WO2023162140A1 - 検査装置および検査方法 - Google Patents

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WO2023162140A1
WO2023162140A1 PCT/JP2022/007890 JP2022007890W WO2023162140A1 WO 2023162140 A1 WO2023162140 A1 WO 2023162140A1 JP 2022007890 W JP2022007890 W JP 2022007890W WO 2023162140 A1 WO2023162140 A1 WO 2023162140A1
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WO
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image
tubular member
hole
distal end
end portion
Prior art date
Application number
PCT/JP2022/007890
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
幹也 鈴木
一也 小谷
雄哉 稲浦
Original Assignee
株式会社Fuji
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Publication date
Application filed by 株式会社Fuji filed Critical 株式会社Fuji
Priority to PCT/JP2022/007890 priority Critical patent/WO2023162140A1/ja
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    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/04—Mounting of components, e.g. of leadless components
    • H—ELECTRICITY
    • H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or adjusting assemblages of electric components
    • H05K13/08—Monitoring manufacture of assemblages

Definitions

  • This specification discloses a technology related to an inspection device and an inspection method.
  • the recognition camera described in Patent Document 1 can image the lower end surface of the suction nozzle.
  • an image of the lower end surface of a normal suction nozzle is registered in advance as an initial reference image in the control unit described in Patent Document 1.
  • the control unit compares an image in which the suction nozzle is clogged with a normal image to determine whether the suction nozzle is abnormal (clogging of the suction nozzle).
  • the control unit described in Patent Literature 1 compares an image in which a suction nozzle is chipped and a normal image to determine whether the suction nozzle is abnormal (chipping of the suction nozzle).
  • control unit described in Patent Document 1 compares the image of the tip portion of the suction nozzle with the image of the tip portion of the normal suction nozzle to determine whether the suction nozzle is abnormal.
  • the present specification discloses an inspection device and an inspection method capable of determining the presence or absence of clogging in the hole at the distal end of a tubular member through which fluid can flow.
  • the acquisition unit acquires a first image and a second image.
  • the first image is formed inside the distal end portion of the tubular member and the distal end portion of the tubular member in an image obtained by imaging the distal end portion of the tubular member through which the fluid can flow from a direction along the fluid flow direction. It is an image obtained by binarizing the image using a first threshold value that can identify a hole portion that is an area where the fluid can flow.
  • the second image is an image obtained by binarizing the image using a second threshold value capable of distinguishing between the hole and the adhering matter adhering to the hole in the image.
  • the determination unit determines whether or not the hole is clogged with the adhering matter based on the difference image between the first image and the second image acquired by the acquisition unit.
  • the acquiring step acquires a first image and a second image.
  • the first image is formed inside the distal end portion of the tubular member and the distal end portion of the tubular member in an image obtained by imaging the distal end portion of the tubular member through which the fluid can flow from a direction along the fluid flow direction. It is an image obtained by binarizing the image using a first threshold value that can identify a hole portion that is an area where the fluid can flow.
  • the second image is an image obtained by binarizing the image using a second threshold value capable of distinguishing between the hole and the adhering matter adhering to the hole in the image.
  • the determining step determines whether or not the hole is clogged with the adhering matter based on the difference image between the first image and the second image obtained by the obtaining step.
  • the inspection device described above it is possible to determine whether or not the holes are clogged with adhering matter based on the difference image between the first image and the second image. What has been described above with respect to the inspection apparatus also applies to the inspection method.
  • FIG. 4 is a block diagram showing an example of the functions of the nozzle cleaner of FIG. 3;
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of an image obtained by imaging the distal end portion of the tubular member;
  • 6 is a schematic diagram showing an example of an image obtained by binarizing the image of FIG. 5.
  • FIG. It is a block diagram which shows an example of the control block of an inspection apparatus. It is a flowchart which shows an example of the control procedure by an inspection apparatus. It is a figure which shows an example of the frequency distribution of the luminance value of an image.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a design drawing of a distal end portion of a tubular member
  • FIG. 10 is a schematic diagram showing an example of an image when the distal end portion of the tubular member is chipped.
  • FIG. 4 is a schematic diagram showing an example of a design drawing of a distal end portion of a tubular member
  • FIG. 10 is a schematic diagram showing an example of an image when the distal end portion of the tubular member is chipped.
  • It is a schematic diagram which shows an example of a first image.
  • It is a schematic diagram which shows an example of a second image.
  • Embodiment 1-1 Configuration Example of Component Mounting Machine 10
  • the component mounting machine 10 mounts a plurality of components 91 on a board 90 .
  • the component mounting machine 10 includes a substrate conveying device 11, a component supply device 12, a component transfer device 13, a component camera 14, a substrate camera 15, and a control device 16.
  • the substrate transport device 11 is configured by, for example, a belt conveyor, etc., and transports the substrate 90 in the transport direction (X-axis direction).
  • the substrate 90 is a circuit board on which electronic circuits, electric circuits, magnetic circuits, and the like are formed.
  • the board transfer device 11 carries the board 90 into the component mounting machine 10 and positions the board 90 at a predetermined position inside the machine. After the component mounting machine 10 finishes mounting the plurality of components 91 , the board transfer device 11 carries the board 90 out of the component mounting machine 10 .
  • the component supply device 12 supplies a plurality of components 91 to be mounted on the board 90 .
  • the component supply device 12 includes a plurality of feeders 12a provided along the transport direction (X-axis direction) of the substrate 90 .
  • Each of the plurality of feeders 12a is equipped with a reel.
  • a carrier tape containing a plurality of components 91 is wound around the reel.
  • the feeder 12a pitch-feeds the carrier tape and supplies the components 91 so as to be picked up at a supply position located on the leading end side of the feeder 12a.
  • the component supply device 12 can also supply relatively large electronic components (for example, lead components) compared to chip components in a state of being arranged on a tray.
  • the component transfer device 13 includes a head driving device 13a and a moving table 13b.
  • the head driving device 13a is configured such that a moving table 13b can be moved in the X-axis direction and the Y-axis direction (a direction perpendicular to the X-axis direction in the horizontal plane) by a linear motion mechanism.
  • a mounting head 20 is detachably (exchangeably) provided on the moving table 13b by a clamp member.
  • the mounting head 20 uses at least one holding member 21 to pick up and hold the component 91 supplied by the component supply device 12 , and mounts the component 91 on the substrate 90 positioned by the substrate transfer device 11 .
  • a suction nozzle 70, a chuck, or the like can be used for the holding member 21, for example, a suction nozzle 70, a chuck, or the like can be used.
  • a known imaging device can be used for the component camera 14 and the substrate camera 15 .
  • the component camera 14 is fixed to the base of the component mounting machine 10 so that the optical axis faces upward in the vertical direction (the Z-axis direction orthogonal to the X-axis direction and the Y-axis direction).
  • the parts camera 14 can image the parts 91 and the like held by the holding member 21 from below.
  • the board camera 15 is provided on the moving table 13b of the component transfer device 13 so that the optical axis faces downward in the vertical direction (Z-axis direction).
  • the substrate camera 15 can image the substrate 90 and the like from above.
  • the component camera 14 and the board camera 15 perform imaging based on control signals sent from the control device 16 . Image data of images captured by the component camera 14 and the board camera 15 are transmitted to the control device 16 .
  • the control device 16 includes a known arithmetic device and storage device, and constitutes a control circuit. Information and image data output from various sensors provided in the component mounting machine 10 are input to the control device 16 . The control device 16 sends a control signal to each device based on the control program and predetermined wearing conditions set in advance.
  • control device 16 causes the substrate camera 15 to image the substrate 90 positioned by the substrate transport device 11 .
  • the control device 16 processes the image captured by the board camera 15 and recognizes the positioning state of the board 90 .
  • the control device 16 causes the holding member 21 to collect and hold the component 91 supplied by the component supply device 12 , and causes the component camera 14 to image the component 91 held by the holding member 21 .
  • the control device 16 processes the image captured by the component camera 14 and recognizes the orientation of the component 91 .
  • the control device 16 moves the holding member 21 upward from the intended mounting position preset by the control program or the like. Further, the control device 16 corrects the planned mounting position based on the positioning state of the board 90, the attitude of the component 91, and the like, and sets the mounting position where the component 91 is actually mounted.
  • the planned mounting position and mounting position include the position (X-axis coordinate and Y-axis coordinate) as well as the rotation angle.
  • the control device 16 corrects the target position (X-axis coordinate and Y-axis coordinate) and rotation angle of the holding member 21 according to the mounting position.
  • the controller 16 lowers the holding member 21 at the corrected target position at the corrected rotation angle to mount the component 91 on the substrate 90 .
  • the control device 16 repeats the pick-and-place cycle described above to perform a mounting process of mounting a plurality of components 91 on the board 90 .
  • the trunk shaft 71 is formed in a tubular shape.
  • the body shaft 71 functions as a main body held by the mounting head 20 .
  • the flange 72 is formed in a disc shape on one end side (lower side of the paper in FIG. 2) in the axial direction of the body shaft 71 (corresponding to the Z-axis direction when the suction nozzle 70 is held by the mounting head 20).
  • the nozzle shaft 73 is tubular and extends axially from the body shaft 71 .
  • Body shaft 71 and nozzle shaft 73 form a negative pressure flow path in suction nozzle 70 .
  • the nozzle shaft 73 holds a component 91 that contacts the tip portion (corresponding to the tip portion 51 of the tubular member 50 described later) by negative pressure supplied through the body shaft 71 .
  • the nozzle shaft 73 is configured to be axially extendable with respect to the body shaft 71 . Specifically, the nozzle shaft 73 is urged in a direction to advance from the body shaft 71 by an elastic member.
  • the extensible portion of the suction nozzle 70 configured by the body shaft 71 and the nozzle shaft 73 is configured so that the nozzle shaft 73 moves relative to the body shaft 71 when a load is applied to the tip of the nozzle shaft 73 on the side of the body shaft 71 . It slides and contracts against the elastic force of the elastic member.
  • An identification code 74 is attached to the upper surface of the flange 72 .
  • the identification code 74 includes identification information for identifying the suction nozzle 70 and unique information such as the type of the suction nozzle 70 .
  • the nozzle cleaner 30 is an external device provided outside the component mounting machine 10 .
  • a nozzle station holding a plurality of suction nozzles 70 is loaded into the nozzle cleaner 30 of the embodiment, and the suction nozzles 70 are cleaned, inspected, and stored.
  • the nozzle cleaner 30 has a function of transferring the stored suction nozzles 70 to the nozzle station upon request and supporting the setup change in the component mounting machine 10 .
  • the nozzle cleaner 30 includes a cleaning unit 31, an inspection unit 32, a nozzle stocker 33, a nozzle moving device 34, a control device 35, and a discharge box .
  • the cleaning unit 31 cleans the suction nozzle 70's negative pressure flow path and expansion/contraction section. Specifically, the cleaning unit 31 cleans and dries the suction nozzle 70 in the cleaning chamber. In the cleaning process, the cleaning unit 31 cleans the suction nozzle 70 by, for example, circulating a high-pressure fluid (air, cleaning liquid, etc.) inside the suction nozzle 70 . The cleaning unit 31 can also clean the suction nozzle 70 by injecting a high-pressure fluid (air, cleaning liquid, etc.) to the outer surface of the suction nozzle 70 . Further, the cleaning unit 31 performs a drying process of drying (blowing off the fluid) the sucking nozzle 70 that has been subjected to the cleaning process using a blow device.
  • a high-pressure fluid air, cleaning liquid, etc.
  • the inspection unit 32 performs various inspections targeting the suction nozzle 70 in the nozzle cleaner 30 .
  • Items to be inspected by the inspection unit 32 include the external shape of the suction nozzle 70, the flow rate of the negative pressure flow path, the sliding resistance of the expandable section, and the like.
  • the inspection unit 32 captures an image of the suction nozzle 70 held by the nozzle moving device 34 with an imaging device (corresponding to the imaging device 43 described later), and the suction nozzle 70 is detected based on the captured image. Inspect the external shape of As a result, the presence or absence of deposits, chipping of the suction nozzle 70, and the like are confirmed.
  • the inspection unit 32 can detect the load when the nozzle shaft 73 of the suction nozzle 70 slides toward the inside of the body shaft 71, for example, using a load cell. It is assumed that the suction nozzle 70 whose measured value by the load cell is larger than the specified value has increased sliding resistance due to factors such as contamination of the sliding portion. In addition, the inspection unit 32 can perform pass/fail judgments for each of various inspections, and can also record inspection values. Also, the inspection unit 32 can appropriately inspect the suction nozzles 70 cleaned by the cleaning unit 31, and perform quality determination again.
  • the nozzle stocker 33 can store a plurality of suction nozzles 70.
  • the nozzle stocker 33 can transfer the suction nozzles 70 to storage pallets and store the storage pallets in different storage positions for each of a plurality of storage pallets.
  • the nozzle moving device 34 moves the suction nozzle 70 between the installation positions of the cleaning unit 31 , the inspection unit 32 , the nozzle stocker 33 , the nozzle station, and the discharge box 36 .
  • the nozzle moving device 34 can move the suction nozzle 70 by gripping the suction nozzle 70 with a holding chuck, for example. As a result, the suction nozzle 70 is appropriately moved according to cleaning, inspection, and storage.
  • the nozzle moving device 34 can also move the storage pallet to the nozzle stocker 33 or the like.
  • the nozzle moving device 34 is provided with a code reader capable of reading the identification code 74 of the suction nozzle 70, the identification code attached to the nozzle station, and the like.
  • the control device 35 includes a known arithmetic device and storage device, and constitutes a control circuit.
  • the control device 35 is communicably connected to a management device, which is an external device, and is configured to be able to share various types of information.
  • the control device 35 controls various cleaning processes, various inspection processes, and storage processes including transfer of the suction nozzle 70 .
  • the discharge box 36 stores, for example, suction nozzles 70 determined to be defective based on the inspection results of the inspection unit 32 .
  • the discharge box 36 is partitioned into a plurality of spaces, and is used for sorting according to defect factors, for example.
  • the inspection device 40 inspects the state of the distal end portion 51 of the tubular member 50 through which fluid can flow.
  • the tubular member 50 may be any tubular member through which fluid can flow, and may take various forms. Also, the fluid that flows through the tubular member 50 is not limited.
  • the tubular member 50 of the embodiment is a suction nozzle 70 that suctions a component 91 to be mounted on the substrate 90 . In this case, the fluid that flows through the tubular member 50 is air or the like.
  • FIG. 5 shows an example of an image 60 in which the distal end portion 51 of the tubular member 50 is captured.
  • the figure schematically shows an image 60 of the distal end portion 51 of the tubular member 50 captured from the direction along the direction of flow of the fluid (the direction of the arrow AR1 shown in FIG. 2).
  • the image 60 includes a tip portion 51 of the tubular member 50, a hole portion 52 which is a region formed inside the tip portion 51 of the tubular member 50 and through which fluid can flow, and a hole portion.
  • the attached matter 53 adhering to 52 and the background are imaged.
  • the adhering matter 53 is hatched for convenience of illustration. This indicates that the adhering matter 53 has a different feature amount of the image 60 such as brightness compared to the distal end portion 51 and the hole portion 52 of the tubular member 50 .
  • the image 60 of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is compared with the image of the normal distal end portion 51 of the tubular member 50 where the hole portion 52 is not clogged (there is no deposit 53), and clogging of the hole portion 52 is detected. It is assumed that the presence or absence of However, due to manufacturing variations of the tubular member 50, etc., there are a plurality of normal images, and it is difficult to determine one normal image. For example, the presence or absence of clogging of the hole portion 52 is determined by comparing the area of the region recognized as the adhering matter 53 in the image 60 and the reference area of the hole portion 52 when the hole portion 52 is not clogged. is assumed. However, there are a plurality of normal images, and a single reference area cannot be determined. Therefore, it is difficult to compare these areas.
  • FIG. 6 shows an example of an image 60a obtained by binarizing the image 60 of FIG.
  • the image 60a is a binarization process (for example, Otsu binarization processing, etc.) is applied.
  • the threshold value is set automatically, there is a possibility that the holes 52 and the adhering matter 53 cannot be identified, as will be described later. Therefore, as shown in FIG. 6, the adhering matter 53 may be erroneously recognized as the hole 52, making it difficult to recognize the adhering matter 53 based on the image 60a. Therefore, the inspection device 40 includes an acquisition unit 41 and a determination unit 42 .
  • the acquisition unit 41 and determination unit 42 can be provided in various control devices, management devices, arithmetic devices, image processing devices, and the like.
  • at least one of the acquisition unit 41 and the determination unit 42 can be provided in the control device 35 of the nozzle cleaner 30 .
  • At least one of the acquisition unit 41 and the determination unit 42 may be provided in a management device communicably connected to the control device 35 .
  • At least one of the acquisition unit 41 and the determination unit 42 can also be formed on the cloud.
  • the acquisition unit 41 and determination unit 42 of the embodiment are provided in the control device 35 of the nozzle cleaner 30 . That is, the inspection device 40 is formed in the nozzle cleaner 30 .
  • the inspection unit 32 is one aspect to which the inspection device 40 is applied.
  • the inspection device 40 executes control according to the flowchart shown in FIG.
  • the acquisition unit 41 performs the process shown in step S13.
  • the determination unit 42 performs the processing and determination shown in steps S14 to S20.
  • the control device 35 of the nozzle cleaner 30 performs the processing shown in steps S11 and S12.
  • control device 35 drives and controls the nozzle moving device 34 to cause the imaging device (corresponding to the imaging device 43 described later) to image the suction nozzle 70 held by the nozzle moving device 34 (step S11). ). As a result, an image 60 shown in FIG. 5 is acquired.
  • the control device 35 also recognizes the outer edge portion 51f (the outer wall surface 51b) of the distal end portion 51 of the tubular member 50 in the image 60 of FIG. 5 (step S12).
  • FIG. 9 shows an example of the frequency distribution of luminance values of the image 60. As shown in FIG. The horizontal axis in the figure indicates the luminance value, and the vertical axis indicates the frequency.
  • a curve L ⁇ b>11 represents an example of the distribution of luminance values of the pixels of the distal end portion 51 of the tubular member 50 .
  • a curve L12 represents a distribution example of luminance values of the pixels of the hole 52 .
  • a curve L13 represents an example of the distribution of luminance values of the pixels of the adhering matter 53 .
  • a threshold is set with the luminance value indicated by the straight line L14 as a boundary.
  • the straight line L14 is greater than the luminance value at the top of the curve L12 (maximum frequency of the luminance value of the hole 52) and the luminance value of the top of the curve L13 (maximum frequency of the luminance value of the deposit 53), and is greater than the luminance value of the curve L11.
  • a brightness value smaller than the brightness value of the top portion (maximum frequency of the brightness value of the distal end portion 51 of the tubular member 50) is shown.
  • the region of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is represented in white (for example, when one pixel is represented by 8 bits (same below), the luminance value is 255).
  • the areas of the hole 52 and the adhering matter 53 are represented in black (luminance value is 0). Therefore, as described above, it becomes difficult to recognize the adhering matter 53 based on the image 60a.
  • the acquisition unit 41 acquires the first image 61 and the second image 62 (step S13 shown in FIG. 8).
  • the first image 61 is an image obtained by binarizing the image 60 using the first threshold.
  • the first threshold value is the tip portion 51 of the tubular member 50 and the tip of the tubular member 50 in the image 60 captured in the direction along the direction of flow of the fluid (arrow AR1 direction shown in FIG. 2). It is a threshold that can distinguish between the hole portion 52 which is a region formed inside the portion 51 and through which the fluid can flow.
  • the second image 62 is an image obtained by binarizing the image 60 using a second threshold value capable of distinguishing between the hole 52 and the adhering matter 53 adhering to the hole 52 in the image 60 .
  • the distal end portion 51 and the hole portion 52 of the tubular member 50 can be distinguished, and binarizing the image 60 using the second threshold value.
  • the holes 52 and the adhering matter 53 can be distinguished.
  • the first threshold is set with the brightness value indicated by the straight line L14 as the boundary.
  • a second threshold is set with the luminance value indicated by the straight line L15 as a boundary.
  • the straight line L15 has a luminance value that is greater than the luminance value at the top of the curve L12 (maximum frequency of the luminance value of the hole 52) and less than the luminance value at the top of the curve L13 (maximum frequency of the luminance value of the deposit 53). value.
  • the second threshold is set smaller than the first threshold.
  • the first threshold and the second threshold can be obtained in advance through simulation, verification using an actual machine, or the like.
  • FIG. 10 shows an example of deposits 53 adhering to the hole 52.
  • FIG. This figure shows a state in which the outer edge portion 51f (outer wall surface 51b) of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is recognized in the image 60 of FIG.
  • FIG. 11 shows an example of the first image 61.
  • FIG. shows a first image 61 obtained by binarizing the image 60 of FIG. 10 using the first threshold.
  • the region of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is represented in white (luminance value is 255).
  • the areas of the hole 52 and the adhering matter 53 are represented in black (luminance value is 0).
  • FIG. 12 shows an example of the second image 62.
  • This figure shows a second image 62 obtained by binarizing the image 60 of FIG. 10 using the second threshold.
  • the region of the distal end portion 51 of the tubular member 50 and the region of the deposit 53 are represented in white (luminance value is 255).
  • the area of the hole 52 is represented in black (luminance value is 0).
  • the acquisition unit 41 can acquire the first image 61 and the second image 62 using one image 60 .
  • the acquisition unit 41 acquires the first image 61 and the second image 62 using the single image 60 shown in FIG.
  • the inspection apparatus 40 can reduce the number of times of imaging and the time required for image processing as compared with the case where the two images 60, 60 are used.
  • the acquiring unit 41 acquires the first image 61 using one image 60 of the two images 60, 60 with different imaging conditions, and acquires the second image using the other one image 60. 62 can also be obtained.
  • the imaging conditions include at least one of the irradiation direction of the light source 44 that illuminates the distal end portion 51 of the tubular member 50, and the shutter speed and aperture value of the imaging device 43 that images the distal end portion 51 of the tubular member 50. .
  • the imaging device 43 may use various known imaging devices as long as it can image the distal end portion 51 of the tubular member 50 from the direction along the direction of flow of the fluid (arrow AR1 direction shown in FIG. 2). Further, the light source 44 only needs to be able to illuminate the distal end portion 51 of the tubular member 50, and various known light sources can be used. As shown in FIG. 13, the imaging device 43 includes an imaging element 43a and a lens 43b. The light source 44 also includes a side light source 44a.
  • the side emission light source 44a emits side emission light from a direction inclined with respect to the vertical direction (Z-axis direction) (arrow L21).
  • the side light reaching the distal end portion 51 of the tubular member 50 is reflected at the distal end portion 51 of the tubular member 50 and travels toward the lens 43b of the imaging device 43 (arrow L22).
  • the reflected light reaching the lens 43b passes through the lens 43b and travels toward the imaging device 43a. Thereby, the imaging device 43 can image the distal end portion 51 of the tubular member 50 .
  • the imaging device 43 acquires two images 60, 60 by changing at least one of the above imaging conditions so that the adhering matter 53 adhering to the hole 52 can be easily recognized. can be done. For example, when the imaging device 43 captures the image 60 used for the second image 62, compared to the case of capturing the image 60 used for the first image 61, the light source 44 in the vertical direction (Z-axis direction) The irradiation angle can be increased. This makes it easier to recognize the deposit 53 adhering to the inner wall surface 51a of the distal end portion 51 of the tubular member 50 .
  • the light source 44 can also include an incident light source that illuminates the distal end portion 51 of the tubular member 50 from a direction along the vertical direction (Z-axis direction).
  • the image capturing device 43 captures one image 60 out of the two images 60, 60 using the incident light source, and captures the other one image 60 using the side light source 44a.
  • the imaging device 43 and the light source 44 can also be used in a form in which the acquisition unit 41 acquires the first image 61 and the second image 62 using a single image 60 .
  • the determination unit 42 Based on the difference image 63 between the first image 61 and the second image 62 acquired by the acquisition unit 41, the determination unit 42 determines whether or not the hole 52 is clogged with the adhering matter 53 (step shown in FIG. 8). S14 to step S17).
  • the determination unit 42 subtracts the luminance value of one of the first image 61 and the second image 62 from the luminance value of the other for pixels at the same position in the first image 61 and the second image 62 to obtain the difference image 63 .
  • FIG. 14 shows an example of the differential image 63.
  • a difference image 63 shown in the figure is a difference image between the first image 61 shown in FIG. 11 and the second image 62 shown in FIG.
  • the region of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is represented in white (with a luminance value of 255).
  • the area of the hole 52 is represented in black (luminance value is 0).
  • the area of the adhering matter 53 is represented in black (luminance value is 0).
  • the determination unit 42 can determine whether or not the hole 52 is clogged with the adhering matter 53 . That is, the determination unit 42 can determine that the hole 52 is clogged with the adhering matter 53 when the difference image 63 includes a white region (with a luminance value of 255). Conversely, the determining unit 42 can determine that the hole 52 is not clogged with the adhering matter 53 when the difference image 63 does not include a white region (with a luminance value of 255).
  • the determination unit 42 determines the adhering matter recognition area SA1, which is the area of the region recognized as the adhering matter 53 in the difference image 63, and the hole portion 52, which is the reference area of the hole portion 52 when the hole portion 52 is not clogged. Presence or absence of clogging in the hole portion 52 can also be guided based on the reference area SA0.
  • the adhering matter recognition area SA1 corresponds to the area of the area (white area) of the adhering matter 53 in the difference image 63 shown in FIG.
  • the design values shown in FIG. 15 can be used for the hole reference area SA0.
  • the determination unit 42 can provide guidance to the effect that the hole 52 is clogged (step shown in FIG. 8). S15 to step S17). Specifically, the determination unit 42 determines whether or not the hole 52 is clogged based on the difference image 63 (step S15). If the hole 52 is clogged (Yes in step S15), the determination unit 42 determines whether the ratio of the adhering matter recognition area SA1 to the hole reference area SA0 exceeds a predetermined value (step S16).
  • the predetermined value is an allowable value (upper limit value) that allows continued use of the tubular member 50, and can be set arbitrarily.
  • the predetermined value can also be set for each type of tubular member 50 . If the ratio of the adhering matter recognition area SA1 to the hole reference area SA0 exceeds a predetermined value (Yes in step S16), the determination unit 42 provides guidance to the effect that the hole 52 is clogged (step S17). For example, the determination unit 42 can cause the display device of the nozzle cleaner 30 to display guidance to the effect that the hole 52 is clogged.
  • step S15 If there is no clogging in the hole 52 (No in step S15), the control by the inspection device 40 performs the determination shown in step S18 without performing the determination and processing shown in steps S16 and S17. . Further, when the ratio of the adhering matter recognition area SA1 to the hole reference area SA0 is equal to or less than the predetermined value (No in step S16), the control by the inspection device 40 proceeds to step S18 without performing the processing shown in step S17. A determination is made as shown.
  • the deposits 53 include flux, peeling of the electrodes of the component 91 , dust on the substrate 90 , and the like.
  • the preferred second threshold may vary depending on the type of adhering matter 53 . Therefore, it is preferable to prepare a plurality of second threshold values corresponding to different types of adhering matter 53 .
  • the acquisition unit 41 can acquire a plurality of second images 62 by sequentially using a plurality of second threshold values corresponding to the attached matter 53 of different types. Then, when determining that the hole portion 52 is clogged based on the difference image 63 between the first image 61 and one of the plurality of second images 62, the determination unit 42 uses the second image used for the determination. It is possible to guide the type of deposit 53 corresponding to the second threshold used for the two images 62 .
  • the second threshold used for the second image 62 used for the determination is suitable for identifying the flux and the hole 52. Assume it was the second threshold.
  • the determination unit 42 can guide that the deposit 53 adhering to the hole 52 may be flux.
  • the determination unit 42 can cause the display device of the nozzle cleaner 30 to display the type of deposit 53 (flux in this case).
  • the determination unit 42 can determine whether or not the hole 52 is clogged even when the tip 51 of the tubular member 50 is chipped.
  • FIG. 16 shows an example of an image 60 when the distal end portion 51 of the tubular member 50 is chipped. The figure shows a state in which the outer edge portion 51f (outer wall surface 51b) of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is recognized. In the figure, part of the inner wall surface 51a of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is missing. As a result, the area of the hole portion 52 is increased compared to the case where the distal end portion 51 of the tubular member 50 is not chipped.
  • the control device 35 cannot recognize the outer edge portion 51f (outer wall surface 51b) of the distal end portion 51 of the tubular member 50 in the image 60 of FIG. 16 (step S12 shown in FIG. 8). Thereby, the judgment part 42 can recognize chipping of the distal end portion 51 of the tubular member 50 reaching the outer wall surface 51b.
  • the chipping of the distal end portion 51 of the tubular member 50 shown below is explained for the case where the inner wall surface 51a is chipped.
  • FIG. 17 shows an example of deposits 53 adhering to the hole 52.
  • FIG. This figure shows the position of the deposit 53 adhering to the hole 52 in the image 60 of FIG. 18 shows an example of the first image 61
  • FIG. 19 shows an example of the second image 62.
  • the area of the distal end portion 51 of the tubular member 50 is reduced and the area of the hole portion 52 is increased in accordance with the chipping of the distal end portion 51 of the tubular member 50. . Therefore, as shown in FIG. 20, the adhering matter 53 can be recognized in the difference image 63 .
  • the determining unit 42 can also determine whether or not the distal end portion 51 of the tubular member 50 is chipped. Further, based on the tip recognition area SB1 and the tip reference area SB0, the determination unit 42 can guide whether or not the tip 51 of the tubular member 50 is chipped (steps S18 to S20 shown in FIG. 8). ).
  • the distal end portion recognition area SB1 is the area of the region recognized as the distal end portion 51 of the tubular member 50 in the first image 61 .
  • the tip reference area SB0 is the reference area of the tip 51 of the tubular member 50 when the tip 51 is not chipped.
  • the distal end portion recognition area SB1 corresponds to the area of the distal end portion 51 region (white region) of the tubular member 50 in the first image 61 shown in FIGS. 11 and 18 .
  • Design values shown in FIG. 15 can be used for the tip reference area SB0.
  • the determination unit 42 can determine that the tip portion 51 of the tubular member 50 is chipped when the ratio of the tip portion recognition area SB1 to the tip portion reference area SB0 is not within the specified range. Further, the determination unit 42 can provide guidance that the tip portion 51 of the tubular member 50 is chipped when the ratio of the tip portion recognition area SB1 to the tip portion reference area SB0 is not within the predetermined range.
  • the prescribed range and the predetermined range may be the same range or different ranges.
  • the specified range and the predetermined range can be arbitrarily set in consideration of the range of manufacturing variations of the tubular member 50, the allowable range in which the tubular member 50 can be continued to be used, and the like.
  • the prescribed range is set to the range of variations in manufacturing of the tubular member 50
  • the predetermined range is a range wider than the range of variations in manufacturing of the tubular member 50, and the use of the tubular member 50 is continued.
  • the specified range and the predetermined range can also be set for each type of tubular member 50 .
  • the determination unit 42 determines whether or not the distal end portion 51 of the tubular member 50 is chipped (step S18). For example, in the first image 61 shown in FIG. 11, it is assumed that the ratio of the distal end recognition area SB1 to the distal end reference area SB0 is within the manufacturing variation range of the tubular member 50 . In this case, the determination unit 42 determines that there is no chipping in the distal end portion 51 of the tubular member 50 . In the first image 61 shown in FIG. 18, it is assumed that the ratio of the distal end recognition area SB1 to the distal end reference area SB0 exceeds the manufacturing variation range of the tubular member 50 . In this case, the determination unit 42 determines that the distal end portion 51 of the tubular member 50 is chipped.
  • the determination unit 42 determines whether the ratio of the tip portion recognition area SB1 to the tip portion reference area SB0 is within a predetermined range. (step S19). For example, in the first image 61 shown in FIG. 18, it is assumed that the ratio of the distal end recognition area SB1 to the distal end reference area SB0 exceeds the permissible range in which the tubular member 50 can be continued to be used. In this case, the ratio of the distal end recognition area SB1 to the distal end reference area SB0 is not within the predetermined range (No in step S19), and the determination unit 42 provides guidance to the effect that the distal end 51 of the tubular member 50 is chipped. (step S20). For example, the determination unit 42 can cause the display device of the nozzle cleaner 30 to display guidance to the effect that the tip portion 51 of the tubular member 50 is chipped.
  • the control by the inspection device 40 temporarily ends without performing the determination and processing shown in steps S19 and S20. Further, for example, in the first image 61 shown in FIG. 18, it is assumed that the ratio of the distal end recognition area SB1 to the distal end reference area SB0 is within the allowable range that allows continued use of the tubular member 50. In this case, the ratio of the leading end recognition area SB1 to the leading end reference area SB0 is included in the predetermined range (Yes in step S19), and the control by the inspection device 40 is performed once without performing the processing shown in step S20. finish.
  • the inspection method includes an acquisition step and a judgment step.
  • the control performed by the acquisition unit 41 corresponds to the acquisition step.
  • the control performed by the determination unit 42 corresponds to the determination process.
  • Example of Effect of Embodiment According to the inspection device 40 , it is possible to determine whether or not the hole 52 is clogged with the adhering matter 53 based on the difference image 63 between the first image 61 and the second image 62 . What has been described above with respect to the inspection apparatus 40 also applies to the inspection method.
  • 40 Inspection device, 41: Acquisition unit, 42: Judgment unit, 43: Imaging device, 44: light source, 50: tubular member, 51: tip, 52: hole, 53: deposit, 60: image, 61: first image, 62: second image, 63: difference image, 70: suction nozzle, 90: substrate, 91: component, SA0: hole reference area, SA1: deposit recognition area, SB0: tip reference area, SB1: tip recognition area.

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Abstract

検査装置は、取得部と判断部とを備える。取得部は、第一画像および第二画像を取得する。第一画像は、流体が流通可能な管状部材の先端部を流体の流通方向に沿った方向から撮像した画像において管状部材の先端部と管状部材の先端部の内部に形成される領域であって流体が流通可能な穴部とを識別可能な第一閾値を用いて画像を二値化処理した画像である。第二画像は、画像において穴部と穴部に付着している付着物とを識別可能な第二閾値を用いて画像を二値化処理した画像である。判断部は、取得部によって取得された第一画像および第二画像の差分画像に基づいて、付着物による穴部の目詰まりの有無を判断する。

Description

検査装置および検査方法
　本明細書は、検査装置および検査方法に関する技術を開示する。
　特許文献１に記載の認識カメラは、吸着ノズルの下端面を撮像することができる。また、特許文献１に記載の制御部には、初期基準画像として正常な吸着ノズルの下端面の画像が予め登録されている。さらに、制御部は、吸着ノズルに穴詰まりがある場合の画像と、正常な画像とを比較して、吸着ノズルの異常（吸着ノズルの穴詰まり）を判定する。同様に、特許文献１に記載の制御部は、吸着ノズルに欠けが生じた場合の画像と、正常な画像とを比較して、吸着ノズルの異常（吸着ノズルの欠け）を判定する。
特開平１０－１５４８９９号公報
　このように、特許文献１に記載の制御部は、吸着ノズルの先端部の画像と、正常な吸着ノズルの先端部の画像とを比較して、吸着ノズルの異常を判定しようとしている。しかしながら、吸着ノズルの製造上のばらつき等により、正常な画像は複数存在し、正常な画像を一つに決めることは困難である。
　このような事情に鑑みて、本明細書は、流体が流通可能な管状部材の先端部における穴部の目詰まりの有無を判断することが可能な検査装置および検査方法を開示する。
　本明細書は、取得部と、判断部とを備える検査装置を開示する。前記取得部は、第一画像および第二画像を取得する。前記第一画像は、流体が流通可能な管状部材の先端部を前記流体の流通方向に沿った方向から撮像した画像において前記管状部材の前記先端部と前記管状部材の前記先端部の内部に形成される領域であって前記流体が流通可能な穴部とを識別可能な第一閾値を用いて前記画像を二値化処理した画像である。前記第二画像は、前記画像において前記穴部と前記穴部に付着している付着物とを識別可能な第二閾値を用いて前記画像を二値化処理した画像である。前記判断部は、前記取得部によって取得された前記第一画像および前記第二画像の差分画像に基づいて、前記付着物による前記穴部の目詰まりの有無を判断する。
　また、本明細書は、取得工程と、判断工程とを備える検査方法を開示する。前記取得工程は、第一画像および第二画像を取得する。前記第一画像は、流体が流通可能な管状部材の先端部を前記流体の流通方向に沿った方向から撮像した画像において前記管状部材の前記先端部と前記管状部材の前記先端部の内部に形成される領域であって前記流体が流通可能な穴部とを識別可能な第一閾値を用いて前記画像を二値化処理した画像である。前記第二画像は、前記画像において前記穴部と前記穴部に付着している付着物とを識別可能な第二閾値を用いて前記画像を二値化処理した画像である。前記判断工程は、前記取得工程によって取得された前記第一画像および前記第二画像の差分画像に基づいて、前記付着物による前記穴部の目詰まりの有無を判断する。
　上記の検査装置によれば、第一画像および第二画像の差分画像に基づいて、付着物による穴部の目詰まりの有無を判断することができる。検査装置について上述されていることは、検査方法についても同様に言える。
部品装着機の構成例を示す平面図である。 吸着ノズルの一例を示す斜視図である。 ノズルクリーナの一例を示す斜視図である。 図３のノズルクリーナの機能の一例を示すブロック図である。 管状部材の先端部を撮像した画像の一例を示す模式図である。 図５の画像を二値化処理した画像の一例を示す模式図である。 検査装置の制御ブロックの一例を示すブロック図である。 検査装置による制御手順の一例を示すフローチャートである。 画像の輝度値の度数分布の一例を示す図である。 穴部に付着している付着物の一例を示す模式図である。 第一画像の一例を示す模式図である。 第二画像の一例を示す模式図である。 撮像装置および光源の構成例を示す模式図である。 差分画像の一例を示す模式図である。 管状部材の先端部の設計図の一例を示す模式図である。 管状部材の先端部に欠けが有る場合の画像の一例を示す模式図である。 穴部に付着している付着物の一例を示す模式図である。 第一画像の一例を示す模式図である。 第二画像の一例を示す模式図である。 差分画像の一例を示す模式図である。
　１．実施形態
　１－１．部品装着機１０の構成例
　部品装着機１０は、基板９０に複数の部品９１を装着する。図１に示すように、部品装着機１０は、基板搬送装置１１、部品供給装置１２、部品移載装置１３、部品カメラ１４、基板カメラ１５および制御装置１６を備えている。
　基板搬送装置１１は、例えば、ベルトコンベアなどによって構成され、基板９０を搬送方向（Ｘ軸方向）に搬送する。基板９０は、回路基板であり、電子回路、電気回路、磁気回路などが形成される。基板搬送装置１１は、部品装着機１０の機内に基板９０を搬入し、機内の所定位置に基板９０を位置決めする。基板搬送装置１１は、部品装着機１０による複数の部品９１の装着処理が終了した後に、基板９０を部品装着機１０の機外に搬出する。
　部品供給装置１２は、基板９０に装着される複数の部品９１を供給する。部品供給装置１２は、基板９０の搬送方向（Ｘ軸方向）に沿って設けられる複数のフィーダ１２ａを備えている。複数のフィーダ１２ａの各々には、リールが装備されている。リールには、複数の部品９１が収納されているキャリアテープが巻回されている。フィーダ１２ａは、キャリアテープをピッチ送りさせて、フィーダ１２ａの先端側に位置する供給位置において部品９１を採取可能に供給する。また、部品供給装置１２は、チップ部品などと比べて比較的大型の電子部品（例えば、リード部品など）を、トレイ上に配置した状態で供給することもできる。
　部品移載装置１３は、ヘッド駆動装置１３ａおよび移動台１３ｂを備えている。ヘッド駆動装置１３ａは、直動機構によって移動台１３ｂを、Ｘ軸方向およびＹ軸方向（水平面においてＸ軸方向と直交する方向）に移動可能に構成されている。移動台１３ｂには、クランプ部材によって装着ヘッド２０が着脱可能（交換可能）に設けられている。装着ヘッド２０は、少なくとも一つの保持部材２１を用いて、部品供給装置１２によって供給された部品９１を採取し保持して、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０に部品９１を装着する。保持部材２１は、例えば、吸着ノズル７０、チャックなどを用いることができる。
　部品カメラ１４および基板カメラ１５は、公知の撮像装置を用いることができる。部品カメラ１４は、光軸が鉛直方向（Ｘ軸方向およびＹ軸方向と直交するＺ軸方向）の上向きになるように、部品装着機１０の基台に固定されている。部品カメラ１４は、保持部材２１に保持されている部品９１などを下方から撮像することができる。基板カメラ１５は、光軸が鉛直方向（Ｚ軸方向）の下向きになるように、部品移載装置１３の移動台１３ｂに設けられている。基板カメラ１５は、基板９０などを上方から撮像することができる。部品カメラ１４および基板カメラ１５は、制御装置１６から送出される制御信号に基づいて撮像を行う。部品カメラ１４および基板カメラ１５によって撮像された画像の画像データは、制御装置１６に送信される。
　制御装置１６は、公知の演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている。制御装置１６には、部品装着機１０に設けられる各種センサから出力される情報、画像データなどが入力される。制御装置１６は、制御プログラムおよび予め設定されている所定の装着条件などに基づいて、各装置に対して制御信号を送出する。
　例えば、制御装置１６は、基板搬送装置１１によって位置決めされた基板９０を基板カメラ１５に撮像させる。制御装置１６は、基板カメラ１５によって撮像された画像を画像処理して、基板９０の位置決め状態を認識する。また、制御装置１６は、部品供給装置１２によって供給された部品９１を保持部材２１に採取させ保持させて、保持部材２１に保持されている部品９１を部品カメラ１４に撮像させる。制御装置１６は、部品カメラ１４によって撮像された画像を画像処理して、部品９１の姿勢を認識する。
　制御装置１６は、制御プログラムなどによって予め設定される装着予定位置の上方に向かって、保持部材２１を移動させる。また、制御装置１６は、基板９０の位置決め状態、部品９１の姿勢などに基づいて、装着予定位置を補正して、実際に部品９１を装着する装着位置を設定する。装着予定位置および装着位置は、位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）の他に回転角度を含む。
　制御装置１６は、装着位置に合わせて、保持部材２１の目標位置（Ｘ軸座標およびＹ軸座標）および回転角度を補正する。制御装置１６は、補正された目標位置において補正された回転角度で保持部材２１を下降させて、基板９０に部品９１を装着する。制御装置１６は、上記のピックアンドプレースサイクルを繰り返すことによって、基板９０に複数の部品９１を装着する装着処理を実行する。
　１－２．吸着ノズル７０の構成例
　図２に示すように、吸着ノズル７０は、胴体軸７１と、フランジ７２と、ノズル軸７３と、識別コード７４とを備えている。胴体軸７１は、筒状に形成されている。胴体軸７１は、装着ヘッド２０に保持される本体部として機能する。フランジ７２は、胴体軸７１の軸方向（吸着ノズル７０が装着ヘッド２０に保持された場合にＺ軸方向に相当）の一端側（図２の紙面下側）において円盤状に形成されている。
　ノズル軸７３は、胴体軸７１から軸方向に延伸するように管状に形成されている。胴体軸７１およびノズル軸７３は、吸着ノズル７０における負圧流路を形成する。ノズル軸７３は、胴体軸７１を介して供給される負圧により、先端部（後述される管状部材５０の先端部５１に相当）に接触する部品９１を保持する。
　また、ノズル軸７３は、胴体軸７１に対して軸方向に伸縮可能に構成されている。具体的には、ノズル軸７３は、弾性部材により胴体軸７１から進出する方向に付勢されている。胴体軸７１およびノズル軸７３により構成される吸着ノズル７０の伸縮部は、ノズル軸７３の先端部において胴体軸７１の側に荷重が加えられた場合に、胴体軸７１に対してノズル軸７３が摺動し、上記の弾性部材による弾性力に抗して収縮する。また、フランジ７２の上面には、識別コード７４が付されている。識別コード７４には、吸着ノズル７０を識別する識別情報、吸着ノズル７０の種別などの固有情報が含まれる。
　１－３．ノズルクリーナ３０の構成例
　ノズルクリーナ３０は、部品装着機１０の外部に設けられる外部装置である。実施形態のノズルクリーナ３０には、複数の吸着ノズル７０を保持したノズルステーションが搬入されて、当該吸着ノズル７０を対象とした洗浄、検査および保管が行われる。
　また、ノズルクリーナ３０は、保管されている吸着ノズル７０を要求に応じてノズルステーションに移載して、部品装着機１０における段取り替えを支援する機能を有する。図３および図４に示すように、ノズルクリーナ３０は、洗浄ユニット３１と、検査ユニット３２と、ノズルストッカ３３と、ノズル移動装置３４と、制御装置３５と、排出ボックス３６とを備える。
　洗浄ユニット３１は、吸着ノズル７０の負圧流路および伸縮部を洗浄する。具体的には、洗浄ユニット３１は、洗浄庫において吸着ノズル７０の洗浄および乾燥を行う。洗浄ユニット３１は、洗浄処理において、例えば、吸着ノズル７０の内部に高圧の流体（空気、洗浄液など）を流通させて、吸着ノズル７０を洗浄する。また、洗浄ユニット３１は、吸着ノズル７０の外面に高圧の流体（空気、洗浄液など）を噴射して、吸着ノズル７０を洗浄することもできる。さらに、洗浄ユニット３１は、洗浄処理が実行された吸着ノズル７０をブロー装置により乾燥させる（流体を吹き飛ばす）乾燥処理を実行する。
　検査ユニット３２は、ノズルクリーナ３０において吸着ノズル７０を対象とした各種の検査を行う。検査ユニット３２による検査項目には、吸着ノズル７０の外形、負圧流路の流量および伸縮部の摺動抵抗などが含まれる。具体的には、検査ユニット３２は、例えば、ノズル移動装置３４に保持された吸着ノズル７０を撮像装置（後述される撮像装置４３に相当）により撮像し、撮像された画像に基づいて吸着ノズル７０の外形を検査する。これにより、付着物の有無、吸着ノズル７０の欠けなどが確認される。
　また、検査ユニット３２は、例えば、ロードセルなどを用いて、吸着ノズル７０のノズル軸７３が胴体軸７１の内部に向かって摺動した際の荷重を検出することができる。ロードセルによる測定値が規定値よりも大きい吸着ノズル７０は、摺動部の汚れなどの要因によって摺動抵抗が大きくなっていることが想定される。なお、検査ユニット３２は、各種の検査ごとに良否判定を行うと共に、検査値を記録することもできる。また、検査ユニット３２は、洗浄ユニット３１によって洗浄された吸着ノズル７０を対象として適宜検査を行い、再度の良否判定を行うこともできる。
　ノズルストッカ３３は、複数の吸着ノズル７０を収納することができる。ノズルストッカ３３は、保管パレットに吸着ノズル７０を移載して、複数の保管パレットごとに異なる保管位置に保管パレットを収容することができる。
　ノズル移動装置３４は、洗浄ユニット３１、検査ユニット３２、ノズルストッカ３３、ノズルステーションの設置位置および排出ボックス３６との間で吸着ノズル７０を移動させる。ノズル移動装置３４は、例えば、保持チャックにより吸着ノズル７０を把持して、吸着ノズル７０を移動させることができる。これにより、吸着ノズル７０は、洗浄、検査および保管に応じて、適宜移動される。なお、ノズル移動装置３４は、保管パレットをノズルストッカ３３などに移動させることもできる。また、ノズル移動装置３４には、吸着ノズル７０の識別コード７４、ノズルステーションに付されている識別コードなどを読み取り可能なコードリーダが設けられている。
　制御装置３５は、公知の演算装置および記憶装置を備えており、制御回路が構成されている。制御装置３５は、外部装置である管理装置と通信可能に接続されており、各種の情報を共有可能に構成されている。制御装置３５は、各種の洗浄処理、各種の検査処理、吸着ノズル７０の移載を含む保管処理を制御する。排出ボックス３６は、例えば、検査ユニット３２による検査結果に基づいて、不良と判定された吸着ノズル７０を溜め置きする。排出ボックス３６は、複数の空間に区画されており、例えば、不良要因ごとの仕分けに利用される。
　１－４．検査装置４０の構成例
　検査装置４０は、流体が流通可能な管状部材５０の先端部５１の状態を検査する。管状部材５０は、流体が流通可能な管状に形成されている部材であれば良く、種々の形態をとり得る。また、管状部材５０を流通する流体は、限定されない。実施形態の管状部材５０は、基板９０に装着する部品９１を吸着する吸着ノズル７０である。この場合、管状部材５０を流通する流体は、空気などである。
　図５は、管状部材５０の先端部５１を撮像した画像６０の一例を示している。同図は、管状部材５０の先端部５１を流体の流通方向に沿った方向（図２に示す矢印ＡＲ１方向）から撮像した画像６０を模式的に示している。図５に示すように、画像６０には、管状部材５０の先端部５１と、管状部材５０の先端部５１の内部に形成される領域であって流体が流通可能な穴部５２と、穴部５２に付着している付着物５３と、背景とが撮像されている。なお、付着物５３には、図示の便宜上、ハッチングが施されている。これにより、付着物５３は、管状部材５０の先端部５１および穴部５２と比べて、輝度などの画像６０の特徴量が異なることを示している。上述されていることは、後述されている画像のハッチングについても同様に言える。
　管状部材５０の先端部５１の画像６０と、穴部５２に目詰まりが無い（付着物５３が無い）正常な管状部材５０の先端部５１の画像とを比較して、穴部５２の目詰まりの有無を判断することが想定される。しかしながら、管状部材５０の製造上のばらつき等により、正常な画像は複数存在し、正常な画像を一つに決めることは困難である。例えば、画像６０において付着物５３として認識された領域の面積と、穴部５２に目詰まりが無い場合の穴部５２の基準面積とを比較して、穴部５２の目詰まりの有無を判断することが想定される。しかしながら、正常な画像は複数存在し、基準面積は、一つに決まらない。そのため、これらの面積を比較することは困難である。
　また、図６は、図５の画像６０を二値化処理した画像６０ａの一例を示している。画像６０ａは、図５の画像６０において管状部材５０の先端部５１の外縁部５１ｆ（外壁面５１ｂ）が認識されて、閾値が自動で設定される二値化処理（例えば、大津の二値化処理など）が施されている。閾値が自動で設定される場合、後述するように、穴部５２と付着物５３とを識別できない可能性がある。そのため、図６に示すように、付着物５３を穴部５２と誤認識する可能性があり、画像６０ａに基づいて、付着物５３を認識することが困難になる。そこで、検査装置４０は、取得部４１と、判断部４２とを備えている。
　取得部４１および判断部４２は、種々の制御装置、管理装置、演算装置、画像処理装置などに設けることができる。例えば、取得部４１および判断部４２のうちの少なくとも一つは、ノズルクリーナ３０の制御装置３５に設けることができる。取得部４１および判断部４２のうちの少なくとも一つは、制御装置３５と通信可能に接続される管理装置に設けることもできる。取得部４１および判断部４２のうちの少なくとも一つは、クラウド上に形成することもできる。図７に示すように、実施形態の取得部４１および判断部４２は、ノズルクリーナ３０の制御装置３５に設けられている。つまり、検査装置４０は、ノズルクリーナ３０に形成されている。検査ユニット３２は、検査装置４０が適用される一態様である。
　また、検査装置４０は、図８に示すフローチャートに従って、制御を実行する。取得部４１は、ステップＳ１３に示す処理を行う。判断部４２は、ステップＳ１４～ステップＳ２０に示す処理および判断を行う。なお、ノズルクリーナ３０の制御装置３５は、ステップＳ１１およびステップＳ１２に示す処理を行う。
　具体的には、制御装置３５は、ノズル移動装置３４を駆動制御して、ノズル移動装置３４に保持された吸着ノズル７０を撮像装置（後述される撮像装置４３に相当）に撮像させる（ステップＳ１１）。これにより、図５に示す画像６０が取得される。また、制御装置３５は、図５の画像６０において、管状部材５０の先端部５１の外縁部５１ｆ（外壁面５１ｂ）を認識する（ステップＳ１２）。
　１－４－１．取得部４１
　図９は、画像６０の輝度値の度数分布の一例を示している。同図の横軸は、輝度値を示し、縦軸は、度数を示している。曲線Ｌ１１は、管状部材５０の先端部５１の画素の輝度値の分布例を示している。曲線Ｌ１２は、穴部５２の画素の輝度値の分布例を示している。曲線Ｌ１３は、付着物５３の画素の輝度値の分布例を示している。例えば、画像６０に対して、閾値が自動で設定される二値化処理（例えば、大津の二値化処理など）が施される場合、直線Ｌ１４に示す輝度値を境界とする閾値が設定される可能性がある。
　直線Ｌ１４は、曲線Ｌ１２の頂部（穴部５２の輝度値の最大度数）の輝度値および曲線Ｌ１３の頂部（付着物５３の輝度値の最大度数）の輝度値よりも大きく、且つ、曲線Ｌ１１の頂部（管状部材５０の先端部５１の輝度値の最大度数）の輝度値よりも小さい輝度値を示している。この場合、図６に示すように、管状部材５０の先端部５１の領域は、白色（例えば、一つの画素が８ビットで表される場合（以下同じ）、輝度値は２５５）で表される。また、穴部５２および付着物５３の領域は、黒色（輝度値は０）で表される。そのため、既述したように、画像６０ａに基づいて、付着物５３を認識することが困難になる。
　そこで、取得部４１は、第一画像６１および第二画像６２を取得する（図８に示すステップＳ１３）。第一画像６１は、第一閾値を用いて画像６０を二値化処理した画像をいう。第一閾値は、管状部材５０の先端部５１を流体の流通方向に沿った方向（図２に示す矢印ＡＲ１方向）から撮像した画像６０において、管状部材５０の先端部５１と管状部材５０の先端部５１の内部に形成される領域であって流体が流通可能な穴部５２とを識別可能な閾値をいう。第二画像６２は、画像６０において穴部５２と穴部５２に付着している付着物５３とを識別可能な第二閾値を用いて画像６０を二値化処理した画像をいう。
　第一閾値を用いて画像６０を二値化処理することにより、管状部材５０の先端部５１と穴部５２とが識別可能になり、第二閾値を用いて画像６０を二値化処理することにより、穴部５２と付着物５３とが識別可能になる。図９に示す例では、直線Ｌ１４に示す輝度値を境界とする第一閾値が設定される。また、直線Ｌ１５に示す輝度値を境界とする第二閾値が設定される。直線Ｌ１５は、曲線Ｌ１２の頂部（穴部５２の輝度値の最大度数）の輝度値よりも大きく、且つ、曲線Ｌ１３の頂部（付着物５３の輝度値の最大度数）の輝度値よりも小さい輝度値を示している。なお、第二閾値は、第一閾値よりも小さく設定されている。また、第一閾値および第二閾値は、シミュレーション、実機による検証などによって予め取得することができる。
　図１０は、穴部５２に付着している付着物５３の一例を示している。同図は、図５の画像６０において、管状部材５０の先端部５１の外縁部５１ｆ（外壁面５１ｂ）が認識された状態を示している。図１１は、第一画像６１の一例を示している。同図は、第一閾値を用いて図１０の画像６０が二値化処理された第一画像６１を示している。第一画像６１では、管状部材５０の先端部５１の領域は、白色（輝度値は２５５）で表されている。また、穴部５２および付着物５３の領域は、黒色（輝度値は０）で表されている。
　図１２は、第二画像６２の一例を示している。同図は、第二閾値を用いて図１０の画像６０が二値化処理された第二画像６２を示している。第二画像６２では、管状部材５０の先端部５１の領域および付着物５３の領域は、白色（輝度値は２５５）で表されている。また、穴部５２の領域は、黒色（輝度値は０）で表されている。
　なお、取得部４１は、一枚の画像６０を用いて第一画像６１および第二画像６２を取得することができる。上記の例では、取得部４１は、図１０に示す一枚の画像６０を用いて第一画像６１および第二画像６２を取得している。この場合、検査装置４０は、二枚の画像６０，６０を用いる場合と比べて、撮像回数を低減することができ、画像処理に要する所要時間を低減することができる。
　また、撮像条件を変更することにより、穴部５２に付着している付着物５３が認識され易くなる場合がある。そこで、取得部４１は、撮像条件が異なる二枚の画像６０，６０のうちの一枚の画像６０を用いて第一画像６１を取得し、他の一枚の画像６０を用いて第二画像６２を取得することもできる。例えば、撮像条件には、管状部材５０の先端部５１を照明する光源４４の照射方向、管状部材５０の先端部５１を撮像する撮像装置４３のシャッター速度および絞り値のうちの少なくとも一つが含まれる。
　撮像装置４３は、管状部材５０の先端部５１を流体の流通方向に沿った方向（図２に示す矢印ＡＲ１方向）から撮像することができれば良く、公知の種々の撮像装置を用いることができる。また、光源４４は、管状部材５０の先端部５１を照明することができれば良く、公知の種々の光源を用いることができる。図１３に示すように、撮像装置４３は、撮像素子４３ａと、レンズ４３ｂとを備えている。また、光源４４は、側射光光源４４ａを備えている。
　側射光光源４４ａは、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対して傾斜した方向から側射光を照射する（矢印Ｌ２１）。管状部材５０の先端部５１に到達した側射光は、管状部材５０の先端部５１において反射して、撮像装置４３のレンズ４３ｂに向かって進行する（矢印Ｌ２２）。レンズ４３ｂに到達した反射光は、レンズ４３ｂを透過して撮像素子４３ａに向かって進行する。これにより、撮像装置４３は、管状部材５０の先端部５１を撮像することができる。
　撮像装置４３は、穴部５２に付着している付着物５３が認識され易くなるように、上記の撮像条件のうちの少なくとも一つを変更して、二枚の画像６０，６０を取得することができる。例えば、撮像装置４３は、第二画像６２に用いられる画像６０を撮像する場合に、第一画像６１に用いられる画像６０を撮像する場合と比べて、鉛直方向（Ｚ軸方向）に対する光源４４の照射角度を大きくすることができる。これにより、管状部材５０の先端部５１の内壁面５１ａに付着している付着物５３が認識され易くなる。
　また、光源４４は、鉛直方向（Ｚ軸方向）に沿った方向から管状部材５０の先端部５１を照明する落射光光源を備えることもできる。この場合、撮像装置４３は、二枚の画像６０，６０のうちの一枚の画像６０を落射光光源を用いて撮像し、他の一枚の画像６０を側射光光源４４ａを用いて撮像することもできる。なお、撮像装置４３および光源４４は、取得部４１が一枚の画像６０を用いて第一画像６１および第二画像６２を取得する形態においても、使用することができる。
　１－４－２．判断部４２
　判断部４２は、取得部４１によって取得された第一画像６１および第二画像６２の差分画像６３に基づいて、付着物５３による穴部５２の目詰まりの有無を判断する（図８に示すステップＳ１４～ステップＳ１７）。
　例えば、判断部４２は、第一画像６１および第二画像６２の同一位置の画素について、第一画像６１および第二画像６２のうちの一方の輝度値から他方の輝度値を減じて差分画像６３を取得する（ステップＳ１４）。図１４は、差分画像６３の一例を示している。同図に示す差分画像６３は、図１１に示す第一画像６１と、図１２に示す第二画像６２の差分画像である。
　具体的には、図１１に示す第一画像６１では、管状部材５０の先端部５１の領域は、白色（輝度値は２５５）で表されている。図１２に示す第二画像６２では、管状部材５０の先端部５１の領域は、白色（輝度値は２５５）で表されている。よって、図１４に示す差分画像６３では、管状部材５０の先端部５１の領域は、黒色（輝度値は０（＝２５５－２５５））で表されている。
　また、図１１に示す第一画像６１では、穴部５２の領域は、黒色（輝度値は０）で表されている。図１２に示す第二画像６２では、穴部５２の領域は、黒色（輝度値は０）で表されている。よって、図１４に示す差分画像６３では、穴部５２の領域は、黒色（輝度値は０（＝０－０））で表されている。
　さらに、図１１に示す第一画像６１では、付着物５３の領域は、黒色（輝度値は０）で表されている。図１２に示す第二画像６２では、付着物５３の領域は、白色（輝度値は２５５）で表されている。よって、図１４に示す差分画像６３では、付着物５３の領域は、白色（輝度値は２５５（＝２５５－０））で表されている。
　このように、差分画像６３では、付着物５３の領域のみが、白色（輝度値は２５５）で表される。他の領域（管状部材５０の先端部５１の領域および穴部５２の領域）は、黒色（輝度値は０）で表される。よって、判断部４２は、第一画像６１および第二画像６２の差分画像６３に基づいて、付着物５３による穴部５２の目詰まりの有無を判断することができる。つまり、判断部４２は、差分画像６３において白色（輝度値は２５５）の領域が存在する場合に、付着物５３による穴部５２の目詰まりが有ると判断することができる。逆に、判断部４２は、差分画像６３において白色（輝度値は２５５）の領域が存在しない場合に、付着物５３による穴部５２の目詰まりが無いと判断することができる。
　また、判断部４２は、差分画像６３において付着物５３として認識された領域の面積である付着物認識面積ＳＡ１と、穴部５２に目詰まりが無い場合の穴部５２の基準面積である穴部基準面積ＳＡ０とに基づいて、穴部５２の目詰まりの有無を案内することもできる。具体的には、付着物認識面積ＳＡ１は、図１４に示す差分画像６３の付着物５３の領域（白色の領域）の面積に相当する。穴部基準面積ＳＡ０は、図１５に示す設計値を用いることができる。
　判断部４２は、穴部基準面積ＳＡ０に対する付着物認識面積ＳＡ１の割合が所定値を超えている場合に、穴部５２に目詰まりが有る旨の案内を行うことができる（図８に示すステップＳ１５～ステップＳ１７）。具体的には、判断部４２は、差分画像６３に基づいて、穴部５２に目詰まりが有るか否かを判断する（ステップＳ１５）。穴部５２に目詰まりが有る場合（ステップＳ１５でＹｅｓの場合）、判断部４２は、穴部基準面積ＳＡ０に対する付着物認識面積ＳＡ１の割合が所定値を超えているか否かを判断する（ステップＳ１６）。
　上記所定値は、管状部材５０の使用を継続することが可能な許容値（上限値）であり、任意に設定することができる。上記所定値は、管状部材５０の種類ごとに設定することもできる。穴部基準面積ＳＡ０に対する付着物認識面積ＳＡ１の割合が所定値を超えている場合（ステップＳ１６でＹｅｓの場合）、判断部４２は、穴部５２に目詰まりが有る旨の案内を行う（ステップＳ１７）。例えば、判断部４２は、ノズルクリーナ３０の表示装置に、穴部５２に目詰まりが有る旨の案内を表示させることができる。
　なお、穴部５２に目詰まりが無い場合（ステップＳ１５でＮｏの場合）、検査装置４０による制御は、ステップＳ１６およびステップＳ１７に示す判断および処理を行わずに、ステップＳ１８に示す判断が行われる。また、穴部基準面積ＳＡ０に対する付着物認識面積ＳＡ１の割合が所定値以下の場合（ステップＳ１６でＮｏの場合）、検査装置４０による制御は、ステップＳ１７に示す処理を行わずに、ステップＳ１８に示す判断が行われる。
　例えば、管状部材５０が吸着ノズル７０の場合、付着物５３には、フラックス、部品９１の電極の剥がれ、基板９０上のごみ、埃などが含まれる。このように、付着物５３の種類が異なると、好適な第二閾値が変動する可能性がある。そこで、種類が異なる付着物５３に対応する複数の第二閾値が用意されていると良い。
　この場合、取得部４１は、種類が異なる付着物５３に対応する複数の第二閾値を順に用いて複数の第二画像６２を取得することができる。そして、判断部４２は、第一画像６１と複数の第二画像６２のうちの一つとの差分画像６３に基づいて穴部５２に目詰まりが有ると判断した場合に、当該判断に使用した第二画像６２に用いられた第二閾値に対応する付着物５３の種類を案内することができる。
　例えば、判断部４２が穴部５２に目詰まりが有ると判断した場合に、当該判断に使用した第二画像６２に用いられた第二閾値が、フラックスと穴部５２を識別するのに適した第二閾値であったと仮定する。この場合、判断部４２は、穴部５２に付着している付着物５３がフラックスの可能性がある旨を案内することができる。例えば、判断部４２は、ノズルクリーナ３０の表示装置に、付着物５３の種類（この場合、フラックス）を表示させることができる。
　判断部４２は、管状部材５０の先端部５１に欠けが有る場合においても、穴部５２の目詰まりの有無を判断することができる。図１６は、管状部材５０の先端部５１に欠けが有る場合の画像６０の一例を示している。同図は、管状部材５０の先端部５１の外縁部５１ｆ（外壁面５１ｂ）が認識された状態を示している。同図では、管状部材５０の先端部５１の内壁面５１ａの一部が欠損している。その結果、穴部５２の領域が、管状部材５０の先端部５１に欠けが無い場合と比べて、増加している。
　なお、管状部材５０の先端部５１の欠けが外壁面５１ｂに達すると、穴部５２の領域は、閉領域を形成することができなくなる。この場合、制御装置３５は、図１６の画像６０において、管状部材５０の先端部５１の外縁部５１ｆ（外壁面５１ｂ）を認識することができない（図８に示すステップＳ１２）。これにより、判断部４２は、外壁面５１ｂに達する管状部材５０の先端部５１の欠けを認識することができる。以下に示す管状部材５０の先端部５１の欠けは、内壁面５１ａが欠損している場合について、説明されている。
　図１７は、穴部５２に付着している付着物５３の一例を示している。同図は、図１６の画像６０において、穴部５２に付着している付着物５３の位置を示している。図１８は、第一画像６１の一例を示しており、図１９は、第二画像６２の一例を示している。第一画像６１および第二画像６２のいずれにおいても、管状部材５０の先端部５１の欠けに応じて、管状部材５０の先端部５１の領域が減少し、穴部５２の領域が増加している。よって、図２０に示すように、差分画像６３において、付着物５３を認識することができる。
　判断部４２は、取得部４１によって取得された第一画像６１に基づいて、管状部材５０の先端部５１の欠けの有無を判断することもできる。また、判断部４２は、先端部認識面積ＳＢ１と先端部基準面積ＳＢ０とに基づいて、管状部材５０の先端部５１の欠けの有無を案内することができる（図８に示すステップＳ１８～ステップＳ２０）。先端部認識面積ＳＢ１は、第一画像６１において管状部材５０の先端部５１として認識された領域の面積をいう。先端部基準面積ＳＢ０は、先端部５１に欠けが無い場合の管状部材５０の先端部５１の基準面積をいう。具体的には、先端部認識面積ＳＢ１は、図１１および図１８に示す第一画像６１の管状部材５０の先端部５１の領域（白色の領域）の面積に相当する。先端部基準面積ＳＢ０は、図１５に示す設計値を用いることができる。
　例えば、判断部４２は、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合が規定範囲に含まれない場合に、管状部材５０の先端部５１に欠けが有ると判断することができる。また、判断部４２は、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合が所定範囲に含まれない場合に、管状部材５０の先端部５１に欠けが有る旨の案内を行うことができる。上記の規定範囲および所定範囲は、同じ範囲であっても良く、異なる範囲であっても良い。上記の規定範囲および所定範囲は、管状部材５０の製造上のばらつきの範囲、管状部材５０の使用を継続することが可能な許容範囲などを考慮して、任意に設定することができる。例えば、規定範囲は、管状部材５０の製造上のばらつきの範囲に設定し、所定範囲は、管状部材５０の製造上のばらつきの範囲よりも広い範囲であって、管状部材５０の使用を継続することが可能な許容範囲に設定することができる。また、上記の規定範囲および所定範囲は、管状部材５０の種類ごとに設定することもできる。
　具体的には、判断部４２は、第一画像６１に基づいて、管状部材５０の先端部５１の欠けの有無を判断する（ステップＳ１８）。例えば、図１１に示す第一画像６１において、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合は、管状部材５０の製造上のばらつきの範囲に含まれると仮定する。この場合、判断部４２は、管状部材５０の先端部５１に欠けが無いと判断する。図１８に示す第一画像６１において、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合は、管状部材５０の製造上のばらつきの範囲を超えていると仮定する。この場合、判断部４２は、管状部材５０の先端部５１に欠けが有ると判断する。
　管状部材５０の先端部５１に欠けが有る場合（ステップＳ１８でＹｅｓの場合）、判断部４２は、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合が所定範囲に含まれるか否かを判断する（ステップＳ１９）。例えば、図１８に示す第一画像６１において、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合は、管状部材５０の使用を継続することが可能な許容範囲を超えていると仮定する。この場合、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合が所定範囲に含まれず（ステップＳ１９でＮｏの場合）、判断部４２は、管状部材５０の先端部５１に欠けが有る旨の案内を行う（ステップＳ２０）。例えば、判断部４２は、ノズルクリーナ３０の表示装置に、管状部材５０の先端部５１に欠けが有る旨の案内を表示させることができる。
　なお、管状部材５０の先端部５１に欠けが無い場合（ステップＳ１８でＮｏの場合）、検査装置４０による制御は、ステップＳ１９およびステップＳ２０に示す判断および処理を行わずに、一旦、終了する。また、例えば、図１８に示す第一画像６１において、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合は、管状部材５０の使用を継続することが可能な許容範囲に含まれると仮定する。この場合、先端部基準面積ＳＢ０に対する先端部認識面積ＳＢ１の割合が所定範囲に含まれ（ステップＳ１９でＹｅｓの場合）、検査装置４０による制御は、ステップＳ２０に示す処理を行わずに、一旦、終了する。
　２．検査方法
　検査装置４０について既述されていることは、検査方法についても同様に言える。具体的には、検査方法は、取得工程と、判断工程とを備える。取得部４１が行う制御は、取得工程に相当する。判断部４２が行う制御は、判断工程に相当する。
　３．実施形態の効果の一例
　検査装置４０によれば、第一画像６１および第二画像６２の差分画像６３に基づいて、付着物５３による穴部５２の目詰まりの有無を判断することができる。検査装置４０について上述されていることは、検査方法についても同様に言える。
４０：検査装置、４１：取得部、４２：判断部、４３：撮像装置、
４４：光源、５０：管状部材、５１：先端部、５２：穴部、５３：付着物、
６０：画像、６１：第一画像、６２：第二画像、６３：差分画像、
７０：吸着ノズル、９０：基板、９１：部品、ＳＡ０：穴部基準面積、
ＳＡ１：付着物認識面積、ＳＢ０：先端部基準面積、
ＳＢ１：先端部認識面積。

Claims (13)

  1. 　流体が流通可能な管状部材の先端部を前記流体の流通方向に沿った方向から撮像した画像において前記管状部材の前記先端部と前記管状部材の前記先端部の内部に形成される領域であって前記流体が流通可能な穴部とを識別可能な第一閾値を用いて前記画像を二値化処理した第一画像、および、前記画像において前記穴部と前記穴部に付着している付着物とを識別可能な第二閾値を用いて前記画像を二値化処理した第二画像を取得する取得部と、
    　前記取得部によって取得された前記第一画像および前記第二画像の差分画像に基づいて、前記付着物による前記穴部の目詰まりの有無を判断する判断部と、
    を備える検査装置。
  2. 　前記判断部は、前記第一画像および前記第二画像の同一位置の画素について、前記第一画像および前記第二画像のうちの一方の輝度値から他方の輝度値を減じて前記差分画像を取得する請求項１に記載の検査装置。
  3. 　前記判断部は、前記差分画像において前記付着物として認識された領域の面積である付着物認識面積と、前記穴部に目詰まりが無い場合の前記穴部の基準面積である穴部基準面積とに基づいて、前記穴部の目詰まりの有無を案内する請求項１または請求項２に記載の検査装置。
  4. 　前記判断部は、前記穴部基準面積に対する前記付着物認識面積の割合が所定値を超えている場合に、前記穴部に目詰まりが有る旨の案内を行う請求項３に記載の検査装置。
  5. 　前記取得部は、一枚の前記画像を用いて前記第一画像および前記第二画像を取得する請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の検査装置。
  6. 　前記取得部は、撮像条件が異なる二枚の前記画像のうちの一枚の前記画像を用いて前記第一画像を取得し、他の一枚の前記画像を用いて前記第二画像を取得する請求項１～請求項４のいずれか一項に記載の検査装置。
  7. 　前記撮像条件には、前記管状部材の前記先端部を照明する光源の照射方向、前記管状部材の前記先端部を撮像する撮像装置のシャッター速度および絞り値のうちの少なくとも一つが含まれる請求項６に記載の検査装置。
  8. 　前記取得部は、種類が異なる前記付着物に対応する複数の前記第二閾値を順に用いて複数の前記第二画像を取得し、
    　前記判断部は、前記第一画像と複数の前記第二画像のうちの一つとの前記差分画像に基づいて前記穴部に目詰まりが有ると判断した場合に、当該判断に使用した前記第二画像に用いられた前記第二閾値に対応する前記付着物の種類を案内する請求項１～請求項７のいずれか一項に記載の検査装置。
  9. 　前記判断部は、前記取得部によって取得された前記第一画像に基づいて、前記管状部材の前記先端部の欠けの有無を判断する請求項１～請求項８のいずれか一項に記載の検査装置。
  10. 　前記判断部は、前記第一画像において前記管状部材の前記先端部として認識された領域の面積である先端部認識面積と、前記先端部に欠けが無い場合の前記管状部材の前記先端部の基準面積である先端部基準面積とに基づいて、前記管状部材の前記先端部の欠けの有無を案内する請求項９に記載の検査装置。
  11. 　前記判断部は、前記先端部基準面積に対する前記先端部認識面積の割合が所定範囲に含まれない場合に、前記管状部材の前記先端部に欠けが有る旨の案内を行う請求項１０に記載の検査装置。
  12. 　前記管状部材は、基板に装着する部品を吸着する吸着ノズルである請求項１～請求項１１のいずれか一項に記載の検査装置。
  13. 　流体が流通可能な管状部材の先端部を前記流体の流通方向に沿った方向から撮像した画像において前記管状部材の前記先端部と前記管状部材の前記先端部の内部に形成される領域であって前記流体が流通可能な穴部とを識別可能な第一閾値を用いて前記画像を二値化処理した第一画像、および、前記画像において前記穴部と前記穴部に付着している付着物とを識別可能な第二閾値を用いて前記画像を二値化処理した第二画像を取得する取得工程と、
    　前記取得工程によって取得された前記第一画像および前記第二画像の差分画像に基づいて、前記付着物による前記穴部の目詰まりの有無を判断する判断工程と、
    を備える検査方法。
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