JP7289144B2 - 部品移載装置 - Google Patents

Description

本発明は、部品供給部から移載対象に部品を移載する部品移載装置に関する。

実装基板を製造する装置として、シートの上面に整列して貼着された状態で供給されるＬＥＤチップなどの部品を吸着ノズルで取り出して、基板などの移載対象の所定の位置に移載してＬＥＤアレイなどの実装基板を製造する部品移載装置が知られている。特許文献１に記載の部品実装装置（部品移載装置）は、吸着面を下方に向けた複数の吸着ノズルを垂直軸を中心とする円周上に等角度間隔に有し、水平方向に移動する横型のロータリーヘッドを備えており、シートの上方に移動したロータリーヘッドの複数の吸着ノズルで順番に部品を取り出して、基板の上方に移動したロータリーヘッドの吸着ノズルが保持している部品を基板の所定の位置に順番に移載している。

この部品実装装置は、部品を供給するシートと部品が移載される基板の間に部品認識用カメラが設置されており、部品認識用カメラによりロータリーヘッドが有する吸着ノズルが保持した部品と吸着ノズルとの水平方向の位置ずれ量をそれぞれ認識し、認識した位置ずれ量に基づいて部品を基板に移載する際の位置が補正される。このように、特許文献１に記載の部品実装装置は、シートから取り出した部品を、部品のシートに貼着されていた側の面が基板の上面に接する向きで精度良く移載している。

特開２０１２－１４６７１４号公報

ところで、特許文献１に記載の部品実装装置は、シートから部品を取り出したロータリーヘッドを部品認識用カメラの上方を経由させてから基板の上方まで移動させており、さらに基板に部品を移載させた後には次の部品を取り出すためにロータリーヘッドをシートの位置まで戻す必要がある。ロータリーヘッドが移動している時間は部品の移載に寄与しない無駄時間であるため、部品の移載効率を向上するためには移動速度を上げて移動時間を短縮する必要がある。一方で、ロータリーヘッドを水平方向に高速移動させると停止位置に誤差が生じやすくなるため、移載効率を向上させるために移動速度を上げると基板に移載される部品の位置精度が低下するという問題点があった。

そこで本発明は、部品の移載効率が高くて移載位置精度も高い部品移載装置を提供することを目的とする。

本発明の部品移載装置は、回転軸廻りに円弧運動する回転部材と、前記回転部材を前記回転軸廻りに円弧運動させる回転駆動機構と、部品を保持し、前記回転軸を中心とする円の法線方向の自転軸廻りに自転可能な保持部を有し、前記保持部が前記回転軸を中心とする円の外側を向くように前記回転部材に設置された部品保持ユニットと、前記保持部を前記自転軸廻りに自転させる自転駆動機構と、を備え、前記部品保持ユニットは前記回転部材と一体となって円弧運動し、第１の回転位置で部品供給部から部品を取り出して前記保持部に保持し、前記自転軸廻りに自転させた前記部品を前記第１の回転位置とは異なる第２の回転位置で移載対象に引き渡し、前記部品供給部を撮像する第２のカメラをさらに備え、前記回転部材には、複数の前記部品保持ユニットが設置されており、前記第２のカメラは、前記回転軸側から隣接する２つの前記部品保持ユニットの間を通して前記部品供給部を撮像する。

本発明によれば、部品の移載効率が高くて移載位置精度も高い。

本発明の一実施の形態の部品移載装置の斜視図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の正面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の移載ヘッド付近の拡大側面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の移載ヘッド付近の拡大正面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の移載ヘッド付近の部分断面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の部品保持ユニットの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の部品保持ユニットの機能説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置の移載ヘッドによる部品取り出し作業の工程説明図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の移載ヘッドによる部品取り出し作業の工程説明図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の第２のカメラによる供給位置の撮像を説明する正面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の第２のカメラによる供給位置の撮像を説明する部分断面図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の第２のカメラによる（ａ）部品取り出し作業中の撮像画像の例を示す図（ｂ）供給位置の撮像画像の例を示す図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の第３のカメラの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の第４のカメラの構成説明図 本発明の一実施の形態の部品移載装置の制御系の構成を示すブロック図 本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業のタイミング図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態の部品移載装置における部品移載作業の工程説明図

以下に図面を用いて、本発明の一実施の形態を詳細に説明する。以下で述べる構成、形状等は説明のための例示であって、部品移載装置、部品、部品供給部、移載対象の仕様に応じ、適宜変更が可能である。以下では、全ての図面において対応する要素には同一符号を付し、重複する説明を省略する。

まず図１、図２を参照して、部品移載装置１の構成について説明する。部品移載装置１は、基台２上に移載対象移動機構１０、供給部移動機構２０、移載ヘッド３０、剥離部５０、第１のカメラ１００が設置されている。移載対象移動機構１０は、基台２上に設置されたＸ方向に延びる一対のＸ方向レール１１上を、図示省略するリニア駆動機構によってＸ方向に往復移動するＸテーブル１２を備えている。Ｘテーブル１２上には、Ｘ方向に水平面内で直交するＹ方向に延びる一対のＹ方向レール１３が設置されている。一対のＹ方向レール１３上には、図示省略するリニア駆動機構によってＹ方向に往復移動するＹテーブル１４を備えている。Ｙテーブル１４の上部には、部品が移載される移載対象である基板１６を上面に保持する基板保持部１５が設置されている。

図１において、移載対象移動機構１０が備えるリニア駆動機構は、部品移載装置１が備える制御装置６０によって制御される。すなわち制御装置６０は、移載対象移動機構１０が備えるリニア駆動機構を制御することにより、基板保持部１５(移載対象保持部)に保持された基板１６（移載対象）を水平面内（Ｘ方向、Ｙ方向）に移動させて所定の位置で停止させる。以下、図２における紙面側をＸ方向の前側、Ｘ方向の前側の反対側を後側と称する。また、Ｘ方向の前側から見たＹ方向の左側を左側、右側を右側と称する。すなわち、移載対象移動機構１０によって、基板１６は前後左右（ＸＹ方向）に移動する。

図１、図２において、供給部移動機構２０は、基台２上のＹ方向の両端に上方に延びる支柱２１を備えている。基台２の両端に設けられた支柱２１の上部には、Ｘ方向に延びるＸビーム２２がそれぞれ設置されている。２つのＸビーム２２の間には、Ｙ方向に延びるＹビーム２３がＸ方向に移動可能に設置されている。Ｙビーム２３は、Ｘビーム２２が備えるリニア駆動機構によってＸ方向に往復移動する。Ｙビーム２３の前側には、Ｙビーム２３が備えるリニア駆動機構によってＹ方向に往復移動する移動部材２４が設置されている。移動部材２４の前側には、部品供給部２５が設置されている。

図２において、部品供給部２５には、下面に複数の部品２７が貼着された伸縮性のあるシート２６が水平方向に伸張されて取り付けられている。本実施例では、部品供給部２５には、予め検査に合格しているＬＥＤチップなどの部品２７を基板１６の上面に接地する側の面（電極面）がシート２６側になるようにＸＹ方向（前後左右）に所定の間隔で格子状に並べて貼着したシート２６が、上下反転させて部品２７が下となるように装着されている。このように、部品供給部２５は、シート２６に貼着された部品２７を供給する。

図１において、供給部移動機構２０が備えるリニア駆動機構は、制御装置６０によって制御される。すなわち制御装置６０は、供給部移動機構２０が備えるリニア駆動機構を制御することにより、複数の部品２７を保持する部品供給部２５を水平面内（Ｘ方向、Ｙ方向）で前後左右に移動させて所定の位置で停止させる。このように、部品供給部２５は、移載対象移動機構１０によって水平面内で移動可能に保持された基板１６の上方に基板１６と平行に保持されており、基板１６とは別々に水平面内で移動可能である。

なお、移載対象移動機構１０のＸテーブル１２、Ｙテーブル１４をＸ方向またはＹ方向に移動させる機構、あるいは供給部移動機構２０のＹビーム２３、移動部材２４をＸ方向またはＹ方向に移動させる機構は、リニア駆動機構に限定されることはない。例えば、ナットに係合するボールねじと、ボールねじを回転駆動するモータを含んで構成されるボールねじ駆動の直動機構であってもよい。

図１、図２において、移載ヘッド３０は、移載対象移動機構１０によって基台２に対して水平面内で前後左右に移動する基板１６と、供給部移動機構２０によって基台２に対して水平面内を前後左右に移動する部品供給部２５の間に設置されている。移載ヘッド３０は、作業する移載対象移動機構１０（基板１６）と供給部移動機構２０（部品供給部２５）と干渉しないように、基台２上に設置された移載ヘッド支持部材３１に支持されている。すなわち移載ヘッド３０の配置位置は、基台２に対して固定されている。

剥離部５０は、作業する供給部移動機構２０（部品供給部２５）に干渉しないように、移載ヘッド支持部材３１上に設置された剥離部支持部材５１によって部品供給部２５の上方に支持されている。すなわち剥離部５０の配置位置は、基台２に対して固定されている。なお、剥離部支持部材５１は、基台２に直接設置してもよい。このように、部品供給部２５は、基台２に対して固定して配置された移載ヘッド３０と剥離部５０の間を基台２に対して水平面内で前後左右に移動する。

次に図３～図５を参照して、移載ヘッド３０の詳細について説明する。図３は、移載ヘッド３０をＹ方向の左側から見た側面図である。図４は、図３に示すＡ－Ａ面においてＸ方向の前側から見た移載ヘッド３０の正面図である。図５は、図４に示すＢ－Ｂ面においてＹ方向の右側から見た移載ヘッド３０の部分断面図である。図５において、移載ヘッド支持部材３１には、Ｘ方向の前側に突出する円柱状の突出部３１ａが形成されている。突出部３１ａの中心にはＸ方向に延びる中央孔３１ｂが形成されている。

図５において、突出部３１ａには、回転軸受け３３が内部に配置された突出部挿入孔３２ａを有する円柱状の回転部材３２が、突出部３１ａに突出部挿入孔３２ａが挿入されるように前側から装着されている。これにより、回転部材３２は、回転部材３２と突出部３１ａの中心を通るＸ方向に延びる回転軸Ａｒを回転中心として、移載ヘッド支持部材３１に対して回転運動することができる（回転軸Ａｒ廻りに円弧運動することができる）。

図３において、回転部材３２の後側には受動側平歯車３４が形成されている。回転部材３２の左斜め下には受動側平歯車３４に噛み合う駆動側平歯車３５が配置されている。駆動側平歯車３５は、移載ヘッド支持部材３１に配置された回転モータ３６によってＸ方向に延びるモータ軸Ａｍ廻りに回転する。回転モータ３６は、制御装置６０によって制御される。

図４において、制御装置６０が回転モータ３６を制御することにより、回転モータ３６が駆動側平歯車３５をモータ軸Ａｍ廻りに回転させ、駆動側平歯車３５が受動側平歯車３４を回転軸Ａｒ廻りに回転させる。これにより、回転部材３２が回転軸Ａｒ廻りに回転する。この例では、前側から見て駆動側平歯車３５が反時計方向に回転すると（矢印ａ）、回転部材３２は時計回りに回転する（矢印ｂ）。すなわち、制御装置６０は回転モータ３６を制御することにより、回転部材３２を回転軸Ａｒ廻りに円弧運動させ、所定の位置で停止させる。このように、回転モータ３６、駆動側平歯車３５、受動側平歯車３４は、回転部材３２を回転軸Ａｒ廻りに円弧運動（回転運動）させる回転駆動機構３７を構成する。

図４、図５において、回転部材３２の前側の中央には、前側に開口する凹部３２ｂが形成されている。回転部材３２の前側には、部品保持ユニット７０をそれぞれ支持する複数のユニット支持部材３２ｃ（ここでは８つ）が、回転部材３２の回転軸Ａｒを中心とする円周上に等回転角間隔（ここでは４５度間隔）で配置されている。部品保持ユニット７０は、それぞれ部品２７を真空吸着して保持するノズル７１（図６参照）を備えている。

各ユニット支持部材３２ｃは、各ノズル７１の軸（以下、「自転軸Ａθ」と称する。）が回転部材３２の回転軸Ａｒを中心とする円の法線方向（以下、「自転軸方向」と称する。）に沿い、部品２７を保持するノズル７１の先端（以下、「保持部７１ａ」と称する。）が円の外側を向くように部品保持ユニット７０を支持する。すなわち、部品保持ユニット７０は、部品２７を保持する保持部７１ａを有している。

このように、回転部材３２の凹部３２ｂの外周の前側には、回転部材３２の回転軸Ａｒを中心とする円周上に保持部７１ａが位置し、保持部７１ａが回転軸Ａｒを中心とする円の外側を向くように複数の部品保持ユニット７０が設置されている。部品保持ユニット７０は、回転駆動機構３７によって駆動される回転部材３２と一体となって円弧運動する。また、部品移載装置１には、回転部材３２は回転軸Ａｒが水平方向となるように配置され、部品供給部２５は回転部材３２の上方に配置され、基板１６（移載対象）は回転部材３２の下方に配置されている。

次に図６、図７を参照して、部品保持ユニット７０の詳細について説明する。図６、図７は、ノズル７１の保持部７１ａが保持する部品２７を基板１６（移載対象）に引き渡す引き渡し回転位置Ｒｍに停止している部品保持ユニット７０の断面の概略を示している。ユニット支持部材３２ｃには、自転軸方向に延びてユニット支持部材３２ｃを自転軸方向に貫通するユニット支持孔３２ｄが形成されている。ユニット支持孔３２ｄには、ノズル７１の保持部７１ａから上方に伸びるノズル軸７１ｂが挿入されるノズル挿入孔７２ａを中央に有する円筒形のノズル保持部材７２が回転軸受け７３を介して回転自在に装着されている。

ノズル挿入孔７２ａの保持部７１ａ側の内壁にはボールスプライン軸受け７４が配置されている。ノズル７１は、ノズル軸７１ｂの外周に形成された図示省略する溝がボールスプライン軸受け７４に係合するようにノズル挿入孔７２ａに挿入されている。この構成により、ノズル７１はノズル保持部材７２に支持されて自転軸方向に移動自在である。また、ノズル保持部材７２が自転軸Ａθ廻りに回転すると、ノズル７１もノズル保持部材７２と一緒に自転軸Ａθ廻りに回転する。以下、ノズル７１の自転軸Ａθ廻りの回転を「自転」と称する。すなわち、ノズル７１の保持部７１ａは、回転部材３２の回転軸Ａｒを中心とする円の法線方向（自転軸方向）の自転軸Ａθ廻りに自転可能に部品保持ユニット７０に設けられている。

図６において、ノズル保持部材７２は、ユニット支持部材３２ｃから回転部材３２の回転軸Ａｒ側（以下、「回転部材３２の中心側」と称する。）に延出しており、回転部材３２の中心側の端部には受動側傘歯車７２ｂが形成されている（図４も参照）。受動側傘歯車７２ｂは、回転部材３２の中心側の径が外周側より小さい形状をしている。ノズル７１のノズル軸７１ｂはノズル保持部材７２から回転部材３２の中心側に延出している。ノズル保持部材７２の回転部材３２の中心側の端には、ノズル挿入孔７２ａのより内径の大きなバネ装着孔７２ｃが形成されている。すなわち、バネ装着孔７２ｃが形成された位置では、ノズル保持部材７２とノズル軸７１ｂの間に、圧縮コイルバネ７５を装着可能な空間が形成されている。

ノズル軸７１ｂには、回転部材３２の中心側から圧縮コイルバネ７５が装着されている。ノズル７１の回転部材３２の中心側の端部には、ノズル軸７１ｂより径の大きな円板状の後端部７１ｃが形成されている。圧縮コイルバネ７５は、一端がノズル保持部材７２のバネ装着孔７２ｃの底７２ｄに当接し、他端がノズル７１の後端部７１ｃの下面７１ｄに当接している。

この構成により、ノズル７１は圧縮コイルバネ７５の反力によってノズル保持部材７２に対して回転部材３２の中心側に加勢されている。ノズル７１の保持部７１ａの直径φ１はノズル軸７１ｂの直径φ２より大きくなるように形成されている。保持部７１ａがノズル軸７１ｂからはみ出した部分の回転部材３２の中心側の後面７１ｅ（図７参照）がノズル保持部材７２の回転部材３２の外周側の前面７２ｅ（図７参照）に当接することで、ノズル７１の回転部材３２の中心側への移動が規制される。以下、圧縮コイルバネ７５に付勢されて保持部７１ａの後面７１ｅがノズル保持部材７２の前面７２ｅに当接する位置（図６の状態）を「待機位置」と称する。

図６において、ノズル７１の内部には、ノズル軸７１ｂの中間部から保持部７１ａの先端まで貫通する吸引孔７１ｆが形成されている。ノズル軸７１ｂの中間部には、吸引孔７１ｆからノズル軸７１ｂの外周面まで貫通する連通孔７１ｇが形成されている。ノズル保持部材７２のノズル挿入孔７２ａにおいて連通孔７１ｇが位置する領域は、ノズル挿入孔７２ａの内径がノズル軸７１ｂの外径よりも大きく切り取られており、ノズル保持部材７２とノズル軸７１ｂで囲まれた接続空間７２ｆが形成されている。接続空間７２ｆは、ノズル７１が自転軸方向に移動しても自転軸Ａθ廻りに自転しても連通孔７１ｇと継続して連通できるように形成されている（図７参照）。すなわち、ノズル７１に形成された吸引孔７１ｆは、ノズル７１の移動や自転にかかわらず、連通孔７１ｇを通じて接続空間７２ｆに常時連通している。

接続空間７２ｆは、ユニット支持部材３２ｃに形成された通路（図示省略）と制御装置６０で制御される切り替え装置を通じて真空吸引機（図示省略）に連通している。制御装置６０が切り替え装置を制御することで、各部品保持ユニット７０の接続空間７２ｆを真空吸引したり、大気圧にしたりすることができる。すなわち、制御装置６０が各部品保持ユニット７０の吸引孔７１ｆを真空状態にすると、それぞれの保持部７１ａが部品２７を真空吸着する。また、制御装置６０が各部品保持ユニット７０の吸引孔７１ｆを大気圧にすると、それぞれの保持部７１ａが保持している部品２７が保持部７１ａから解除される。

次に図２～８を参照して、第１の押出し機構８０および第２の押出し機構９０の構成について説明する。第１の押出し機構８０と第２の押出し機構９０は、部品保持ユニット７０のノズル７１の後端部７１ｃを回転部材３２の外周側に押して保持部７１ａを突出させる機能を有している。

図２において、第１の押出し機構８０は、移載ヘッド支持部材３１に設置された第１の押出し機構支持部材８１によって、回転部材３２の前側であって回転軸Ａｒの右側に設置されている。第２の押出し機構９０は、移載ヘッド支持部材３１に設置された第２の押出し機構支持部材９１によって、回転部材３２の前側であって回転軸Ａｒの左側に設置されている。

図３において、第１の押出し機構８０は、第１のロッド８２をＺ方向（上下方向）に突没させる第１のシリンダ８３と、第１のロッド８２に接続された第１の当接部材８４を備えて構成されている。第１の当接部材８４は、部品供給部２５から部品２７を取り出す取り出し回転位置Ｒｐ（図２参照）に停止している部品保持ユニット７０の円板状の後端部７１ｃに下方から当接する第１の当接ピン８４ａ（図８（ｂ）参照）を備えている。第１のシリンダ８３は、制御装置６０によって制御される。

図８（ｂ）において、部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐに停止している状態で、制御装置６０は第１のシリンダ８３を制御して第１のロッド８２を突出させて第１の当接部材８４を上方に移動させる（矢印ｆ２）。後端部７１ｃに下方から当接した第１の当接ピン８４ａは、圧縮コイルバネ７５の付勢力に抗して後端部７１ｃを上方に移動させる。これにより、保持部７１ａが待機位置から部品供給部２５の方向に突出して部品２７Ａに当接する（矢印ｆ３）。この状態で制御装置６０が吸引孔７１ｆを真空状態にすると、部品２７Ａが保持部７１ａに保持される。

図９において、突出した保持部７１ａが部品２７Ａを保持した状態で、制御装置６０は第１のシリンダ８３を制御して第１のロッド８２を没入させて第１の当接部材８４を下方に移動させる（矢印ｇ２）。これにより、圧縮コイルバネ７５の付勢力で後端部７１ｃが元に位置まで移動し、保持部７１ａが待機位置まで下降する（矢印ｇ３）。以下、取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０が保持部７１ａによって部品供給部２５から取り出す部品２７Ａの位置を、供給位置Ｐｐと称する（図８（ａ）参照）。

図３、図５において、第２の押出し機構９０は、第２のロッド９２をＺ方向（上下方向）に突没させる第２のシリンダ９３と、第２のロッド９２に接続された第２の当接部材９４を備えて構成されている。第２の当接部材９４は、引き渡し回転位置Ｒｍ（図２参照）に停止している部品保持ユニット７０の円板状の後端部７１ｃに上方から当接する第２の当接ピン９４ａを備えている。第２のシリンダ９３は、制御装置６０によって制御される。

図７において、部品２７を保持する部品保持ユニット７０が引き渡し回転位置Ｒｍに停止している状態で、制御装置６０は第２のシリンダ９３を制御して第２のロッド９２を突出させて第２の当接部材９４を下方に移動させる（矢印ｅ１）。これにより、後端部７１ｃに上方から当接した第２の当接ピン９４ａが圧縮コイルバネ７５の付勢力に抗して後端部７１ｃを下方に移動させて、保持部７１ａが待機位置から基板１６の方向に突出して部品２７が基板１６上に着地する（矢印ｅ２）。この状態で制御装置６０が吸引孔７１ｆを大気圧状態にすると、保持部７１ａによる部品２７の保持が解除がされる。

保持部７１ａが突出した状態で、制御装置６０は第２のシリンダ９３を制御して第２のロッド９２を没入させて第２の当接部材９４を上方に移動させる。これにより、圧縮コイルバネ７５の付勢力で後端部７１ｃが元に位置まで移動して保持部７１ａが待機位置まで上昇する。これにより、保持部７１ａが保持していた部品２７が基板１６に移載（搭載）される。以下、引き渡し回転位置Ｒｍに停止している部品保持ユニット７０の保持部７１ａが保持する部品２７を基板１６（移載対象）に移載（搭載）する位置を移載位置Ｐｍと称する。

このように、部品保持ユニット７０は、保持部７１ａとは反対側に保持部７１ａの方向に押すと保持部７１ａが突出する後端部７１ｃを有している。第１の押出し機構８０は、部品保持ユニット７０の後端部７１ｃに当接して後端部７１ｃを押す第１の当接部材８４を有している。第１の押出し機構８０は、部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）で停止中に、後端部７１ｃを押して保持部７１ａを部品供給部２５の方向に突出させる。また、第２の押出し機構９０は、部品保持ユニット７０の後端部７１ｃに当接して後端部７１ｃを押す第２の当接部材９４を有している。第２の押出し機構９０は、部品保持ユニット７０が引き渡し回転位置Ｒｍ（第２の回転位置）に停止中に、後端部７１ｃを押して保持部７１ａを基板１６（移載対象）の方向に突出させる。

次に図８～９を参照して、部品供給部２５においてシート２６に貼着されている部品２７をシート２６から剥離させる剥離部５０の構成と機能について説明する。図８、図９には、剥離部５０および取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０が模式的に表されている。図８（ａ）において、剥離部５０は、剥離ピン５２と剥離ピン５２を下方に突没させる剥離シリンダ５３を備えている。剥離部５０は、部品供給部２５に水平に伸張されたシート２６の上方であって、剥離ピン５２の位置が取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０の自転軸Ａθと一致する位置（供給位置Ｐｐの上方）に配置されている。剥離シリンダ５３は、制御装置６０によって制御される。

図８（ｂ）において、制御装置６０が剥離シリンダ５３を制御して剥離ピン５２を下方に突出させると（矢印ｆ１）、突出した剥離ピン５２がシート２６を押し下げて供給位置Ｐｐにある取り出し対象の部品２７Ａとシート２６が下方に突出した状態となる。これにより、部品２７Ａのシート２６に貼着されていた面の一部（部品２７Ａの外周部）がシート２６から剥離される。

この状態で、制御装置６０が第１の当接部材８４を上方に移動させ、第１の当接ピン８４ａによって部品保持ユニット７０の後端部７１ｃを上方に押し上げると（矢印ｆ２）、保持部７１ａが突出して部品２７Ａのシート２６に貼着された面と反対の面に当接する（矢印ｆ３）。さらに、制御装置６０が各部品保持ユニット７０の吸引孔７１ｆを真空状態とすることで、保持部７１ａが供給位置Ｐｐの部品２７Ａを真空吸着する。

図９において、剥離ピン５２を元の位置まで上昇させると（矢印ｇ１）（剥離シリンダ５３が剥離ピン５２を引き込むと）、シート２６は元の水平状態に戻る。さらに、第１の当接部材８４を元の位置まで下降させると（矢印ｇ２）、圧縮コイルバネ７５の付勢力で部品２７Ａを保持した保持部７１ａが元の待機位置まで下降する（矢印ｇ３）。

このように、剥離部５０は、取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０が部品供給部２５の供給位置Ｐｐから取り出す部品２７Ａをシート２６の裏側から剥離ピン５２（ピン）で押してシート２６から剥離させる。なお、剥離部５０は、剥離ピン５２でシート２６を押す構成に限定されることはない。例えば、紫外線や熱で粘着力が低下するシート２６の場合、剥離部５０は、供給位置Ｐｐにある取り出し対象の部品２７Ａに対してシート２６の裏側から紫外線やレーザを照射する構成であってもよい。また、剥離ピン５２による剥離と紫外線やレーザの照射を同時に行う構成であってもよい。

次に図４～５を参照して、回転部材３２に設置された複数の部品保持ユニット７０の保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる自転駆動機構について説明する。図５において、回転部材３２が装着される突出部３１ａの中央に形成された中央孔３１ｂには、中央孔３１ｂ内に配置された回転軸受け３８を介して回転シャフト３９が挿入されている。回転シャフト３９の後側は、移載ヘッド支持部材３１に配置された自転モータ４０に接続されている。回転シャフト３９の前側は、回転部材３２に形成された凹部３２ｂ内に突出しており、凹部３２ｂ内に配置された駆動側傘歯車４１に接続されている。自転モータ４０は制御装置６０によって制御され、回転シャフト３９を介して駆動側傘歯車４１を回転軸Ａｒ廻りに回転させる（図４の矢印ｃ）。

図４、図５において、駆動側傘歯車４１の前側には、回転部材３２に設置された複数の部品保持ユニット７０のノズル保持部材７２に形成された受動側傘歯車７２ｂと噛み合う歯列部４１ａが形成されている。歯列部４１ａの前面は、駆動側傘歯車４１の回転軸Ａｒ側（中心側）が部品保持ユニット７０の自転軸Ａθ側（前側）に延出し、駆動側傘歯車４１の外周側が部品保持ユニット７０の自転軸Ａθから後退する形状をしている。これにより、駆動側傘歯車４１の歯列部４１ａと各部品保持ユニット７０の受動側傘歯車７２ｂは、受動側傘歯車７２ｂの回転軸Ａｒと各部品保持ユニット７０の自転軸Ａθが９０度で交わる（直交する）ように互いに噛み合う。

図４において、制御装置６０が自転モータ４０を制御して、駆動側傘歯車４１を回転部材３２に対して相対的に回転させると（矢印ｃ）、回転部材３２に設置された複数の部品保持ユニット７０の受動側傘歯車７２ｂが自転軸Ａθ廻りに自転し、保持部７１ａが自転軸Ａθ廻りにそれぞれ自転する（矢印ｄ）。このように、自転モータ４０、回転シャフト３９、駆動側傘歯車４１、受動側傘歯車７２ｂは、部品保持ユニット７０の保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる自転駆動機構４２（図１５参照）を構成する。

次に図２を参照して、第１のカメラ１００の詳細について説明する。第１のカメラ１００は、移載ヘッド支持部材３１に設置された第１のカメラ支持部材１０１によって、移載ヘッド３０の右側に設置されている。第１のカメラ１００は、取り出し回転位置Ｒｐに停止中に部品供給部２５から部品２７を取り出して保持部７１ａに保持した部品保持ユニット７０が、回転軸Ａｒ廻りの円弧運動によって引き渡し回転位置Ｒｍに移動する間に、保持部７１ａが保持する部品２７を撮像する（図２０（ｂ）、図２１（ａ）、図２２（ｂ）、図２３（ｂ）参照）。

この例では、第１のカメラ１００は、部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐから時計回りに９０度回転した位置に設定された撮像回転位置Ｒｓに停止中に、保持部７１ａが保持する部品２７を撮像可能な位置に設置されている。このように、第１のカメラ１００は、部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）から引き渡し回転位置Ｒｍ（第２の回転位置）に円弧運動する間に、部品保持ユニット７０に保持された部品２７を撮像する。第１のカメラ１００の撮像結果は制御装置６０に送信され、保持部７１ａに保持された部品２７の保持位置Ｐｓ（保持部７１ａに対する部品２７の位置ずれ、回転角度など）が検出される。

次に図１０～１２を参照して、部品供給部２５の供給位置Ｐｐに貼着されている取り出し対象の部品２７Ｂを撮像する第２のカメラ１１０の構成と機能について説明する。図１１は、図１０に示すＣ－Ｃ面において左側から見た断面図である。図１１において、第２のカメラ１１０は、ＣＭＯＳセンサやＣＣＤなどの撮像素子１１１ａを内蔵する撮像部１１１、撮像経路を屈折させる３角柱形のプリズム１１２を備えて構成されている。撮像部１１１、プリズム１１２は、図示省略する支持部材によって移載ヘッド支持部材３１に設置されている。

図１１において、撮像部１１１は移載ヘッド３０の前側に、撮像素子１１１ａの撮像軸が移載ヘッド３０の方向を向くように配置されている。この実施例では、撮像素子１１１ａの撮像軸と回転軸Ａｒが一致している。プリズム１１２は、回転部材３２に配置された複数の部品保持ユニット７０の中心に配置されている。プリズム１１２は、水平方向（Ｘ方向）の撮像素子１１１ａの撮像軸を上方の部品供給部２５の方向（Ｚ方向）に屈折させる。図１０において、第２のカメラ１１０は、回転部材３２に設置された部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐに停止していない状態で部品供給部２５を撮像する。すなわち、第２のカメラ１１０は、回転軸Ａｒ側から隣接する２つの部品保持ユニット７０の間を通して部品供給部２５を撮像する。

図１２（ａ）、図１２（ｂ）に、第２のカメラ１１０が部品供給部２５を撮像した撮像画像の例を示す。図１２（ａ）は、部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐに停止している状態で（例えば、図４の状態）、第２のカメラ１１０が部品供給部２５を撮像した撮像画像１１０ａの例である。この状態では、取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０が取り出し対象の部品２７Ｂの前面に位置して撮像を妨害している（撮像画像１１０ａでは、後端部７１ｃが部品２７Ｂに重なっている）。

図１２（ｂ）は、図１０に示す隣接する２つの部品保持ユニット７０の間から第２のカメラ１１０が撮像した撮像画像１１０ｂの例である。この状態では、部品保持ユニット７０が部品２７Ｂに重なっておらず、供給位置Ｐｐが撮像画像１１０ｂに写っている。また、第１の当接ピン８４ａを含む第１の当接部材８４も、供給位置Ｐｐに重なっていない。すなわち、第１の当接部材８４は、回転軸Ａｒ側から部品供給部２５を撮像する第２のカメラ１１０の撮像を妨げない第１の隙間８４ｂ（図１１も参照）を有する。第２のカメラ１１０の撮像結果は制御装置６０に送信され、部品供給部２５の供給位置Ｐｐにある部品２７Ｂの位置が検出される。

なお、第２のカメラ１１０は、撮像素子１１１ａの撮像軸が回転軸Ａｒと一致する構成に限定されることはなく、回転軸Ａｒ側から部品供給部２５を撮像できる構成、配置であればよい。例えば、第２のカメラ１１０は撮像素子１１１ａの撮像軸が回転軸Ａｒから垂直方向に移動した位置に配置されてもよい。また、プリズム１１２の代わりに撮像軸を屈折させるミラーを使用する構成であってもよい。

次に図１３を参照して、基板１６（移載対象）の移載位置Ｐｍを撮像する第３のカメラ１２０の構成と機能について説明する。第３のカメラ１２０は、ＣＭＯＳセンサやＣＣＤなどの撮像素子１２１ａを内蔵する撮像部１２１、撮像経路を屈折させる３角柱形のプリズム１２２を備えて構成されている。第３のカメラ１２０は、３角柱形のプリズム１２２の向きが異なる他は前述の第２のカメラ１１０と同様の構成である。以下、相違点のみ説明する。

図１３において、プリズム１２２は、水平方向（Ｘ方向）の撮像素子１２１ａの撮像軸を下方の基板１６の方向（Ｚ方向）に屈折させる。第３のカメラ１２０は、回転部材３２に設置された部品保持ユニット７０が引き渡し回転位置Ｒｍに停止していない状態（図１０も参照）で基板１６を撮像する。すなわち、第３のカメラ１２０は、回転軸Ａｒ側から隣接する２つの部品保持ユニット７０の間を通して基板１６（移載対象）を撮像する。また、第２の当接部材９４は、回転軸Ａｒ側から基板１６（移載対象）を撮像する第３のカメラ１２０の撮像を妨げない第２の隙間９４ｂを有する。第３のカメラ１２０の撮像結果は制御装置６０に送信され、部品２７が移載（搭載）される移載対象である基板１６の移載位置Ｐｍが検出される。

次に図１４を参照して、第４のカメラ１３０の構成と機能について説明する。第４のカメラ１３０は、第２のカメラ１１０と第３のカメラ１２０の両方の機能を併せて有している。すなわち、第４のカメラ１３０は、部品供給部２５の供給位置Ｐｐにある取り出し対象の部品２７Ｃと、部品２７が移載（搭載）される基板１６（移載対象）の移載位置Ｐｍを撮像する。第４のカメラ１３０は、ＣＭＯＳセンサやＣＣＤなどの撮像素子１３１ａを内蔵する撮像部１３１、撮像経路を屈折させる５角柱形のプリズム１３２を備えて構成されている。第４のカメラ１３０は、プリズム１３２の形状が異なる他は前述の第２のカメラ１１０または第３のカメラ１２０と同様の構成である。以下、相違点のみ説明する。

図１４において、５角柱形のプリズム１３２は、水平方向（Ｘ方向）の撮像素子１３１ａの撮像軸を上方の部品供給部２５の供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）と、下方の基板１６の移載位置Ｐｍの方向（第２の方向）に屈折させる。これにより、第４のカメラ１３０は、回転軸Ａｒ側から部品供給部２５に向く供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）と回転軸Ａｒ側から移載対象の基板１６に向く移載位置Ｐｍの方向（第２の方向）とを撮像することができる。第４のカメラ１３０が隣接する２つの部品保持ユニット７０の間から部品供給部２５と基板１６（移載対象）を撮像すると、撮像素子１３１ａが撮像する撮像画像には、部品供給部２５の供給位置Ｐｐと基板１６の移載位置Ｐｍを同時に写すことができる。第４のカメラ１３０の撮像結果は制御装置６０に送信され、部品供給部２５の部品２７Ｃの供給位置Ｐｐと部品２７の移載対象である基板１６の移載位置Ｐｍが検出される。

このように、部品移載装置１では、回転軸Ａｒ側から供給位置Ｐｐまたは回転軸Ａｒ側から移載位置Ｐｍが撮像される。部品移載装置１は、供給位置Ｐｐを撮像する第２のカメラ１１０だけを備えても、移載位置Ｐｍを撮像する第３のカメラ１２０だけを備えても、第２のカメラ１１０と第３のカメラ１２０を併せて備えていてもよい。また、第２のカメラ１１０と第３のカメラ１２０の代わりに、供給位置Ｐｐと移載位置Ｐｍを撮像可能な第４のカメラ１３０を備えていてもよい。

次に図１５を参照して、部品移載装置１の制御系の構成について説明する。ここでは、撮像回転位置Ｒｓに停止中の部品保持ユニット７０が保持する部品２７を撮像する第１のカメラ１００と、部品供給部２５の供給位置Ｐｐと基板１６（移載対象）の移載位置Ｐｍを回転軸Ａｒ側から撮像する第４のカメラ１３０とを備える部品移載装置１について説明する。制御装置６０には、移載対象移動機構１０、供給部移動機構２０、回転駆動機構３７、自転駆動機構４２、剥離部５０、第１の押出し機構８０、第２の押出し機構９０、第１のカメラ１００、第４のカメラ１３０が接続されている。

制御装置６０は、供給位置検出部６１、保持位置検出部６２、移載位置検出部６３、供給制御処理部６４、移載制御処理部６５、自転制御処理部６６、統括制御処理部６７などの処理部の他、記憶装置である記憶部６８を備えている。記憶部６８には、移載データ６８ａ、供給位置補正データ６８ｂ、保持位置補正データ６８ｃ、移載位置補正データ６８ｄなどが記憶されている。

図１５において、移載データ６８ａには、部品供給部２５から供給される部品２７のサイズ（ＸＹ方向の長さ、幅など）および配置（ＸＹ方向のピッチ、配置数など）、移載対象である基板１６における部品２７の移載目標位置（Ｘ座標、Ｙ座標）および移載回転角度など、部品移載装置１による部品２７の移載作業に必要な各種情報が含まれている。移載データ６８ａに含まれる移載目標位置は、基板１６に設けられた基板基準マーク（図示省略）を基準とするＸ座標、Ｙ座標（基準マークからのＸＹ方向の距離）などにより指定される。

供給位置検出部６１は、第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）を撮像した撮像画像を認識処理して、部品供給部２５にある取り出し対象の部品２７の位置を検出する。さらに供給位置検出部６１は、移載データ６８ａに含まれる部品供給部２５における部品２７の配置に基づいて、取り出し対象の部品２７の正規の位置からの位置ずれ量を算出して、供給位置補正データ６８ｂとして記憶部６８に記憶させる。取り出し対象の部品２７の正規の位置は、取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０の保持部７１ａが部品供給部２５から部品２７を取り出す位置である。なお、供給位置検出部６１は、部品移載装置１が第４のカメラ１３０に代わって第２のカメラ１１０を備える場合は、第２のカメラ１１０が供給位置Ｐｐの方向を撮像した撮像画像を認識処理して、供給位置補正データ６８ｂを算出する。

図１５において、保持位置検出部６２は、撮像回転位置Ｒｓに停止している部品保持ユニット７０の保持部７１ａが保持している部品２７を第１のカメラ１００が撮像した撮像画像を認識処理して、保持部７１ａに保持された部品２７の保持位置Ｐｓを検出する。さらに保持位置検出部６２は、保持部７１ａが保持している部品２７の正規の位置（例えば、保持部７１ａの中心である自転軸Ａθの位置）からのＸ方向、Ｙ方向の位置ずれ量、回転角度（回転ずれ量）を算出して、保持位置補正データ６８ｃとして記憶部６８に記憶させる。

移載位置検出部６３は、第４のカメラ１３０が移載位置Ｐｍの方向（第２の方向）を撮像した撮像画像を認識処理して、基板１６（移載対象）上に部品２７を移載する移載位置Ｐｍを検出する。さらに移載位置検出部６３は、移載データ６８ａに含まれる部品２７の移載目標位置に基づいて、移載位置Ｐｍの移載目標位置からの位置ずれ量を算出して、移載位置補正データ６８ｄとして記憶部６８に記憶させる。なお、移載位置検出部６３は、部品移載装置１が第４のカメラ１３０に代わって第３のカメラ１２０を備える場合は、第３のカメラ１２０が移載位置Ｐｍの方向を撮像した撮像画像を認識処理して、移載位置補正データ６８ｄを算出する。

移載位置Ｐｍの移載目標位置からの位置ずれ量として、移載位置検出部６３は、例えば部品２７の端子が接続される基板１６上に形成された電極（ランド）の目標位置からのずれを算出する。また、移載位置検出部６３は、基板１６上の電極付近に形成された電極マーク（図示省略）を認識して位置ずれ量を算出してもよい。また、移載位置検出部６３は、移載データ６８ａに含まれる基板基準マークの位置に基づいて移載対象移動機構１０を制御し、基板基準マークを移載位置Ｐｍに位置させて撮像した基板基準マークの目標位置からの位置ずれ量を移載位置補正データ６８ｄとして記憶部６８に記憶させるようにしてもよい。

図１５において、供給制御処理部６４は、移載データ６８ａに含まれる部品供給部２５における部品２７の配置と供給位置補正データ６８ｂに基づいて、供給部移動機構２０（Ｘビーム２２が備えるリニア駆動機構、Ｙビーム２３が備えるリニア駆動機構）を制御して部品供給部２５を移動させる。具体的には、供給制御処理部６４は、供給位置Ｐｐから前の部品２７が取り出された後に、部品供給部２５における部品２７の配置に基づいて、次の取り出し対象の部品２７を供給位置Ｐｐに移動させる。

その後、第４のカメラ１３０（または、第２のカメラ１１０）が供給位置Ｐｐを撮像し、撮像画像から供給位置検出部６１によって供給位置補正データ６８ｂが算出される。そして、供給制御処理部６４は供給位置補正データ６８ｂに基づいて、取り出し対象の部品２７が供給位置Ｐｐとなるように部品供給部２５の位置を微調整する。すなわち、供給部移動機構２０は、第４のカメラ１３０（または、第２のカメラ１１０）が供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）を撮像した撮像結果（供給位置補正データ６８ｂ）に基づいて、部品供給部２５を移動させる。

図１５において、移載制御処理部６５は、移載データ６８ａに含まれる基板１６における部品２７の移載目標位置と保持位置補正データ６８ｃおよび移載位置補正データ６８ｄに基づいて、移載対象移動機構１０（リニア駆動機構）を制御して移載対象である基板１６を移動させる。具体的には、移載制御処理部６５は、移載位置Ｐｍに前の部品２７が移載（搭載）された後に、基板１６における部品２７の移載目標位置に基づいて、次の部品２７が次の移載目標位置に位置するように基板１６を移動させる。その後、第４のカメラ１３０（または、第３のカメラ１２０）が移載位置Ｐｍを撮像し、撮像画像から移載位置検出部６３によって移載位置補正データ６８ｄが算出される。

そして、移載制御処理部６５は、予め算出されていた保持位置補正データ６８ｃに含まれる移載対象の部品２７の保持部７１ａにおけるＸＹ方向の位置ずれ量と移載位置補正データ６８ｄに基づいて、保持部７１ａが保持する部品２７が移載目標位置に移載されるように基板１６の位置を微調整する。すなわち、移載対象移動機構１０は、第１のカメラ１００の撮像結果（保持位置補正データ６８ｃに含まれる移載対象の部品２７のＸＹ方向の位置ずれ量）と第４のカメラ１３０（または、第３のカメラ１２０）が移載位置Ｐｍの方向（第２の方向）を撮像した撮像結果（移載位置補正データ６８ｄ）に基づいて、部品１６（移載対象）を移動させる。

これによって、保持部７１ａが部品２７を部品供給部２５から取り出した際の位置ずれと、基板１６（移載対象）が移載位置Ｐｍに停止した際の位置のずれを補正して、部品２７を基板１６（移載対象）に移載した際の移載位置精度を高めることができる。

図１５において、自転制御処理部６６は、移載データ６８ａに含まれる基板１６における部品２７の移載回転角度と予め算出されていた保持位置補正データ６８ｃに含まれる移載対象の部品２７の保持部７１ａにおける回転ずれ量に基づいて、自転駆動機構４２（自転モータ４０）を制御して、移載対象の部品２７を保持する保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる。

具体的には、自転制御処理部６６は、回転駆動機構３７の回転モータ３６が回転部材３２を回転軸Ａｒ廻りに回転させる角度に対して、自転駆動機構４２の自転モータ４０が駆動側傘歯車４１を回転軸Ａｒ廻りに回転させる角度の相対的な角度の差が保持部７１ａの回転ずれ量を補正する量となるように、自転モータ４０を制御する。例えば、回転ずれ量がゼロの場合、回転モータ３６が回転部材３２を４５度回転させると、自転制御処理部６６は駆動側傘歯車４１が同じ方向に４５度回転するように（相対的な角度の差がゼロとなるように）自転モータ４０を駆動させる。

また、回転ずれ量がゼロでない場合は、回転モータ３６が回転部材３２を回転させた角度に対して、駆動側傘歯車４１が回転する角度が保持部７１ａの回転ずれ量を補正する量となるように、自転制御処理部６６は自転モータ４０を駆動させる。このように、自転駆動機構４２は、第１のカメラ１００の撮像結果（保持位置補正データ６８ｃに含まれる移載対象の部品２７の回転ずれ量）に基づいて、保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる。これによって、保持部７１ａが部品２７を部品供給部２５から取り出した際の回転ずれ量を補正して、部品２７を基板１６（移載対象）に移載した際の移載位置精度を高めることができる。

図１５において、統括制御処理部６７は、供給制御処理部６４、移載制御処理部６５、自転制御処理部６６、回転駆動機構３７、剥離部５０、第１の押出し機構８０、第２の押出し機構９０、第１のカメラ１００、第４のカメラ１３０を統括制御して、部品移載装置１によって部品移載作業を実行させる。

次に図１６～２３を参照して、統括制御処理部６７が部品移載装置１を統括制御して実行させる部品移載作業について説明する。図１６は、部品移載装置１の各部による作業のタイミングを示した図である。部品移載装置１は、図１７（ａ）に示す初期状態にあるとする。すなわち、移載ヘッド３０の回転部材３２に設置された８個の部品保持ユニット７０は全て部品２７を保持しておらず、部品供給部２５は最初に取り出される部品２７Ｄが供給位置Ｐｐとなるように移動し、基板１６（移載対象）は最初に部品２７Ｄが移載される移載目標位置が移載位置Ｐｍとなるように移動している。

また、一の部品保持ユニット７０が取り出し回転位置Ｒｐに停止している。この時、取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持ユニット７０を部品保持ユニット７０（Ｎ８）と称する。以下、回転部材３２を前面から見て反時計回りに部品保持ユニット７０（Ｎ１）、部品保持ユニット７０（Ｎ２）、部品保持ユニット７０（Ｎ３）・・・と称する。図１６には、（Ｎ１）、（Ｎ２）、（Ｎ３）・・・と表示する。

図１６において、まず、統括制御処理部６７は回転駆動機構３７を制御して、回転部材３２を回転軸Ａｒ廻りに前側から見て時計回り方向に２２．５度回転させる（図１７（ｂ）に示す矢印ｈ１）。以下、統括制御処理部６７が回転部材３２を２２．５度回転させる動作を順にインデックス回転Ｉ１、インデックス回転Ｉ２、インデックス回転Ｉ３・・・と称し、図１６には１、２、３・・・と表示し、図１７～図２３には（Ｉ１）、（Ｉ２）、（Ｉ３）・・・と表示する。

図１７（ｂ）において、インデックス回転Ｉ１により、取り出し回転位置Ｒｐに停止していた部品保持ユニット７０（Ｎ８）が移動して、隣接する部品保持ユニット７０（Ｎ８）と部品保持ユニット７０（Ｎ１）の間から第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）を撮像可能な状態となる。次いで第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの部品２７Ｄを撮像して、供給位置検出部６１は撮像画像から部品２７Ｄの供給位置補正データ６８ｂを算出する。

なお、第４のカメラ１３０による供給位置Ｐｐの撮像は、回転部材３２（部品保持ユニット７０）が停止中に限定されない。例えば、インデックス回転Ｉ１とインデックス回転Ｉ２を連続して実行し（すなわち、回転部材３２を４５度回転させる）、隣接する部品保持ユニット７０（Ｎ８）と部品保持ユニット７０（Ｎ１）の間から供給位置Ｐｐが撮像可能な時間帯に第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐを撮像してもよい。これによって、部品２７の移載効率を高めることができる。

図１６において、次いで統括制御処理部６７は、回転部材３２を２２．５度インデックス回転Ｉ２させる（図１８（ａ）に示す矢印ｈ２）。これにより、次の部品保持ユニット７０（Ｎ１）が取り出し回転位置Ｒｐに停止する。インデックス回転Ｉ２中に、供給制御処理部６４はインデックス回転Ｉ１後に算出された部品２７Ｄの供給位置補正データ６８ｂに基づいて、部品供給部２５の位置を微調整させる（図１８（ａ）に示す矢印ｈ３）。すなわち、供給部移動機構２０は、第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの方向（第１の方向）を撮像した撮像結果（部品２７Ｄの供給位置補正データ６８ｂ）に基づいて、部品供給部２５を移動させる。

図１８（ｂ）において、次いで統括制御処理部６７は剥離部５０を制御して剥離ピン５２を下方に突出させて（矢印ｈ４）、取り出し対象の部品２７Ｄの一部をシート２６から剥離させる。また、統括制御処理部６７は第１の押出し機構８０を制御して第１の当接部材８４を上方に移動させて（矢印ｈ５）、保持部７１ａを上方に突出させて部品２７Ｄに当接させる。すなわち、第１の押出し機構８０は、部品保持ユニット７０（Ｎ１）が取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）で停止中に、後端部７１ｃを押して保持部７１ａを部品供給部２５の方向に突出させる。次いで統括制御処理部６７は吸引孔７１ｆを真空状態して、部品２７Ｄを保持部７１ａに真空吸着させる。

図１９（ａ）において、次いで統括制御処理部６７は剥離部５０を制御して剥離ピン５２を元の位置に戻し（矢印ｈ６）、第１の押出し機構８０を制御して第１の当接部材８４を下方に移動させて（矢印ｈ７）、部品２７Ｄを保持した保持部７１ａを待機位置に戻させる。

図１６において、次いで統括制御処理部６７は回転部材３２をインデックス回転Ｉ３させる（図１９（ｂ）に示す矢印ｈ８）。インデックス回転Ｉ３中に、供給制御処理部６４は次の取り出し対象の部品２７Ｅが供給位置Ｐｐとなるように部品供給部２５を移動させる（図１９（ｂ）に示す矢印ｈ９）。図１９（ｂ）において、第４のカメラ１３０は隣接する部品保持ユニット７０（Ｎ１）と部品保持ユニット７０（Ｎ２）の間から供給位置Ｐｐの方向を撮像し、供給位置検出部６１は撮像画像から部品２７Ｅの供給位置補正データ６８ｂを算出する。

図１６において、次いで統括制御処理部６７は回転部材３２をインデックス回転Ｉ４させ（図２０（ａ）に示す矢印ｈ１０）、供給制御処理部６４は算出された部品２７Ｅの供給位置補正データ６８ｂに基づいて部品供給部２５の位置を微調整させる（図２０（ａ）に示す矢印ｈ１１）。図２０（ａ）において、次いで統括制御処理部６７は剥離部５０と第１の押出し機構８０を制御して、部品２７Ｅを供給位置Ｐｐから取り出して部品保持ユニット７０（Ｎ２）の保持部７１ａに保持させる（矢印ｈ１２、矢印ｈ１３）。

図１６において、次いでインデックス回転Ｉ５、インデックス回転Ｉ６が実行され（図２０（ｂ）に示す矢印ｈ１４）、部品２７Ｆが供給位置Ｐｐに移動し（図２０（ｂ）に示す矢印ｈ１５）、第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの部品２７Ｆを撮像する。図２０（ｂ）において、この状態で取り出し回転位置Ｒｐに停止している部品保持有ニット７０（Ｎ３）が供給位置Ｐｐから部品２７Ｆを取り出して保持部７１ａに保持する（矢印ｈ１６、矢印ｈ１７）。

また、この状態で部品２７Ｄを保持する部品保持ユニット７０（Ｎ１）は、撮像回転位置Ｒｓに停止しており、第１のカメラ１００は部品保持ユニット７０（Ｎ１）の保持部７１ａが保持している部品２７Ｄを撮像する。保持位置検出部６２は、第１のカメラ１００が撮像した撮像画像を認識処理して部品２７Ｄの保持位置補正データ６８ｃを算出して記憶部６８に記憶させる。

図１６において、次いでインデックス回転Ｉ７、インデックス回転Ｉ８が実行され（図２１（ａ）に示す矢印ｈ１８）、部品２７Ｇが供給位置Ｐｐに移動し（矢印ｈ１９）、第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの部品２７Ｇを撮像する。図２１（ａ）において、供給位置Ｐｐの部品２７Ｇが部品保持有ニット７０（Ｎ４）によって取り出されて保持部７１ａに保持される（矢印ｈ２０、矢印ｈ２１）。また、第１のカメラ１００が部品保持ユニット７０（Ｎ２）が保持する部品２７Ｅを撮像し、保持位置検出部６２は撮像画像を認識処理して部品２７Ｅの保持位置補正データ６８ｃを算出して記憶部６８に記憶させる。

図１６において、次いでインデックス回転Ｉ９が実行され（図２１（ｂ）に示す矢印ｈ２２）、部品２７Ｈが供給位置Ｐｐに移動する（図２１（ｂ）に示す矢印ｈ２３）。図２１（ｂ）において、第４のカメラ１３０は隣接する部品保持ユニット７０（Ｎ４）と部品保持ユニット７０（Ｎ５）の間から供給位置Ｐｐの方向を撮像し、供給位置検出部６１は撮像画像から部品２７Ｈの供給位置補正データ６８ｂを算出する。また、第４のカメラ１３０は隣接する部品保持ユニット７０（Ｎ８）と部品保持ユニット７０（Ｎ１）の間から移載位置Ｐｍの方向を撮像し、移載位置検出部６３は撮像画像から部品２７Ｄを基板１６上に移載する部品２７Ｄの移載位置補正データ６８ｄを算出する。

図１６において、次いでインデックス回転Ｉ１０が実行され（図２２（ａ）に示す矢印ｈ２４）、算出された部品２７Ｈの供給位置補正データ６８ｂに基づいて部品供給部２５の位置が微調整される（図２２（ａ）に示す矢印ｈ２５）。

図２２（ａ）において、移載制御処理部６５は、記憶されている部品２７Ｄの保持位置補正データ６８ｃに含まれるＸＹ方向の位置ずれ量と、算出された移載位置補正データ６８ｄに基づいて、保持ユニット７０（Ｎ１）が保持する部品２７Ｄが移載目標位置に移載されるように基板１６の位置を微調整する（矢印ｈ２６）。すなわち、移載対象移動機構１０は、第１のカメラ１００の撮像結果（部品２７Ｄの保持位置補正データ６８ｃ）と第４のカメラ１３０が移載位置Ｐｍの方向（第２の方向）を撮像した撮像結果（部品２７Ｄの移載位置補正データ６８ｄ）に基づいて、基板１６（移載対象）を移動させる。なお、基板１６の移載目標位置の微調整が、部品移載作業の前に取得された基板１６に形成された基板マークの位置に基づいて実行される場合は、インデックス回転後の第４のカメラ１３０による移載位置Ｐｍの撮像は省略される。

自転制御処理部６６は、記憶されている部品２７Ｄの保持位置補正データ６８ｃに含まれる回転ずれ量に基づいて、部品２７Ｄを保持する保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる（矢印ｈ２７）。すなわち、第１のカメラ１００の撮像結果（部品２７Ｄの保持位置補正データ６８ｃ）に基づいて、自転駆動機構４２は保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる。

図２２（ｂ）において、次いで剥離部５０は剥離ピン５２を下方に突出させ（矢印ｈ２８）、第１の押出し機構８０は第１の当接部材８４を上方に移動させて（矢印ｈ２９）、部品保持ユニット７０（Ｎ５）の保持部７１ａに部品２７Ｈを真空吸着させる。また、統括制御処理部６７は第２の押出し機構９０を制御して第２の当接部材９４を下方に移動させ（矢印ｈ３０）、部品保持ユニット７０（Ｎ１）の保持部７１ａを下方に突出させて保持する部品２７Ｄを基板１６上に着地させる。次いで統括制御処理部６７は部品保持ユニット７０（Ｎ１）の吸引孔７１ｆを大気圧状態して、部品２７Ｄを保持部７１ａから解放させる。

図２２（ｂ）において、部品保持ユニット７０（Ｎ５）が部品供給部２５から部品２７Ｈを取り出して保持し、部品保持ユニット７０（Ｎ１）が部品２７Ｄを基板１６に移載している間に、保持位置検出部６２は、第１のカメラ１００が撮像した撮像画像を認識処理して部品保持ユニット７０（Ｎ３）が保持する部品２７Ｆの保持位置補正データ６８ｃを算出して記憶部６８に記憶させる。

図２３（ａ）において、次いで剥離部５０は剥離ピン５２を元の位置に戻し（矢印ｈ３１）、第１の押出し機構８０は第１の当接部材８４を元の位置に移動させて（矢印ｈ３２）、部品保持ユニット７０（Ｎ５）の保持部７１ａに部品２７Ｈを保持させる。また、また、統括制御処理部６７は第２の押出し機構９０を制御して第２の当接部材９４を元の位置に移動させる（矢印ｈ３３）。これにより、部品２７Ｄが基板１６上に移載（搭載）され、部品保持ユニット７０（Ｎ１）の保持部７１ａが待機位置まで上昇する。

このように、部品保持ユニット７０（Ｎ１）は回転部材３２と一体となって円弧運動し、取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）で部品供給部２５から部品２７Ｄを取り出して保持部７１ａに保持し、自転軸Ａθ廻りに自転させた部品２７Ｄを引き渡し回転位置Ｒｍ（第２の回転位置）で基板１６（移載対象）に引き渡している。これによって、部品２７Ｄの移載位置精度を高めることができる。

また、部品保持ユニット７０（Ｎ５）（一の部品保持ユニット）が、取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）で部品供給部２５から部品２７Ｈを取り出して部品保持ユニット７０（Ｎ５）の保持部７１ａに保持する作業と、部品保持ユニット７０（Ｎ１）（他の部品保持ユニット）が、引き渡し回転位置Ｒｍ（第２の回転位置）で基板１６（移載対象）に部品保持ユニット７０（Ｎ１）の保持部７１ａが保持している部品２７Ｄを引き渡す作業とが、並行して実行される。さらに、撮像回転位置Ｒｓに位置する部品保持ユニット７０（Ｎ３）が保持する部品２７Ｆを第１のカメラ１００が撮像する作業も、並行して実行される。このように、部品２７Ｈの取り出し、部品２７Ｄの基板１６への移載、部品２７Ｆの第１のカメラ１００による撮像を並行して実行することで作業時間が短縮でき、部品２７Ｄ～２７Ｈの移載効率を高めることができる。

図１６において、次いでインデックス回転Ｉ１１、インデックス回転Ｉ１２が実行され（図２３（ｂ）に示す矢印ｈ３４）、部品２７Ｉが供給位置Ｐｐに移動し（図２３（ｂ）に示す矢印ｈ３５）、第４のカメラ１３０が供給位置Ｐｐの部品２７Ｉを撮像する。図２３（ｂ）において、部品保持ユニット７０（Ｎ６）によって供給位置Ｐｐから部品２７Ｉが取り出されて保持部７１ａに保持される（矢印ｈ３６、矢印ｈ３７）。また、第１のカメラ１００が部品保持ユニット７０（Ｎ４）が保持する部品２７Ｇを撮像し、部品２７Ｇの保持位置補正データ６８ｃが算出される。また、次の部品２７Ｅが移載される移載目標位置が移載位置Ｐｍとなるように移動した基板１６に（矢印ｈ３８）、部品保持ユニット７０（Ｎ２）が保持していた部品２７Ｅが移載される（矢印ｈ３９）。

以下、同様の部品移載作業を繰り返し実行することで、回転部材３２に設置された複数の部品保持ユニット７０（Ｎ１）～（Ｎ８）が部品供給部２５から順番に部品２７を取り出し、順番に基板１６に移載することで、基板１６に部品２７が移載された実装基板が製造される。

上記説明したように、本実施の形態の部品移載装置１は、回転部材３２と、回転部材３２を回転軸Ａｒ廻りに円弧運動させる回転駆動機構３７と、回転部材３２に設置された部品保持ユニット７０と、部品保持ユニット７０が有する保持部７１ａを自転軸Ａθ廻りに自転させる自転駆動機構４２を備えている。そして部品保持ユニット７０は回転部材３２と一体となって円弧運動し、取り出し回転位置Ｒｐ（第１の回転位置）で部品供給部２５から部品２７を取り出して保持部７１ａに保持し、自転軸Ａθ廻りに自転させた部品２７を引き渡し回転位置Ｒｍ（第２の回転位置）で基板１６（移載対象）に引き渡している。これによって、部品２７の移載効率を高めつつ、部品２７の移載位置精度も高めることができる。

なお、上述では基板１６を移載対象とする実施例を説明したが、移載対象は基板１６に限定されることはない。例えば、移載対象は、部品２７を格納する凹部が規則的に形成されたトレイであっても、部品２７を格納するポケットが直線状に形成されたキャリアテープであってもよい。その場合、移載対象を移動させる移載対象移動機構１０は、移載対象に合わせて適宜変更される。また、移載対象がトレイやキャリアテープなどの移載時に要求される自転軸Ａθ方向の移載位置精度が高くないものである場合、部品移載装置１は自転駆動機構４２を備えない構成であってもよい。

部品の移載効率が高くて移載位置精度も高い部品移載装置を提供する。

１ 部品移載装置
１０ 移載対象移動機構
１６ 基板（移載対象）
２０ 供給部移動機構
２５ 部品供給部
２６ シート
２７、２７Ａ～２７Ｉ 部品
３２ 回転部材
３７ 回転駆動機構
３９ 回転シャフト（自転駆動機構）
４０ 自転モータ（自転駆動機構）
４１ 駆動側傘歯車（自転駆動機構）
５０ 剥離部
５２ 剥離ピン（ピン）
７０、７０（Ｎ１）～７０（Ｎ８） 部品保持ユニット
７１ａ 保持部
７１ｃ 後端部
７２ｂ 受動側傘歯車（自転駆動機構）
８０ 第１の押出し機構
８４ 第１の当接部材
８４ｂ 第１の隙間
９０ 第２の押出し機構
９４ 第２の当接部材
９４ｂ 第２の隙間
１００ 第１のカメラ
１１０ 第２のカメラ
１２０ 第３のカメラ
１３０ 第４のカメラ
Ａｒ 回転軸
Ａθ 自転軸
Ｒｍ 引き渡し回転位置（第２の回転位置）
Ｒｐ 取り出し回転位置（第１の回転位置）

Claims (3)

1. 回転軸廻りに円弧運動する回転部材と、
   前記回転部材を前記回転軸廻りに円弧運動させる回転駆動機構と、
   部品を保持し、前記回転軸を中心とする円の法線方向の自転軸廻りに自転可能な保持部を有し、前記保持部が前記回転軸を中心とする円の外側を向くように前記回転部材に設置された部品保持ユニットと、
   前記保持部を前記自転軸廻りに自転させる自転駆動機構と、を備え、
   前記部品保持ユニットは前記回転部材と一体となって円弧運動し、第１の回転位置で部品供給部から部品を取り出して前記保持部に保持し、前記自転軸廻りに自転させた前記部品を前記第１の回転位置とは異なる第２の回転位置で移載対象に引き渡し、
   前記部品供給部を撮像する第２のカメラをさらに備え、
   前記回転部材には、複数の前記部品保持ユニットが設置されており、
   前記第２のカメラは、前記回転軸側から隣接する２つの前記部品保持ユニットの間を通して前記部品供給部を撮像する、部品移載装置。
2. 前記部品保持ユニットが前記第１の回転位置から前記第２の回転位置に円弧運動する間に、前記部品保持ユニットが保持する前記部品を撮像する第１のカメラと、
   前記移載対象を保持して移動させる移載対象移動機構と、をさらに備え、
   前記第１のカメラの撮像結果に基づいて、前記自転駆動機構は前記保持部を前記自転軸廻りに自転させ、前記移載対象移動機構は前記移載対象を移動させる、請求項１に記載の部品移載装置。
3. 一の部品保持ユニットが、前記第１の回転位置で前記部品供給部から部品を取り出して前記一の部品保持ユニットの保持部に保持する作業と、
   前記一の部品保持ユニットとは異なる他の部品保持ユニットが、前記第２の回転位置で前記移載対象に前記他の部品保持ユニットの保持部が保持している部品を引き渡す作業とを、並行して実行する、請求項１に記載の部品移載装置。

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