JP6442063B2 - 部品実装機、ノズル撮像方法 - Google Patents

Description

この発明は、実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを撮像するノズル撮像技術に関する。

従来、フィーダーが供給する部品をノズルにより吸着して基板に実装する部品実装機が用いられている。このような部品実装機では、ノズルがフィーダーからの部品の吸着や基板への部品の実装に失敗する場合がある。そこで、特許文献１、２では、かかる失敗の有無を確認するために、部品吸着を実行した後や部品実装を実行した後のノズルを撮像する。具体的には、所定のステーションに位置決めされたノズルに対して照射体から光を照射しつつカメラによりノズルを撮像する。

特開２０１２−２１２９４７号公報 特開２００８−３１１４７６号公報

しかしながら、このように撮像位置に位置するノズルに照明から光を照射しつつ撮像部によりノズルを撮像する場合、照明用の光とは異なる光、例えば自然光等がノズルの撮像に影響を及ぼして、良好なノズルの撮像を行えない場合があった。

この発明は上記課題に鑑みなされたものであり、実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを撮像するにあたって、照明用の光とは異なる光がノズルの撮像に及ぼす影響を抑えて、ノズルの撮像を良好に行うことを可能とする技術の提供を目的とする。

本発明に係る部品実装機は、上記目的を達成するために、第１波長の光を第１撮像位置に向けて照射する第１照明、第１波長の光の透過を許容する一方で第１波長と異なる波長の光の透過を制限する第１フィルター、および第１撮像位置に対向して第１撮像位置から入射してきた光を第１撮像素子により受光する第１撮像部を有する第１撮像システムと、ノズルにより部品を保持可能であり、第１撮像位置にノズルを位置決め可能な実装ヘッドとを備え、第１撮像システムは、第１照明から第１撮像位置へ照射された後に第１フィルターを透過した光を第１撮像部の第１撮像素子により受光することで、第１撮像位置に位置するノズルを撮像する。

本発明に係るノズル撮像方法は、上記目的を達成するために、実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを撮像位置に位置させる工程と、所定波長の光を撮像位置に向けて照射する工程と、撮像位置に照射された後にフィルターを通過した光を撮像素子により受光することで撮像位置に位置するノズルを撮像する工程とを備え、フィルターは、所定波長の光の透過を許容する一方で所定波長と異なる波長の光の透過を制限する。

このように構成された本発明（部品実装機、ノズル撮像方法）では、第１撮像位置（撮像位置）に向けて第１波長（所定波長）の光を照射し、この光が第１撮像位置を照らす照明用の光として機能する。そして、第１撮像位置に照射された後に第１フィルター（フィルター）を透過した光を第１撮像部（撮像部）の第１撮像素子（撮像素子）により受光することで、第１撮像位置に位置するノズルを撮像する。ここで、第１フィルターは、第１波長の光の透過を許容する一方で第１波長と異なる波長の光の透過を制限する。こうして、第１波長の照明用の光とは異なる光が第１フィルターを透過して第１撮像素子に到達することが抑制されている。その結果、照明用の光とは異なる光がノズルの撮像に及ぼす影響を抑えて、ノズルの撮像を良好に行うことが可能となっている。

本発明によれば、実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを撮像するにあたって、照明用の光とは異なる光がノズルの撮像に及ぼす影響を抑えて、ノズルの撮像を良好に行うことが可能となる。

本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図である。 図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図である。 実装ヘッドの一例の下端部近傍を模式的に示す部分正面図である。 図３の実装ヘッドの底部を模式的に示す部分平面図である。 撮像ユニット５の外観を模式的に示す部分斜視図である。 図５の撮像ユニットが具備する光学的構成を等価的に示した模式図である。

図１は本発明に係る部品実装機を模式的に示す部分平面図である。図２は図１の部品実装機が備える電気的構成を示すブロック図である。両図および以下の図では、Ｚ方向を鉛直方向とするＸＹＺ直交座標を適宜示す。図２に示すように、部品実装機１は、装置全体を統括的に制御するコントローラー１００を備える。コントローラー１００は、ＣＰＵ(Central Processing Unit)やＲＡＭ(Random Access Memory)で構成されたコンピューターである演算処理部１１０およびＨＤＤ(Hard Disk Drive)で構成された記憶部１２０を有する。さらに、コントローラー１００は、部品実装機１の駆動系を制御する駆動制御部１３０と、後に詳述するノズルの撮像を制御する撮像制御部１４０とを有する。

そして、演算処理部１１０は記憶部１２０に記憶されるプログラムに従って駆動制御部１３０を制御することで、プログラムが規定する部品実装を実行する。この際、演算処理部１１０は撮像制御部１４０がカメラ６０により撮像した画像に基づき、部品実装を制御する。また、部品実装機１には、表示／操作ユニット１５０が設けられており、演算処理部１１０は、部品実装機１の状況を表示／操作ユニット１５０に表示したり、表示／操作ユニット１５０に入力された作業者からの指示を受け付けたりする。

図１に示すように、部品実装機１は、基台１１の上に設けられた一対のコンベア１２、１２を備える。そして、部品実装機１は、コンベア１２によりＸ方向（基板搬送方向）の上流側から実装処理位置（図１の基板Ｓの位置）に搬入した基板Ｓに対して部品を実装し、部品実装を完了した基板Ｓをコンベア１２により実装処理位置からＸ方向の下流側へ搬出する。

部品実装機１では、Ｙ方向に延びる一対のＹ軸レール２１、２１と、Ｙ方向に延びるＹ軸ボールネジ２２と、Ｙ軸ボールネジ２２を回転駆動するＹ軸モーターＭｙとが設けられ、ヘッド支持部材２３が一対のＹ軸レール２１、２１にＹ方向に移動可能に支持された状態でＹ軸ボールネジ２２のナットに固定されている。ヘッド支持部材２３には、Ｘ方向に延びるＸ軸ボールネジ２４と、Ｘ軸ボールネジ２４を回転駆動するＸ軸モーターＭｘとが取り付けられており、ヘッドユニット３がヘッド支持部材２３にＸ方向に移動可能に支持された状態でＸ軸ボールネジ２４のナットに固定されている。したがって、駆動制御部１３０は、Ｙ軸モーターＭｙによりＹ軸ボールネジ２２を回転させてヘッドユニット３をＹ方向に移動させ、あるいはＸ軸モーターＭｘによりＸ軸ボールネジ２４を回転させてヘッドユニット３をＸ方向に移動させることができる。

一対のコンベア１２、１２のＹ方向の両側それぞれでは、２つの部品供給部２８がＸ方向に並んでいる。各部品供給部２８に対しては、複数のテープフィーダー２８１がＸ方向に配列ピッチＬａで並んで着脱可能に装着されており、各テープフィーダー２８１には、集積回路、トランジスター、コンデンサ等の小片状の部品（チップ電子部品）を所定間隔おきに収納したテープが巻かれたリールが配置されている。そして、テープフィーダー２８１は、テープをヘッドユニット３側に間欠的に送り出すことによって、テープ内の部品を供給する。

ヘッドユニット３は、Ｘ方向に直線状に並ぶ複数（４本）の実装ヘッド４を有する。各実装ヘッド４は下端に取り付けられたノズル４０（図３）により、部品の吸着・実装を行う。つまり、実装ヘッド４はテープフィーダー２８１の上方へ移動して、テープフィーダー２８１により供給された部品を吸着する。具体的には、実装ヘッド４は、部品に当接するまでノズル４０を下降させた後にノズル４０内に負圧を発生させつつノズル４０を上昇させることで、部品を吸着する。続いて、実装ヘッド４は実装処理位置の基板Ｓの上方に移動して基板Ｓに部品を実装する。具体的には、実装ヘッド４は、部品が基板Ｓに当接するまでノズル４０を下降させた後にノズル４０内に大気圧あるいは正圧を発生させることで、部品を実装する。

図３は実装ヘッドの一例の下端部近傍を模式的に示す部分正面図である。図４は図３の実装ヘッドの底部を模式的に示す部分平面図である。図３および図４に示すように、各実装ヘッド４は、複数のノズル４０を円周状に配列したロータリーヘッドである。続いては、図３および図４を併用しつつ実装ヘッド４の構成について説明する。なお、４本の実装ヘッド４の構成は共通するため、ここでは１本の実装ヘッド４について説明する。

実装ヘッド４はＺ方向（鉛直方向）に延びるメインシャフト４１と、メインシャフト４１の下端に支持されたノズルホルダー４２とを有する。ノズルホルダー４２は、Ｚ方向に平行な回転軸Ｃ（仮想軸）を中心とする回転方向Ｒに回転可能に支持されており、実装ヘッド４の上端部に設けられたＲ軸モーターＭｒ（図２）の駆動力を受けて回転する。また、ノズルホルダー４２は、回転軸Ｃを中心とする円周状に等角度を空けて配列された複数（８本）の昇降シャフト４３を支持する。

各昇降シャフト４３は昇降可能に支持されており、図略の付勢部材により上方へ付勢されている。各昇降シャフト４３の下端にはノズル４０が着脱可能に装着される。これによって、ノズルホルダー４２は、回転軸Ｃを中心とする円周状に等角度を空けて配列された複数（８個）のノズル４０を支持する。したがって、駆動制御部１３０がＲ軸モーターＭｒに回転指令を出力すると、Ｒ軸モーターＭｒからの駆動力を受けて回転するノズルホルダー４２に伴って、複数のノズル４０が一体的に回転軸Ｃを中心とする円周軌道Ｏに沿って回転する。

また、メインシャフト４１は、複数の昇降シャフト４３の上方にノズル昇降機構４４を支持する。ノズル昇降機構４４は、回転軸Ｃを中心として１８０度の角度を空けて配置された２本の押圧部材４４１を有する。各押圧部材４４１は、ノズル昇降機構４４に内蔵されたＺ軸モーターＭｚ（図２）の駆動力を受けて、互いに独立して昇降する。したがって、駆動制御部１３０がＺ軸モーターＭｚに下降指令を出力すると、Ｚ軸モーターＭｚからの駆動力を受けて押圧部材４４１が下降する。これにより、押圧部材４４１は、複数の昇降シャフト４３のうち直下に位置する一の昇降シャフト４３を当該昇降シャフト４３に働く付勢力に抗して下降させ、部品の吸着あるいは実装を行う下降位置Ｚｄまでノズル４０を下降させる。一方、駆動制御部１３０がＺ軸モーターＭｚに上昇指令を出力すると、Ｚ軸モーターＭｚからの駆動力を受けて押圧部材４４１が上昇する。これにより、押圧部材４４１に押下されていた一の昇降シャフト４３が、ノズル４０を伴いつつ付勢力に従って上昇し、ノズル４０が上昇位置Ｚｕまで上昇する。なお、図３においては、ノズル４０の下端に対して下降位置Ｚｄおよび上昇位置Ｚｕがそれぞれ示されている。

このような実装ヘッド４では、押圧部材４４１の直下がノズル４０による部品の吸着・実装を行う作業位置ＰＡ、ＰＢとなる。すなわち、上述した２個の押圧部材４４１の配置に対応して、実装ヘッド４では、２個の作業位置ＰＡ、ＰＢが回転軸Ｃを中心に１８０度の角度を空けて設けられている。一方、図４に示すようにノズルホルダー４２では、回転軸Ｃを中心に１８０度の間隔を空けて配置された２個のノズル４０（回転軸Ｃを挟んで互いに逆側に位置する２個のノズル４０）の対（ノズル対）が４対設けられて、２×４（＝８）個のノズル４０が円周軌道Ｏに沿って配列されている。こうして対を成す２個のノズル４０は、一方のノズル４０が作業位置ＰＡに位置すると同時に他方のノズル４０が作業位置ＰＢに位置できる配置関係を満たす。

したがって、駆動制御部１３０はＲ軸モーターＭｒにより複数のノズル４０の回転角度を調整することで、４個のノズル対のうち任意の１個のノズル対を成す２個のノズル４０、４０のそれぞれを作業位置ＰＡ、ＰＢに位置させて、部品の吸着・実装に用いることができる。

例えば、作業位置ＰＡで部品を吸着する場合は、実装ヘッド４を部品供給部２８の上方へ移動させて作業位置ＰＡをテープフィーダー２８１の直上に位置決めする。この状態で、部品を吸着しないノズル４０を回転方向Ｒにおいて作業位置ＰＡに停止させつつ、Ｚ方向において上昇位置Ｚｕから下降位置Ｚｄへ下降させる。そして、ノズル４０がテープフィーダー２８１により供給される部品に接したタイミングでノズル４０に負圧を与えて、テープフィーダー２８１からノズル４０に部品を吸着する。続いて、部品を吸着したノズル４０をＺ方向において下降位置Ｚｄから上昇位置Ｚｕまで上昇させる。作業位置ＰＢで部品を吸着する場合も同様である。特に、２個の作業位置ＰＡ、ＰＢはＸ方向に直線状に並んで設けられ、対を成す２個のノズル４０、４０の中心間距離Ｌｂはテープフィーダー２８１のＸ方向への配列ピッチＬａ（図１）に等しい。したがって、作業位置ＰＡ、ＰＢに位置する２個のノズル４０、４０は、テープフィーダー２８１、２８１からの部品の吸着を同時に実行できる。

あるいは、作業位置ＰＡで部品を実装する場合は、実装ヘッド４を基板Ｓの上方へ移動させて作業位置ＰＡを基板Ｓの実装対象箇所の直上に位置決めする。この状態で、部品を吸着するノズル４０を回転方向Ｒにおいて作業位置ＰＡに停止させつつ、Ｚ方向において上昇位置Ｚｕから下降位置Ｚｄへ下降させる。そして、部品が基板Ｓに接したタイミングでノズル４０に大気圧あるいは正圧を与えて、ノズル４０から基板Ｓへ部品を実装する。続いて、部品が離脱したノズル４０をＺ方向において下降位置Ｚｄから上昇位置Ｚｕまで上昇させる。作業位置ＰＢで部品を実装する場合も同様である。

また、実装ヘッド４のメインシャフト４１の下端には、円柱形状の光拡散部材５が取り付けられており、複数のノズル４０は光拡散部材５を囲むようにして配列されている。この光拡散部材５は例えば特開２０１２−２３８７２６号公報に記載の拡散部材と同様の構成を具備しており、後に詳述する撮像ユニット６（図５、図６）によるノズル４０のサイドビュー撮像に用いられる。

つまり、部品実装機１では、回転方向Ｒにおいて作業位置ＰＡ、ＰＢに位置しつつＺ方向において上昇位置Ｚｕに位置するノズル４０のサイドビュー（Ｘ方向から見たノズル４０の側面）が撮像ユニット６のカメラ６０により撮像される。そして、演算処理部１１０は、ノズル４０のサイドビュー画像に基づき、例えば次のようにしてノズル４０による部品の吸着・実装を制御する。

部品を吸着する場合は、部品を吸着する前後の各タイミングで上昇位置Ｚｕに位置するノズル４０のサイドビューを撮像する。そして、部品吸着前のサイドビュー画像においてノズル４０に異物が付着している場合は、部品吸着を中止する。また、部品吸着のためにノズル４０を下降位置Ｚｄに下降させた後のサイドビュー画像においてノズル４０の下端に部品が無ければ、部品吸着に失敗したと判断して、部品吸着を再実行する。さらに、ノズル４０に吸着される部品の厚みや姿勢も、ノズル４０のサイドビュー画像に基づき適宜判断する。

部品を実装する場合は、部品を実装する前後の各タイミングで上昇位置Ｚｕに位置するノズル４０のサイドビューを撮像する。そして、部品実装前のサイドビュー画像においてノズル４０の下端に部品が無ければ、ノズル４０から部品が脱落していると判断して、部品実装を中止する。また、部品実装のためにノズル４０を下降位置Ｚｄまで下降させた後のサイドビュー画像においてノズル４０の下端に部品が残っていれば、部品実装に失敗したと判断して、部品実装を再実行する。

続いては、図５および図６を併用しつつ撮像ユニット６の構成について説明する。図５は撮像ユニット５の外観を模式的に示す部分斜視図である。図６は図５の撮像ユニットが具備する光学的構成を等価的に示した模式図である。なお、図５および図６では実装ヘッド４との関係を示すために、実装ヘッド４の構成が部分的に示されている。この撮像ユニット６はカメラ６０を備え、作業位置ＰＡ、ＰＢに位置するノズル４０をカメラ６０に撮像する。

撮像ユニット６が具備する筐体６１は、Ｙ方向からの側面視において逆Ｔ字状を有して上部にカメラ６０が取り付けられた本体部６１１と、本体部６１１のＸ方向の両端からＹ方向に突出する２個のノズル対向部６１２、６１２とを有する。そして、撮像ユニット６は、２個のノズル対向部６１２、６１２により複数のノズル４０をＸ方向から挟むように配置されて、実装ヘッド４のメインシャフト４に固定されている。こうして、撮像ユニット６は実装ヘッド４と一体的に構成され、実装ヘッド４に伴って移動可能である。

Ｘ方向の一方側のノズル対向部６１２の内側壁には、Ｘ方向の一方側の作業位置ＰＡに対向する第１窓６２Ａが設けられ、一方側のノズル対向部６１２および本体部６１１の内部には、プリズム、ミラーおよびレンズといった光学素子６３１で構成された第１光学系６３Ａが設けられている。そして、作業位置ＰＡから第１窓６２Ａへ入射した光は、第１光学系６３Ａによりカメラ６０に導かれる。これにより、カメラ６０が内蔵する固体撮像素子６０１のうちの第１範囲６０１Ａが作業位置ＰＡからの光を受光する。つまり、第１窓６２Ａ、第１光学系６３Ａおよび固体撮像素子６０１の第１範囲６０１Ａにより構成された第１撮像部６４Ａが実装ヘッド４の一方側に配置される。そして、この第１撮像部６４Ａが、実装ヘッド４の一方側の側面に対して設けられた作業位置ＰＡに対向し、作業位置ＰＡを撮像する。

なお、上述のとおり、押圧部材４４１の昇降に伴ってノズル４０は上昇位置Ｚｕと下降位置Ｚｄとの間で昇降する。これに対して、第１窓６２Ａは、作業位置ＰＡにおいて上昇位置Ｚｕにあるノズル４０の先端に対して対向するように配置されており、第１撮像部６４Ａは、作業位置ＰＡにおいて上昇位置Ｚｕにあるノズル４０の先端をＸ方向（水平方向）から撮像してノズル４０のサイドビュー画像を取得する。

また、Ｘ方向の他方側のノズル対向部６１２の内側壁には、第１撮像部６４Ａの撮像に用いられる照明用の光を照射する第１照明６５Ａが配置されている。この第１照明６５Ａは、第２窓６２Ｂの両側それぞれにマトリックス状に配列された複数のＬＥＤ(Light Emitting Diode)で構成され、第１波長（青色の波長）の光をＸ方向の他方側から作業位置ＰＡに向けて照射する。こうして、実装ヘッド４のＸ方向の他方側に配置された第１照明６５Ａから射出された光は、光拡散部材５で拡散された後に作業位置ＰＡに照射される。

このように、第１撮像部６４Ａは、実装ヘッド４の一方側に配置されて、実装ヘッド４の一方側の側面の作業位置ＰＡに対向する。これに対して、第１照明６５Ａは、実装ヘッド４の他方側から作業位置ＰＡに光を照射する。したがって、第１撮像部６４Ａは、作業位置ＰＡのノズル４０の背面から第１照明６５Ａが照射した光を撮像して、ノズル４０のシルエット画像を取得する。このシルエット画像は、固体撮像素子６０１から撮像制御部１４０に転送されて、ノズル４０による部品の吸着や実装の成否判定に用いられる。

さらに、第１光学系６３Ａを構成する各光学素子６３１のうち、第１窓６２Ａに対向して配置された光学素子６３１の入射面（第１窓６２Ａに対向する表面）には、第１光学フィルター６６Ａが設けられている。この第１光学フィルター６６Ａは、第１波長（青色の波長）の光の透過を許容する一方、第１波長より長い第２波長（赤色の波長）の光の透過を制限する。したがって、第１撮像部６４Ａは、第１波長の光により、作業位置ＰＡに位置するノズル４０のシルエット画像を撮像する。

この際、第１光学フィルター６６Ａとしては、吸収型および反射型のいずれのタイプも使用可能である。なお、第１窓６２Ａに対向して第１光学フィルター６６Ａを配置しているため、反射型の光学フィルターを用いた場合であっても、第１光学フィルター６６Ａでの反射光を第１窓６２Ａから筐体６１の外へ逃がすことができる。そのため、第１光学フィルター６６Ａでの反射光がフレアやゴーストの原因となることが抑制可能となっている。

このように、第１照明６５Ａ、第１光学フィルター６６Ａおよび第１撮像部６４Ａにより第１撮像システム６７Ａが構成されている。そして、第１撮像システム６７Ａは、第１照明６５Ａから作業位置ＰＡへ照射された後に第１光学フィルター６６Ａを透過した光を第１撮像部６４Ａの固体撮像素子６０１（第１範囲６０１Ａ）により受光することで、作業位置ＰＡに位置するノズル４０を撮像する。

Ｘ方向の他方側（一方側の逆）のノズル対向部６１２の内側壁には、Ｘ方向の他方側の作業位置ＰＢに対向する第２窓６２Ｂが設けられ、他方側のノズル対向部６１２および本体部６１１の内部には光学素子６３１で構成された第２光学系６３Ｂが設けられている。そして、作業位置ＰＢから第２窓６２Ｂへ入射した光は、第２光学系６３Ｂによりカメラ６０に導かれる。これにより、カメラ６０が内蔵する固体撮像素子６０１のうち、第１範囲６０１Ａと異なる第２範囲６０１Ｂが作業位置ＰＢからの光を受光する。つまり、第２窓６２Ｂ、第２光学系６３Ｂおよび固体撮像素子６０１の第２範囲６０１Ｂにより構成された第２撮像部６４Ｂが実装ヘッド４の他方側に配置される。そして、この第２撮像部６４Ｂが実装ヘッド４の他方側の側面に対して設けられた作業位置ＰＢに対向し、作業位置ＰＢを撮像する。

なお、上述のとおり、押圧部材４４１の昇降に伴ってノズル４０は上昇位置Ｚｕと下降位置Ｚｄとの間で昇降する。これに対して、第２窓６２Ｂは、作業位置ＰＢにおいて上昇位置Ｚｕにあるノズル４０の先端に対して対向するように配置されており、第２撮像部６４Ｂは、作業位置ＰＢにおいて上昇位置Ｚｕにあるノズル４０の先端をＸ方向（水平方向）から撮像してノズル４０のサイドビュー画像を取得する。

また、Ｘ方向の一方側のノズル対向部６１２の内側壁には、第２撮像部６４Ｂの撮像に用いられる照明用の光を照射する第２照明６５Ｂが配置されている。この第２照明６５Ｂは、第１窓６２Ａの両側それぞれにマトリックス状に配列された複数のＬＥＤで構成され、第２波長（赤色の波長）の光をＸ方向の一方側から作業位置ＰＢに向けて照射する。こうして、実装ヘッド４のＸ方向の一方側に配置された第２照明６５Ｂから射出された光は、光拡散部材５で拡散された後に作業位置ＰＢに照射される。

このように、第２撮像部６４Ｂは、実装ヘッド４の他方側に配置されて、実装ヘッド４の他方側の側面の作業位置ＰＢに対向する。これに対して、第２照明６５Ｂは、実装ヘッド４の一方側から作業位置ＰＢに光を照射する。したがって、第２撮像部６４Ｂは、作業位置ＰＢのノズル４０の背面から第２照明６５Ｂが照射した光を撮像して、ノズル４０のシルエット画像を取得する。このシルエット画像は、固体撮像素子６０１から撮像制御部１４０に転送されて、ノズル４０による部品の吸着や実装の成否判定に用いられる。

さらに、第２光学系６３Ｂを構成する各光学素子６３１のうち、第２窓６２Ｂに対向して配置された光学素子６３１の入射面（第２窓６２Ｂに対向する表面）には、第２光学フィルター６６Ｂが設けられている。この第２光学フィルター６６Ｂは、第２波長（赤色の波長）の光の透過を許容する一方、第２波長より短い第１波長（青色の波長）の光の透過を制限する。したがって、第２撮像部６４Ｂは、第２波長の光により、作業位置ＰＢに位置するノズル４０のシルエット画像を撮像する。

この際、第２光学フィルター６６Ｂとしては、吸収型および反射型のいずれのタイプも使用可能である。なお、第２窓６２Ｂに対向し第２光学フィルター６６Ｂを配置しているため、反射型の光学フィルターを用いた場合であっても、第２光学フィルター６６Ｂでの反射光を第２窓６２Ｂから筐体６１の外へ逃がすことができる。そのため、第２光学フィルター６６Ｂでの反射光がフレアやゴーストの原因となることが抑制可能となっている。

このように、第２照明６５Ｂ、第２光学フィルター６６Ｂおよび第２撮像部６４Ｂにより第２撮像システム６７Ｂが構成されている。そして、第２撮像システム６７Ｂは、第２照明６５Ｂから作業位置ＰＢへ照射された後に第２光学フィルター６６Ｂを透過した光を第２撮像部６４Ｂの固体撮像素子６０１（第２範囲６０１Ｂ）により受光することで、作業位置ＰＢに位置するノズル４０を撮像する。

以上に説明したように本実施形態の第１撮像システム６７Ａでは、作業位置ＰＡに向けて第１波長の光を照射し、この光が作業位置ＰＡを照らす照明用の光として機能する。そして、作業位置ＰＡに照射された後に第１光学フィルター６６Ａを透過した光を第１光学系６３Ａの固体撮像素子６０１により受光することで、作業位置ＰＡに位置するノズル４０を撮像する。ここで、第１光学フィルター６６Ａは、第１波長の光の透過を許容する一方で第１波長と異なる波長の光の透過を制限する。こうして、第１波長の照明用の光とは異なる光が第１光学フィルター６６Ａを透過して固体撮像素子６０１に到達することが抑制されている。その結果、照明用の光とは異なる光がノズル４０の撮像に及ぼす影響を抑えて、ノズル４０の撮像を良好に行うことが可能となっている。さらに、第２撮像システム６７Ｂにおいても同様に構成されており、ノズル４０の撮像を良好に行うことが可能となっている。

ちなみに、上述のように第１撮像システム６７Ａとともに第２撮像システム６７Ｂを備えた場合、それぞれの撮像システム６７Ａ、６７Ｂが用いる照明用の光（第１波長の光、第２波長の光）が互いのノズル４０の撮像に影響を及ぼすおそれがある。そこで、第２撮像システム６７Ｂを第１撮像システム６７Ａと同様に構成することで、第２撮像システム６７Ｂにおいて第２波長の照明用の光とは異なる光が第２光学フィルター６６Ｂを透過して固体撮像素子６０１に到達することを抑制している。しかも、第１撮像システム６７Ａの第１光学フィルター６６Ａは、第２撮像システム６７Ｂで照明に用いる第２波長の光の透過を制限し、第２撮像システム６７Ｂの第２光学フィルター６６Ｂは、第１撮像システム６７Ａで照明に用いる第１波長の光の透過を制限する。したがって、第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響が抑えられており、第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂのそれぞれにおいてノズル４０の撮像を良好に行うことが可能となっている。

また、上記のように第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂを配置してノズル４０のシルエット画像を撮像する場合、第１撮像システム６７Ａの第１撮像部６４Ａが配置される実装ヘッド４の一方側から、第２撮像システム６７Ｂの第２照明６５Ｂが実装ヘッド４に向けて光を照射する。そのため、第２撮像システム６７Ｂの第２照明６５Ｂから照射されて実装ヘッド４で反射された光が第１撮像システム６７Ａの第１撮像部６４Ａに入射し、第１撮像システム６７Ａのノズル４０の撮像に影響を及ぼすおそれがある。同様に、第１撮像システム６７Ａの第１照明６５Ａから照射されて実装ヘッド４で反射された光が第２撮像システム６７Ｂの第２撮像部６４Ｂに入射し、第２撮像システム６７Ｂのノズル４０の撮像に影響を及ぼすおそれがある。これに対して、第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響が抑えられているため、第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂのそれぞれにおいてノズル４０のシルエット画像を良好に撮像することが可能となっている。

また、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響が抑えられている利点を次のように活かすこともできる。つまり、撮像制御部１４０は、第１撮像システム６７Ａによる作業位置ＰＡに位置するノズル４０の撮像と、第２撮像システム６７Ｂによる作業位置ＰＢに位置するノズル４０の撮像とを同時に実行しても良い。これによって、ノズル４０の撮像を効率的に実行できる。しかも、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響が抑えられているため、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂの撮像を同時に行っても、良好にノズル４０の撮像を行うことができる。

特に上記の実装ヘッド４はロータリーヘッドであり、対を構成する２個のノズル４０が所定の配置関係を満たして、それぞれ作業位置ＰＡと作業位置ＰＢとに同時に位置することが可能である。これによって、ロータリーヘッド４が保持する複数のノズル４０の撮像を効率的に行うことが可能となっている。

この際、撮像制御部１４０は、作業位置ＰＡ、ＰＢのそれぞれで部品の吸着を実行した後のノズル４０、４０を各撮像システム６７Ａ、６７Ｂにより同時に撮像しても良い。かかる構成では、２個のノズル４０の部品の吸着状態を効率的に撮像することができる。

また、第１撮像システム６７Ａが照明に用いる光は青色の波長であり、第２撮像システム６７Ｂが照明に用いる光は赤色の波長である。かかる構成では、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂが照明に用いる光の波長の差（青色と赤色との波長の差）が大きいため、第１光学フィルター６６Ａは、第２撮像システム６７Ｂで用いられる光の透過を効果的に制限できるとともに、第２光学フィルター６６Ｂは第１撮像システム６７Ａで用いられる光の透過を効果的に制限できる。したがって、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響をより確実に抑えることができる。

このように本実施形態では、部品実装機１が本発明の「部品実装機」の一例に相当し、実装ヘッド４が本発明の「実装ヘッド」の一例に相当し、撮像制御部１４０が本発明の「制御部」の一例に相当し、部品供給部２８が本発明の「部品供給部」の一例に相当する。

また、第１撮像システム６７Ａが本発明の「第１撮像システム」の一例に相当し、作業位置ＰＡが本発明の「第１撮像位置」の一例に相当し、第１照明６５Ａが本発明の「第１照明」の一例に相当し、第１光学フィルター６６Ａが本発明の「第１フィルター」の一例に相当し、第１撮像部６４Ａが本発明の「第１撮像部」の一例に相当し、固体撮像素子６０１の第１範囲６０１Ａが本発明の「第１撮像素子」の一例に相当する。

また、第２撮像システム６７Ｂが本発明の「第２撮像システム」の一例に相当し、作業位置ＰＢが本発明の「第２撮像位置」の一例に相当し、第２照明６５Ｂが本発明の「第２照明」の一例に相当し、第２光学フィルター６６Ｂが本発明の「第２フィルター」の一例に相当し、第２撮像部６４Ｂが本発明の「第２撮像部」の一例に相当し、固体撮像素子６０１の第２範囲６０１Ｂが本発明の「第２撮像素子」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。したがって、例えば本発明における「第１波長」および「第２波長」のそれぞれを上述の青色の波長および赤色の波長から変更しても構わない。すなわち、第１・第２照明６５Ａ、６５Ｂが照射する光の波長、および第１・第２光学フィルター６６Ａ、６６Ｂが透過する光の波長を適宜変更することができる。

また、各撮像システム６７Ａ、６７Ｂによるノズル４０の撮像タイミングを上記の例以外に適宜設定しても構わない。特に本実施形態では、第１および第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズル４０の撮像に及ぼす影響が抑えられている。したがって、第２撮像システム６７Ｂで照明用の光が照らされるタイミングを特に考慮することなく、第１撮像システム６７Ａは撮像対象のノズル４０の状態に応じた適切なタイミングでノズル４０を撮像すれば良い。具体的には、第２撮像システム６７Ｂの撮像を待つことなく、第１撮像システム６７Ａは、作業位置ＰＡのノズル４０が上昇位置Ｚｕまで上昇すると直ちにノズル４０の撮像を行えば良い。また、第２撮像システム６７Ｂにおいても同様に適当なタイミングでノズル４０を撮像すれば良い。こうして、本実施形態では、第１・第２撮像システム６７Ａ、６７Ｂそれぞれにおける撮像タイミングの制御の簡素化を図ることが可能となっている。

また、第１・第２光学フィルター６６Ａ、６６Ｂを設ける位置も上記の位置に限られず、適宜変更可能である。したがって、例えば第１・第２光学フィルター６６Ａ、６６Ｂをそれぞれ、第１・窓６２Ａ、６２Ｂに嵌め込むように設けても良い。

また、第１・第２照明６５Ａ、６５Ｂを設ける位置も上記の位置に限られない。さらに、光拡散部材５を設ける必要も必ずしも無く、第１・第２照明６５Ａ、６５Ｂを直接作業位置ＰＡ、ＰＢのノズル４０に照射しても良い。

また、ノズル４０が部品を吸着・実装する位置と、ノズル４０の撮像を行う位置とが一致していた。しかしながら、これらの位置は別々でも構わない。

また、上記実施形態の部品実装機１は、２つの撮像システム６７Ａ、６７Ｂを具備していた。しかしながら、部品実装機１は、単一の第１撮像システム６７Ａを具備するものであっても良い。

以上、具体的な実施形態を例示して説明してきたように、本発明では例えば、第１波長と異なる第２波長の光を第１撮像位置と異なる第２撮像位置に向けて照射する第２照明、第２波長の光の透過を許容する一方で第２波長と異なる波長の光の透過を制限する第２フィルター、および第２撮像位置に対向して第２撮像位置から入射してきた光を第２撮像素子により受光する第２撮像部を有する第２撮像システムをさらに備え、実装ヘッドは、第２撮像位置にノズルを位置決め可能であり、第２撮像システムは、第２照明から第２撮像位置へ照射された後に第２フィルターを透過した光を第２撮像部の第２撮像素子により受光することで、第２撮像位置に位置するノズルを撮像し、第１フィルターは第２波長の光の透過を制限し、第２フィルターは第１波長の光の透過を制限するように、部品実装機を構成しても良い。

このように第１撮像システムとともに第２撮像システムを備えた場合、それぞれの撮像システムが用いる照明用の光（第１波長の光、第２波長の光）が互いのノズルの撮像に影響を及ぼすおそれがある。そこで、第２撮像システムを上記の第１撮像システムと同様に構成することで、第２撮像システムにおいて第２波長の照明用の光とは異なる光が第２フィルターを透過して第２撮像素子に到達することを抑制している。しかも、第１撮像システムの第１フィルターは、第２撮像システムで照明に用いる第２波長の光の透過を制限し、第２撮像システムの第２フィルターは、第１撮像システムで照明に用いる第１波長の光の透過を制限する。したがって、第１および第２撮像システムのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズルの撮像に及ぼす影響が抑えられており、第１および第２撮像システムのそれぞれにおいてノズルの撮像を良好に行うことが可能となっている。

また、第１撮像部は実装ヘッドの一方側に配置されて、実装ヘッドの一方側の側面に対して設けられた第１撮像位置に対向し、第２撮像部は実装ヘッドの一方側の逆の他方側に配置されて、実装ヘッドの他方側の側面に対して設けられた第２撮像位置に対向し、第１照明は実装ヘッドの他方側から第１撮像位置に向けて光を照射し、第２照明は実装ヘッドの一方側から第２撮像位置に向けて光を照射するように、部品実装機を構成しても良い。

かかる構成では、第１撮像部は実装ヘッドの一方側に配置されて、実装ヘッドの一方側の側面に対して設けられた第１撮像位置に対向する。また、第１照明は実装ヘッドの他方側から第１撮像位置に光を照射する。したがって、第１撮像システムは、第１撮像位置のノズルの背面から第１照明が照射した光を第１撮像部で撮像して、ノズルのシルエット画像を取得する。同様に、第２撮像システムは、第２撮像位置のノズルの背面から第２照明が照射した光を第２撮像部で撮像して、ノズルのシルエット画像を取得する。

このように第１および第２撮像システムを配置した場合、第１撮像システムの第１撮像部が配置される実装ヘッドの一方側から、第２撮像システムの第２照明が実装ヘッドに向けて光を照射する。そのため、第２撮像システムの第２照明から照射されて実装ヘッドで反射された光が第１撮像システムの第１撮像部に入射し、第１撮像システムのノズルの撮像に影響を及ぼすおそれがある。同様に、第１撮像システムの第１照明から照射されて実装ヘッドで反射された光が第２撮像システムの第２撮像部に入射し、第２撮像システムのノズルの撮像に影響を及ぼすおそれがある。これに対して、第１および第２撮像システムのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズルの撮像に及ぼす影響が抑えられているため、第１および第２撮像システムのそれぞれにおいてノズルのシルエット画像を良好に撮像することが可能となっている。

また、第１および第２撮像システムのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズルの撮像に及ぼす影響が抑えられている利点を次のように活かすこともできる。すなわち、第１撮像システムおよび第２撮像システムを制御する制御部をさらに備え、実装ヘッドでは、一方が第１撮像位置に位置すると同時に他方が第２撮像位置に位置できる配置関係を満たすように２個のノズルが配置され、制御部は、第１撮像システムによる第１撮像位置に位置するノズルの撮像と、第２撮像システムによる第２撮像位置に位置するノズルの撮像とを同時に実行するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、第１撮像システムによる第１撮像位置に位置するノズルの撮像と、第２撮像システムによる第２撮像位置に位置するノズルの撮像とを同時に実行するため、ノズルの撮像を効率的に実行できる。しかも、各撮像システムが用いる照明用の光が互いのノズルの撮像に及ぼす影響が抑えられているため、各撮像システムの撮像を同時に行っても、良好にノズルの撮像を行うことができる。

さらに、実装ヘッドは、所定の回転軸を中心とする円周軌道に沿ってノズルを回転可能なロータリーヘッドであり、回転軸を中心として１８０度の角度を空けて円周軌道上に配置された２個のノズルの対をＮ対（Ｎは１以上の整数）設けることで２×Ｎ個のノズルを円周軌道に沿って配列し、第１撮像位置と第２撮像位置とは、回転軸を中心として１８０度の間隔を空けて円周軌道に対して設けられ、対を構成する２個のノズルが上記配置関係を満たして、それぞれ第１撮像位置と第２撮像位置とに同時に位置することが可能であるように、部品実装機を構成しても良い。これによって、ロータリーヘッドが保持する複数のノズルの撮像を効率的に行える。

また、部品を供給する部品供給部をさらに備え、実装ヘッドは部品供給部により供給された部品の吸着を、上記配置関係を満たす２個のノズルにより実行し、制御部は、部品の吸着を実行して第１撮像位置と第２撮像位置とにそれぞれ位置する２個のノズルを同時に撮像するように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、２個のノズルの部品の吸着状態を効率的に撮像することができる。

また、第１波長は青色の波長であり、第２波長は赤色の波長であるように、部品実装機を構成しても良い。かかる構成では、第１波長と第２波長との差（青色と赤色との波長の差）が大きいため、第１フィルターは第２波長の透過を効果的に制限できるとともに、第２フィルターは第１波長の透過を効果的に制限できる。したがって、第１および第２撮像システムのそれぞれが用いる照明用の光が互いのノズルの撮像に及ぼす影響をより確実に抑えることができる。

１…部品実装機
２８…部品供給部
４…実装ヘッド
６…撮像ユニット
６０…カメラ
６０１…固体撮像素子
６０１Ａ…（固体撮像素子の）第１範囲
６０１Ｂ…（固体撮像素子の）第２範囲
６４Ａ…第１撮像部
６４Ｂ…第２撮像部
６５Ａ…第１照明
６５Ｂ…第２照明
６６Ａ…第１光学フィルター
６６Ｂ…第２光学フィルター
６７Ａ…第１撮像システム
６７Ｂ…第２撮像システム
ＰＡ…作業位置
ＰＢ…作業位置
１４０…撮像制御部

Claims (7)

1. 第１波長の光を第１撮像位置に向けて照射する第１照明、前記第１波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長と異なる第２波長の光の透過を制限する第１フィルター、および前記第１撮像位置に対向して前記第１撮像位置から入射してきた光を第１撮像素子により受光する第１撮像部を有する第１撮像システムと、
   前記第２波長の光を前記第１撮像位置と異なる第２撮像位置に向けて照射する第２照明、前記第２波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長の光の透過を制限する第２フィルター、および前記第２撮像位置に対向して前記第２撮像位置から入射してきた光を第２撮像素子により受光する第２撮像部を有する第２撮像システムと、
   ノズルにより部品を保持可能であり、前記第１撮像位置に前記ノズルを位置決め可能であるとともに前記第２撮像位置に前記ノズルを位置決め可能な実装ヘッドと、
   前記第１撮像システムおよび前記第２撮像システムを制御する制御部と
   を備え、
   前記第１撮像部は前記実装ヘッドの一方側に配置されて、前記実装ヘッドの前記一方側の側面に対して設けられた前記第１撮像位置に対向し、
   前記第２撮像部は前記実装ヘッドの前記一方側の逆の他方側に配置されて、前記実装ヘッドの前記他方側の側面に対して設けられた前記第２撮像位置に対向し、
   前記第１照明は前記実装ヘッドの前記他方側から前記第１撮像位置に向けて光を照射し、前記第２照明は前記実装ヘッドの前記一方側から前記第２撮像位置に向けて光を照射し、
   前記第１撮像システムは、前記第１照明から前記第１撮像位置へ照射された後に前記第１フィルターを透過した光を前記第１撮像部の前記第１撮像素子により受光することで、前記第１撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、
   前記第２撮像システムは、前記第２照明から前記第２撮像位置へ照射された後に前記第２フィルターを透過した光を前記第２撮像部の前記第２撮像素子により受光することで、前記第２撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、
   前記実装ヘッドでは、一方が前記第１撮像位置に位置すると同時に他方が前記第２撮像位置に位置できる配置関係を満たすように２個の前記ノズルが配置され、
   前記制御部は、前記第１撮像システムによる前記第１撮像位置に位置する前記ノズルの撮像と、前記第２撮像システムによる前記第２撮像位置に位置する前記ノズルの撮像とを同時に実行する部品実装機。
2. 前記実装ヘッドは、所定の回転軸を中心とする円周軌道に沿って前記ノズルを回転可能なロータリーヘッドであり、前記回転軸を中心として１８０度の角度を空けて前記円周軌道上に配置された２個の前記ノズルの対をＮ対（Ｎは１以上の整数）設けることで２×Ｎ個の前記ノズルを前記円周軌道に沿って配列し、
   前記第１撮像位置と前記第２撮像位置とは、前記回転軸を中心として１８０度の間隔を空けて前記円周軌道に対して設けられ、
   前記対を構成する前記２個のノズルが前記配置関係を満たして、それぞれ前記第１撮像位置と前記第２撮像位置とに同時に位置することが可能である請求項１に記載の部品実装機。
3. 部品を供給する部品供給部をさらに備え、
   前記実装ヘッドは前記部品供給部により供給された部品の吸着を、前記配置関係を満たす前記２個のノズルにより実行し、
   前記制御部は、部品の吸着を実行して前記第１撮像位置と前記第２撮像位置とにそれぞれ位置する前記２個のノズルを同時に撮像する請求項１または２に記載の部品実装機。
4. 前記第１波長は青色の波長であり、前記第２波長は赤色の波長である請求項１ないし３のいずれか一項に記載の部品実装機。
5. 実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを、前記実装ヘッドの一方側の側面に対して設けられた第１撮像位置および前記実装ヘッドの前記一方側の逆の他方側の側面に対して設けられた第２撮像位置に位置させる工程と、
   第１波長の光を前記実装ヘッドの前記他方側から前記第１撮像位置に向けて照射し、前記第１波長と異なる第２波長の光を前記一方側から前記第２撮像位置に向けて照射する工程と、
   前記第１撮像位置に照射された後に第１フィルターを通過した光を、前記実装ヘッドの前記一方側に配置されて前記第１撮像位置に対向する第１撮像部の第１撮像素子により受光することで前記第１撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、前記第２撮像位置に照射された後に第２フィルターを通過した光を、前記実装ヘッドの前記他方側に配置されて前記第２撮像位置に対向する第２撮像部の第２撮像素子により受光することで前記第２撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像する工程と
   を備え、
   前記第１フィルターは前記第１波長の光の透過を許容する一方で前記第２波長の光の透過を制限し、前記第２フィルターは前記第２波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長の光の透過を制限し、
   前記実装ヘッドでは、一方が前記第１撮像位置に位置すると同時に他方が前記第２撮像位置に位置できる配置関係を満たすように２個の前記ノズルが配置され、
   前記第１撮像位置に位置する前記ノズルの撮像と、前記第２撮像位置に位置する前記ノズルの撮像とを同時に実行するノズル撮像方法。
6. 第１波長の光を第１撮像位置に向けて照射する第１照明、前記第１波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長と異なる第２波長の光の透過を制限する第１フィルター、および前記第１撮像位置に対向して前記第１撮像位置から入射してきた光を第１撮像素子により受光する第１撮像部を有する第１撮像システムと、
   前記第２波長の光を前記第１撮像位置と異なる第２撮像位置に向けて照射する第２照明、前記第２波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長の光の透過を制限する第２フィルター、および前記第２撮像位置に対向して前記第２撮像位置から入射してきた光を第２撮像素子により受光する第２撮像部を有する第２撮像システムと、
   ノズルにより部品を保持可能であり、前記第１撮像位置に前記ノズルを位置決め可能であるとともに前記第２撮像位置に前記ノズルを位置決め可能な実装ヘッドと、
   光拡散部材と
   を備え、
   前記第１撮像部は前記実装ヘッドの一方側に配置されて、前記実装ヘッドの前記一方側の側面に対して設けられた前記第１撮像位置に対向し、
   前記第２撮像部は前記実装ヘッドの前記一方側の逆の他方側に配置されて、前記実装ヘッドの前記他方側の側面に対して設けられた前記第２撮像位置に対向し、
   前記第１照明は前記実装ヘッドの前記他方側から前記第１撮像位置に向けて光を照射し、前記第２照明は前記実装ヘッドの前記一方側から前記第２撮像位置に向けて光を照射し、
   前記第１撮像システムは、前記第１照明から前記第１撮像位置へ照射された後に前記第１フィルターを透過した光を前記第１撮像部の前記第１撮像素子により受光することで、前記第１撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、
   前記第２撮像システムは、前記第２照明から前記第２撮像位置へ照射された後に前記第２フィルターを透過した光を前記第２撮像部の前記第２撮像素子により受光することで、前記第２撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、
   前記実装ヘッドでは、一方が前記第１撮像位置に位置すると同時に他方が前記第２撮像位置に位置できる配置関係を満たすように２個の前記ノズルが配置され、
   前記光拡散部材は、前記第１撮像位置に位置する前記ノズルと、前記第２撮像位置に位置する前記ノズルとの間に配置され、
   前記第１照明から射出された光は、前記光拡散部材で拡散された後に前記第１撮像位置に照射され、
   前記第２照明から射出された光は、前記光拡散部材で拡散された後に前記第２撮像位置に照射される部品実装機。
7. 実装ヘッドが部品の保持に用いるノズルを、前記実装ヘッドの一方側の側面に対して設けられた第１撮像位置および前記実装ヘッドの前記一方側の逆の他方側の側面に対して設けられた第２撮像位置に位置させる工程と、
   第１照明が第１波長の光を前記実装ヘッドの前記他方側から前記第１撮像位置に向けて照射し、第２照明が前記第１波長と異なる第２波長の光を前記一方側から前記第２撮像位置に向けて照射する工程と、
   前記第１撮像位置に照射された後に第１フィルターを通過した光を、前記実装ヘッドの前記一方側に配置されて前記第１撮像位置に対向する第１撮像部の第１撮像素子により受光することで前記第１撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像し、前記第２撮像位置に照射された後に第２フィルターを通過した光を、前記実装ヘッドの前記他方側に配置されて前記第２撮像位置に対向する第２撮像部の第２撮像素子により受光することで前記第２撮像位置に位置する前記ノズルを水平方向から撮像する工程と
   を備え、
   前記第１フィルターは前記第１波長の光の透過を許容する一方で前記第２波長の光の透過を制限し、前記第２フィルターは前記第２波長の光の透過を許容する一方で前記第１波長の光の透過を制限し、
   前記実装ヘッドでは、一方が前記第１撮像位置に位置すると同時に他方が前記第２撮像位置に位置できる配置関係を満たすように２個の前記ノズルが配置され、
   光拡散部材が、前記第１撮像位置に位置する前記ノズルと、前記第２撮像位置に位置する前記ノズルとの間に配置され、
   前記第１照明から射出された光は、前記光拡散部材で拡散された後に前記第１撮像位置に照射され、
   前記第２照明から射出された光は、前記光拡散部材で拡散された後に前記第２撮像位置に照射されるノズル撮像方法。
   

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