JP6259987B2 - 部品実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、装着ヘッドが備える吸着ノズルにより部品供給部から供給された部品を吸着して基板に装着する部品実装装置に関するものである。

従来、部品実装装置は部品の装着精度の向上のため、チップ部品等の微小部品を基板に装着する場合には、部品を下方からだけではなく側方からも撮像し、その撮像結果に基づいて、基板への装着時の補正を行っている(例えば、特許文献１)。この場合、部品の側方撮像は、部品認識カメラによる部品の下方撮像と並行して行われ、吸着ノズルに部品を吸着させた装着ヘッドを部品認識カメラに対して相対移動させている状態で、撮像視野を側方に向けた側方撮像カメラによって部品を連続的に撮像する。

特開２００９−０５４８２０号公報

しかしながら、上記従来のものでは、２つのノズル列の各吸着ノズルに吸着された部品の全てを１つの側方撮像カメラによって撮像するようになっており、１つの側方撮像カメラの焦点の位置を２つのノズル列の各吸着ノズルに吸着された全ての部品に対して最適になるように設定することはできないことから、高い撮像精度を得ることは困難であった。また、２つのノズル列の各吸着ノズルに吸着された部品の全てを１つの側方撮像カメラにより撮像できるようにするためには、カメラの撮像光軸が装着ヘッドの移動進路に対して平行に近い姿勢となるように構成されるので、側方撮像カメラに対する装着ヘッドの走査距離が長くなり、部品認識カメラによる部品の下方からの撮像時間を大きく超えて側方からの撮像が終了するといった事態が発生するなどして、撮像時間が長くなり、基板の生産性が低下するという問題点があった。

そこで本発明は、装着ヘッドが備える２つのノズル列の各吸着ノズルに吸着された各部品を側方から撮像する場合の撮像精度の向上と撮像時間の短縮による基板の生産性の向上とを図ることができる部品実装装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の部品実装装置は、基板を搬送して所定の位置に位置決めする基板搬送機構と、前記基板搬送機構による前記基板の搬送方向に延びる２つのノズル列を構成する複数の吸着ノズルを備え、前記各吸着ノズルにより部品供給部から供給される部品を吸着して前記基板搬送機構により位置決めされた基板に装着する装着ヘッドと、前記吸着ノズルに部品を吸着させた前記装着ヘッドが上方を前記基板の搬送方向に移動する際に前記部品を下方から撮像する部品認識カメラと、前記部品認識カメラに対して移動する装着ヘッドの２つのノズル列のうちの一方のノズル列を構成する前記各吸着ノズルが吸着した前記部品が通過する第１の位置に焦点を合わせてその第１の位置を通過する前記部品を側方から撮像する第１側方撮像カメラと、前記２つのノズル列のうちの他方の前記ノズル列を構成する前記各吸着ノズルが吸着した前記部品が通過する第２の位置に焦点を合わせてその第２の位置を通過する部品を側方から撮像する第２側方撮像カメラとを備え、前記第１側方撮像カメラ及び前記第２側方撮像カメラそれぞれの撮像光軸は、平面視において、前記装着ヘッドの進行方向と直交する方向に対して傾いており、前記第１側方撮像カメラの撮像光軸と前記第２側方撮像カメラの撮像光軸はそれぞれが異なる角度で前記直交する方向に対して傾いている。

請求項２に記載の部品実装装置は、請求項１に記載の部品実装装置であって、前記部品供給部は前記基板搬送機構による前記基板の搬送方向に並んだ２つのフィーダベースに設けられており、前記部品認識カメラ、前記第１側方撮像カメラ及び前記第２側方撮像カメラは前記２つのフィーダベースの間の領域に一体的に設けられている。

本発明では、部品認識カメラに対して移動する装着ヘッドの２つのノズル列のうちの一方のノズル列に対応する部品は第１側方撮像カメラの焦点が合わせられた第１の位置を通るときに第１側方撮像カメラによって撮像し、他方のノズル列に対応する部品は第２側方撮像カメラの焦点が合わせられた第２の位置を通るときに第２側方撮像カメラによって撮像するようになっており、第１側方撮像カメラと第２側方撮像カメラはそれぞれ単一の焦点において撮像を行うので、部品の撮像精度を向上させることができる。また、第１側方撮像カメラと第２側方撮像カメラは互いに独立して部品の撮像を行うので、一方のノズル列に対応する部品の撮像と他方のノズル列に対応する部品の撮像とを並行して行うことができる。このため装着ヘッドの走査距離を短くでき、撮像時間を短縮して基板の生産性を向上させることができる。

本発明の一実施の形態における部品実装装置の平面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置の側面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える前方フィーダベースに装着されたテープフィーダの（ａ）斜視図（ｂ）側面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える後方フィーダベースに装着された（ａ）テープフィーダの側面図（ｂ）手置きトレイフィーダの側面図 本発明の一実施の形態における（ａ）後方フィーダベースの斜視図（ｂ）後方フィーダベースをテープフィーダとともに示す斜視図 （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における後方フィーダベースを手置きトレイフィーダとともに示す斜視図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える装着ヘッドの斜視図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える第１の部品認識カメラ及び厚み検出部を装着ヘッドとともに示す平面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置が第１の部品認識カメラ及び厚み検出部において行う部品の撮像動作のタイミングチャート （ａ）（ｂ）本発明の一実施の形態における部品実装装置が備える第１の部品認識カメラ及び厚み検出部を装着ヘッドとともに示す平面図 本発明の一実施の形態における部品実装装置の厚み検出部が備える第１側方撮像カメラ又は第２側方撮像カメラが取得した部品の画像の一例を示す図 本発明の一実施の形態における部品実装装置の制御系統を示すブロック図

以下、図面を参照して本発明の実施の形態について説明する。図１及び図２において、部品実装装置１は、上流工程側の装置から送られてきた基板２を搬入して位置決めし、基板２上の電極部（図示せず）に部品３を装着して下流工程側の装置に搬出する部品実装動作を繰り返し実行する装置である。以下、説明の便宜上、基板２の搬送方向をＸ軸方向（作業者ＯＰから見た左右方向）とし、Ｘ軸方向と直交する水平面内方向をＹ軸方向（作業者ＯＰから見た前後方向）とする。また、上下方向をＺ軸方向とする。

図１及び図２において、部品実装装置１は、基台１１の中央部に基板２をＸ軸方向に搬送して所定の位置に位置決めする基板搬送機構としての一対の基板搬送コンベア１２を備えており、基台１１上の基板搬送コンベア１２を前後方向に挟む位置（側方）には前方領域１１Ａ（第１の領域）と後方領域１１Ｂ（第２の領域）が設けられている。

基台１１の前方領域１１Ａには複数（ここでは左右２つ）のフィーダベース１３（第１のフィーダベースとしての前方フィーダベース１３ａ）がＸ軸方向に並んで設けられており、基台１１の後方領域１１Ｂには複数（ここでは左右２つ）のフィーダベース１３（第２のフィーダベースとしての後方フィーダベース１３ｂ）がＸ軸方向に並んで設けられている。前方フィーダベース１３ａにはテープフィーダ１４が装着されており（図３（ａ），（ｂ）も参照）、後方フィーダベース１３ｂにはテープフィーダ１４又は手置きトレイフィーダ１５が部品供給部として選択的に装着されている（図４（ａ），（ｂ）も参照）。図１は左側の後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４が装着され、右側の後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着された状態の例を示している。

図３（ａ），（ｂ）及び図４（ａ）において、テープフィーダ１４はキャリヤテープＣＴの搬送動作によってキャリヤテープＣＴに保持された部品３を部品供給口１４ａに供給する。テープフィーダ１４のフィーダベース１３（前方フィーダベース１３ａ又は後方フィーダベース１３ｂ）への装着は、テープフィーダ１４の下面に設けられた連結部１４Ｒをフィーダベース１３の上面に並設されたスロット１３Ｓ（図３（ａ）及び図５（ａ））のひとつに係合させて基板搬送コンベア１２側にスライドさせて行う（図３（ａ）及び図５（ｂ）中に示す矢印Ａ）。

図６（ａ），（ｂ）において、手置きトレイフィーダ１５は平板状のテーブル部１５ａにパレット１５ｐが載置されて成り、パレット１５ｐにはトレイ１５Ｔが保持されている。トレイ１５Ｔ内には部品３（主としてＢＧＡ等の比較的大型の部品）が整列状態で収容されている。手置きトレイフィーダ１５の後方フィーダベース１３ｂへの装着は、手置きトレイフィーダ１５の下面に設けられた連結部１５Ｒを後方フィーダベース１３ｂのスロット１３Ｓに係合させて基板搬送コンベア１２側にスライドさせて行う（図６（ａ）→図６（ｂ）。図６（ａ）中に示す矢印Ｂ）。これにより、トレイ１５Ｔ内の部品３が後述する装着ヘッド２１の部品吸着可能範囲内に位置される。すなわち、手置きトレイフィーダ１５は、トレイ１５Ｔに部品３を載置した状態で供給する。

図１及び図２において、各フィーダベース１３と基板搬送コンベア１２との間の領域にはシュート１６が設けられている。シュート１６は、フィーダベース１３に装着されたテープフィーダ１４が部品３を供給した後に排出するキャリヤテープＣＴ（空テープ）を基台１１上に設けられた開口部１１Ｋから基台１１の下部に設置された廃棄部（図示せず）へ案内する部材であり、基台１１に対して立設状態で取付けられている（図３（ａ）及び図５（ａ），（ｂ）も参照）。前方フィーダベース１３ａと基板搬送コンベア１２との間の領域に設けられたシュート１６は上記起立姿勢で基台１１上に固定して設けられた固定型シュート１６ａとなっており、後方フィーダベース１３ｂと基板搬送コンベア１２との間の領域に設けられたシュート１６は起立姿勢から基板搬送コンベア１２側に倒伏した倒伏姿勢へ揺動させることができる揺動型シュート１６ｂとなっている。

揺動型シュート１６ｂは、図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）に示すように、基台１１上に固定された固定部１６Ａと、固定部１６Ａに対して揺動軸１６Ｊ回りに揺動自在な可動部１６Ｂから成っており、可動部１６Ｂは上方に起立した起立姿勢と基板搬送コンベア１２の側に倒伏した倒伏姿勢との間で姿勢の切り替えをすることができるようになっている。揺動軸１６Ｊの近傍位置には、揺動軸１６Ｊの相対位置に基づいて、揺動型シュート１６ｂが起立姿勢と倒伏姿勢のいずれにあるかを検出するエンコーダ等の姿勢検出センサ１７（姿勢検出手段）が設けられている。

図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ）に示すように、手置きトレイフィーダ１５の基板搬送コンベア１２側の端部には、手置きトレイフィーダ１５が後方フィーダベース１３ｂに装着されているか否かを検出する装着検出センサ１８（装着検出手段）が設けられている。装着検出センサ１８は、例えば、手置きトレイフィーダ１５が後方フィーダベース１３ｂに装着された状態で手置きトレイフィーダ１５の基板搬送コンベア１２側の先頭部から水平方向に突出して延びた突起１５ｂを受容孔１８ａに受容している状態で装着検出信号を出力するスイッチ部材から構成される。

揺動型シュート１６ｂは、後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４を装着する場合には起立姿勢にされ（図５（ａ），（ｂ））、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着する場合には倒伏姿勢にされる（図６（ａ），（ｂ））。後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着する場合に揺動型シュート１６ｂが倒伏姿勢にされるのは、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着した場合の手置きトレイフィーダ１５の装着方向の先頭部は、後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４を装着した場合のテープフィーダ１４の装着方向の先頭部よりも基板搬送コンベア１２側に突出して位置することから、後方フィーダベース１３ｂに装着した手置きトレイフィーダ１５が揺動型シュート１６ｂと干渉しないようにするためである。すなわち揺動型シュート１６ｂは、キャリヤテープＣＴ（空テープ）を廃棄部へ案内する起立姿勢と後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着される場合に手置きトレイフィーダ１５と干渉しないように倒伏された倒伏姿勢との間で揺動自在に設けられたものとなっている。

また、本実施の形態における部品実装装置１は、後方フィーダベース１３ｂと基板搬送コンベア１２との間には、後方フィーダベース１３ｂに装着された場合の手置きトレイフィーダ１５の先頭部が後方フィーダベース１３ｂに装着された場合のテープフィーダ１４の先頭部よりも基板搬送コンベア１２側に突出して位置することができるスペース（何も設置されていないスペース）１１ＳＰが設けられたものとなっている（図１、図５（ａ），（ｂ）及び図６（ａ），（ｂ））。

図１及び図２において、基台１１上には、Ｙ軸方向に延びてＸ軸方向に対向配設された一対のＹ軸テーブル２０ａ、Ｘ軸方向に延びてその両端部が一対のＹ軸テーブル２０ａに支持されたＸ軸テーブル２０ｂ及びＸ軸テーブル２０ｂ上をＸ軸方向に移動自在に設けられた移動ステージ２０ｃから成る直交座標ロボット型のヘッド移動機構２０が設けられている。ヘッド移動機構２０の移動ステージ２０ｃには装着ヘッド２１が取付けられており、一対のＹ軸テーブル２０ａによるＸ軸テーブル２０ｂのＹ軸方向への駆動とＸ軸テーブル２０ｂによる移動ステージ２０ｃのＸ軸方向への駆動との組合せによって装着ヘッド２１が基台１１の上方を水平面内方向に移動される。

図７において、装着ヘッド２１には下方に延びた複数の吸着ノズル２２がＸ軸方向（すなわち基板２の搬送方向）に延びる前後２つのノズル列（前方のノズル列及び後方のノズル列）を形成して設けられている。各吸着ノズル２２は装着ヘッド２１に対して上下方向への移動（昇降）と上下軸回りの回動が自在であり、真空圧の供給を受けてテープフィーダ１４又は手置きトレイフィーダ１５から成る部品供給部から供給される部品３を真空吸着する。

図１及び図７において、装着ヘッド２１には撮像視野を下方に向けた基板カメラ２３が設けられている。また、吸着ノズル２２に吸着された状態での部品３の姿勢を認識するために、基台１１上の前方領域１１Ａのうち、Ｘ軸方向に並ぶ２つの前方フィーダベース１３ａの間の領域には、撮像視野を上方に向けた第１の部品認識カメラ２４ａが設けられている。同様に、基台１１上の後方領域１１Ｂのうち、Ｘ軸方向に並ぶ２つの後方フィーダベース１３ｂの間の領域には、同じく撮像視野を上方に向けた第２の部品認識カメラ２４ｂが設けられている。

図８において、第１の部品認識カメラ２４ａは、Ｙ軸方向に並べられた多数の受光素子（図示せず）から成るラインセンサ部２４Ｓを備えており、そのラインセンサ部２４Ｓを平面視において取り囲む位置には、複数の照明体２４Ｈから成る認識カメラ照明２４Ｌが設けられている（第２の部品認識カメラ２４ｂについても同じ）。

装着ヘッド２１が吸着ノズル２２によって前方フィーダベース１３ａに装着されたテープフィーダ１４から吸着した各部品３は、基板２に装着される前に、第１の部品認識カメラ２４ａによって下方から撮像され、装着ヘッド２１が吸着ノズル２２によって後方フィーダベース１３ｂに装着されたテープフィーダ１４若しくは手置きトレイフィーダ１５から吸着した各部品３は、基板２に装着される前に、第２の部品認識カメラ２４ｂによって下方から撮像される。第１の部品認識カメラ２４ａ又は第２の部品認識カメラ２４ｂによる部品３の撮像時には、装着ヘッド２１は、第１の部品認識カメラ２４ａ又は第２の部品認識カメラ２４ｂが備えるラインセンサ部２４Ｓの中心部の直上をＸ軸方向（基板２の搬送方向）に移動し（このときの装着ヘッド２１の移動軌道ＳＬを図８中に示す）、吸着した全ての部品３がラインセンサ部２４Ｓの上方領域をＸ軸方向に通過（すなわちラインセンサ部２４Ｓに対して相対移動）するようにする（図８中に示す矢印Ｃ）。

認識カメラ照明２４Ｌを構成する各照明体２４Ｈは第１の波長帯から成る照明光を照射するＬＥＤ（例えば赤色ＬＥＤ）から成っており、認識カメラ照明２４Ｌはラインセンサ部２４Ｓの上方領域に第１の波長帯から成る照明光を照射する。第１の部品認識カメラ２４ａのラインセンサ部２４Ｓは、ラインセンサ部２４Ｓの上方を通過する部品３で反射した認識カメラ照明２４Ｌからの第１の波長帯から成る照明光（反射光）を受光してその部品３の下方からの撮像を行う。

認識カメラ照明２４Ｌは、上記の装着ヘッド２１の移動によって、全ての部品３がラインセンサ部２４Ｓの上方領域を通過してしまうまでの間、ラインセンサ部２４Ｓの上方領域に向けて第１の波長帯から成る照明光を継続的に照射し（図９）、この間（ラインセンサ部２４Ｓが撮像動作を行っている間）、ラインセンサ部２４Ｓは撮像動作を継続実行して、各部品３の下方からの画像データを取得する。図９中、時間軸Ｔ１点は、装着ヘッド２１の進行方向先端部がラインセンサ部２４Ｓに差し掛かった時間であってラインセンサ部２４Ｓによる撮像開始時間を示しており、時間軸Ｔ２点は、装着ヘッド２１の進行方向後端がラインセンサ部２４Ｓを通過し終わった時間であって、ラインセンサ部２４Ｓによる撮像終了時間を示している。

図１及び図８において、第１の部品認識カメラ２４ａの近傍位置には厚み検出部２５が設けられている。厚み検出部２５は、撮像光軸を水平に向けた２つの側方撮像カメラ（第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａ）と照射光軸を水平に向けた２つの側方照明（第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂ）を有して成り、第１の部品認識カメラ２４ａと一体的に設けられている。厚み検出部２５で部品３を側方から撮像して部品３の厚みを検出することにより、第１の部品認識カメラ２４ａ又は第２の部品認識カメラ２４ｂによる部品３の下方からの撮像だけでは十分認識が困難な微小部品等に対しても、吸着ノズル２２に吸着された状態での部品３の姿勢を認識することができる。

図８において、第１側方撮像カメラ２６ａは、ラインセンサ部２４Ｓの上方領域をＸ軸方向に通過する装着ヘッド２１が備える前後２つのノズル列のうち、前方のノズル列を構成する吸着ノズル２２が吸着した部品３が通過する所定の位置（第１の位置Ｐ１とする）に焦点を合わせている。一方、第２側方撮像カメラ２７ａは、ラインセンサ部２４Ｓの上方領域をＸ軸方向に通過する装着ヘッド２１が備える前後２つのノズル列のうち、後方のノズル列を構成する吸着ノズル２２が吸着した部品３が通過する所定の位置（第２の位置Ｐ２とする）に焦点を合わせている。図８に示すように、上記第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２は、平面視において、ラインセンサ部２４Ｓの近傍の位置であって、Ｘ軸方向に若干ずれた位置に設定されている。

図８及び図１０（ａ），（ｂ）において、第１側方撮像カメラ２６ａは、その撮像光軸Ｊ１を平面視においてＹ軸方向から傾けた姿勢をとっており、これにより、後方のノズル列を構成する吸着ノズル２２によって吸着された部品３によって妨げられることなく第１の位置Ｐ１を通過する部品３を側方から撮像することができるようになっている。第２側方撮像カメラ２７ａも、その撮像光軸Ｊ２を平面視においてＹ軸方向から（第１側方撮像カメラ２６ａの撮像光軸Ｊ１とは反対の方向に）傾けた姿勢をとっており、これにより、前方のノズル列を構成する吸着ノズル２２によって吸着された部品３によって妨げられることなく第２の位置Ｐ２を通過する部品３を側方から撮像することができるようになっている。

第１側方照明２６ｂは、第１側方撮像カメラ２６ａの撮像光軸Ｊ１上であってラインセンサ部２４Ｓを挟む位置に位置しており、第１側方撮像カメラ２６ａに向けて照明光Ｌ１を照射する（図１０（ａ），（ｂ））。第２側方照明２７ｂは、第２側方撮像カメラ２７ａの撮像光軸Ｊ２上であってラインセンサ部２４Ｓを挟む位置に位置しており、第２側方撮像カメラ２７ａの側に向けて照明光Ｌ２を照射する（図１０（ａ），（ｂ））。本実施の形態では、図１及び図８に示すように、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａはラインセンサ部２４Ｓよりも外側（基板搬送コンベア１２とは反対の側）の領域に位置し、第１側方照明２６ｂと第２側方照明２７ｂはラインセンサ部２４Ｓよりも内側（基板搬送コンベア１２側）の領域に位置している。

第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂはそれぞれ、第１の波長帯と異なる第２の波長帯から成る照明光を照射するＬＥＤ（例えば緑色ＬＥＤ）から成っており、ラインセンサ部２４Ｓの上方領域に第２の波長帯から成る照明光を照射する。すなわち、認識カメラ照明２４Ｌの照明光（第１の波長帯から成る照明光）と第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂの照明光（第２の波長帯から成る照明光）とは、波長帯が異なっている。第１側方撮像カメラ２６ａは、ラインセンサ部２４Ｓの上方を通過する部品３を透過した第１側方照明２６ｂからの第２の波長帯から成る照明光（透過光）を受光してその部品３の撮像を行い、第２側方撮像カメラ２７ａは、ラインセンサ部２４Ｓの上方を通過する部品３を透過した第２側方照明２７ｂからの第２の波長帯から成る照明光（透過光）を受光してその部品３の撮像を行う。

ここで、第１の部品認識カメラ２４ａが備えるラインセンサ部２４Ｓのカバーガラスには、第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂからの第２の波長帯から成る照明光をカットできる第１の波長帯フィルタ２４Ｆが取付けられており、第２の波長帯から成る照明光の影響を受けない状態で部品３の撮像を行うことができるようになっている。また、第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａのそれぞれ（具体的には撮像レンズ又はそのカバーガラス）には、第１の部品認識カメラ２４ａからの第１の波長帯から成る照明光をカットできる第２の波長帯フィルタ２５Ｆが取付けられており、それぞれ第１の波長帯から成る照明光の影響を受けない状態で部品３の撮像を行うことができるようになっている。

このように本実施の形態において、第１側方撮像カメラ２６ａは、第１の部品認識カメラ２４ａに対して移動する装着ヘッド２１の２つのノズル列のうちの一方のノズル列を構成する各吸着ノズル２２が吸着した部品３が通過する第１の位置Ｐ１に焦点を合わせてその第１の位置Ｐ１を通過する部品３を側方から撮像するものであり、第２側方撮像カメラ２７ａは、２つのノズル列のうちの他方のノズル列を構成する各吸着ノズル２２が吸着した部品３が通過する第２の位置Ｐ２に焦点を合わせてその第２の位置Ｐ２を通過する部品３を側方から撮像するものとなっている。

第１側方照明２６ｂは、第１側方撮像カメラ２６ａが第１の位置Ｐ１に達した部品３を撮像する瞬間のみ第２の波長帯から成る照明光Ｌ１を照射し、第１側方撮像カメラ２６ａは第１側方照明２６ｂが照射した第２の波長帯から成る照明光Ｌ１を背景にして第１の位置Ｐ１を通過した部品３のシルエット画像を取得する。一方、第２側方照明２７ｂは、第２側方撮像カメラ２７ａが第２の位置Ｐ２に達した部品３を撮像する瞬間のみ第２の波長帯から成る照明光Ｌ２を照射し、第２側方撮像カメラ２７ａは第２側方照明２７ｂが照射した第２の波長帯から成る照明光Ｌ２を背景にして第２の位置Ｐ２を通過した部品３のシルエット画像を取得する。図１１に、第１側方撮像カメラ２６ａ（又は第２側方撮像カメラ２７ａ）が部品３の撮像により取得した部品３のシルエット画像ＧＺの例を示す。なお、前述のように、厚み検出部２５は第１の部品認識カメラ２４ａと一体的に設けられており、これにより第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２とは、ラインセンサ部２４Ｓの近傍に設定されていることから、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａによる部品３の側方からの撮像は、第１の部品認識カメラ２４ａによる部品３の下方からの撮像と同時並行的に行われる（図９参照）。

また、前述したように、第１の位置Ｐ１と第２の位置Ｐ２とはＸ軸方向にずれた位置に設定されていることから、第１側方撮像カメラ２６ａが第１の位置Ｐ１に達した部品３を撮像するタイミング（図１０（ａ））と、第２側方撮像カメラ２７ａが第２の位置Ｐ２に達した部品３を撮像するタイミング（図１０（ｂ））とは同時ではない。第１側方撮像カメラ２６ａによる部品３の撮像動作と第２側方撮像カメラ２７ａによる部品３の撮像動作を交互に行うことができるため（図９）、第２側方照明２７ｂの第２の波長帯から成る照明光Ｌ２が第１側方撮像カメラ２６ａによる部品３の撮像の妨げとなることはなく、第１側方照明２６ｂの第２の波長帯から成る照明光Ｌ１が第２側方撮像カメラ２７ａによる部品３の撮像の妨げとなることはない。しがたって、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａは相互に相手方の第２の波長帯から成る照明光の悪影響を受けることがなく、精度のよい部品３の側方撮像結果を得ることができる。

このように、本実施の形態における部品実装装置１は、吸着ノズル２２に吸着された部品３を下方から撮像する第１の撮像カメラとしての第１の部品認識カメラ２４ａ、第１の部品認識カメラ２４ａによる部品３の撮像のために第１の波長帯から成る照明光を照射する第１の照明部としての認識カメラ照明２４Ｌ、第１の部品認識カメラ２４ａによる部品３の下方から撮像と同時並行的に吸着ノズル２２に吸着された部品３を側方から撮像する第２の撮像カメラとしての第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａ、第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａによる部品３の撮像のために第２の波長帯から成る照明光を照射する第２の照明部としての第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂを備えた構成を有している。そして、そのうえで、第１の部品認識カメラ２４ａに対して相対移動する装着ヘッド２１の前後２つのノズル列のうちの前方のノズル列に対応する部品３を第１側方撮像カメラ２６ａの焦点が合わせられた第１の位置Ｐ１を通るときに撮像し、後方のノズル列に対応する部品３を第２側方撮像カメラ２７ａの焦点が合わせられた第２の位置Ｐ２を通るときに撮像するようになっているので、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａはそれぞれ単一の焦点において撮像を行うことができ、部品３の撮像精度を向上させることができる。

また、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａは互いに独立して部品３の撮像を行うので、一方のノズル列に対応する部品３の撮像と他方のノズル列に対応する部品３の撮像とを並行して行うことができる。ひとつのカメラで２列のノズルに吸着された全ての部品３の撮像を行う場合には、そのカメラの光軸を装着ヘッド２１の進行軸に近い姿勢（浅い角度）となるように構成されるが、本実施の形態では第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａが並行して撮像を行うので、走査距離が短くなり、部品３の撮像に要する時間を短くすることができ、基板２の生産性を向上させることができる。

また、ひとつのカメラで２列のノズルに吸着された全ての部品３を撮像する場合、そのカメラの位置は、そのカメラの光軸を装着ヘッド２１の進行軸に近い姿勢（浅い角度）となるように構成されるため、部品３の撮像位置（第１の部品認識カメラ２４ａの上方位置）から或る程度離れた位置に設置する必要があるが、本実施の形態のように、２つのカメラ（第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａ）で一方のノズル列の部品３と他方ノズル列の部品３とを分けて撮像するようにすれば、これら２つのカメラを部品３の撮像位置に近接して設けることができる。このため本実施の形態のように、第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａとこれらの照明部（第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂ）を、第１の部品認識カメラ２４ａと一体的に設けた構成をとった場合において、そのサイズをコンパクトなものとすることができる。

前述のように、第１の部品認識カメラ２４ａによる部品３の下方からの撮像と、厚み検出部２５（第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａ）による部品３の側方からの撮像とは同時並行的に行われるため、第１の部品認識カメラ２４ａによる撮像のための第１の波長帯から成る照明光が認識カメラ照明２４Ｌから継続的に照射されている状況で、厚み検出部２５による撮像のための第２の波長帯から成る照射光が第１側方照明２６ｂ又は第２側方照明２７ｂから断続的に照射されることになる（図９）。そうすると、厚み検出部２５による撮像時には、第１の部品認識カメラ２４ａによる撮像のための第１の波長帯から成る照明光と厚み検出部２５による撮像のための第２の波長帯から成る照射光とが同時に照射されることとなる。その結果、厚み検出部２５による撮像のための第２の波長帯から成る照射光は第１の部品認識カメラ２４ａの撮像結果に悪影響を与え、第１の部品認識カメラ２４ａによる撮像のための第１の波長帯から成る照射光は厚み検出部２５の撮像結果に悪影響を与えることになるため、互いに撮像精度が低下してしまう。

しかし、第１の部品認識カメラ２４ａによる撮像のための第１の波長帯から成る照明光（認識カメラ照明２４Ｌが照射する照明光）と厚み検出部２５による撮像のための第２の波長帯から成る照明光（第１側方照明２６ｂ又は第２側方照明２７ｂが照射する照明光）の波長帯を互いに異ならせ、第１の部品認識カメラ２４ａは第１の波長帯フィルタ２４Ｆによって厚み検出部２５側の第２の波長帯から成る照明光の波長帯をカットした状態で撮像を行い、厚さ検出部２５側は第２の波長帯フィルタ２５Ｆによって第１の部品認識カメラ２４ａ側の第１の波長帯から成る照明光の波長帯をカットした状態で撮像を行うので、第１の部品認識カメラ２４ａにとって厚さ検出部２５側の第２の波長帯から成る照明光は撮像の妨げとなることはなく、厚さ検出部２５側にとって第１の部品認識カメラ２４ａ側の第１の波長帯から成る照明光は撮像の妨げとなることはない。

図１において、一方（ここでは右側）の前方フィーダベース１３ａと基板搬送コンベア１２との間には前方領域１１Ａ側のノズルストッカである第１のノズルストッカ２８ａが設置されており、他方（ここでは左側）の前方フィーダベース１３ａと基板搬送コンベア１２との間には廃棄ボックス２９が設置されている。ノズルストッカ（第１のノズルストッカ２８ａ及び後述の第２のノズルストッカ２８ｂ）は、装着ヘッド２１が備える吸着ノズル２２の交換用の吸着ノズル２２を保持する部材であり、廃棄ボックス２９は、廃棄扱いとなった部品３が投入される容器状の部材である。第１のノズルストッカ２８ａは２つの前方フィーダベース１３ａの少なくとも一方と基板搬送コンベア１２との間に設けられていればよい。

また、２つの後方フィーダベース１３ｂの間の領域には後方領域１１Ｂ側のノズルストッカである第２のノズルストッカ２８ｂが設置されている。生産タクトに比較的影響が小さいノズルストッカ（第２のノズルストッカ２８ｂ）の配置を変更するため、生産タクトを低下させることなく、後方フィーダベース１３ｂと基板搬送コンベア１２との間に前述のスペース１１ＳＰを確保することが可能となっている。

図１２において、基板搬送コンベア１２による基板２の搬送及び位置決め動作、各テープフィーダ１４による部品３の供給動作、ヘッド移動機構２０による装着ヘッド２１の移動動作は部品実装装置１が備える制御装置３０によってなされる。各吸着ノズル２２の昇降及び回動の各動作は制御装置３０が装着ヘッド２１内に設けられたノズル駆動機構２１ａの作動制御を行うことによってなされ、各吸着ノズル２２による部品３の吸着動作は制御装置３０が吸着機構２１ｂの作動制御を行うことによってなされる。また、各揺動型シュート１６ｂの姿勢検出センサ１７から送られてくる情報（その揺動型シュート１６ｂが起立姿勢となっているか倒伏姿勢となっているかの情報）及び装着検出センサ１８から送られてくる情報（後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されているか否かの状態の情報）は制御装置３０に入力される。

基板カメラ２３、第１の部品認識カメラ２４ａ及び第２の部品認識カメラ２４ｂによる撮像動作制御と第１の部品認識カメラ２４ａ及び第２の部品認識カメラ２４ｂそれぞれが備える認識カメラ照明２４Ｌの照明動作制御は制御装置３０によってなされる。また、厚み検出部２５を構成する第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａの各撮像動作制御と第１側方照明２６ｂ及び第２側方照明２７ｂの照明動作制御も制御装置３０によってなされる。基板カメラ２３、第１の部品認識カメラ２４ａ、第２の部品認識カメラ２４ｂ、第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａの撮像動作によって得られた画像データはそれぞれ制御装置３０に送信され、制御装置３０の画像認識部３０ａ（図１２）において画像認識がなされる。

制御装置３０は、基板カメラ２３の撮像動作によって得られた基板２上のマーク（図示せず）の画像データの画像認識を行って基板２の位置認識を行い、第１の部品認識カメラ２４ａの撮像動作によって得られた部品３の画像データの画像認識を行ってその部品３の認識を行い、第２の部品認識カメラ２４ｂの撮像動作によって得られた部品３の画像データの画像認識を行ってその部品３の認識を行う。また、制御装置３０は、第１側方撮像カメラ２６ａの撮像動作によって得られた第１の位置Ｐ１を通過した部品３のシルエット画像の画像認識を行ってその部品３の厚みを検出し、第２側方撮像カメラ２７ａの撮像動作によって得られた第２の位置Ｐ２を通過した部品３のシルエット画像の画像認識を行ってその部品３の厚みを検出する。図１１のシルエット画像ＧＺの例では、図中に示す部品３の縦方向寸法がその部品３の厚みＴに相当する。この厚みＴが既知の部品３の厚みデータと比較したときの大小関係により、吸着ノズル２２に吸着された状態での部品３の姿勢を認識することができる。

図１２において、制御装置３０のプログラム記憶部３０ｂには、基板２の生産に関する生産動作プログラムが記憶されており、その生産動作プログラムには、部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢の情報が記録されている。そして、制御装置３０の第１警報制御部３０ｃは、姿勢検出センサ１７により検出される揺動型シュート１６ｂの姿勢と、生産動作プログラムに記録された部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢の情報とを比較し、姿勢検出センサ１７により検出される揺動型シュート１６ｂの姿勢が、予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢と一致していない場合に、制御装置３０に繋がるブザー等の警報機３１を介して作業者ＯＰに警報を発するようになっている。なお、この場合、予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢は、後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４を装着して行う部品供給形態である場合には起立姿勢であり、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着して行う部品供給形態である場合には倒伏姿勢である。

また、図１２において、制御装置３０の第２警報制御部３０ｄは、部品供給部の部品供給形態が後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着して行う部品供給形態である場合であって、装着検出センサ１８により後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていない状態が検出されているときには、上記警報機３１を介して作業者ＯＰに警報を発するようになっている。

このように本実施の形態では、制御装置３０の第１警報制御部３０ｃと警報機３１は、姿勢検出センサ１７により検出される揺動型シュート１６ｂの姿勢が、部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢と一致していない場合に警報を発する第１の警報手段となっている。また、制御装置３０第２警報制御部３０ｄと警報機３１は、部品供給部の部品供給形態が後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着して行う部品供給形態である場合であって、装着検出センサ１８により後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていない状態が検出されているときに警報を発する第２の警報手段となっている。

次に、部品実装装置１により基板２に部品３を装着する作業（部品実装作業）の手順を説明する。これには制御装置３０は先ず、基板搬送コンベア１２を作動させて上流工程側の装置から送られてきた基板２を受け取って搬入し、所定の作業位置に位置決めする。次いで装着ヘッド２１を移動させ、基板カメラ２３による前述の図示しない基板２上のマークの撮像を行って画像認識を実行し、得られた基板２上のマークの位置から基板２の位置ずれを求める。

制御装置３０は、基板２の位置ずれを求めたら、装着ヘッド２１を移動させて吸着ノズル２２による部品３の吸着を行う。制御装置３０は、装着ヘッド２１にテープフィーダ１４が供給する部品３を吸着させるときには、テープフィーダ１４に部品３の供給動作を行わせながら、装着ヘッド２１をテープフィーダ１４の上方に位置させて、テープフィーダ１４が部品供給口１４ａに供給した部品３を吸着ノズル２２に吸着させる。一方、制御装置３０は、装着ヘッド２１に手置きトレイフィーダ１５が供給する部品３を吸着させるときには、装着ヘッド２１を手置きトレイフィーダ１５の載置されたパレット１５ｐ上のトレイ１５Ｔの上方に位置させて、トレイ１５Ｔ内の部品３を吸着ノズル２２に吸着させる。

制御装置３０は、上記のようにして装着ヘッド２１に部品３を吸着させたら、装着ヘッド２１を移動させ、装着ヘッド２１が前後２つのノズル列を構成する各吸着ノズル２２により吸着した部品３の認識を行う。ここで制御装置３０は、装着ヘッド２１が前方領域１１Ａ内の前方フィーダベース１３ａに装着されたテープフィーダ１４から吸着した部品３について認識を行う場合には、吸着ノズル２２に吸着させた部品３が第１の部品認識カメラ２４ａの上方を移動軌道ＳＬに沿ってＸ軸方向に通過するように装着ヘッド２１を移動させる。そして、第１の部品認識カメラ２４ａに各部品３を下方から撮像させて認識を行い、部品３の異常の有無の判断や、吸着ノズル２２に対する吸着姿勢の把握（吸着ずれの算出）等を行う。また、制御装置３０は、第１の部品認識カメラ２４ａにより部品３の下方からの撮像を行うときには、これと並行して、厚み検出部２５による各部品３の厚み検出を行う。

一方、制御装置３０は、装着ヘッド２１が後方領域１１Ｂ内の後方フィーダベース１３ｂに装着されたテープフィーダ１４から吸着した部品３又は後方フィーダベース１３ｂに装着された手置きトレイフィーダ１５から吸着した部品３について認識を行う場合には、吸着ノズル２２に吸着させた部品３が第２の部品認識カメラ２４ｂの上方を移動軌道ＳＬに沿ってＸ軸方向に通過するように装着ヘッド２１を移動させる。そして、第２の部品認識カメラ２４ｂに各部品３を下方から撮像させて認識を行い、部品３の異常の有無の判断や、吸着ノズル２２に対する吸着姿勢の把握（吸着ずれの算出）等を行う。

なお、制御装置３０は、後方領域１１Ｂ内の後方フィーダベース１３ｂに装着されたテープフィーダ１４から吸着した部品３又は後方フィーダベース１３ｂに装着された手置きトレイフィーダ１５から吸着した部品３に対して第１の部品認識カメラ２４ａにより下方からの撮像を行うときには、第２の部品認識カメラ２４ｂの上方を移動軌道ＳＬに沿ってＸ軸方向に通過するように装着ヘッド２１を移動させることなく、第１の部品認識カメラ２４ａの上方を移動軌道ＳＬに沿ってＸ軸方向に通過するように装着ヘッド２１を移動させる。そして、制御装置３０は、第１の部品認識カメラ２４ａにより部品３の下方からの撮像を行うときには、これと並行して、厚み検出部２５による各部品３の厚み検出を行う。

制御装置３０は、上記のようにして部品３の吸着ノズル２２に対する位置ずれ、更にはこれと併せて部品３の厚みを検出したら、装着ヘッド２１を基板２の上方に位置させ、吸着ノズル２２に吸着させた部品３を基板２に接触させて真空吸着を解除し、部品３を基板２に装着する。この部品３の装着時には、上記のようにして求めた基板２の位置ずれと、部品３の吸着ずれ及び部品３の厚みに基づいて求められる部品３の姿勢のずれがキャンセルされるような補正を行う。

制御装置３０は、装着ヘッド２１の各吸着ノズル２２に吸着した部品３の基板２への装着を行ったら、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了したか否かの判断を行う。そして、その結果、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了していなかったときには、続いて新たな部品３の吸着を行い、基板２に装着すべき全ての部品３の装着が終了していたときには基板搬送コンベア１２を作動させて基板２を部品実装装置１から搬出する。

上記手順による部品実装作業を実行させる生産動作プログラムにおいて、後方フィーダベース１３ｂからの部品供給形態がテープフィーダ１４から手置きトレイフィーダ１５に変化した場合には、姿勢検出センサ１７によって検出される現在の揺動型シュート１６ｂの姿勢（起立姿勢）が生産動作プログラムに記録された部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた姿勢（倒伏姿勢）と一致しないこととなる。また、装着検出センサ１８は、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されているべき状況で、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていない状態を検出していることになる。このため制御装置３０は、前述の警報機３１を通じてその旨（揺動型シュート１６ｂの姿勢が倒伏姿勢になっていないこと及び後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていないこと）を作業者ＯＰに通知するとともに、制御装置３０に繋がるディスプレイ装置３２（図１２）の画面等を通じて、作業者ＯＰに、後方フィーダベース１３ｂに装着されているテープフィーダ１４を取外し、揺動型シュート１６ｂを倒伏姿勢にしたうえで手置きトレイフィーダ１５を装着すべき旨の作業指示を与える。

作業者ＯＰは、ディスプレイ装置３２の画面等を通じて制御装置３０より上記作業指示を受けたときは、対象となっている後方フィーダベース１３ｂからテープフィーダ１４を取外し、起立姿勢にある揺動型シュート１６ｂを倒伏姿勢にした後、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着する。これにより、揺動型シュート１６ｂの姿勢は予め定められた姿勢（倒伏姿勢）と一致することとなり、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着された状態となるので、制御装置３０は警報機３１を通じた上記通知を停止したうえで、生産動作プログラムを進行させる。

また、これとは反対に、生産動作プログラムにおいて、後方フィーダベース１３ｂからの部品供給形態が手置きトレイフィーダ１５からテープフィーダ１４に変化した場合には、姿勢検出センサ１７によって検出される現在の揺動型シュート１６ｂの姿勢（倒伏姿勢）が部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた姿勢（起立姿勢）と一致しないこととなる。また、装着検出センサ１８は、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が非装着となっているべき状況で、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されている状態を検出していることとなる。このため制御装置３０は、前述の警報機３１を通じてその旨（揺動型シュート１６ｂの姿勢が起立姿勢になっていないこと及び後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていること）を作業者ＯＰに通知するとともに、ディスプレイ装置３２の画面等を通じて、作業者ＯＰに、後方フィーダベース１３ｂに装着されている手置きトレイフィーダ１５を取外し、揺動型シュート１６ｂを起立姿勢にしたうえでテープフィーダ１４を装着すべき旨の作業指示を与える。

作業者ＯＰは、ディスプレイ装置３２の画面等を通じて制御装置３０より上記作業指示を受けたときは、対象となっている後方フィーダベース１３ｂから手置きトレイフィーダ１５を取外し、倒伏姿勢にある揺動型シュート１６ｂを起立姿勢にした後、後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４を装着する。これにより、揺動型シュート１６ｂの姿勢は予め定められた姿勢（起立姿勢）と一致することとなり、後方フィーダベース１３ｂに対して手置きトレイフィーダ１５が非装着状態となるので、制御装置３０は警報機３１を通じた上記通知を停止したうえで、生産動作プログラムを進行させる。

このように、本実施の形態における部品実装装置１では、姿勢検出センサ１７により検出される揺動型シュート１６ｂの姿勢が、部品供給部の部品供給形態に応じて予め定められた揺動型シュート１６ｂの姿勢と一致していない場合に警報（第１の警報手段による警報）が発せられ、また、部品供給部の部品供給形態が後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着して行う部品供給形態である場合であって、装着検出センサ１８により後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていない状態が検出されているときに警報（第２の警報手段による警報）が発せられるようになっている。このため、作業者ＯＰによる揺動型シュート１６ｂのセットミスを防止して、後方フィーダベース１３ｂにテープフィーダ１４を装着すべきときには確実にテープフィーダ１４を装着することができ、手置きトレイフィーダ１５を装着すべきときには確実に手置きトレイフィーダ１５を装着することができる。特に、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５を装着すべきときには、揺動型シュート１６ｂが倒伏姿勢になっており、かつ、後方フィーダベース１３ｂに手置きトレイフィーダ１５が装着されていなければ第２の警報手段による警報が発せられることになるので、二重のチェックにより、作業者ＯＰによる手置きトレイフィーダ１５の装着ミス（装着し忘れを含む）を確実に防止することができる。

以上説明したように、本実施の形態における部品実装装置１では、第１の部品認識カメラ２４ａに対して移動する装着ヘッド２１の前後２つのノズル列のうちの一方（前方）のノズル列に対応する部品３は第１側方撮像カメラ２６ａの焦点が合わせられた第１の位置Ｐ１を通るときに第１側方撮像カメラ２６ａによって撮像し、他方（後方）のノズル列に対応する部品３は第２側方撮像カメラ２７ａの焦点が合わせられた第２の位置Ｐ２を通るときに第２側方撮像カメラ２７ａによって撮像するようになっており、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａはそれぞれ単一の焦点において撮像を行うので、部品３の撮像精度を向上させることができる。また、第１側方撮像カメラ２６ａと第２側方撮像カメラ２７ａは互いに独立して部品３の撮像を行うので、一方（前方）のノズル列に対応する部品３の撮像と他方（後方）のノズル列に対応する部品３の撮像とを並行して行うことができる。このため装着ヘッド２１の走査距離を短くすることができ、撮像時間を短縮して基板２の生産性を向上させることができる。

また、本実施の形態における部品実装装置１では、前述したように、２つのカメラ（第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａ）で一方のノズル列の部品３と他方ノズル列の部品３とを分けて撮像するようにしており、これら２つのカメラを部品３の撮像位置に近接して設けることができるので、第１の部品認識カメラ２４ａ、第１側方撮像カメラ２６ａ及び第２側方撮像カメラ２７ａは２つの前方フィーダベース１３ａの間の領域に一体的に設けてコンパクトな構成とすることができる。

装着ヘッドが備える２つのノズル列の各吸着ノズルに吸着された各部品を側方から撮像する場合の撮像精度の向上と撮像時間の短縮による基板の生産性の向上とを図ることができる部品実装装置を提供する。

１ 部品実装装置
２ 基板
３ 部品
１２ 基板搬送コンベア（基板搬送機構）
１３ａ 前方フィーダベース（フィーダベース）
１４ テープフィーダ（部品供給部）
２１ 装着ヘッド
２２ 吸着ノズル
２４ａ 第１の部品認識カメラ（部品認識カメラ）
２６ａ 第１側方撮像カメラ
２７ａ 第２側方撮像カメラ
Ｐ１ 第１の位置
Ｐ２ 第２の位置

Claims (2)

1. 基板を搬送して所定の位置に位置決めする基板搬送機構と、
   前記基板搬送機構による前記基板の搬送方向に延びる２つのノズル列を構成する複数の吸着ノズルを備え、前記各吸着ノズルにより部品供給部から供給される部品を吸着して前記基板搬送機構により位置決めされた基板に装着する装着ヘッドと、
   前記吸着ノズルに部品を吸着させた前記装着ヘッドが上方を前記基板の搬送方向に移動する際に前記部品を下方から撮像する部品認識カメラと、
   前記部品認識カメラに対して移動する装着ヘッドの２つのノズル列のうちの一方のノズル列を構成する前記各吸着ノズルが吸着した前記部品が通過する第１の位置に焦点を合わせてその第１の位置を通過する前記部品を側方から撮像する第１側方撮像カメラと、
   前記２つのノズル列のうちの他方の前記ノズル列を構成する前記各吸着ノズルが吸着した前記部品が通過する第２の位置に焦点を合わせてその第２の位置を通過する部品を側方から撮像する第２側方撮像カメラとを備え、
   前記第１側方撮像カメラ及び前記第２側方撮像カメラそれぞれの撮像光軸は、平面視において、前記装着ヘッドの進行方向と直交する方向に対して傾いており、前記第１側方撮像カメラの撮像光軸と前記第２側方撮像カメラの撮像光軸はそれぞれが異なる角度で前記直交する方向に対して傾いていることを特徴とする部品実装装置。
2. 前記部品供給部は前記基板搬送機構による前記基板の搬送方向に並んだ２つのフィーダベースに設けられており、前記部品認識カメラ、前記第１側方撮像カメラ及び前記第２側方撮像カメラは前記２つのフィーダベースの間の領域に一体的に設けられていることを特徴とする請求項１に記載の部品実装装置。

Images