JP2021030311A

JP2021030311A - 加工装置

Info

Publication number: JP2021030311A
Application number: JP2019148448A
Authority: JP
Inventors: 弘樹宮本; Hiroki Miyamoto
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-08-13
Filing date: 2019-08-13
Publication date: 2021-03-01
Anticipated expiration: 2039-08-13
Also published as: JP7291033B2

Abstract

【課題】作業者による測定や位置決め作業を行わずに、基台の中心と保持面の中心とを一致させる。【解決手段】変位測定手段８により測定されたチャックテーブル２の変位Δに基づいて算出され第２記憶部９２に記憶された、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃと押し部６との距離が最小となる角度に、角度制御手段９３を用いて基台２２を位置付けるとともに、第１記憶部９１に記憶された基台２２と押し部６との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致するときの基台２２の位置に、水平移動手段５を用いて基台２２を移動させる。これにより、押し部６にチャックテーブル２の外側面２１ｃが押されてチャックテーブル２が水平方向に移動して、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とが一致する。【選択図】図４

Description

本発明は、加工装置に関する。

研削砥石を用いて保持面に保持されたウェーハを研削する研削装置においては、特許文献１に開示のように、ウェーハの外周に形成されウェーハの結晶方位を示すノッチまたはオリエンテーションフラットを特定の位置に位置決めし、ウェーハの中心と保持面の中心とを一致させ保持面に保持させている。保持面は、ウェーハの面積および形状に一致した面積および形状に形成される。かかる保持面にウェーハを保持させると、両者の形状が一致しているために、保持面はウェーハに覆われることとなる。これにより、研削中に保持面からウェーハが剥がれるという問題と、ウェーハの下面に研削屑が付着するという問題が解消されている。

ここで、例えば、研削装置には、チャックテーブルを装着する少なくとも２つの基台をターンテーブルに備える種類の研削装置があり、かかる２つの基台にはそれぞれチャックテーブルが装着される。例えば、ターンテーブルの上に２つの基台が配設されている場合、ターンテーブルを回転させると、一方のチャックテーブルが研削加工位置に位置付けられるとともに、他方のチャックテーブルがウェーハを保持面に搬送可能な搬送位置に位置付けられる。２つの基台は、ターンテーブルの円周上に等しい間隔をあけて配設されている。それぞれの基台は、基台の中心を通り基台に垂直な回転軸を軸に基台を回転させる回転手段を備える。チャックテーブルは、作業者が基台の中心とチャックテーブルの中心とを一致させて基台に装着する。ウェーハを搬送する搬送手段を備えた全自動機では、ターンテーブルが回転することによって、チャックテーブルが公転させられて、チャックテーブルが毎度同じ搬送位置に位置付けられるため、ウェーハも同様に毎度同じ搬送位置に位置付けることにより、順次、保持面とウェーハとを一致させて保持面にウェーハを保持させることが可能になる。

特開２０１７−０９２４１２号公報

チャックテーブルの中心と基台の中心とを一致させる作業は、チャックテーブルを回転させながらチャックテーブルの外周の変位（基台の上に載置されているチャックテーブルが基台の外周からどれだけはみ出しているかを示す量）を測定して、変位が小さくなるように作業者がチャックテーブルを水平方向に移動させて位置決めするという面倒な作業を要する。
したがって、加工装置には、作業者が測定や位置決め等を行わずに基台の中心と保持面の中心とを一致させるという解決すべき課題がある。

本発明は、保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの該保持面の反対面である下面が接触し該チャックテーブルを支持する支持面を有する基台と、該支持面の中心を通る回転軸を軸に該基台を回転させる回転手段と、該基台に支持された該チャックテーブルの該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、を少なくとも備えた加工装置であって、該基台を水平方向に移動させる水平移動手段と、該基台に対し該水平方向に離間して配設され、該チャックテーブルの外側面を押す押し部と、該水平方向における該押し部と該基台の中心との距離が該チャックテーブルの半径と一致するときの該押し部に対する該基台の位置を記憶する第１記憶部と、該回転手段で該チャックテーブルを該支持面に載置した該基台を回転させ、また、該水平移動手段で該チャックテーブルを該支持面に載置した該基台を水平方向に移動させ、該押し部に対する該基台の位置を該第１記憶部に記憶された位置に移動させ、該チャックテーブルの外側面を該押し部で押し、該チャックテーブルの中心と該基台の中心とを一致させる制御手段とを備え、該基台の中心と該チャックテーブルの中心とを一致させる加工装置である。
上記の加工装置は、該押し部を水平方向に移動させる押し部移動手段を備え、該制御手段は、該押し部移動手段を制御し、該押し部と基台の中心との距離を該チャックテーブルの半径と一致させる加工装置であることが望ましい。
上記の加工装置は、該基台を回転させ該基台に支持された該チャックテーブルの外周の変位を測定する変位測定手段、を備え、該制御手段は、該基台を回転させ、該変位測定手段で該基台の該支持面に載置した該チャックテーブルの外周の変位を測定し、該チャックテーブルの外側面と該押し部との距離が最小となる角度を記憶する第２記憶部と、該回転手段を制御し、該第２記憶部に記憶された角度に該基台を位置づける角度制御部と、該水平移動手段を制御し、該角度制御部が位置づけた該基台を該第１記憶部に記憶された位置に移動させ、該基台の中心と該チャックテーブルの中心とを一致させる位置制御部と、を備える加工装置であることが望ましい。
上記の加工装置に備える該制御手段は、該水平移動手段を制御し、該第１記憶部に記憶した位置に該基台を移動させる位置制御部と、該回転手段を制御し、該位置制御部が移動させた該基台を回転させ、該押し部に該チャックテーブルの外側面を押し当て、該基台の中心と該チャックテーブルの中心とを一致させる回転制御部と、備えていることが望ましい。

第２記憶部に記憶した外側面と押し部との距離が最小となる回転角度に基台を位置付けてから、第１記憶部に記憶した押し部と基台の中心との間の距離がチャックテーブルの半径に一致するときの基台の位置に、基台を移動させることにより、基台の中心とチャックテーブルの中心とを一致させることができる。加工装置に備える変位算出手段や押し部等によって基台の中心とチャックテーブルの中心とを一致させることができるため、作業者が自ら手作業等により変位を測定したり、チャックテーブルの位置決めを行ったりするといった作業を省くことができる。これにより、被加工物の研削加工の効率化を図ることができる。
また、第１記憶部に記憶された位置に基台が位置付けられている状態で、回転制御部を用いて基台を回転させることによって、押し部の当接部材にチャックテーブルの枠体の外側面を押し当てることにより、チャックテーブルのうち、基台の支持面からはみだした部分（変位がゼロでない部分）については、外側面が当接部材によって押されて基台の中心の方向に向かって水平移動していき、各々の回転角度におけるチャックテーブルの変位の値が次第にゼロに近づいていき、基台の中心とチャックテーブル２の中心とを一致させることができる。

加工装置の全体を表す斜視図である。加工装置を側方から見た断面図である。変位測定中におけるチャックテーブルを側方から見た断面図である。第２記憶部に記憶された角度に基台を位置付けて、第１記憶部に記憶された位置に基台を移動させる様子を側方から見た断面図である。ターンテーブルの上に配設されている基台に押し部を移動させて接近させる様子をチャックテーブルの上方から見た上面図である。押し部と基台の中心との間の距離がチャックテーブルの半径に一致している状態において、基台を回転させる様子を側方から見た断面図である。ターンテーブルの上に配設されている基台に押し部を旋回移動させて接近させる様子をチャックテーブルの上方から見た上面図である。

１加工装置の構成
図１に示す加工装置１は、チャックテーブル２の保持面２０ａに保持された半導体ウェーハ等の被加工物Ｗを、加工手段３を用いて研削加工する加工装置である。以下、加工装置１の構成について説明する。

図１に示すように、加工装置１は、Ｙ軸方向に延設されたベース１０と、ベース１０の上における＋Ｙ方向側に立設されたコラム１１とを備えている。

コラム１１の−Ｙ方向側の側面には、例えば、加工手段３を支持する加工送り手段４が配設されている。図１に示すように、加工手段３は、Ｚ軸方向の回転軸３５を有するスピンドル３０と、スピンドル３０を回転可能に支持するハウジング３１と、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転駆動するモータ３２と、スピンドル３０の下端に接続された円環状のマウント３３と、マウント３３の下面に着脱可能に装着された研削ホイール３４とを備える。研削ホイール３４は、ホイール基台３４１と、ホイール基台３４１の下面に環状に配列された略直方体形状を有する複数の研削砥石３４０とを備えており、研削砥石３４０の下面は被加工物Ｗを研削する研削面３４０ａとなっている。

加工送り手段４は、Ｚ軸方向の回転軸４５を有するボールネジ４０と、ボールネジ４０に対して平行に配設された一対のガイドレール４１と、ボールネジ４０の上端に連結され回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回動させるモータ４２と、内部のナットがボールネジ４０に螺合し側部がガイドレール４１に摺接する昇降板４３と、昇降板４３に連結されスピンドル３０を保持するホルダ４４とを備えている。
モータ４２を用いてボールネジ４０を駆動することにより、ボールネジ４０が回転軸４５を軸にして回転すると、これに伴って、昇降板４３がガイドレール４１に案内されてＺ軸方向に昇降移動するとともにホルダ４４に保持されている加工手段３がＺ軸方向に移動することとなる。

図１に示すように、ベース１０の上には、チャックテーブル２が配設されている。チャックテーブル２は、略円板形状を有する吸引部２０と吸引部２０を支持する枠体２１とを備えている。吸引部２０の上面は被加工物Ｗが保持される保持面２０ａとなっている。

図１に示すように、ベース１０の上における−Ｙ方向側には、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃを押す機能を有する押し部６が備えられている。押し部６は、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃに当接して外側面２１ｃをＹ軸方向に押す当接部材６０と、当接部材６０を支持するアーム６１とを備えている。押し部６は、水平移動手段５による基台２２の移動方向であるＹ軸方向において、基台２２に対して離間して配設されている。

ベース１０の上には、押し部６を水平方向に移動させる機能を有する押し部移動手段７が配設されている。押し部移動手段７は、例えば、ベース１０の上にＹ軸方向に延設された支持板７００と、支持板７００の側面７００ｃに配設され、Ｙ軸方向の回転軸７５を有するボールネジ７０と、ボールネジ７０に対して平行になるように、同じく支持板７００の側面７００ｃに配設されたガイドレール７１と、ボールネジ７０に連結され回転軸７５を軸にしてボールネジ７０を回動させるモータ７２と、ボールネジ７０に螺合するナット７４と、ナット７４連結されるとともにガイドレール７１に摺接しガイドレール７１に沿ってＹ軸方向に移動する可動部７３とを備えており、可動部７３にはアーム６１が連結されている。
モータ７２によってボールネジ７０が駆動されてボールネジ７０が回転軸７５を軸として回転すると、これに伴い、可動部７３がガイドレール７１に案内されてＹ軸方向に移動し、可動部７３に連結されているアーム６１がＹ軸方向に移動することとなる。
押し部移動手段７は、押し部６をＹ軸方向に移動させる機能を有するものに限らず、例えば、アーム６１を同一平面上において旋回移動させる機能等を有するものであってもよい。
例えば、水平移動手段５により基台２２がＹ軸方向に移動したり、押し部移動手段７により押し部６がＹ軸方向に移動したりすることによって、基台２２と押し部６とは、互いに接近・離間することとなる。

ベース１０の上には、基台２２を回転させながら基台２２に支持されているチャックテーブル２の枠体２１の外周の変位ｄ１を測定する変位測定手段８が配設されている。
変位測定手段８は、カメラ８０とカメラ８０を支持するＬ字状コラム８１とを備えており、カメラ８０を用いて、例えばチャックテーブル２の上方からチャックテーブル２の外周を撮像することにより変位ｄ１を測定することができる。
変位ｄ１は、基台２２に支持されているチャックテーブル２の枠体２１が、基台２２から基台２２の径方向にどれだけはみ出しているのかを示す値である。例えば基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とが一致して、基台２２の外側面２２ｃと枠体２１の外側面２１ｃとが略面一となっているときには、変位ｄ１の値はゼロとなる。

チャックテーブル２の周囲にはカバー１２が配設されており、カバー１２は蛇腹１３に伸縮可能に連結されている。
チャックテーブル２がＹ軸方向に移動すると、カバー１２が基台２２と一体的にＹ軸方向に移動して、蛇腹１３が伸縮することとなる。

図１に示すように、ベース１０の内部には、内部ベース１００が配設されている。内部ベース１００の上には、基台２２を水平方向に移動させる水平移動手段５が配設されている。

水平移動手段５は、Ｙ軸方向の回転軸５５を有するボールネジ５０と、ボールネジ５０に対して平行に配設された一対のガイドレール５１と、ボールネジ５０に連結され回転軸５５を軸にしてボールネジ５０を回動させるモータ５２と、ボールネジ５０に螺合するナット５６と、底部がナット５６に連結されガイドレール５１に沿ってＹ軸方向に移動する可動板５３とを備えている。モータ５２にボールネジ５０が駆動されてボールネジ５０が回転軸５５を軸として回転すると、これに伴い、可動板５３がガイドレール５１に案内されてＹ軸方向に移動することとなる。

枠体２１の外側面２１ｃは、図２に示すように、押し部６に当接する部分となっており、枠体２１の上面２１ａにおける外周部分には、複数の通し孔２１０が枠体２１の高さ方向（Ｚ軸方向）に貫通形成されている。

チャックテーブル２の下方には円筒形状の基台２２が配設されている。基台２２は、吸引部２０の保持面２０ａに対面している枠体２１の下面２１ｂに接触して、チャックテーブル２を支持する支持面２２ａを有している。
基台２２の支持面２２ａにおける外周部分には、例えば、通し孔２１０よりも小さな径を有する、通し孔２１０と同じ個数のネジ穴２２０が、基台２２の高さ方向（Ｚ軸方向）に形成されている。
チャックテーブル２が基台２２の上に支持されている状態で、ネジ穴２２０に対応するネジ２３が、＋Ｚ方向から通し孔２１０を貫通して、ネジ穴２２０に螺合することにより、基台２２にチャックテーブル２が固定されることとなる。例えば、基台２２にチャックテーブル２が支持されている状態で、基台２２をＹ軸方向に移動させることによって、チャックテーブル２をＹ軸方向に移動させることができる。

なお、基台２２の半径とチャックテーブル２の半径（チャックテーブル２の中心Ｏ２から外側面２１ｃまでの長さ）とは略同一である。

可動板５３の上面５３ａには、例えば、円筒形状のケーシング２６が配設されており、ケーシング２６に囲繞された円筒形状の空間には、図２に示すように、可動板５３と基台２２とを連結する支持軸２７が配設されている。
支持軸２７は、例えばネジ機構や圧電素子等を有し、その長さを自在に変化させることができる。かかる支持軸２７の長さを変化させることにより、基台２２の傾きを調整して基台２２に保持されているチャックテーブル２の傾きを調整することが可能である。

図３に示すように、基台２２の下方には、支持面２２ａの中心を通るＺ軸方向の回転軸２５を軸にして、基台２２を回転させる回転手段２４が配設されている。
回転手段２４は、Ｚ軸方向に平行な軸心を有する駆動軸２４１と、駆動軸２４１を回転させるモータ２４２と、駆動軸２４１の上端に連結されている駆動プーリ２４０と、駆動プーリ２４０に巻回されて駆動プーリ２４０の駆動力を従動プーリ２４４に伝達する伝動ベルト２４３と、駆動プーリ２４０とともに伝動ベルト２４３に巻回されている従動プーリ２４４と、従動プーリ２４４に接続されているスピンドル２４５と、スピンドル２４５の下端に連結されたロータリージョイント２４６と、を備えている。スピンドル２４５は、基台２２の下面２２ｂに連結されている。
モータ２４２を用いて駆動軸２４１を回転させると、駆動プーリ２４０が回転するとともに、駆動プーリ２４０の回転力が伝動ベルト２４３によって従動プーリ２４４に伝達されて従動プーリ２４４が回転することとなる。これにより、従動プーリ２４４に接続されているスピンドル２４５が回転軸２５を軸に回転して、スピンドル２４５に連結されている基台２２が回転軸２５を軸に回転することとなる。

図１に示すように、加工装置１は、水平方向における押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒと一致するときの押し部６に対する基台２２の位置を記憶する第１記憶部９１を備えている。

加工装置１は、加工装置１に配設されている各種の機構を制御するＣＰＵやメモリ等を有する制御手段９を備えている。
制御手段９は、回転手段２４を制御してチャックテーブル２を支持面２２ａに載置した基台２２を回転させながら、水平移動手段５を制御してチャックテーブル２が支持面２２ａに載置されている基台２２の押し部６に対する位置を第１記憶部９１に記憶された位置に移動させて、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃを押し部６によって押すことにより、チャックテーブル２の中心Ｏ２と基台２２の中心Ｏ１とを一致させる機能を有している。

制御手段９においては、制御手段９によって制御されて変位測定手段８が測定したチャックテーブル２の変位の値に基づいて、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃと押し部６の当接部材６０との距離が最小となるときの角度が算出されることとなる。
制御手段９は、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃと押し部６の当接部材６０との距離が最小となるときの角度を記憶する第２記憶部９２を備えている。
制御手段９は、回転手段２４を制御して第２記憶部９２に記憶された角度に基台２２を位置づける角度制御部９３を備えている。
制御手段９は、水平移動手段５を制御して、第２記憶部９２に記憶された角度に位置づけられた基台２２を第１記憶部９１に記憶された位置に移動させ、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させる位置制御部９４を備えている。
制御手段９は、基台２２の回転を制御する回転制御部９５を備えている。回転制御部９５を用いて回転手段２４を制御して、第１記憶部９１に記憶された位置に移動した基台２２を回転させることにより、押し部６にチャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃを押し当てて、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させることができる。

２加工装置の動作
２−１チャックテーブルの芯出し
（第１実施形態）
上記の加工装置１においては、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させるいわゆる芯出しが行われる。以下、芯出し作業の際の加工装置１の動作について説明する。

まず、図２に示すように、基台２２の支持面２２ａにチャックテーブル２を載置して、ネジ２３を通し孔２１０に挿入する。このとき、ネジ２３は、通し孔２１０に挿入されていて、ネジ穴２２０の内部に僅かにネジ２３の先端が螺合している状態にある。従って、チャックテーブル２は、基台２２の支持面２２ａの上において水平移動可能となっている。

次に、図３に示すように、チャックテーブル２が基台２２の支持面２２ａに載置されている状態で、水平方向における押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の上面の半径Ｒと一致するときの押し部６に対する基台２２の位置を第１記憶部９１に記憶する。具体的には、例えば、変位測定手段８のカメラ８０を用いてチャックテーブル２の保持面２０ａの中心Ｏ２及び枠体２１の外側面（外周）２１ｃの位置を撮像して、チャックテーブル２の半径Ｒを測定するとともに、押し部６をベース１０の上において固定しておき、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離が、測定されたチャックテーブル２の半径Ｒに一致するときの基台２２の位置を第１記憶部９１に記憶する。

そして、チャックテーブル２の外周の変位ｄ１を測定する。変位ｄ１の測定においては、例えば、チャックテーブル２の上方に変位測定手段８のカメラ８０が位置付けられている状態で、回転手段２４を用いて基台２２を一周回転させながら、所定の回転角度ごと（例えば１度ごと）にチャックテーブル２の外周を撮像して複数枚の画像を取得する。

取得されたチャックテーブル２の外周の画像を、例えば、図示しない画像解析手段等を用いて解析して、所定の回転角度ごとにチャックテーブル２の外周の変位ｄ１を測定する。
測定されたチャックテーブル２の外周の変位ｄ１に基づいて、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃと押し部６との距離が最小となるチャックテーブル２の回転角度を算出して、第２記憶部９２において記憶する。このとき、チャックテーブル２の外周の変位ｄ１が最も大きくなっている部分が押し部６の正面に位置付けられている状態において、外側面２１ｃと押し部６との距離は最小となるため、測定した変位ｄ１の中から最も大きな値を選び、その変位ｄ１に対応する外側面２１ｃの部分が押し部６の正面に位置付けられている状態におけるチャックテーブル２の角度を第２記憶部９２に記憶する。

次いで、角度制御部９３を用いて回転手段２４を制御して、第２記憶部９２に記憶されたチャックテーブル２の回転角度に基台２２を位置づける。

そして、図４に示すように、位置制御部９４を用いて水平移動手段５を制御して、第２記憶部９２に記憶された回転角度に位置づけた基台２２を−Ｙ方向に移動させることにより、基台２２を第１記憶部９１に記憶されている位置に位置付ける。基台２２が−Ｙ方向に移動するのに伴い、基台２２の上に載置されているチャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃに押し部６の当接部材６０が当接し、チャックテーブル２が押し部６に押されて＋Ｙ方向に移動していく。これにより、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致するとともに、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とが一致する。

以上のように、外側面２１ｃと押し部６との距離が最小となる第２記憶部９２に記憶した回転角度に基台２２を位置付けてから、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致するときの第１記憶部９１に記憶した基台２２の位置に、基台２２を移動させることにより、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させることができる。
加工装置１に備える変位測定手段８や押し部６が制御手段９により制御されて作動することにより、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させることができるため、作業者が手作業等により変位ｄ１を測定したり、チャックテーブル２の位置決めを行ったりするといった手間を省くことができる。これにより、被加工物Ｗの研削加工の効率化が図られる。

なお、図１に示した押し部６を固定しておき、水平移動手段５を用いて基台２２をＹ軸方向に移動させることによって押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離をチャックテーブル２の半径Ｒに一致させるという構成にかえて、例えば、基台２２を固定しておいて押し部移動手段７を用いて押し部６をＹ軸方向に移動させることによって、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離をチャックテーブル２の半径Ｒに一致させる構成でもよい。
例えば、基台２２を固定した状態において、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致するときの押し部６の位置を予め第１記憶部９１に記憶して、記憶された位置に押し部６を移動させることにより基台２２の中心Ｏ１との間の距離をチャックテーブル２の半径Ｒに一致させることができる。

また、例えば、押し部移動手段７を用いて押し部６をＹ軸方向に移動させるとともに、水平移動手段５を用いて基台２２を移動させることにより、押し部６と基台２２の中心Ｏ１とを接近・離間させて両者の間の距離を調整して、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との距離をチャックテーブル２の半径Ｒに一致させてもよい。

加工装置１においては、押し部６と基台２２との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致する位置に基台２２を位置付けつつ、基台２２を回転させることによって、チャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃに押し部６の当接部材６０を当接させて、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させることもできる。

まず、図３に示すように、第１実施形態と同じく、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離がチャックテーブル２の半径Ｒに一致するときの基台２２の位置を第１記憶部９１に記憶させる。

次いで、位置制御部９４を用いて第１記憶部９１に記憶された位置に基台２２を移動させる。

図５に示すように、第１記憶部９１に記憶された位置に基台２２が位置付けられている状態で、回転制御部９５を用いて基台２２を回転させることによって、押し部６の当接部材６０にチャックテーブル２の枠体２１の外側面２１ｃを押し当てる。これにより、チャックテーブル２のうち、基台２２からはみだした部分（変位がゼロでない部分）については、外側面２１ｃが当接部材６０によって押されて基台２２の中心Ｏ１の方向に向かって水平移動していく。これにより、各々の回転角度におけるチャックテーブル２の変位の値が次第にゼロに近づいていき、やがて基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とが一致する。

以上のように、押し部６または基台２２を、第１記憶部９１に記憶された位置に位置付けて、押し部６と基台２２の中心Ｏ１との間の距離をチャックテーブル２の半径Ｒに一致させた状態で、回転手段２４を用いて基台２２を回転させることによって、より確実に基台２２の中心とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させることができる。

２−２研削加工
上記のように、基台２２の中心Ｏ１とチャックテーブル２の中心Ｏ２とを一致させた後、ネジ穴２２０にネジ２３を螺合させて、チャックテーブル２を基台２２の上に固定する。
その後、被加工物Ｗを保持面２０ａに保持して、被加工物Ｗの研削加工を行う。

図１に示した加工装置１を用いて被加工物Ｗの研削加工を行う際には、まず、被加工物Ｗを保持面２０ａに載置するとともに、図示しない吸引手段等を用いて保持面２０ａを下から吸引することにより、被加工物Ｗを保持面２０ａに吸引保持する。

保持面２０ａに被加工物Ｗが保持されている状態で、水平移動手段５を用いて基台２２を＋Ｙ方向に移動させて、加工手段３の下方に位置づける。

次いで、回転手段２４を用いて基台２２を回転させることにより、保持面２０ａに吸引保持されている被加工物Ｗを回転させる。そして、加工手段３のモータ３２を用いて、回転軸３５を軸にしてスピンドル３０を回転させることによって、スピンドル３０の下端に接続されている円環状のマウント３３及びマウント３３に連結されている研削砥石３４０を同じく回転軸３５を軸にして回転させる。

研削砥石３４０が回転している状態で、加工送り手段４のモータ４２を用いてボールネジ４０を駆動して、回転軸４５を軸にしてボールネジ４０を回転させると、昇降板４３及び昇降板４３にホルダ４４を介して支持されている研削砥石３４０が−Ｚ方向に降下していき、図２に示すように、研削砥石３４０の研削面３４０ａが保持面２０ａに吸引保持された被加工物Ｗに当接する。研削面３４０ａが被加工物Ｗに当接している状態で、さらに、研削砥石３４０を被加工物Ｗに向かって押し下げていくことにより被加工物Ｗを研削加工することができる。

（第２実施形態）
図６に示すように、第１加工装置１Ａは、例えば図示しない粗研削手段や仕上げ研削手段等の複数の加工手段を有しており、第１加工装置１Ａに備えるターンテーブル２００の上には、第１基台２９Ａ、第２基台２９Ｂ、及び第３基台２９Ｃが配設されている。

図６においては、第１基台２９Ａの上に第１チャックテーブル２Ａが、第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とが一致していない状態で載置されている。
かかる第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とを一致させる場合には、まず、例えば、基台２２を図示しない回転手段等により回転させることによって、第２記憶部９２に記憶した、第１チャックテーブル２Ａと第１押し部６Ａとの間の距離が最も小さくなる角度に基台２２を位置付ける。
そして、押し部移動手段７を用いて第１押し部６Ａをガイドレール７１に沿って第１チャックテーブル２Ａに向けてＹ軸方向に水平移動させて、第１押し部６Ａと第１基台２９Ａとの間の距離が第１チャックテーブル２Ａの半径Ｒに一致する位置に第１押し部６Ａを位置付ける。これにより、変位ｄ２の分だけ第１チャックテーブル２ＡがＹ軸方向に移動して、第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とが一致する。

また、図６に示した第１加工装置１Ａにおいて、第１基台２９Ａの上に第１チャックテーブル２Ａが、第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とが一致していない状態で載置されているときに、図示しない回転手段等を用いて第１基台２９Ａを回転させて、第１基台２９Ａに載置されている第１チャックテーブル２Ａを回転させるとともに、押し部移動手段７を用いて、第１押し部６Ａを、第１押し部６Ａと第１基台２９Ａとの間の距離が第１チャックテーブル２Ａの半径Ｒに一致する位置に移動させることにより、第１押し部６Ａの当接部分６０Ａを回転する第１チャックテーブル２Ａの外側面に当接させて、第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とを一致させることもできる。

（第３実施形態）
図７に示すように、第２加工装置１Ｂは、第１加工装置１Ａ（図６に図示）と同様に、例えば図示しない粗研削手段や仕上げ研削手段等の複数の加工手段を有しており、第２加工装置１Ｂに備えるターンテーブル２００の上には、第１基台２９Ａ、第２基台２９Ｂ、及び第３基台２９Ｃが配設されている。また、第２加工装置１Ｂに備える第２押し部６Ｂにおいては、アーム６１Ｂが軸部７０１に旋回可能に支持されている。

図７においては、第１基台２９Ａの上に第１チャックテーブル２Ａが、第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とが一致していない状態で載置されている。
かかる第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とを一致させる場合には、第２押し部６Ｂの軸部７０１を制御してアーム６１Ｂを旋回させて、第２押し部６Ｂと第１基台２９Ａとの間の距離が第１チャックテーブル２Ａの半径Ｒに一致する位置に第２押し部６Ｂを位置付けるとともに、第１基台２９Ａを回転させる。これにより、第１基台２９Ａの上に載置されている第１チャックテーブル２Ａの変位ｄ３の値がゼロに近づいていき、やがて第１基台２９Ａの中心Ｏ１と第１チャックテーブル２Ａの中心Ｏ２とが一致する。

１：加工装置１Ａ：第１加工装置１Ｂ：第２加工装置
１０：ベース１００：内部ベース
１１：コラム１２：カバー１３：蛇腹
２：チャックテーブル２Ａ：第１チャックテーブル
２Ｂ：第２チャックテーブル２Ｃ：第３チャックテーブル
２０：吸引部２０ａ：保持面２０ｂ：下面２１：枠体２１ａ：枠体の上面
２１ｂ：枠体の下面２１ｃ：枠体の外側面２１０：通し孔
２２：基台２９Ａ：第１基台２９Ｂ：第２基台２９Ｃ：第３基台
２２ａ：支持面２２ｂ：下面２２ｃ：基台の外側面２２０：ネジ穴２３：ネジ
２４：回転手段２４０：駆動プーリ２４１：駆動軸２４２：モータ
２４３：伝動ベルト２４４：従動プーリ２４５：スピンドル
２４６：ロータリージョイント２５：回転軸２６：ケーシング２７：支持軸
３：加工手段３０：スピンドル３１：ハウジング３２：モータ３３：マウント
３４：研削ホイール３４０：研削砥石３４０ａ：研削面３４１：ホイール基台
３５：回転軸４：加工送り手段４０：ボールネジ４１：ガイドレール
４２：モータ４３：昇降板４４：ホルダ４５：回転軸
５：水平移動手段５０：ボールネジ５１：ガイドレール５２：モータ
５３：可動板５３ａ：上面５５：回転軸５６：ナット
６：押し部６Ａ：第１押し部６Ｂ：第２押し部
６０：当接部材６１、６１Ｂ：アーム
７：押し部移動手段７０：ボールネジ７１：ガイドレール
７２：モータ７３：可動部７４：ナット７５：回転軸７００：支持板
７００ｃ：支持板の側面７０１：軸部
８：変位測定手段８０：カメラ８１：Ｌ字状コラム
９：制御手段９１：第１記憶部９２：第２記憶部９３：角度制御部
９４：位置制御部９５：回転制御部
Ｗ：被加工物Ｗａ：被加工物の上面
Ｏ１：基台の中心Ｏ２：チャックテーブルの中心Ｒ：チャックテーブルの半径
ｄ１、ｄ２、ｄ３：変位

Claims

保持面で被加工物を保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの該保持面の反対面である下面が接触し該チャックテーブルを支持する支持面を有する基台と、該支持面の中心を通る回転軸を軸に該基台を回転させる回転手段と、該基台に支持された該チャックテーブルの該保持面に保持された被加工物を加工する加工手段と、を少なくとも備えた加工装置であって、
該基台を水平方向に移動させる水平移動手段と、
該基台に対し該水平方向に離間して配設され、該チャックテーブルの外側面を押す押し部と、
該水平方向における該押し部と該基台の中心との距離が該チャックテーブルの半径と一致するときの該押し部に対する該基台の位置を記憶する第１記憶部と、
該回転手段で該チャックテーブルを該支持面に載置した該基台を回転させ、また、該水平移動手段で該チャックテーブルを該支持面に載置した該基台を水平方向に移動させ、該押し部に対する該基台の位置を該第１記憶部に記憶された位置に移動させ、該チャックテーブルの外側面を該押し部で押し、該チャックテーブルの中心と該基台の中心とを一致させる制御手段とを備え、
該基台の中心と該チャックテーブルの中心とを一致させる加工装置。
該押し部を水平方向に移動させる押し部移動手段を備え、
該制御手段は、該押し部移動手段を制御し、該押し部と基台の中心との距離を該チャックテーブルの半径と一致させる請求項１記載の加工装置。
該基台を回転させ該基台に支持された該チャックテーブルの外周の変位を測定する変位測定手段を備え、
該制御手段は、該基台を回転させ、該変位測定手段で該基台の該支持面に載置した該チャックテーブルの外周の変位を測定し、該チャックテーブルの外側面と該押し部との距離が最小となる角度を記憶する第２記憶部と、
該回転手段を制御し、該第２記憶部に記憶された角度に該基台を位置づける角度制御部と、
該水平移動手段を制御し、該角度制御部が位置づけた該基台を該第１記憶部に記憶された位置に移動させ、該基台の中心とチャックテーブルの中心とを一致させる位置制御部と、を備える請求項１記載の加工装置。
該制御手段は、
該水平移動手段を制御し、該第１記憶部に記憶した位置に該基台を移動させる位置制御部と、
該回転手段を制御し、該位置制御部が移動させた該基台を回転させ、該押し部に該チャックテーブルの外側面を押し当て、該基台の中心と該チャックテーブルの中心とを一致させる回転制御部と、備える請求項１記載の加工装置。