身の中心軸線が同軸となるように配設される筒状部材を有しており、前記透明保持部材が、前記筒状部材に固定されることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記ノズル保持部は、前記ノズルの中心軸線と自身の中心軸線が同軸となるように配設される筒状部材を有しており、前記透明保持部材及び前記透明カバー部材が、互いに前記ノズルの中心軸線に沿う方向に間隔を開けた状態で、前記筒状部材に固定され、前記筒状部材、前記透明保持部材及び前記透明カバー部材によって囲まれる空間によって、前記負圧経路が形成されることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記筒状部材には、負圧発生部の負圧を前記ノズルに導入するための筒状部材側負圧経路が形成されることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドは、前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部を備えることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記撮像部の光軸と、前記ノズルの中心軸線が平行となることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドにおいて、前記撮像部の前記光軸と、前記ノズルの中心軸線が重畳することを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドは、前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部と、計算機を有する制御部と、を備え、前記撮像部が、前記物品と、前記物品が載置される被搭載物を撮像するようになっており、前記制御部が、前記撮像部による前記物品及び前記被搭載物に対する撮像結果に基づいて前記回動駆動部を制御して、前記ノズル保持部を相対回動させることを特徴とする。

また、本発明の物品保持ヘッドは、前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部を備え、前記撮像部は、前記ベースに対して直接又は間接的に固定されることを特徴とする。

また、本発明の載置装置は、物品を被搭載物に載置する載置装置であって、前記物品保持ヘッドと、前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を、前記ノズルの中心軸線に対して直交する方向に相対移動させる軸直交方向移動部と、を備えることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記物品保持ヘッドは、前記撮像部を備えたものであり、前記撮像部の被写界深度内に、前記物品と前記被搭載物の双方が含まれることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記物品保持ヘッドは、前記撮像部及び前記制御部を備えたものであり、前記制御部は、前記軸直交方向移動部により前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を相対移動させることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記物品及び前記被搭載物を撮像し、前記制御部は、前記撮像結果を利用して、前記回動駆動部及び／又は前記軸直交方向移動部を制御して、前記物品と前記被搭載物の姿勢又は位置の調整を行うことを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品及び前記被搭載物の一方を撮像して一方撮像結果を取得し、前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記物品及び前記被搭載物の他方を撮像して他方撮像結果を取得し、前記制御部は、前記一方撮像結果及び前記他方撮像結果を利用して、前記回動駆動部及び／又は前記軸直交方向移動部を制御して、前記物品と前記被搭載物の姿勢又は位置の調整を行うことを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記一方撮像結果に基づいて、前記回動駆動部又は前記軸直交方向移動部の一方の制御を開始して、前記物品及び前記被搭載物の一方の姿勢又は位置を調整し、前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記他方撮像結果に基づいて、前記回動駆動部又は前記軸直交方向移動部の他方の制御を開始して、前記物品及び前記被搭載物の他方の姿勢又は位置を調整することを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品を撮像して物品撮像結果を取得し、前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品撮像結果に基づいて、前記回動駆動部の制御を開始して、前記物品の姿勢を調整し、前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記被搭載物を撮像して被搭載物撮像結果を取得し、前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記被搭載物撮像結果に基づいて、前記軸直交方向移動部の制御を開始して、前記被搭載物の姿勢又は位置を調整することを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記軸直交方向移動部は、前記撮像部と前記物品保持ヘッドの相対位置を変動させることなく、前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を相対移動させることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記撮像部は、前記物品を前記被搭載物に載置する載置領域を撮像可能な場所に固定されることを特徴とする。

また、本発明の載置装置は、基準位置情報を表示する基準マーカを備え、前記撮像部は、前記ノズルと前記基準位置情報を撮像し、前記制御部は、前記ノズルと前記基準位置情報の差を算出して、位置補正情報として保持することを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記基準マーカは、前記物品を前記被搭載物に載置する載置領域に配置されることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記軸直交方向移動部は、回動軸線を中心に回動する回動機構を有しており、複数の前記物品保持ヘッドは、前記ノズルの中心軸線と前記回動軸線とが平行となる姿勢で、前記回動機構の周方向に設けられることを特徴とする。

また、本発明の載置装置において、前記軸直交方向移動部は、前記回動機構に加えて、前記被搭載物を移動させる被搭載物移動機構を有していることを特徴とする。

本発明の物品保持ヘッド及び載置装置によれば、搭載物の被搭載物に対する位置決め精度を向上させることができるという優れた効果を奏し得る。

本発明の第一実施形態における載置装置の正面図である。 本発明の第一実施形態における載置装置の側面図である。 本発明の第一実施形態における載置装置の平面図である。 （Ａ）は、本発明の第一実施形態における載置装置のウエハチップ保持ヘッドの断面図である。（Ｂ）は、ウエハチップ保持ヘッドにおける先端部分を拡大した拡大断面図である。 本発明の第一実施形態における載置装置のウエハチップ保持ヘッドの斜視図である。 （Ａ）～（Ｃ）は、本発明の第一実施形態における載置装置のウエハチップ保持ヘッドにおける先端部分の変形例の拡大断面図である。 本発明の第一実施形態における載置装置に設定された載置領域において、本発明の第一実施形態におけるノズルの先端で保持されるウエハチップ及びパッケージ本体が占める占有領域の平面図である。 本発明の第一実施形態における載置装置に設定された載置基準位置にパッケージ本体を移動させる様子を説明するまめの説明図である。 （Ａ）～（Ｅ）は、本発明の第一実施形態における載置装置の動作を時系列に並べた平面図である。 （Ａ），（Ｂ）は、本発明の第一実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、ウエハチップの姿勢を調整する様子を時系列に並べた図である。（Ｃ），（Ｄ）は、本発明の第一実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、ウエハチップの姿勢を調整すると共に、パッケージ本体の位置を調整する様子を時系列に並べた図である。（Ｅ），（Ｆ）は、本発明の第一実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、ノズルに対して中心が偏心した状態でノズルに保持されるウエハチップの姿勢を調整すると共に、パッケージ本体の位置を調整する様子を時系列に並べた図である。 （Ａ）～（Ｃ）は、センタリング治具でノズルの先端で保持されるウエハチップをウエハチップ基準姿勢にする様子を時系列に並べた図である。 本発明の第二実施形態における載置装置の正面図である。 本発明の第二実施形態における載置装置のウエハチップ保持ヘッドの断面図である。 （Ａ）～（Ｅ）は、本発明の第二実施形態における載置装置の動作を時系列に並べた平面図である。 本発明の第三実施形態における載置装置の正面図である。 （Ａ）～（Ｃ）は、本発明の第三実施形態における載置装置の動作を時系列に並べた平面図である。 （Ａ），（Ｂ）は、本発明の第三実施形態における載置装置による基準マーカの撮像態様を示す平面図である。 本発明の第四実施形態における載置装置のウエハチップ保持ヘッドの断面図である。 （Ａ），（Ｂ）は、本発明の第四実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、パッケージ本体の位置を調整する様子を時系列に並べた図である。（Ｃ），（Ｄ）は、本発明の第四実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、ウエハチップの位置を調整する様子を時系列に並べた図である。（Ｅ），（Ｆ）は、本発明の第四実施形態における載置装置で設定された載置基準位置に予めパッケージ本体が配置された状態で、ウエハチップと共にパッケージ本体の位置を調整する様子を時系列に並べた図である。

以下、本発明の全ての実施形態について添付図面を参照して説明する。図１～図１６は発明を実施する形態の一例であって、図中、図１と同一の符号を付した部分は同一物を表わす。なお、本発明における載置装置は、搭載物供給領域（物品供給領域）から搭載物（物品）を載置領域に搬送し、載置領域で待機する被搭載物に搭載物（物品）を載置することにより組立物を組み立てるものである。以下で説明する本発明の実施形態では、搭載物（物品）がウエハチップで、被搭載物がパッケージ本体であるものとして説明するが、それは一例であって、搭載物（物品）及び被搭載物がそれ以外であってもよい。

＜第一実施形態＞
本発明の第一実施形態における載置装置１は、図１に示すように、ウエハチップ８００を、供給領域２００から載置領域３００まで搬送し、載置領域３００で待機するパッケージ本体９００にウエハチップ８００を載置する。これにより組立物１０００が完成する。

載置装置１は、図１及び図２に示すように、基台２と、ウエハチップ供給部３と、アーム４と、搬送部５と、ウエハチップ保持ヘッド６と、撮像部７と、外部付勢部８と、制御部９と、パッケージ本体供給部１０と、基準マーカ１１を備える。

＜基台＞
基台２は、図１及び図２に示すように、略直方体状の部材である。基台２の内部には、制御部９や、特に図示しない電源装置等が配設されている。なお、本明細書において、基台２の高さ方向、幅方向、奥行方向が、それぞれ順にＺ軸方向、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向となる仮想ＸＹＺ空間を導入して適宜説明する。そして、図１及び図２では、基台２の高さ方向（Ｚ軸方向）が上下方向（鉛直方向）と一致するように、載置装置１が設置されているものとする。また、基台２の奥行方向（Ｙ軸方向）において、基台２の柱部材２１が設けられる側（図２の左側）を基台２の奥側、その反対側（図２の右側）を基台２の手前側と定義する。以上を前提として載置装置１の各部について以下説明する。

基台２の上面２ＡのＹ軸方向の奥側には、図２に示すように、柱部材２１が配設されており、柱部材２１のＺ軸方向の上端には、アーム４を動作可能（揺動自在）に支持するアームブラケット２２が配設されている。アーム４は、アームブラケット２２の揺動軸２２Ａを中心に揺動する。なお、揺動軸２２Ａは、Ｘ軸方向に延在する。

本実施形態では、図１及び図３に示すように、基台２の手前側からＹ軸方向に載置装置１を見た時、基台２の上面２ＡのＸ軸方向における中心より左側部分にウエハチップの供給領域２００が形成され、基台２の上面のＸ軸方向における中心より右側部分に載置領域３００が形成される。なお、供給領域２００とは、ウエハチップ供給部３からウエハチップ保持ヘッド６にウエハチップ８００を供給する領域である。また、載置領域３００とは、ウエハチップ保持ヘッド６が保持するウエハチップ８００を、パッケージ本体供給部１０で待機されるパッケージ本体９００に載置するための作業領域である。なお、ウエハチップ保持ヘッド６によるウエハチップ８００の保持姿勢が、制御によって補正できない場合は、載置領域３００を通過して、図２及び図３に示す廃棄領域４００の廃棄トレイ３５０に収容される。

＜ウエハチップ供給部＞
ウエハチップ供給部３は、図３に示すように、複数のウエハチップ８００の姿勢と方向を整えた状態で、複数のウエハチップ８００が全体として円形となるように整列されて構成されるウエハ８１０を保持する。そして、ウエハチップ供給部３は、次にウエハチップ保持ヘッド６で保持される予定のウエハチップ８００をＸ－Ｙ平面内でＸ－Ｙ方向に移動させることで、供給領域２００に配置する。具体的に、ウエハチップ供給部３は、載置トレイ３０と、載置トレイ移動部３１と、ウエハチップ８００を位置決めするために用いる撮像部３２を備える。

載置トレイ３０は、ウエハ８１０を載置するためのものである。そして、載置トレイ３０上では、図３に示すように、ウエハ８１０を構成する複数のウエハチップ８００は、姿勢と方向を整えた状態で載置される。なお、図１及び図２で描かれているウエハチップ８００は、図３で描かれているウエハチップ８００よりも大きく描かれているが、これは、ウエハチップ８００の存在をわかりやすくするために便宜上大きく描いたものである。

載置トレイ移動部３１は、図３に示すＸ－Ｙ平面上において載置トレイ３０を移動する。載置トレイ移動部３１は、図示は省略するが、モーターによって駆動されるＸ方向直動装置及びＹ方向直動装置を組み合わせて構成される。

撮像部３２は、ウエハチップ８００の真上側（ウエハチップ８００よりもＺ軸方向の上方側）からウエハチップ８００を撮像する。撮像部３２によるウエハチップ８００の撮像結果に基づいて、載置トレイ移動部３１は、供給予定のウエハチップ８００を、供給領域２００におけるウエハチップ保持ヘッド６のノズル６１の停止位置の真下に位置決めする。なお、ノズル６１の停止位置は、複数のノズル６１におけるノズル６１毎に事前に測定・記憶された停止位置であっても良く、また、撮像部３２によって撮像された実際のノズル６１の停止位置であっても良い。

＜アーム＞
アーム４は、図２に示すように、基台２よりもＺ軸方向の上方側において、アームブラケット２２を起点としてＹ軸方向に沿って基台２の手前側に向けて延びる腕状の部材である。アーム４には、搬送部５が設けられる。また、図１に示すように、アーム４には、ウエハチップの供給領域２００及び載置領域３００に対応するようにして、外部付勢部８がそれぞれの上方側に設けられる。更にアーム４には、ブラケット３２Ａ，７Ａ等の連結部材を介して、供給領域２００及び載置領域３００に対応する撮像部３２，７が固定される。

＜搬送部＞
搬送部５は、ウエハチップ保持ヘッド６で保持されるウエハチップ８００を、供給領域２００から載置領域３００まで搬送するものである。つまり、本実施形態において搬送部５の搬送対象は、ウエハチップ８００となる。本実施形態において搬送部５は、図１～図３に示すように、Ｚ軸方向に平行な回動軸線５１を中心に回動する回動機構（Ｘ－Ｙ方向の移動機構）となっており、例えば、ターレット５２と、ターレット駆動部５３により構成される。

ターレット５２は、図３に示すように、略円盤状の部材である。そして、ターレット５２の外周側には、４つのウエハチップ保持ヘッド６が等間隔（本実施形態では略９０°間隔）で配設される。なお、６つのウエハチップ保持ヘッド６を設置する場合は６０°間隔となる。ターレット５２は、アーム４に対して回動軸線５１を中心に回動自在にターレット駆動部５３で保持される。ターレット５２が時計回り又は反時計回りの一方向に回動すると、ターレット５２の周囲に配設されている各ウエハチップ保持ヘッド６は、供給領域２００、載置領域３００及び廃棄領域４００の上方を順番に通過する。また、各ウエハチップ保持ヘッド６は、いずれかのウエハチップ保持ヘッド６が供給領域２００に対向する位置にある場合に、他の３つのウエハチップ保持ヘッド６のうち２つが載置領域３００及び廃棄領域４００に対向する位置となる。

ターレット駆動部５３は、図１及び図２に示すように、アーム４の下面に固定され、アーム４とターレット５２の間に位置する。本実施形態においてターレット駆動部５３は、アーム４に固定されるステータ、及びステータの外周を回動する筒状のロータから構成される中空ＤＤ（ダイレクトドライブ）モーターにより構成される。ステータの中心部には軸方向に（図示しない）貫通孔が形成される。ターレット５２は、この貫通孔内に（図示しない）中空軸を挿通した状態でロータに固定されている。

＜ウエハチップ保持ヘッド（物品保持ヘッド）＞
ウエハチップ保持ヘッド６は、ウエハチップ８００を保持可能に構成され、図４及び図５に示すように、ベース６０と、ノズル６１と、ノズル保持部６２と、回動駆動部６３を有する。ベース６０は、ノズル６１の中心軸線６１３を回動中心としてノズル保持部６２を回動自在に支持する。ノズル６１は、中心軸線６１３がＺ軸方向に平行となるようにノズル保持部６２で保持される。

ベース６０は、ターレット５２の外周側に配設される。ベース６０は、図４（Ａ）に示すように、案内機構６９により、ターレット５２に対してＺ軸方向（ノズル６１の中心軸線６１３に平行な方向）に移動自在に配置される。案内機構６９は、例えば、ターレット５２又はベース６０の一方に設けられるレール６９Ａと、ターレット５２又はベース６０の他方に設けられてレール６９Ａと係合する（図示しない）スライダ６９Ｂと、ウエハチップ保持ヘッド６をＺ軸の一方向（ここでは上方向）に付勢する（図示しない）付勢部により構成される。この案内機構６９側の付勢部に抗するようにして、外部付勢部８によってベース６０を押し下げれば、ウエハチップ保持ヘッド６の全体が下降する。

ベース６０は、図４（Ａ）に示すように、主台部６０１と、回動支持部６０２と、案内片６０３と、リング照明Ｖを有する。回動支持部６０２は主台部６０１に連結される。また、案内片６０３も同様に主台部６０１に連結される。案内片６０３には、案内機構６９のスライダ６９Ｂが固定される。回動支持部６０２は、筒状に構成され、内周側でノズル保持部６２を回動自在な状態で支持する。リング照明Ｖは、主台部６０１に固定されて、ノズル６１を取り囲むようにして、ウエハチップ８００を照らす。

回動支持部６０２は、筒状に構成される筒状筐体６０４と、その内周に配置される一対の軸受６０５を有する。筒状筐体６０４は、一対の軸受６０５を介して、内周側にノズル保持部６２を回動自在に収容する。結果、筒状筐体６０４の自身の中心軸と、ノズル保持部６２の中心軸線（筒状部材６７の中心軸線６７０）が同軸となる。また、筒状筐体６０４は、連結ネジ６０７により主台部６０１に固定される。

ノズル６１は、図４（Ｂ）に示すように、先端に先端側開口６１０を有する。ウエハチップ８００は、先端側開口６１０を通じて供給される負圧エアにより吸着されてノズル６１の先端で保持される。

図４（Ｂ）にノズル保持部６２を拡大して示す。ノズル保持部６２は、ノズル６１の外周面に接触してノズル６１を保持する。本実施形態においてノズル保持部６２は、透明保持部材６５と、透明カバー部材６６と、筒状の筒状部材６７を有する。

＜透明保持部材＞
透明保持部材６５は、ノズル６１の外周面に接触してノズル６１を保持する。透明保持部材６５は、段付きの円柱状に形成される。また、透明保持部材６５は、透明保持部材６５の軸方向に透明保持部材６５の中心を貫通する挿入孔６５０を有する。挿入孔６５０には、ノズル６１の基端領域６１４が挿入される。挿入孔６５０は、例えば、ノズル６１の外径よりもわずかに小さい径を有しており、ノズル６１が挿入孔６５０に圧入される。なお、ノズル６１は、接着剤等の部材を用いて挿入孔６５０で保持される態様であってもよい。ノズル６１の中心軸線６１３は、透明保持部材６５の中心軸線と同軸となる。ノズル６１の先端領域６１５は、透明保持部材６５から下方側に突出する。

透明保持部材６５は、透明な材質により構成される。透明な材質として、例えば、透明樹脂、ガラス等が挙げられる。透明保持部材６５は、筒状となる筒状部材６７の内周面に固定される。透明保持部材６５のＸ－Ｙ平面方向の外形は、挿入孔６５０を起点として、径方向外側に広がる。透明保持部材６５がＸ－Ｙ平面方向に広がる範囲は、少なくとも、ノズル６１で保持されるウエハチップ（搭載部品）８００の保持変動範囲Ｋよりも大きいことが好ましい。この保持変動範囲Ｋは、ノズル６１によって様々な姿勢で保持されるウエハチップ（搭載部品）８００の外形を重畳させた範囲となり、具体的には、ウエハチップ（搭載部品）８００のＸ－Ｙ平面の最大外寸Ｍ（矩形状の部品であれば対角間距離）を半径とした正円（直径２×Ｍ）で定義できる。更に具体的には、撮像部７の画角に応じた撮像可能範囲Ｌよりも大きいことが好ましい。

なお、透明保持部材６５は、それ自身が独立材料である必要はなく、透明保持部材６５に相当する透明領域と、有色非透明となる領域と組み合わせた複合材料を用いることもできる。また、この撮像可能範囲Ｌの一部に非透明領域を混在させても良く、図７（Ａ）に示すように、基準線や基準円を描いても良い。透明保持部材６５は、基端側から先端側に進むに従って径方向外側に広がる部分錐形状としても良い。なお、部分錐形状とは、錐形状の頂点を含む一部区間が除かれた形状を意味する。

透明保持部材６５の外周面６５１には、軸方向に段差を有する外周側段部６５４が形成される。外周側段部６５４は、透明保持部材６５の外周面６５１に沿って環状に形成される。外周側段部６５４は、透明保持部材６５の基端側から先端側（図４では上から下）に進むと、径方向内側に縮径する段差となるが、その他の段差であっても良い。段差の目的は、筒状部材６７と係合させるためである。

具体的に、透明保持部材６５は、径の異なる二枚の透明な円盤プレート６５０Ａ，６５０Ｂにより構成される。円盤プレート６５０Ａ，６５０Ｂは、接着剤により連結してもよいし、その他の連結部材により連結してもよい。接着剤によって円盤プレート６５０Ａ，６５０Ｂを連結してから、両者をまとめて貫通するように挿入孔６５０が穴加工される。

＜透明カバー部材＞
本実施形態において透明カバー部材６６は、透明な材質で構成される円盤プレートとなる。透明カバー部材６６は、透明保持部材６５に対して、奥側（ノズル６１の先端と反対側）に距離を空けて配置される。より具体的に、透明カバー部材６６と透明保持部材６５との間には、円筒スペーサ６６０が介在する。円筒スペーサ６６０の一方の端面に透明保持部材６５が接触し、他方の端面に透明カバー部材６６が接触する。透明カバー部材６６、円筒スペーサ６６０、及び透明保持部材６５は互いに同軸となる。これにより、透明保持部材６５と透明カバー部材６６と円筒スペーサ６６０で取り囲まれる空間にチャンバー６８０が形成される。また、ノズル６１の内部流路はチャンバー６８０に連通する。なお、後述する筒状部材６７が、円筒スペーサ６６０を兼ねることもできる。

また、円筒スペーサ６６０には、径方向に貫通する孔６６７が設けられる。さらに、筒状部材６７の内部には、孔６６７と連続するように、筒状部側流路６７６が形成される。筒状部側流路６７６は、図４（Ａ）に示すように、一対の軸受６０５の間を通過して、外部接続コネクタ６９０（図５参照）に繋がる。外部接続コネクタ６９０には、チューブが接続されて、負圧発生部として機能する負圧ポンプ（図示省略）まで連通する。結果、筒状部側流路６７６は、負圧エアをチャンバー６８０まで案内する負圧経路（筒状部材側負圧経路）として用いられる。なお、一対の軸受６０５の間には、パッキン６０５Ａが配置されており、筒状部側流路６７６の負圧が漏れないようになっている。負圧ポンプの負圧エアが、筒状部側流路６７６・孔６６７・チャンバー６８０を介して、ノズル６１まで案内されると、ノズル６１がウエハチップ８００を吸引保持できる。なお、負圧経路のいずれかの場所には弁（図示省略）が設けられることが好ましく、この弁を閉じると、ノズル６１に供給される負圧エアは遮断され、ノズル６１の先端でのウエハチップ８００の吸着が解除される。

なお、本実施形態において円筒スペーサ６６０は、透明な材質ではなく、色付きの材質で構成されてもよい。円筒スペーサ６６０は、撮像部７，３２によるノズル６１の先端で保持されるウエハチップ８００及びパッケージ本体９００の撮像を阻害しない場所に配置される。

＜筒状部材＞
図４（Ｂ）に戻って、筒状部材６７は、内周側において透明保持部材６５及び透明カバー部材６６に接触して、透明保持部材６５及び透明カバー部材６６を保持する。この筒状部材６７は、図４（Ａ）に示すように、回動支持部６０２によって回動自在に支持される。

図４（Ｂ）に戻って、筒状部材６７は、筒状の筒状本体部材片６７１と、筒状の筒状先端部材片６７２とにより構成される。筒状本体部材片６７１の先端側の内周に沿って、筒状先端部材片６７２が軸方向（Ｚ軸方向）に挿入されると、両者が同軸となって嵌合する。筒状本体部材片６７１に筒状先端部材片６７２は、ネジ６７２Ａによって互いに固定される。

筒状先端部材片６７２は、透明保持部材６５、円筒スペーサ６６０及び透明カバー部材６６を内周側で保持可能な構造を有する。具体的に筒状先端部材片６７２は、自身の内周面６７３側に、内周側段部６７４と、爪部６７５を有する。

内周側段部６７４は、周方向に環状に構成される。また、内周側段部６７４は、筒状先端部材片６７２の基端側から先端側に進むと、径方向内側に縮径する段差となる。内周側段部６７４は、透明保持部材６５の外周側段部６５４に係合・嵌合可能に構成される。

爪部６７５は、内周側段部６７４よりも基端側に設けられる。そして、爪部６７５は、内周面６７３を起点として径方向内側に凸となる。結果、爪部６７５は、係合用の爪として機能し、内部に収容される筒状部材６７の外縁と係合して、軸方向に抜けないようになっている。

爪部６７５を押し広げるようにして、透明保持部材６５、円筒スペーサ６６０及び透明カバー部材６６を筒状先端部材片６７２の内周に押し込むと、図４（Ｂ）の状態となる。透明保持部材６５、円筒スペーサ６６０及び透明カバー部材６６は、内周側段部６７４と爪部６７５によって軸方向に挟み込まれる。これにより、透明保持部材６５、円筒スペーサ６６０及び透明カバー部材６６は、筒状先端部材片６７２の内周に固定される。

本実施形態では、筒状部材６７の中空空間に透明保持部材６５及び透明カバー部材６６が配置されるが、その上方には何も配置されない。結果、筒状本体部材片６７１の中空空間を含むＺ軸方向に延びる空間及び／又はその上方の空間が撮像空間Ｓとなる。更にこの撮像空間ＳからＺ軸方向の上方（図４（Ａ）の上方）に連続する空間が、撮像部配置空間Ｑとなり、撮像部７，３２が配置される際に、ウエハチップ保持ヘッド６の干渉を回避する領域として機能する。このため、筒状本体部材片６７１の真上の撮像部配置空間Ｑに、撮像部７，３２を位置決めすれば、撮像部７，３２が、撮像空間Ｓ・透明カバー部材６６・チャンバー６８０・透明保持部材６５を介して、ノズル６１及びノズル６１に保持されるウエハチップ８００等を撮像できる。なお、撮像空間Ｓには、撮像部７，３２による撮像を邪魔しない範囲で、所定の部材等が配設されてもよい。所定の部材等として、例えば、透明な材質により構成されたものが一例として挙げられる。また、ノズル６１で保持されるウエハチップ８００と撮像部７との間に（図示しない）導光ミラーが介在する場合、撮像空間Ｓは、導光ミラーによる光軸屈曲方向に屈曲した空間となり、この光軸屈曲方向の延長線上に撮像部配置空間Ｑが確保される。

また、図７（Ａ）に示されるように、ノズル保持部６２またはノズル６１には、ノズル６１のＺ軸周りの回転位相を検知可能な目盛り６１Ｘが形成される。目盛り６１Ｘは、撮像部７，３２によって認識できる。これにより、ノズル６１自身の検知用位相情報を定義できる。例えば、ノズル６１を組み付立てる際に誤差が生じ、ノズル保持部６２の回転中心に対して偏心している場合なども、この検知用位相が存在すれば、都度、検知用位相に基づいて位置決めすることができる。

＜透明保持部材、及び透明カバー部材の変形例＞
透明保持部材６５、及び透明カバー部材６６の変形例について以下説明する。図６（Ａ）に示すように、透明保持部材及び透明カバー部材が一体化された透明保持部材６５Ａを採用してもよい。透明保持部材６５Ａは、自身の内部にチャンバー６８０が設けられる。チャンバー６８０の側面には、チャンバー６８０に繋がる孔６６７が形成される。従って、本変形例では、透明保持部材６５Ａの内部に負圧経路が形成されることを意味する。

図６（Ｂ）に示すように、透明保持部材６５を円盤プレートで構成し、透明カバー部材６６を円盤プレートで構成して、両者を当接させてもよい。透明保持部材６５には中心を軸方向に貫通する挿入孔６５０が設けられる。透明保持部材６５及び透明カバー部材６６の少なくとも一方には、この挿入孔６５０と連続して径方向外側に延びる流路６６８が形成される。本変形例では、透明カバー部材６６側に設けられる溝と、透明保持部材６５側に設けられる溝を対向させることで流路６６８を形成している。この流路６６８は、筒状部側流路６７６に繋がる。

図６（Ｃ）に示すように、筒状スリーブを用いることなく、透明保持部材６５及び透明カバー部材６６を、筒状部材６７（筒状先端部材片６７２）に直接固定しても良い。この際、透明カバー部材６６と透明保持部材６５の間に間隔を設けることでチャンバー６８０を構成する。透明カバー部材６６や透明保持部材６５は、接着剤で筒状部材６７（筒状先端部材片６７２）の内周面に接着されても良いし、何らかの係合保持構造や嵌合構造により、筒状部材６７（筒状先端部材片６７２）に固定されてもよい。

＜回動駆動部＞
図４（Ａ）に戻って、回動駆動部６３は、ベース６０（回動支持部６０２）に対してノズル保持部６２（ノズル６１）を相対回動させる。回動駆動部６３によりノズル保持部６２を回動させると、ノズル６１で保持されるウエハチップ８００の姿勢を変更できる。回動駆動部６３は、例えば、制御部９の制御の下、制御部９の計算機９０で算出された補正量に基づいて、ウエハチップ８００の姿勢を調整する。

回動駆動部６３は、ノズル６１の中心軸線６１３を回動軸として、ノズル保持部６２を相対回動させる。本実施形態において回動駆動部６３は、モーター６３１と、プーリー６３２と、ベルト６３３を有する。プーリー６３２は、プーリー支持台６３４において回動自在に支持されおり、ノズル６１の中心軸線６１３からオフセットした位置に配置される。プーリー支持台６３４は、連結ネジ６３５によりベース６０に固定される。

モーター６３１は、（図示しない）連結部材を介してプーリー支持台６３４に固定されており、プーリー６３２を回動させる。モーター６３１は、Ｚ軸方向の上方に配置されるが、ノズル保持部６２に対して、Ｘ－Ｙ方向における搬送部５（ターレット５２）側にオフセットしている。結果、ノズル６１の上方に撮像部配置空間Ｑが確保される。

ベルト６３３は、筒状部材６７の基端側の外周面に設けられたベルト溝６７７及びプーリー６３２の双方に掛けられる。従って、モーター６３１が回動すると、プーリー６３２及びベルト６３３を介して筒状部材６７、ノズル保持部６２及びノズル６１が回動する。結果、ウエハチップ８００の姿勢を調整することができる。

プーリー支持台６３４には、筒状部材６７の回動角度を検出する回動角度検出センサ６３７が設けられる。一方、筒状部材６７側には、この筒状部材６７の回転位相を表示する回転ディスク６３７Ａが固定される。回動角度検出センサ６３７が回転ディスク６３７Ａの回転位相を検知することで、ノズル６１の回動角度を検知し、その情報に基づいてノズル６１を回転制御できる。なお、ベース６０が上下方向に移動すると、ノズル６１、ノズル保持部６２、及び回動駆動部６３の全体が上下方向に移動する。

＜撮像部＞
撮像部７，３２は、ノズル６１及びノズル６１に保持されたウエハチップ８００を、適宜、透明保持部材６５を介して撮像する。なお、撮像部７，３２は、ブラケット７Ａ，３２Ａ等の連結部材によりアーム４に連結される。供給領域２００の上方に固定される撮像部３２は、供給領域２００にウエハチップ保持ヘッド６が存在しない場合、ウエハチップ供給部３によって供給されるウエハチップ８００を直接撮像する。一方、その真上にウエハチップ保持ヘッド６が存在する場合であっても、その撮像部配置空間Ｑに撮像部３２が位置決めされるので、透明保持部材６５を介してウエハチップ８００を撮像する。

載置領域３００の上方に固定される撮像部７は、載置領域３００にウエハチップ保持ヘッド６が存在しない場合、パッケージ本体供給部１０のパッケージ本体９００を直接撮像する。一方、ウエハチップ保持ヘッド６が存在する場合であっても、その撮像部配置空間Ｑに撮像部７が位置決めされるので、透明保持部材６５を介してパッケージ本体９００を撮像する。撮像部７，３２は、例えば、電子部品片用のカメラ、ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなどで構成される。

供給領域２００の真上側の設定位置にウエハチップ保持ヘッド６が移動して、ウエハチップ８００を吸引保持した場合、撮像部３２は、ノズル６１及びその先端で保持されたウエハチップ８００を同時撮像する。このデータを解析すれば、ウエハチップ８００のＸ－Ｙ平面上の現在位置、ノズル６１を基準としたＸ－Ｙ平面上の相対位置量や、Ｚ軸周りの保持角度を算出可能となる。ウエハチップ保持ヘッド６が、供給領域２００から載置領域３００まで移動する最中に、この算出結果を利用して、ノズル保持部６２を回動させることで、ウエハチップ８００の保持姿勢を調整できる。載置領域３００におけるウエハチップ８００の停止位置も予測できるので、載置領域３００におけるパッケージ本体９００の待機位置を、予め調整できる。

一方、搬送部５の機械誤差は、ウエハチップ保持ヘッド６を供給領域２００から載置領域３００まで移動させる最中にも生じ得る。したがって、載置領域３００では、図７（Ｃ）に示すように、撮像部７が、ノズル６１、ウエハチップ８００、パッケージ本体９００を真上側（ノズル６１の基端側）から同時撮像する。制御部９は、その撮像データから、ウエハチップ８００の少なくとも２か所の特徴点８００Ｐ，８００Ｑと、パッケージ本体９００の少なくとも２か所の特徴点９００Ｐ，９００Ｑを抽出する。結果、ウエハチップ８００のＸ－Ｙ平面上の現在位置及びＺ軸周りの保持角度と、パッケージ本体９００のＸ－Ｙ平面上の現在位置及びＺ軸周りの保持角度を算出する。これらの情報を組み合わせて、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の実際の相対ずれ量を算出し、それを相対ずれ量を補正するように、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００をＸ－Ｙ平面及びＺ軸周りに移動させる。具体的に、回動駆動部６３を制御してウエハチップ８００のＺ軸周りの姿勢を補正し、パッケージ本体供給部１０を制御してパッケージ本体９００のＸ－Ｙ平面上の位置を補正して、ウエハチップ８００のパッケージ本体９００を、正しい相対位置関係にする。なお、本実施形態では、ウエハチップ８００側を回転制御し、パッケージ本体９００側をＸ－Ｙ平面上の移動制御する場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、その制御分担は適宜変更できる。

なお、ウエハチップ８００の特徴点８００Ｐ，８００Ｑ、パッケージ本体９００の特徴点９００Ｐ，９００Ｑの検知確立を高めるために、図７（Ｄ）に示すように、載置領域３００において、敢えて、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の補正前の相対位相差を大きく制御することも好ましい。この場合、例えば、相対位相差を１５°以上とすることが好ましく、さらに好ましくは、３０°以上とし、より望ましくは４５°以上に設定する。

なお、ここでは、ウエハチップ８００およびパッケージ本体９００のそれぞれで、２か所の特徴点を抽出する場合を例示したが、ウエハチップ８００及び載置予定のパッケージ本体９００のＸ－Ｙ平面上の現在位置及びＺ軸周りの保持角度を取得するためには、撮像部７で撮像された画像情報に、ノズル６１の先端からはみ出るウエハチップ８００及びパッケージ本体９００の各々の輪郭の少なくとも一部が含まれることが好ましい。ウエハチップ８００は、図７（Ｂ）に示すように、ノズル６１の先端において様々な姿勢で保持され得る。パッケージ本体９００の待機位置も誤差が生じ得る。そこで、ノズル６１に保持されるウエハチップ８００が取り得るあらゆる姿勢を重畳させた領域、及び、待機するパッケージ本体９００が取り得るあらゆる姿勢を重畳させた領域を、占有領域Ｒと定義した時、撮像部７で撮像された画像情報には、少なくとも占有領域Ｒが画角内に含まれることが好ましい。換言すると、撮像部７は、占有領域Ｒを撮像可能な場所に位置決めされる必要がある。占有領域Ｒは、ウエハチップ８００及びパッケージ本体９００の大きさにより変わる。

さらに、載置領域３００にウエハチップ保持ヘッド６が位置する状態において、撮像部７の被写界深度内には、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の双方が含まれる。なお、被写界深度とは、焦点が合っているように見える被写体の焦点距離の範囲のことを言う。従って、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の両者を、被写界深度内に位置決めすることが好ましい。これにより、撮像部７の撮像結果としての画像情報に、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の双方の輪郭が明確に映り込む。制御部９は、画像情報に基づいて、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の双方の位置及び姿勢を正しく認識できる。

＜外部付勢部＞
２つの外部付勢部８における一方は、供給領域２００の上方に配置されている。また、他方の外部付勢部８は、載置領域３００の上方に配置されている。一方の外部付勢部８は、供給領域２００の上方に位置するウエハチップ保持ヘッド６に外力を付加して、ノズル６１と共にウエハチップ保持ヘッド６を供給領域２００に近接する方向（下方）に移動させる。これにより、ウエハチップ８００は、ノズル６１の先端で吸着されて保持される。また、一方の外部付勢部８による押圧を解除する（又は押圧力を緩める）と、（図示しない）付勢部によりウエハチップ保持ヘッド６は上昇する。

他方の外部付勢部８は、載置領域３００の上方に位置するウエハチップ保持ヘッド６に外力を付加して、ノズル６１と共にウエハチップ保持ヘッド６のノズル６１を載置領域３００に近接する方向（下方）に移動させる。これにより、ノズル６１の先端で保持されるウエハチップ８００をパッケージ本体９００に載置することができる。また、他方の外部付勢部８による押圧を解除する（又は押圧力を緩める）と、付勢部によりウエハチップ保持ヘッド６は上昇する。

＜制御部＞
制御部９は、ウエハチップ供給部３、搬送部５（ターレット駆動部５３）、ウエハチップ保持ヘッド６（回動駆動部６３）、撮像部７、外部付勢部８、及びパッケージ本体供給部１０等を直接制御する。制御部９は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ及び記憶装置等を備えた計算機９０を有する。ＲＯＭには、以上の各部の制御のために必要なプログラムが格納される。ＣＰＵでは、そのプログラムが実行される。ＲＡＭは、プログラムを実行するための作業領域として使用される。記憶装置には、ＣＰＵでのプログラムの実行結果が記憶される。

プログラムには、例えば、撮像部７，３２での撮像結果に基づいて、ウエハチップ８００の基準位置及び基準位相からのずれ量、パッケージ本体９００の基準位置及び基準位相からのずれ量、パッケージ本体９００とウエハチップ８００の相対ずれ量を算出するプログラム等が含まれる。なお、基準位置については、後述する。

＜パッケージ本体供給部＞
パッケージ本体供給部１０は、パッケージ本体９００を移動させる被搭載物移動機構を有する。パッケージ本体供給部１０における被搭載物移動機構は、図３に示すように、整列トレイ１１０と、これを移動させる整列トレイ移動部１１２を備える。整列トレイ１１０の上面には、マトリクス状に配置された複数の凹部１１１が形成される。凹部１１１には、パッケージ本体９００が収容される。整列トレイ移動部１１２は、Ｘ－Ｙ平面上（ノズル６１の中心軸線６１３に直交する方向）において整列トレイ１１０を移動させる。図示は省略するが、整列トレイ移動部１１２は、モーターによって駆動される直動装置を互いに直角に組み合わせて構成される。なお、整列トレイ移動部１１２は、Ｚ軸に沿う回動軸を有する回動装置が追加されてもよい。

整列トレイ移動部１１２は、載置領域３００にウエハチップ８００が搬送されてくることに先立って、載置領域３００にパッケージ本体９００を１つずつ順番に供給する。整列トレイ移動部１１２は、制御部９の計算機９０で算出された基準位置及び基準角度に対するパッケージ本体９００の相対位置ずれ量及び位相ずれ量、又は、ウエハチップ８００に対するパッケージ本体９００の相対位置ずれ量及び位相ずれ量等に基づいて、パッケージ本体９００の位置及び位相を調整する。

載置領域３００では、ウエハチップ８００を、このパッケージ本体９００に載置する。全てのパッケージ本体９００に対するウエハチップ８００の載置が完了したら、整列トレイ１１０は、次の工程に運ばれる。

＜基準マーカ＞
図１に戻って、基準マーカ１１は、供給領域２００や載置領域３００における基台２の上面２Ａに配置され、各々、幾何図形（例えば、矩形表示）を利用して、基準位置情報及び基準位相情報を表示する。基準マーカ１１とノズル６１を定期的に、共通の撮像部３２，７で撮影することで、その基準位置及び基準位相に対するノズル６１の相対ずれ量（相対位置ずれ量と相対位相ずれ量）を算出できる。勿論、基準位置に対する撮像部３２，７の撮像中心の相対ずれ量も算出できる。なお、基準マーカ１１が指し示す基準位置情報とは、例えば、固定側となる基台２側（供給領域２００や載置領域３００側）におけるＸ－Ｙ平面上の固定位置であることが好ましい。基準マーカ１１が指し示す基準位相情報とは、例えば、固定側となる基台２側（供給領域２００や載置領域３００側）におけるＺ軸回りの固定位相であることが好ましい。供給領域２００や載置領域３００にノズル６１が停止する位置は、基準位置からの位置ずれ量として定義される。同様にノズル６１が停止する位相は、基準位相と目盛り６１Ｘ（図７（Ａ）参照）の位相ずれ量として定義される。さらに、供給領域２００や載置領域３００において撮像部３２，７の撮像中心の位置及び位相は、基準位置及び基準位相からの位置ずれ量及び位相ずれ量として定義される。供給領域２００におけるウエハチップ８００の供給姿勢は、基準位置からの位置ずれ量及び位相ずれ量で定義される。載置領域３００におけるパッケージ本体（被搭載物）９００の待機姿勢は、基準位置からの位置ずれ量及び位相ずれ量で定義される。

メンテナンス等によって撮像部７，３２を取り外したり、ノズル６１を交換した場合、その後の撮像部７，３２の組み付け位置に誤差が生じたり、ノズル６１の中心軸自体に誤差が生じる可能性がある。従って、撮像部７，３２によって、基準マーカ１１とノズル６１及び目盛り６１Ｘを撮影することで、基準位置及び基準位相に対する初期ずれ量を算出する。その後、例えば、温度変化によりターレット５２に撓みが生じてターレット５２がわずかに変形すると、Ｘ－Ｙ平面上における撮像部７，３２やノズル６１の絶対位置、絶対位相が変化するので、搭載精度が低下する。この際、載置トレイ３０やパッケージ本体供給部１０を退かせて、基準マーカ１１を露出させることで、撮像部７，３２によって、ノズル６１の基端側からノズル６１と基準マーカ１１を同時に又はそれぞれに撮像する。制御部９は、撮像部７，３２での撮像結果である画像情報に基づいて、ノズル６１と基準マーカ１１の新たなずれ量を再設定する。

例えば、供給領域２００及び載置領域３００のそれぞれにおいて、ノズル６１と基準マーカ１１の新たなずれ量が再設定された場合、再設定されたノズル６１の停止位置に対して、載置トレイ３０によるウエハチップ（部品）８００の供給位置や、パッケージ本体供給部１０によるパッケージ本体（被搭載物）９００の待機位置を合わせ込む。なお、このノズル６１のずれ量は、複数のノズル６１毎に異なるので、各ノズル６１に対応したずれ量を設定する。

即ち、これらのずれ量は、いわゆる位置補正情報及び位相補正情報となり、ウエハチップ供給部３において次に保持される予定のウエハチップ８００の目標位置及び目標位相に反映され、パッケージ本体供給部１０において次に載置予定のパッケージ本体９００の目標位置及び目標位相に反映される。

図８に載置領域３００における基準マーカ１１の態様を示す。基準位置１５０は、基準マーカ１１によって決定される。基準位相１５０Ａは、基準マーカ１１によって得られる位相によって決定される。つまり、撮像部７によって基準マーカ１１を撮像すれば、基準位置１５０及び基準位相１５０Ａをいつでも初期設定できる。なお、本実施形態では、基準位相は、ターレット５２の直径方向（ノズル６１の公転軌跡の直径方向）に設定される。撮像部７は、各ノズル６１の載置領域３００での停止姿勢を撮像する。結果、各ノズル６１の基準位置１５０及び基準位相１５０Ａに対する位置ずれ量Ｎ及び位相ずれ量ＮＡを算出できる。これは、ノズル６１によって異なるので、ノズル６１毎に保存されるデータとなる。

なお、本実施形態では、ウエハチップ保持ヘッド６を正円の移動軌跡に沿って移動させる搬送部５と、パッケージ本体９００をＸ－Ｙ平面に沿って移動させるパッケージ本体供給部１０を組み合わせて、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の相対位置を制御する構造を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば、搬送部５をＸ－Ｙ平面移動機構または直動機構とすることもできる。パッケージ本体供給部１０側を回動機構としてもよい。

＜載置装置の動作＞
次に、図９～図１１を参照して、本実施形態における載置装置１の動作について説明する。図９（Ａ）～（Ｅ）は、載置装置１の動作の様子を時系列に並べた載置装置１の平面図である。なお、説明を容易にするため、４つのウエハチップ保持ヘッド６にウエハチップ保持ヘッド６Ａ～６Ｄの番号を付することにし、主として、ウエハチップ保持ヘッド６Ａの動作について説明する。なお、他のウエハチップ保持ヘッド６Ｂ～６Ｄは、ウエハチップ保持ヘッド６Ａと同じ動作となるので、説明を省略する。

まず、図９（Ａ）に示すように、ウエハチップ供給部３及びパッケージ本体供給部１０が退避した状態で、搬送部５は、制御部９の制御に基づいてウエハチップ保持ヘッド６Ａを載置領域３００に移動する。撮像部７は、制御部９の制御に基づいて、ノズル６１の基端側からノズル６１と基準マーカ１１を撮像する。これにより、載置領域３００における基準マーカ１１とノズル６１の相対位置関係及び相対位相関係が把握され、制御部９には、ずれ量となる補正情報が保持される。さらに搬送部５は、制御部９の制御に基づいてウエハチップ保持ヘッド６Ａを供給領域２００に移動する（図示省略）。撮像部３２は、制御部９の制御に基づいて、ノズル６１の基端側からノズル６１と基準マーカ１１を撮像する。これにより、供給領域２００における基準マーカ１１とノズル６１の相対位置関係及び相対位相関係が把握され、制御部９には、ずれ量となる位置補正情報が保持される。なお、すべてのウエハチップ保持ヘッド６Ａ～６Ｄについても、同様の工程が実行される。

次いで、図９（Ｂ）に示すように、ウエハチップ保持ヘッド６Ａが供給領域２００に到着する前に、ウエハチップ供給部３は、図９（Ａ）の位置補正情報に基づいて、複数のウエハチップ８００の中から１つのウエハチップ８００をノズル６１の到着予定位置の真下に移動させる。到着予定位置への移動制御は、撮像部３２で、供給対象となるウエハチップ８００を撮像することによって実行する。

次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを反時計回りに回動させて、そのノズル６１を、供給領域２００のウエハチップ８００の真上まで移動させる（図９（Ｃ）参照）。

ウエハチップ保持ヘッド６Ａが供給領域２００で静止している間に、外部付勢部８がウエハチップ保持ヘッド６Ａを押圧してノズル６１を下降させ、ノズル６１によってウエハチップ８００を吸着保持する。その後、外部付勢部８による押圧を解除すると、ウエハチップ保持ヘッド６Ａ（ノズル６１）が上昇する。その後、撮像部３２は、ノズル６１によって保持されたウエハチップ８００を撮像し、この撮像データに基づいて、制御部９が、ノズル６１に対するウエハチップ８００の保持姿勢を算出する。

次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを再び反時計回りに略９０°回動させて、再び所定の時間静止させる（図９（Ｄ）参照）。次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを再び反時計回りに略９０°回動させて、載置領域３００で所定の時間静止させる（図９（Ｅ）参照）。ウエハチップ８００が載置領域３００まで移動する前に、制御部９は、ウエハチップ８００が正しい位相（載置領域３００における基準位相）となるように回転制御する。また、図９（Ｄ）から図９（Ｅ）に遷移する間に、制御部９は、整列トレイ移動部１１２の制御を開始する。整列トレイ移動部１１２は、載置領域３００におけるノズル６１の補正情報（ずれ量）及び図９（Ｃ）で算出されたウエハチップ８００の保持姿勢情報に基づいて、パッケージ本体９００をノズル６１またはウエハチップ８００の到着予定位置の直下に移動させる。パッケージ本体９００のその位置を、載置基準位置と呼ぶ。結果、載置予定のウエハチップ８００が到着する前に、予めパッケージ本体９００を正しい位置（載置基準位置）に待機させる。なお、この位置制御は、撮像部７によってパッケージ本体９００を撮像することで実現する。

図９（Ｅ）では、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００が重畳する。撮像部７は、ウエハチップ保持ヘッド６Ａで保持されるウエハチップ８００及びパッケージ本体９００を同時撮像する。撮像部７の画像情報を受信した制御部９の計算機９０は、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の相対位置ずれ及び相対位相ずれを算出する。既に述べたように、ウエハチップ８００は、載置領域３００に到着する前にあらかじめ位相制御され、パッケージ本体９００は、ウエハチップ８００が到着する前に位置制御されて載置基準位置にいるので、通常、両者の相対位置ずれ量及び相対位相ずれ量が極小化されている。しかし、その制御結果を、この撮像工程によって実際に確認できる。もし、相対位相ずれが生じている場合、制御部９は、図１０（Ａ）及び図１０（Ｂ）に示すようにノズル６１を回動制御して、ウエハチップ８００の位相をパッケージ本体９００の位相に一致させる。もし、相対位置ずれが生じている場合、図１０（Ｃ），（Ｄ）に示すように、パッケージ本体９００をＸ－Ｙ平面で移動させてウエハチップ８００に一致させる。

なお、図１０（Ｅ），（Ｆ）に示すように、ノズル６１に対してウエハチップ８００の中心が偏心した状態で保持される場合は、ウエハチップ８００の位相ずれの補正制御に連動して、新たな位置ずれも生じる。制御部９は、この新たな位置ずれも折り込んで、パッケージ本体９００を位置制御して、ウエハチップ８００に一致させる。

本実施形態では、図９（Ｅ）において、撮像部７がウエハチップ８００とパッケージ本体９００を同時撮影する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。例えば図９（Ｅ）の直前（ウエハチップ８００の到着前）に、撮像部７によってパッケージ本体９００のみを撮影し、その後、図９（Ｅ）のウエハチップ８００の到着後は、ウエハチップ８００のみを撮影してもよい。

図９（Ｅ）において、ウエハチップ８００及びパッケージ本体９００の位置決めが終わると、制御部９は、外部付勢部８によりウエハチップ保持ヘッド６Ａを押圧させて、ノズル６１を下降させる。制御部９は、ノズル６１によるウエハチップ８００の吸着を解除することにより、ウエハチップ８００をパッケージ本体９００に載置して、組立物１０００を完成させる。載置装置１は、ウエハチップ保持ヘッド６Ａ～６Ｄについて、同時並行的に上記動作を繰り返すことによって、全てのパッケージ本体９００にウエハチップ８００を高精度に組み付ける。

上記工程では、ウエハチップ保持ヘッド６Ａが載置領域３００に到着する前に、ノズル６１に吸着されたウエハチップ８００を回転制御する場合を例示したが、この工程を省略することで、ウエハチップ８００のすべての回転制御を、載置領域３００でまとめて行うようにしてもよい。また、供給領域２００から載置領域３００まで移動する途中で、機械的にウエハチップ８００の保持姿勢を修正することもできる。例えば、図１１（Ａ）から（Ｃ）に示すように、ノズル６１で吸着されたウエハチップ８００を、センタリング治具５００に一時的に保持させるようにすれば、ウエハチップ８００がノズル６１に対して偏心している状態を機械的に修正できる。

また、ウエハチップ保持ヘッド６Ａが載置領域３００に到着する前のウエハチップ８００の保持姿勢への修正は、供給領域２００から載置領域３００までの移動軌跡の途中に配設される撮像部（図示省略）の撮像結果を用いてもよい。

＜第二実施形態＞
次に、図１２及び図１３を参照して、本発明の第二実施形態における載置装置１について説明する。本実施形態における載置装置１は、第一実施形態における載置装置１と略同様の構成となるが、図１２に示すように、撮像部７００が、ウエハチップ保持ヘッド６の各々に個別に設けられる。この撮像部７００が、ウエハチップ保持ヘッド６（ノズル６１）との相対位置も固定される。なお、撮像部７００は、例えば、電子部品片用のカメラ、ＣＭＯＳカメラやＣＣＤカメラなどで構成される。

撮像部７００は、図１３に示すように、ブラケット７００Ａ等の連結部材を介して、ウエハチップ保持ヘッド６のベース６０に対して直接又は間接的に固定される。結果、撮像部７００は、撮像部配置空間Ｑに位置する。撮像部７００は、ウエハチップ保持ヘッド６と共に搬送部５により移動される。

撮像部７００は、ベース７０に固定せずに、搬送部５（ターレット５２）側に固定することもできる。この場合、Ｘ－Ｙ平面上においては、撮像部７００とウエハチップ保持ヘッド６が一緒に移動するが、Ｚ軸方向については、撮像部７００とウエハチップ保持ヘッド６が相対移動する。

＜載置装置の動作＞
次に、図１４を参照して、第二実施形態における載置装置１の動作について説明する。図１４（Ａ）～（Ｅ）は、本実施形態における載置装置１の動作の様子を時系列に並べた載置装置１の平面図である。まず、図１４（Ａ）に示すように、ウエハチップ供給部３及びパッケージ本体供給部１０が退避した状態で、搬送部５は、制御部９の制御に基づいてウエハチップ保持ヘッド６Ａを供給領域２００及び載置領域３００に移動する。撮像部７００は、制御部９の制御に基づいて、ノズル６１と基準マーカ１１を撮像する。これにより、供給領域２００及び載置領域３００における基準マーカ１１とノズル６１の相対位置関係及び相対位相関係が把握され、制御部９には、ずれ量となる補正情報が保持される。

なお、この補正情報は、主として、供給領域２００において予めウエハチップ８００を適切な位置に供給するする場合や、載置領域３００において予めパッケージ本体９００を適切な位置に待機させる場合に有効活用される。ちなみに、供給領域２００や載置領域３００にノズル６１が到着する都度、ノズル６１の実位置を撮像部７００で撮影しながら、ウエハチップ８００やパッケージ本体９００の位置を調整する場合は、この位置補正情報を取得する工程を省略することもできる。

次いで、図１４（Ｂ）に示すように、ウエハチップ保持ヘッド６Ａが供給領域２００に到着する直前で、ウエハチップ供給部３は、図１４（Ａ）の位置補正情報に基づいて、供給予定のウエハチップ８００を、ノズル６１の到着予定位置の真下に移動させる。

次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを反時計回りに回動させて、そのノズル６１を、供給領域２００のウエハチップ８００の真上まで移動させる（図１４（Ｃ）参照）。搬送部５が静止している間に、ノズル６１を下降させて、ノズル６１によってウエハチップ８００を吸着保持する。

その後、撮像部７００は、ノズル６１によって保持されたウエハチップ８００を撮像する。結果、制御部９は、ウエハチップ８００が、ノズル６１に対してどのような保持姿勢となっているのか算出できるので、ウエハチップ８００が載置領域３００まで移動する間に、ウエハチップ８００が正しい位相となるように回転制御する。撮像部７００は、搬送部５による移動中も、常にウエハチップ８００の姿勢を撮像・確認できる。

次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを再び反時計回りに略９０°回動させて、再び所定の時間静止させる（図１４（Ｄ）参照）。次に、搬送部５は、制御部９の制御に基づいて、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを再び反時計回りに略９０°回動させて、載置領域３００で所定の時間静止させる（図１４（Ｅ）参照）。

なお、図１４（Ｄ）から図１４（Ｅ）に遷移する間に、制御部９は、整列トレイ移動部１１２への制御を開始する。整列トレイ移動部１１２は、載置領域３００におけるノズル６１の補正情報（ずれ量）及び図１４（Ｃ）で算出されたウエハチップ８００の保持姿勢情報に基づいて、パッケージ本体９００をノズル６１またはウエハチップ８００の到着予定位置の直下に移動させる。

図１４（Ｅ）では、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００は重畳する。撮像部７００は、ウエハチップ保持ヘッド６Ａで保持されるウエハチップ８００及びパッケージ本体９００を同時撮像し、その画像情報を制御部９に送信する。制御部９の計算機９０は、画像情報に基づいて、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００の相対位置ずれ及び相対位相ずれを再算定する。既に述べたように、ウエハチップ８００は、載置領域３００に到着する前にあらかじめ位相制御され、パッケージ本体９００は、ウエハチップ８００が到着する前に位置制御されているので、通常、両者の相対位置ずれ量及び相対位相ずれ量が極小化されているが、この工程によって実際に確認できることになる。もし、相対位相ずれが生じている場合、制御部９は、ノズル６１を回動制御して、ウエハチップ８００の位相をパッケージ本体９００の位相に一致させる。もし、相対位置ずれが生じている場合、パッケージ本体９００をＸ－Ｙ平面で移動させることで、ウエハチップ８００に一致させる。

図１４（Ｅ）において、ウエハチップ８００及びパッケージ本体９００の位置決めが終わると、制御部９は、ノズル６１を下降させて吸着を解除し、ウエハチップ８００をパッケージ本体９００に載置する。

＜第三実施形態＞
次に、図１５及び図１６を参照して、本発明の第三実施形態における載置装置１について説明する。載置装置１は、基台２と、ウエハチップ供給部３と、搬送部５と、ウエハチップ保持ヘッド６と、撮像部７００と、制御部９と、パッケージ本体供給部１０を備える。

本実施形態の搬送部５は、Ｙ軸移動機構５Ｙと、このＹ軸移動機構５ＹによってＹ軸方向に移動自在に設けられてるＺ軸移動機構５Ｚを備える。ウエハチップ保持ヘッド６は、Ｚ軸移動機構５ＺにおいてＺ軸方向に移動自在に配置される。結果、ウエハチップ保持ヘッド６はＹ軸方向及びＺ軸方向に往復移動自在となっている。撮像部７００は、ウエハチップ保持ヘッド６に固定配置される。この構造は、図１３で示した態様と同一である。

搬送部５は、さらに、Ｘ軸移動機構５４を有する。このＸ軸移動機構５４は、ウエハチップ供給部３及びパッケージ本体供給部１０を、まとめて一緒にＸ軸方向に往復移動させる。具体的にＸ軸移動機構５４は、駆動部１２１と移動台１２０を有する。駆動部１２１は、Ｘ軸方向に移動台１２０を往復移動させる。移動台１２０上にウエハチップ供給部３及びパッケージ本体供給部１０が固定されている。

＜載置装置の動作＞
次に、本第三実施形態における載置装置１の動作について説明する。まず、図１６（Ａ）に示すように、Ｘ軸移動機構５４によって、移動台１２０をＸ軸方向の右側に移動させて、ウエハチップ８００を、ウエハチップ保持ヘッド６の中心軸ＣＬに位置決めする。同時に、Ｙ軸移動機構５Ｙによって、ウエハチップ保持ヘッド６をＹ軸方向に移動させて、ウエハチップ８００の直上に移動させる。図１６（Ｂ）に示すように、ウエハチップ８００の真上にノズル６１が位置決めされた際、撮像部７００は、ノズル６１とウエハチップ８００を撮像する。撮像部７００による撮像情報に基づいて、制御部９は、Ｘ軸移動機構５４、Ｙ軸移動機構５Ｙを制御して、ノズル６１とウエハチップ８００のＸ－Ｙ平面上の相対位置を最終調整する。

ノズル６１とウエハチップ８００のＸ－Ｙ平面上の相対位置が調整されると、Ｚ軸移動機構５Ｚによってウエハチップ保持ヘッド６を下降させ、ノズル６１の先端でウエハチップ８００を吸着する。その後、Ｚ軸移動機構５Ｚは、ウエハチップ保持ヘッド６を上昇させる。

次に、図１６（Ｃ）に示すように、Ｘ軸移動機構５４が、移動台１２０をＸ軸方向の左側に移動させて、載置予定となるパッケージ本体９００を、ウエハチップ保持ヘッド６の中心軸ＣＬまで移動させる。同時に、Ｙ軸移動機構５Ｙによって、ウエハチップ保持ヘッド６をＹ軸方向に移動させて、ウエハチップ８００をパッケージ本体９００の直上に移動させる。この状態で、撮像部７００は、ウエハチップ８００とパッケージ本体９００を同時に撮像する。制御部９は、この撮像情報を利用して、両者の相対位置及び相対位相のずれを算出する。その後、制御部９は、Ｘ軸移動機構５４、Ｙ軸移動機構５Ｙ、ウエハチップ保持ヘッド６の回動駆動部６３を制御して、ノズル６１とウエハチップ８００のＸ－Ｙ平面上の相対位置及びＺ軸周りの相対位相を一致させる。調整が完了したら、制御部９は、Ｚ軸移動機構５Ｚにより、ウエハチップ保持ヘッド６Ａを下降させ、ノズル６１によるウエハチップ８００の吸着を解除して、ウエハチップ８００をパッケージ本体９００に載置する。その後は、以上で説明した動作を繰り返すことで、全てのパッケージ本体９００にウエハチップ８００を高精度に組み付けることができる。

＜初期設定に関する変形例＞
第一実施形態の載置装置１では、図８に示すように、固定位置に基準マーカ１１を配置し、基準位置１５０に対するノズル６１、供給領域２００、パッケージ本体供給部１０のずれ量を算出する場合を例示したが、本発明はこれに限定されない。

例えば図１７（Ａ）に示すように、パッケージ本体供給部１０の整列トレイ１１０に、基準マーカ１１（これは基準パッケージ等であっても良い）を配置できる。撮像部によって、ノズル６１と基準マーカ１１を撮影し、図１７（Ｂ）に示すように、整列トレイ移動部１１２によって基準マーカ１１を移動させて、ノズル６１と基準マーカ１１のＸ－Ｙ平面上の位置を一致させる。制御部９は、ノズル６１と基準マーカ１１の両者が一致した状態における整列トレイ移動部１１２の制御量を、整列トレイ１１０の基準位置情報として保存できる。全てのパッケージ本体９００の位置は、基準マーカ１１（整列トレイ１１０の基準位置情報）からの相対位置情報として定義されるので、基準位置情報を利用すれば、全てのパッケージ本体９００を、ノズル６１の直下に位置決めできる。なお、この場合においても、複数のノズル６１の各ノズル６１に対応するように、整列トレイ１１０の基準位置情報を保存することが望ましい。なお、この制御は、供給領域２００におけるウエハチップ供給部３でも同様に行うことができる。

更に本実施形態では、基準マーカ１１を、供給領域２００及び載置領域３００の双方に配置する場合を例示したが、本発明はこれに限定されず、少なくとも一方に配置することができる。また、基準マーカ１１を、供給領域２００及び載置領域３００以外の場所に配置できる。

＜第四実施形態＞
図１８及び図１９を参照して、本発明の第四実施形態における載置装置１について説明する。本実施形態における載置装置１は、他の実施形態のものと異なり、ノズル６１及びノズル保持部６２を回動させる機構がないため、ノズル６１及びノズル保持部６２は回動しない。

具体的にウエハチップ保持ヘッド６は、図１８に示すように、ベース６０と、ノズル６１と、ノズル保持部６２と、を有するが、回動駆動部６３（例えば、モーター６３１と、プーリー６３２と、ベルト６３３）及びそれに関連するもの（例えば、筒状部材６７に設けられたベルト溝６７７、回動角度検出センサ６３７）を有しない。そして、本実施形態におけるベース６０は、主台部６０１と、案内片６０３と、リング照明Ｖを有するが、ノズル保持部６２を回動自在に支持する回動支持部６０２は有しない。このため、他の実施形態と異なり、本実施形態における主台部６０１には、連結ネジ６０７によりノズル保持部６２の筒状部材６７が直接固定される。

＜載置装置の動作＞
本実施形態の載置装置１では、載置領域３００において、ウエハチップ８００と、載置基準位置に予め位置するパッケージ本体９００の最終的な相対位置決めは、基台２に対するウエハチップ８００の姿勢を維持しつつ、ウエハチップ８００に対してパッケージ本体９００を相対移動させることにより行う。具体的には、図１９（Ａ），（Ｂ）に示すように、載置領域３００において、ウエハチップ８００と、載置基準位置に予め位置するパッケージ本体９００が重畳した後、基台２に対してウエハチップ８００を静止させたままで、他の実施形態における載置装置１で説明した被搭載物移動機構（整列トレイ１１０、整列トレイ移動部１１２）、又は、Ｘ軸移動機構５４、又は、Ｙ軸移動機構５Ｙ等によりＸ－Ｙ平面上においてパッケージ本体９００を移動させて、ウエハチップ８００に対するパッケージ本体９００の最終的な相対位置決めを行う。つまり、パッケージ本体９００に対するウエハチップ８００の相対位相差を維持しつつ、パッケージ本体９００を移動させて最終的な相対位置決めが行われる。

ただし、以上に限定されるものではなく、図１９（Ｃ），（Ｄ）に示すように、載置領域３００において、ウエハチップ８００と、載置基準位置に予め位置するパッケージ本体９００が重畳した後、基台２に対してパッケージ本体９００を静止させたままで、基台２に対するウエハチップ８００の姿勢を維持しつつ、ウエハチップ保持ヘッド６をＸ－Ｙ平面上において移動させる（図示しない）別のＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構によりＸ－Ｙ平面上においてウエハチップ保持ヘッド６を移動させて、ウエハチップ８００に対するパッケージ本体９００の最終的な相対位置決めを行ってもよい。つまり、パッケージ本体９００に対するウエハチップ８００の相対位相差を維持しつつ、ウエハチップ８００を移動させて最終的な相対位置決めが行われてもよい。

さらに、図１９（Ｅ），（Ｆ）に示すように、（図示しない）上記別のＸ軸移動機構、Ｙ軸移動機構によりＸ－Ｙ平面上においてウエハチップ保持ヘッド６を移動させつつ、他の実施形態における載置装置１で説明した被搭載物移動機構（整列トレイ１１０、整列トレイ移動部１１２）、又は、Ｘ軸移動機構５４、又は、Ｙ軸移動機構５Ｙ等によりＸ－Ｙ平面上においてパッケージ本体９００を移動させることにより、ウエハチップ８００に対するパッケージ本体９００の最終的な相対位置決めを行ってもよい。つまり、パッケージ本体９００に対するウエハチップ８００の相対位相差を維持しつつ、ウエハチップ８００及びパッケージ本体９００を移動させて最終的な相対位置決めが行われてもよい。

供給領域２００においてノズル６１がウエハチップ８００を所望の回転位相（載置領域３００におけるウエハチップ８００の基準位相）で精度良く保持できる場合、載置領域３００において、パッケージ本体９００に対するウエハチップ８００の相対位相差がほとんどゼロにすることができる。この場合、ノズル６１及びノズル保持部６２の回動機構を設けなくてもよいので、載置装置１の構造をより簡単にすることができる。さらに、ノズル６１及びノズル保持部６２の回動動作が無くなると、その分、ウエハチップ８００をパッケージ本体９００に載置する動作が速くなる。結果、単位時間当たりに完成する組立物１０００の数が他の実施形態の場合と比較して多くなり、生産効率が向上する。

なお、本明細書中におけるパッケージ本体供給部１０が有する被搭載物移動機構、整列トレイ移動部１１２、搬送部５が有するＸ－Ｙ平面移動機構（Ｘ軸移動機構５４、Ｙ軸移動機構５Ｙ）、回動機構または直動機構、及びそれらに類するものは、それぞれウエハチップ保持ヘッド（物品保持ヘッド）６とパッケージ本体（被搭載物）９００を、ノズル６１の中心軸線６１３に対して直交する方向に相対移動させる軸直交方向移動部と見做すことができる。

また、本発明の載置装置及びウエハチップ保持ヘッド（物品保持ヘッド）は、上記した実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加え得ることは勿論である。

１ 載置装置
２ 基台
３ ウエハチップ供給部
４ アーム
５ 搬送部
６，６Ａ，６Ｂ，６Ｃ，６Ｄ ウエハチップ保持ヘッド
７，３２,７００ 撮像部
８ 外部付勢部
９ 制御部
１０ パッケージ本体供給部
１１ 基準マーカ
３０ 載置トレイ
３１ 載置トレイ移動部
５０ 回動機構
５１ 回動軸線
５２ ターレット
５３ ターレット駆動部
５４ 直動機構
６０ ベース
６１ ノズル
６２ ノズル保持部
６３ 回動駆動部
６５，６５Ａ 透明保持部材
６６ 透明カバー部材
６７ 筒状部材
６９ 案内機構
９０ 計算機
１１０ 整列トレイ
１１２ 整列トレイ移動部
１２０ 移動台
１２１ 駆動部
２００ 供給領域
３００ 載置領域
４００ 廃棄領域
５００ センタリング治具
６０１ 主台部
６０２ 回動支持部
６０３ 案内片
６１０ 先端側開口
６１３ ノズルの中心軸線
６３１ モーター
６３２ プーリー
６３３ ベルト
６３４ プーリー支持台
６３７ 回動角度検出センサ
６５０ 挿入孔
６５０Ａ，６５０Ｂ 円盤プレート
６５１ 透明保持部材の外周面
６５２ ノズル保持部材の中心軸線
６５５ 透明保持部材の基端面
６６０ 円筒スペーサ
６７０ 筒状部の中心軸線
６７１ 筒状本体部材片
６７２ 筒状先端部材片
６７６ 筒状部側流路
６８０ チャンバー
８００ ウエハチップ
８１０ ウエハ
９００ パッケージ本体
１０００ 組立物
Ｋ 保持変動範囲
Ｌ 撮像可能範囲
Ｒ 占有領域
Ｓ 撮像空間

Claims (26)

1. 搬送対象となる物品を保持する物品保持ヘッドであって、
   自身の先端で前記物品を保持するノズルと、
   透明な材質で構成され、前記ノズルの外周面に接触して前記ノズルを保持する透明保持部材を有するノズル保持部と、
   前記ノズルの基端側に形成され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像するための撮像空間と、
   を備えることを特徴とする、
   物品保持ヘッド。
2. 前記ノズルの中心軸線を回動中心として前記ノズル保持部を回動自在の状態で支持するベースと、
   前記ベースに対して前記ノズル保持部を相対回動させる回動駆動部と、
   を備えることを特徴とする、
   請求項１に記載の物品保持ヘッド。
3. 前記透明保持部材は、前記ノズルが挿入される挿入孔を有することを特徴とする、
   請求項１又は２に記載の物品保持ヘッド。
4. 前記透明保持部材の内部又は表面には、前記ノズルまで負圧を案内する負圧経路が形成されることを特徴とする、
   請求項１～３のいずれか一項に記載の物品保持ヘッド。
5. 前記ノズル保持部は、前記透明保持部材と対向するように配置され、かつ、透明な材質で構成される透明カバー部材を有しており、
   前記透明カバー部材と前記透明保持部材によって挟まれる空間によって、前記ノズルまで負圧を案内する負圧経路が形成されることを特徴とする、
   請求項１～３のいずれか一項に記載の物品保持ヘッド。
6. 前記ノズル保持部は、前記ノズルの中心軸線と自身の中心軸線が同軸となるように配設される筒状部材を有しており、
   前記透明保持部材が、前記筒状部材に固定されることを特徴とする、
   請求項１～５のいずれか一項に記載の物品保持ヘッド。
7. 前記ノズル保持部は、前記ノズルの中心軸線と自身の中心軸線が同軸となるように配設される筒状部材を有しており、
   前記透明保持部材及び前記透明カバー部材が、互いに前記ノズルの中心軸線に沿う方向に間隔を開けた状態で、前記筒状部材に固定され、
   前記筒状部材、前記透明保持部材及び前記透明カバー部材によって囲まれる空間によって、前記負圧経路が形成されることを特徴とする、
   請求項５に記載の物品保持ヘッド。
8. 前記筒状部材には、負圧発生部の負圧を前記ノズルに導入するための筒状部材側負圧経路が形成されることを特徴とする、
   請求項６又は７に記載の物品保持ヘッド。
9. 前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部を備えることを特徴とする、
   請求項１～８のいずれか一項に記載の物品保持ヘッド。
10. 前記撮像部の光軸と、前記ノズルの中心軸線が平行となることを特徴とする、
    請求項９に記載の物品保持ヘッド。
11. 前記撮像部の前記光軸と、前記ノズルの中心軸線が重畳することを特徴とする、
    請求項１０に記載の物品保持ヘッド。
12. 前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部と、
    計算機を有する制御部と、
    を備え、
    前記撮像部が、前記物品と、前記物品が載置される被搭載物を撮像するようになっており、
    前記制御部が、前記撮像部による前記物品及び前記被搭載物に対する撮像結果に基づいて前記回動駆動部を制御して、前記ノズル保持部を相対回動させることを特徴とする、
    請求項２～８のいずれか一項に記載の物品保持ヘッド。
13. 前記撮像空間に配置され、前記透明保持部材を介して、前記ノズルの先端で保持された前記物品を撮像する撮像部を備え、
    前記撮像部は、前記ベースに対して直接又は間接的に固定されることを特徴とする、
    請求項２に記載の物品保持ヘッド。
14. 物品を被搭載物に載置する載置装置であって、
    請求項１～１３のいずれか一項に記載の物品保持ヘッドと、
    前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を、前記ノズルの中心軸線に対して直交する方向に相対移動させる軸直交方向移動部と、
    を備えることを特徴とする、
    載置装置。
15. 前記物品保持ヘッドは、請求項９～１３のいずれか一項に記載のものであり、
    前記撮像部の被写界深度内に、前記物品と前記被搭載物の双方が含まれることを特徴とする、
    請求項１４に記載の載置装置。
16. 前記物品保持ヘッドは、請求項１２に記載のものであり、
    前記制御部は、前記軸直交方向移動部により前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を相対移動させることを特徴とする、
    請求項１４又は１５に記載の載置装置。
17. 前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記物品及び前記被搭載物を撮像し、
    前記制御部は、前記撮像結果を利用して、前記回動駆動部及び／又は前記軸直交方向移動部を制御して、前記物品と前記被搭載物の姿勢又は位置の調整を行うことを特徴とする、
    請求項１６に記載の載置装置。
18. 前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品及び前記被搭載物の一方を撮像して一方撮像結果を取得し、
    前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記物品及び前記被搭載物の他方を撮像して他方撮像結果を取得し、
    前記制御部は、前記一方撮像結果及び前記他方撮像結果を利用して、前記回動駆動部及び／又は前記軸直交方向移動部を制御して、前記物品と前記被搭載物の姿勢又は位置の調整を行うことを特徴とする、
    請求項１６又は１７に記載の載置装置。
19. 前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記一方撮像結果に基づいて、前記回動駆動部又は前記軸直交方向移動部の一方の制御を開始して、前記物品及び前記被搭載物の一方の姿勢又は位置を調整し、
    前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記他方撮像結果に基づいて、前記回動駆動部又は前記軸直交方向移動部の他方の制御を開始して、前記物品及び前記被搭載物の他方の姿勢又は位置を調整することを特徴とする、
    請求項１８に記載の載置装置。
20. 前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品を撮像して物品撮像結果を取得し、
    前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳する前に、前記物品撮像結果に基づいて、前記回動駆動部の制御を開始して、前記物品の姿勢を調整し、
    前記撮像部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記被搭載物を撮像して被搭載物撮像結果を取得し、
    前記制御部は、前記物品と前記被搭載物が前記ノズルの中心軸線に沿う方向において重畳した後に、前記被搭載物撮像結果に基づいて、前記軸直交方向移動部の制御を開始して、前記被搭載物の姿勢又は位置を調整することを特徴とする、
    請求項１９に記載の載置装置。
21. 前記軸直交方向移動部は、前記撮像部と前記物品保持ヘッドの相対位置を変動させることなく、前記物品保持ヘッドと前記被搭載物を相対移動させることを特徴とする、
    請求項１５～２０のいずれか一項に記載の載置装置。
22. 前記撮像部は、前記物品を前記被搭載物に載置する載置領域を撮像可能な場所に固定されることを特徴とする、
    請求項１５～２１のいずれか一項に記載の載置装置。
23. 基準位置情報を表示する基準マーカを備え、
    前記撮像部は、前記ノズルと前記基準位置情報を撮像し、
    前記制御部は、前記ノズルと前記基準位置情報の差を算出して、位置補正情報として保持することを特徴とする、
    請求項１６～２２のいずれか一項に記載の載置装置。
24. 前記基準マーカは、前記物品を前記被搭載物に載置する載置領域に配置されることを特徴とする、
    請求項２３に記載の載置装置。
25. 前記軸直交方向移動部は、回動軸線を中心に回動する回動機構を有しており、
    複数の前記物品保持ヘッドは、前記ノズルの中心軸線と前記回動軸線とが平行となる姿勢で、前記回動機構の周方向に設けられることを特徴とする、
    請求項１４～２４のいずれか一項に記載の載置装置。
26. 前記軸直交方向移動部は、前記回動機構に加えて、前記被搭載物を移動させる被搭載物移動機構を有していることを特徴とする、
    請求項２５に記載の載置装置。

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