JP6785214B2 - 検査装置、および検査方法 - Google Patents
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- 238000007689 inspection Methods 0.000 title claims description 46
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 239
- 238000005286 illumination Methods 0.000 claims description 205
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 88
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 230000003028 elevating effect Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
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- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
- G01N2021/8822—Dark field detection
- G01N2021/8825—Separate detection of dark field and bright field
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- G—PHYSICS
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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- G01N21/9515—Objects of complex shape, e.g. examined with use of a surface follower device
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
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Description
前記撮像工程において行われた前記少なくとも2つの撮像により得られる画像と、前記側方撮像により得られる画像とに基づいて、前記吸着ノズルを検査する検査工程とを含み、前記撮像工程において、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像時および、前記側方撮像時に反射鏡を用いて光を反射させることで前記1台のカメラにより撮像が実行され、前記吸着ノズルが、前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方と向かい合う端面を有し、前記検査工程が、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面を検査し、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と異なる、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面に連続する側面を検査し、前記1台のカメラによる前記側方撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記側面を検査することを特徴とする。
図1に、電子部品装着装置(以下、「装着装置」と略す場合がある)10を示す。装着装置10は、1つのシステムベース12と、そのシステムベース12の上に隣接された2台の電子部品装着機(以下、「装着機」と略す場合がある)14とを有している。なお、装着機14の並ぶ方向をX軸方向と称し、その方向に直角な水平の方向をY軸方向と称する。
装着機14では、上述した構成によって、搬送装置22に保持された回路基板に対して、装着ヘッド26によって装着作業を行うことが可能である。具体的には、装着機14の制御装置(図示省略)の指令により、回路基板が作業位置まで搬送され、その位置において、基板保持装置によって固定的に保持される。また、テープフィーダ72は、制御装置の指令により、テープ化部品を送り出し、電子部品を供給位置において供給する。そして、装着ヘッド26が、電子部品の供給位置の上方に移動し、吸着ノズル60によって電子部品を吸着保持する。続いて、装着ヘッド26は、回路基板の上方に移動し、保持している電子部品を回路基板上に装着する。
装着機14では、上述したように、テープフィーダ72によって供給された電子部品が、吸着ノズル60によって吸着保持され、その電子部品が回路基板上に装着される。このため、吸着ノズル60に不具合が生じていると、適切な装着作業を実行することができない。このようなことを考慮して、装着機14のノズルステーション30からノズルトレイ77が取り外され、ノズル管理装置において、ノズルトレイ77に収容されている吸着ノズル60の検査が行われる。
Claims (7)
- 吸着ノズルに照射された光に基づいて前記吸着ノズルを検査するための検査装置であって、
当該検査装置が、
前記吸着ノズルに向かって真下から光を照射する落射照明と、
前記吸着ノズルに向かって斜め下方から光を照射する側射照明と、
前記吸着ノズルに向かって側方から光を照射する側方照明と、
前記吸着ノズルと前記側方照明との間に配設され、スリットが形成された遮光体と、
前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光と、前記側方照明から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光との何れかに基づいて前記吸着ノズルを選択的に撮像する撮像装置と
を備え、
前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像が、前記撮像装置が有する1台のカメラにより実行され、
さらに、前記側方照明から前記遮光体のスリットを介して照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である側方撮像が、前記1台のカメラにより実行され、
また、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像時および、前記側方撮像時に反射鏡を用いて光を反射させることで前記1台のカメラにより撮像が実行され、
前記吸着ノズルが、
前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方と向かい合う端面を有し、
当該検査装置が、
前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面を検査し、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と異なる、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面に連続する側面を検査し、前記1台のカメラによる前記側方撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記側面を検査することを特徴とする検査装置。 - 前記撮像装置が、
前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像との全ての撮像を行うことを特徴とする請求項1に記載の検査装置。 - 前記撮像装置が、
前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの1の撮像と、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と別の撮像とを行う際に、前記1の撮像時のシャッタースピードと前記別の撮像時のシャッタースピードとを変更することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の検査装置。 - 吸着ノズルに照射された光に基づいて前記吸着ノズルを検査するための検査装置であって、
当該検査装置が、
前記吸着ノズルに向かって真下からに光を照射する第1照明と、
前記吸着ノズルに向かって側方から光を照射する側方照明と、
前記吸着ノズルと前記側方照明との間に配設され、スリットが形成された遮光体と、
前記吸着ノズルに前記第1照明及び前記側方照明と異なる方向から光を照射する第2照明と、
前記第1照明と前記第2照明との少なくとも一方から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光と、前記側方照明から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光との何れかに基づいて前記吸着ノズルを選択的に撮像する撮像装置と
を備え、
前記第1照明と前記第2照明との両方から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である全照射撮像と、前記第2照明から照射されず、前記第1照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である第1照射撮像と、前記第1照明から照射されず、前記第2照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である第2照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像が、前記撮像装置が有する1台のカメラにより実行され、
さらに、前記側方照明から前記遮光体のスリットを介して照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である側方撮像が、前記1台のカメラにより実行され、
また、前記全照射撮像と前記第1照射撮像と前記第2照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像時および、前記側方撮像時に反射鏡を用いて光を反射させることで前記1台のカメラにより撮像が実行され、
前記吸着ノズルが、
前記第1照明と前記第2照明との少なくとも一方と向かい合う端面を有し、
当該検査装置が、
前記全照射撮像と前記第1照射撮像と前記第2照射撮像とのうちの、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面を検査し、前記全照射撮像と前記第1照射撮像と前記第2照射撮像とのうちの前記1の撮像と異なる、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面に連続する側面を検査し、前記1台のカメラによる前記側方撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記側面を検査することを特徴とする検査装置。 - 前記検査装置は、
保持具に保持された吸着ノズルに照射された光に基づいて前記吸着ノズルを検査するための装置であることを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載の検査装置。 - 吸着ノズルに向かって真下から光を照射する落射照明と、前記吸着ノズルに向かって斜め下方から光を照射する側射照明と、前記吸着ノズルに向かって側方から光を照射する側方照明と、前記吸着ノズルと前記側方照明との間に配設され、スリットが形成された遮光体と、前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光と、前記側方照明から照射された際に前記吸着ノズルにより反射した光との何れかに基づいて前記吸着ノズルを選択的に撮像する撮像装置とを備えた検査装置を用いて、前記吸着ノズルを検査する検査方法であって、
当該検査方法が、
前記落射照明と前記側射照明との両方から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である全照射撮像と、前記側射照明から照射されず、前記落射照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である落射照射撮像と、前記落射照明から照射されず、前記側射照明から照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像が、前記撮像装置が有する1台のカメラにより実行されるとともに、前記側方照明から前記遮光体のスリットを介して照射された際に、前記吸着ノズルにより反射した光に基づく前記吸着ノズルの撮像である側方撮像が、前記1台のカメラにより実行される撮像工程と、
前記撮像工程において行われた前記少なくとも2つの撮像により得られる画像と、前記側方撮像により得られる画像とに基づいて、前記吸着ノズルを検査する検査工程と
を含み、
前記撮像工程において、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの少なくとも2つの撮像時および、前記側方撮像時に反射鏡を用いて光を反射させることで前記1台のカメラにより撮像が実行され、
前記吸着ノズルが、
前記落射照明と前記側射照明との少なくとも一方と向かい合う端面を有し、
前記検査工程が、
前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面を検査し、前記全照射撮像と前記落射照射撮像と前記側射照射撮像とのうちの前記1の撮像と異なる、前記1台のカメラによる1の撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記端面に連続する側面を検査し、前記1台のカメラによる前記側方撮像により得られる画像に基づいて、前記吸着ノズルの前記側面を検査することを特徴とする検査方法。 - 前記検査方法は、
保持具に保持された吸着ノズルに照射された光に基づいて前記吸着ノズルを検査するための方法であることを特徴とする請求項6に記載の検査方法。
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
PCT/JP2015/055527 WO2016135910A1 (ja) | 2015-02-26 | 2015-02-26 | 検査装置、および検査方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2016135910A1 JPWO2016135910A1 (ja) | 2017-11-30 |
JP6785214B2 true JP6785214B2 (ja) | 2020-11-18 |
Family
ID=56788588
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2017501760A Active JP6785214B2 (ja) | 2015-02-26 | 2015-02-26 | 検査装置、および検査方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
EP (1) | EP3264071A4 (ja) |
JP (1) | JP6785214B2 (ja) |
WO (1) | WO2016135910A1 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN114175872B (zh) * | 2019-07-25 | 2023-09-26 | 株式会社富士 | 吸嘴的检查装置和吸嘴的检查方法 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3022753B2 (ja) * | 1995-10-05 | 2000-03-21 | 石塚硝子株式会社 | 容器口天面の欠陥検査装置 |
JP4260545B2 (ja) * | 2003-05-20 | 2009-04-30 | ヤマハ発動機株式会社 | 表面実装機 |
JP2008082900A (ja) * | 2006-09-27 | 2008-04-10 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 外観検査装置 |
JP5549155B2 (ja) * | 2009-09-04 | 2014-07-16 | セイコーエプソン株式会社 | 表面検査方法 |
JP5443938B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2014-03-19 | Juki株式会社 | 電子部品実装装置 |
JP5660810B2 (ja) * | 2010-06-16 | 2015-01-28 | 富士機械製造株式会社 | 部品実装機の吸着ノズル検査装置 |
JP5946998B2 (ja) * | 2011-05-24 | 2016-07-06 | 富士機械製造株式会社 | 画像処理装置および電子部品実装機 |
JP5913866B2 (ja) * | 2011-08-25 | 2016-04-27 | 富士機械製造株式会社 | 基板検査用マスタデータ作成方法 |
JP6055241B2 (ja) * | 2012-08-29 | 2016-12-27 | 富士機械製造株式会社 | 撮像条件最適化方法および撮像条件最適化システム |
JP5887499B2 (ja) * | 2013-03-19 | 2016-03-16 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | ノズル検査装置及び部品実装システム |
JP5949690B2 (ja) * | 2013-07-25 | 2016-07-13 | Jfeスチール株式会社 | 評価方法及び評価装置 |
-
2015
- 2015-02-26 WO PCT/JP2015/055527 patent/WO2016135910A1/ja active Application Filing
- 2015-02-26 JP JP2017501760A patent/JP6785214B2/ja active Active
- 2015-02-26 EP EP15883204.8A patent/EP3264071A4/en active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP3264071A1 (en) | 2018-01-03 |
JPWO2016135910A1 (ja) | 2017-11-30 |
EP3264071A4 (en) | 2018-08-01 |
WO2016135910A1 (ja) | 2016-09-01 |
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|
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