JP2021050777A

JP2021050777A - 装置

Info

Publication number: JP2021050777A
Application number: JP2019174173A
Authority: JP
Inventors: 航太朗阿部; Kotaro Abe; 一貴寺田; Kazutaka Terada
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2019-09-25
Filing date: 2019-09-25
Publication date: 2021-04-01

Abstract

【課題】アクチュエータを備え、このアクチュエータに異常が発生しているか否かを簡単かつ適切に判定できる装置を提供する。【解決手段】流体が供給されるシリンダと、シリンダに挿入されるピストンロッドと、を含み、シリンダに供給される流体によってピストンロッドが第１位置と第２位置との間を移動するアクチュエータと、アクチュエータに異常が発生しているか否かを判定する判定ユニット５６と、を備える装置であって、判定ユニットは、ピストンロッドを第１位置から第２位置へと移動させる際に要する時間を測定する測定部５６ａと、時間の基準値が記憶される基準値記憶部５６ｃと、測定部によって測定された時間と基準値記憶部に記憶された基準値とを比較して、測定部によって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲外である場合にアクチュエータに異常が発生していると判定する判定部５６ｂと、を含む。【選択図】図４

Description

本発明は、流体によって駆動されるアクチュエータを備えた装置に関する。

電子機器に組み込まれるデバイスチップの製造工程では、半導体ウェーハや樹脂パッケージ基板に代表される板状の被加工物が、切削装置やレーザー加工装置等の加工装置によって加工される。これらの加工装置は、一般に、エア等の流体によって駆動されるアクチュエータを備えている（例えば、特許文献１参照）。

このアクチュエータは、例えば、外部から流体が供給されるシリンダと、シリンダに挿入されるピストンロッドと、を含んでいる。シリンダへの流体の供給を制御することによって、ピストンロッドは、２つの位置の間を移動する。シリンダにはセンサが取り付けられており、ピストンロッドの位置は、このセンサによって検出される。

特開２００７−９８５３６号公報

上述のようなアクチュエータは、周囲を汚染することなく高速に動作するので、クリーンルーム内に設置される加工装置等の駆動源に適している。一方で、この種のアクチュエータは、流体を供給する配管とシリンダとの接続に不具合が生じたり、ピストンロッドが変形したりすると、正常に動作しなくなってしまう。

アクチュエータが正常に動作しなくなると、被加工物の加工に悪影響を与える可能性が高いので、このような場合には、アクチュエータの調整や修理等をできる限り速やかに実行する必要がある。しかしながら、これまでのところ、アクチュエータに異常が発生しているか否かを簡単且つ適切に検出できる技術が存在しなかった。

本発明はかかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、アクチュエータを備え、このアクチュエータに異常が発生しているか否かを簡単かつ適切に判定できる装置を提供することである。

本発明の一態様によれば、流体が供給されるシリンダと、該シリンダに挿入されるピストンロッドと、を含み、該シリンダに供給される流体によって該ピストンロッドが第１位置と第２位置との間を移動するアクチュエータと、該アクチュエータに異常が発生しているか否かを判定する判定ユニットと、を備え、該判定ユニットは、該ピストンロッドを該第１位置から該第２位置へと移動させる際に要する時間を測定する測定部と、該時間の基準値が記憶される基準値記憶部と、該測定部によって測定された該時間と該基準値記憶部に記憶された該基準値とを比較して、該測定部によって測定された該時間が該基準値によって規定される時間の範囲内である場合に該アクチュエータに異常が発生していないと判定し、該測定部によって測定された該時間が該基準値によって規定される時間の範囲外である場合に該アクチュエータに異常が発生していると判定する判定部と、該判定部によって該アクチュエータに異常が発生していると判定された場合に該判定の結果を報知する報知部と、を含む装置が提供される。

本発明の一態様にかかる装置は、ピストンロッドを第１位置から第２位置へと移動させる際に要する時間を測定する測定部と、時間の基準値が記憶される基準値記憶部と、測定部によって測定された時間と基準値記憶部に記憶された基準値とを比較して、測定部によって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲内である場合にアクチュエータに異常が発生していないと判定し、測定部によって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲外である場合にアクチュエータに異常が発生していると判定する判定部と、を含む判定ユニットを備えている。よって、ピストンロッドを第１位置から第２位置へと移動させるだけで、アクチュエータに異常が発生しているか否かを簡単且つ適切に判定できる。

図１は、切削装置を模式的に示す斜視図である。図２は、切削装置が備えるアクチュエータの構造を模式的に示す断面図である。図３（Ａ）は、アクチュエータのピストン及びピストンロッドが縮み位置にある状態を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、アクチュエータのピストン及びピストンロッドが伸び位置にある状態を模式的に示す断面図である。図４は、切削装置が備える制御ユニット等を模式的に示す機能ブロック図である。図５（Ａ）は、制御ユニットの測定部による測定の結果の第１例を示すグラフであり、図５（Ｂ）は、制御ユニットの測定部による測定の結果の第２例を示すグラフである。

添付図面を参照して、本発明の実施形態について説明する。図１は、本実施形態にかかる切削装置（装置）２を模式的に示す斜視図である。なお、以下の説明で用いられるＸ軸方向（加工送り方向、前後方向）、Ｙ軸方向（割り出し送り方向、左右方向）、及びＺ軸方向（高さ方向、上下方向）は、互いに垂直である。

図１に示すように、切削装置２は、各構成要素を支持する基台４を備えている。基台４の角部には、開口４ａが形成されており、この開口４ａには、昇降機構（不図示）によって昇降するカセット支持台６が配置されている。カセット支持台６の上面には、複数の被加工物１１を収容できるカセット８が載せられる。なお、図１では、説明の便宜上、カセット８の輪郭のみを示している。

被加工物１１は、例えば、シリコン等の半導体を用いて形成された円盤状のウェーハ（半導体ウェーハ）である。この被加工物１１の表面側は、互いに交差する複数の分割予定ライン（ストリート）によって複数の小領域に区画されており、各小領域には、ＩＣ（Integrated Circuit）等のデバイスが形成されている。

被加工物１１の裏面側には、被加工物１１よりも径の大きいテープ（ダイシングテープ）１３が貼付されている。テープ１３の外周部分は、被加工物１１を囲む環状のフレーム１５に固定されている。被加工物１１は、このテープ１３を介してフレーム１５に支持された状態でカセット８に収容される。

なお、本実施形態では、シリコン等の半導体を用いて形成された円盤状のウェーハを被加工物１１としているが、被加工物１１の材質、形状、構造、大きさ等に制限はない。例えば、他の半導体、セラミックス、樹脂、金属等を用いて形成された基板等を被加工物１１として用いることもできる。

同様に、デバイスの種類、数量、形状、構造、大きさ、配置等にも制限はない。被加工物１１には、デバイスが形成されていなくても良い。また、テープ１３は、被加工物１１の表面側に貼付されても良い。テープ１３に代えて、保護プレート等を被加工物１１に貼付することもできる。

開口４ａの側方には、Ｘ軸方向に長い開口４ｂが形成されている。開口４ｂ内には、Ｘ軸移動テーブル（不図示）をＸ軸方向に移動させるボールねじ式のＸ軸移動機構（加工送りユニット）１０が配置されている。Ｘ軸移動テーブルの上方には、テーブルカバー１０ａが配置されている。また、テーブルカバー１０ａの前後には、蛇腹状の防塵防滴カバー１０ｂが取り付けられている。

Ｘ軸移動テーブルの上部には、加工の際に被加工物１１を保持するチャックテーブル１２が、テーブルカバー１０ａから露出する態様で取り付けられている。チャックテーブル１２は、モータ等の回転駆動源（不図示）に接続されており、Ｚ軸方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。また、チャックテーブル１２は、上述したＸ軸移動機構１０によってＸ軸移動テーブル等とともにＸ軸方向に移動する（加工送り）。

チャックテーブル１２の上面の一部は、被加工物１１を保持する保持面１２ａになる。この保持面１２ａは、チャックテーブル１２の内部に形成された吸引路（不図示）等を介して吸引源（不図示）に接続されている。また、チャックテーブル１２の周囲には、被加工物１１を支持するフレーム１５を固定できる４個のクランプ１４が設けられている。

開口４ｂの上方には、Ｙ軸方向に平行な状態を維持しながら接近、離隔される一対のガイドレール１６が配置されている。一対のガイドレール１６は、それぞれ、フレーム１５を下方から支持する支持面と、支持面に概ね垂直な側面とを備え、カセット８から引き出されたフレーム１５をＸ軸方向において挟み込んで所定の位置に合わせる。

基台４の上方には、門型の第１支持構造１８が開口４ｂを跨ぐように配置されている。第１支持構造１８の前面（ガイドレール１６側の面）には、Ｙ軸駆動用のアクチュエータ２０やＺ軸駆動用のアクチュエータ２２等を介して第１保持ユニット２４が設けられている。

第１保持ユニット２４は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着し、Ｙ軸駆動用のアクチュエータ２０によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸駆動用のアクチュエータ２２によってＺ軸方向に移動する。第１保持ユニット２４の開口４ａ側には、フレーム１５を把持できる把持機構２４ａが設けられている。

例えば、把持機構２４ａでフレーム１５を把持してから第１保持ユニット２４をＹ軸方向に移動させれば、カセット８内のフレーム１５を一対のガイドレール１６に引き出し、又は、一対のガイドレール１６上のフレーム１５をカセット８に挿入できる。なお、一対のガイドレール１６でフレーム１５の位置を合わせた後には、第１保持ユニット２４でこのフレーム１５（被加工物１１）を吸着してチャックテーブル１２へと搬送する。

また、第１支持構造１８の前面には、アクチュエータ２０の上方に配置されたＹ軸駆動用のアクチュエータ２６やＺ軸駆動用のアクチュエータ２８等を介して第２保持ユニット３０が設けられている。第２保持ユニット３０は、例えば、フレーム１５の上面に接触してこのフレーム１５を吸着し、Ｙ軸駆動用のアクチュエータ２６によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸駆動用のアクチュエータ２８によってＺ軸方向に移動する。

第１支持構造１８の後方には、門型の第２支持構造３２が配置されている。第２支持構造３２の前面（第１支持構造１８側の面）には、それぞれボールねじ式のＹ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）３４を介して２組の切削ユニット（加工ユニット）３６が設けられている。各切削ユニット３６は、対応するＹ軸Ｚ軸移動機構３４によってＹ軸方向に移動する（割り出し送り）とともに、Ｚ軸方向に移動する（切り込み送り）。

各切削ユニット３６は、Ｙ軸方向に概ね平行な回転軸となるスピンドル（不図示）を備えている。各スピンドルの一端側には、円環状の切削ブレード３８が装着されている。各スピンドルの他端側には、モータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。また、切削ブレード３８の傍には、被加工物１１や切削ブレード３８に純水等の液体を供給できるノズルが配置されている。

このノズルから液体を供給しながら、回転させた切削ブレード３８をチャックテーブル１２に保持された被加工物１１に切り込ませることで、被加工物１１を切削加工できる。切削ユニット３６に隣接する位置には、チャックテーブル１２に保持された被加工物１１等を撮像するための撮像ユニット４０が設けられている。この撮像ユニット４０も、Ｙ軸Ｚ軸移動機構３４によってＹ軸方向に移動するとともに、Ｚ軸方向に移動する。

基台４の後側には、切削ユニット３６の切削ブレード３８を自動で交換できるオートブレードチェンジャー４２が配置されている。オートブレードチェンジャー４２は、切削ブレード３８をスピンドルに固定するナット（不図示）を着脱する際に使用されるナット着脱ユニット４４と、切削ブレード３８を着脱する際に使用されるブレード着脱ユニット４６と、を含む。

ナット着脱ユニット４４は、ナットを把持できるように構成された円筒状のナット把持部４４ａを備えている。ナット把持部４４ａには、Ｙ軸駆動用のアクチュエータ４４ｂが接続されており、ナット把持部４４ａは、このアクチュエータ４４ｂによってＹ軸方向に移動する。また、ナット把持部４４ａには、モータ等の回転駆動源（不図示）が接続されており、ナット把持部４４ａは、この回転駆動源によってＺ軸方向に概ね平行な回転軸の周りに回転する。

一方で、ブレード着脱ユニット４６は、切削ブレード３８を把持できるように構成された円筒状のブレード把持部４６ａを備えている。ブレード把持部４６ａには、Ｙ軸駆動用のアクチュエータ４６ｂが接続されており、ブレード把持部４６ａは、このアクチュエータ４６ｂによってＹ軸方向に移動する。

ナット着脱ユニット４４とブレード着脱ユニット４６とは、移動機構（不図示）に支持されており、この移動機構によって、切削ユニット３６に隣接する着脱位置と、着脱位置の後方の退避位置と、の間を移動する。退避位置には、切削ブレード３８を掛けることのできるブレードラック４８が設けられている。

開口４ｂに対して開口４ａと反対側の位置には、洗浄ユニット５０が配置されている。洗浄ユニット５０は、筒状の洗浄空間内で被加工物１１を保持するテーブル５２を備えている。テーブル５２の下部には、テーブル５２を所定の速さで回転させるモータ等の回転駆動源（不図示）が接続されている。

テーブル５２の上方には、テーブル５２により保持された被加工物１１に向けて洗浄用の流体（代表的には、水とエアーとを混合した混合流体）を噴射するノズル５４が配置されている。被加工物１１を保持したテーブル５２を回転させて、ノズル５４から洗浄用の流体を噴射することで、被加工物１１は洗浄される。

切削ユニット３６で被加工物１１を切削加工した後には、例えば、第２保持ユニット３０でフレーム１５を吸着して洗浄ユニット５０へと搬入する。洗浄ユニット５０で被加工物１１を洗浄した後には、例えば、第１保持ユニット２４でフレーム１５を吸着して一対のガイドレール１６に載せ、その後、フレーム１５を把持機構２４ａで把持してカセット８に収容する。

カセット支持台６を昇降させる昇降機構、Ｘ軸移動機構１０、チャックテーブル１２に接続された回転駆動源、一対のガイドレール１６、アクチュエータ２０、アクチュエータ２２、第１保持ユニット２４、アクチュエータ２６、アクチュエータ２８、第２保持ユニット３０、Ｙ軸Ｚ軸移動機構３４、切削ユニット３６、撮像ユニット４０、オートブレードチェンジャー４２、洗浄ユニット５０等の構成要素には、制御ユニット（判定ユニット）５６が接続されている。

制御ユニット５６は、被加工物１１の適切な切削加工が実現されるように、各構成要素を制御する。制御ユニット５６は、代表的には、ＣＰＵ（Central Processing Unit）等の処理装置や、フラッシュメモリ等の記憶装置を含むコンピュータによって構成される。記憶装置に記憶されたソフトウェアに従い処理装置等を動作させることによって、制御ユニット５６の機能が実現される。

上述した各構成要素は、切削装置２の外観を構成するカバー（不図示）によって覆われている。このカバーの側面には、ユーザインタフェースとなるタッチパネル（報知ユニット）５８が設けられている。また、カバーの上面には、表示灯（報知ユニット）６０が配置されている。タッチパネル５８や表示灯６０も、制御ユニット５６に接続されている。

図２は、本実施形態の切削装置２が備えるアクチュエータ２２の構造を模式的に示す断面図である。なお、本実施形態のアクチュエータ２０、アクチュエータ２２、アクチュエータ２６、アクチュエータ２８、アクチュエータ４４ｂ及びアクチュエータ４６ｂの基本的な構造は同じである。よって、ここでは、アクチュエータ２２の構造についてのみ説明する。

図２に示すように、本実施形態のアクチュエータ２２は、一端が閉じられた円筒状のシリンダ６２を備えている。つまり、シリンダ６２の他端側には、シリンダ６２の内側の空間６２ａとシリンダ６２の外部とを接続する円形の開口６２ｂが設けられている。空間６２ａ内には、空間６２ａに対応する大きさの円柱状のピストン６４がシリンダ６２の長手方向（円筒の高さに相当する方向）にスライドできる態様で収容されている。

ピストン６４の開口６２ｂ側の面には、開口６２ｂに対応する太さの棒状のピストンロッド６６の一端（基端）が接続されている。ピストンロッド６６の他端側（先端側）の一部は、開口６２ｂを通じてシリンダ６２の外部に露出しており、この他端側の一部には、上述した第１保持ユニット２４が接続されている。つまり、ピストンロッド６６は、開口６２ｂを通じてシリンダ６２の内側の空間６２ａに挿入されている。このピストンロッド６６は、ピストン６４とともにシリンダ６２の長手方向にスライドする。

シリンダ６２の一端側の側壁には、エア（流体）を通過させる第１流路６２ｃが形成されている。第１流路６２ｃには、配管等を介してエアの供給源（不図示）や吸引源（不図示）が接続されている。また、この配管内には、供給源からのエアの供給又は吸引源によるエアの排出を選択し、且つ、エアの流量を調整できるように構成されたバルブが設けられている。

そのため、バルブによってエアの流れを制御することで、ピストン６４により仕切られる空間６２ａのうちのシリンダ６２の一端側（以下、空間６２ａの一端側）に所望の流量でエアを供給したり、この空間６２ａの一端側から所望の流量でエアを排出したりすることができる。

同様に、シリンダ６２の他端側の側壁には、エア（流体）を通過させる第２流路６２ｄが形成されている。第２流路６２ｄには、配管等を介してエアの供給源（不図示）や吸引源（不図示）が接続されている。また、この配管内には、供給源からのエアの供給又は吸引源によるエアの排出を選択し、且つ、エアの流量を調整できるように構成されたバルブが設けられている。

そのため、バルブによってエアの流れを制御することで、ピストン６４により仕切られる空間６２ａのうちのシリンダ６２の他端側（以下、空間６２ａの他端側）に所望の流量でエアを供給したり、この空間６２ａの他端側から所望の流量でエアを排出したりすることができる。

上述のように、ピストン６４は、シリンダ６２の長手方向に沿ってスライドできるように空間６２ａ内に収容されている。そのため、空間６２ａの一端側にエアを供給し、空間６２ａの他端側からエアを排出すると、空間６２ａの一端側の圧力と空間６２ａの他端側の圧力とが変化して、シリンダ６２の一端から他端へと向かう方向（以下、第１方向）にピストン６４が移動する。

一方で、空間６２ａの一方側からエアを排出し、空間６２ａの他端側にエアを供給すると、空間６２ａの一端側の圧力と空間６２ａの他端側の圧力とが変化して、シリンダ６２の他端から一端へと向かう方向（以下、第２方向）にピストン６４が移動する。空間６２ａの一端側には、第１ストッパー６２ｅが配置されており、空間６２ａの他端側には、第２ストッパー６２ｆが配置されている。

そのため、ピストン６４が第１方向へ移動して第１ストッパー６２ｅに接触すると、ピストン６４及びピストンロッド６６は、この第１ストッパー６２ｅによって決まる縮み位置（第１位置）で止まる。同様に、ピストン６４が第２方向へ移動して第２ストッパー６２ｆに接触すると、ピストン６４及びピストンロッド６６は、この第２ストッパー６２ｆによって決まる伸び位置（第２位置）で止まる。

図３（Ａ）は、アクチュエータ２２のピストン６４及びピストンロッド６６が縮み位置にある状態を模式的に示す断面図であり、図３（Ｂ）は、アクチュエータ２２のピストン６４及びピストンロッド６６が伸び位置にある状態を模式的に示す断面図である。このように、本実施形態のアクチュエータ２２は、シリンダ６２に供給されるエアとシリンダ６２から排出されるエアとによってピストン６４及びピストンロッド６６が縮み位置と伸び位置との間を移動する空気圧型のアクチュエータ（いわゆる、エアシリンダ）である。

シリンダ６２の外部には、センサユニット６８が設けられている。センサユニット６８は、例えば、シリンダ６２の一端側に配置される第１マグネットセンサ６８ａと、シリンダ６２の他端側に配置される第２マグネットセンサ６８ｂと、を含み、ピストン６４の移動によって変化する磁界に基づいて、ピストン６４及びピストンロッド６６の位置を検知する。

図４は、本実施形態の切削装置２が備える制御ユニット５６等を模式的に示す機能ブロック図である。なお、ここでは、主に、制御ユニット５６とアクチュエータ２２との関係について説明するが、制御ユニット５６と、アクチュエータ２０、アクチュエータ２６、アクチュエータ２８、アクチュエータ４４ｂ又はアクチュエータ４６ｂ等との関係も同じである。

図４に示すように、制御ユニット５６は、アクチュエータ２２のセンサユニット６８に接続された測定部５６ａを備えている。この測定部５６ａは、センサユニット６８によって検知されるピストン６４及びピストンロッド６６の位置の情報を利用して、ピストン６４及びピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置まで移動させる際に要する時間、又はピストン６４及びピストンロッド６６を伸び位置から縮み位置まで移動させる際に要する時間を測定する。

測定部５６ａによって測定された時間の情報は、制御ユニット５６が備える判定部５６ｂへと送られる。判定部５６ｂは、所定の基準値が記憶される基準値記憶部５６ｃに対してアクセスできるように構成されている。基準値記憶部５６ｃに記憶される基準値は、例えば、測定部５６ａによって測定される時間の許容範囲に基づいて予め決定され、アクチュエータ２２に異常が発生しているか否かを判定する際の基準として用いられる。

具体的には、判定部５６ｂは、測定部５６ａによって測定された時間と、基準値記憶部５６ｃに記憶された基準値と、を比較して、測定部５６ａによって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲（すなわち、許容範囲）内であるか否かを判定する。基準値としては、代表的には、許容範囲の下限値と上限値とが採用される。

測定部５６ａによって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲内である場合、判定部５６ｂは、アクチュエータ２２に異常が発生していないと判定する。これに対して、測定部５６ａによって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲外である場合、判定部５６ｂは、アクチュエータ２２に異常が発生していると判定する。

ここで、ピストン６４及びピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置まで移動させる際に要する時間の基準値として、ＡとＢとが記憶されている場合を考える（Ａ＜Ｂ）。例えば、ピストン６４及びピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置まで移動させる際に測定部５６ａによって測定された時間をΔｔとして、Ａ≦Δｔ≦Ｂを満たす場合、判定部５６ｂは、アクチュエータ２２に異常が発生していないと判定する。

一方で、Δｔ＜Ａ、又は、Ｂ＜Δｔを満たす場合、判定部５６ｂは、アクチュエータ２２に異常が発生していると判定する。このように、実際に測定される時間Δｔと、基準値Ａ、Ｂとを比較することで、アクチュエータ２２に異常が発生しているか否かを簡単且つ適切に判定できるようになる。

なお、ここでは、基準値として、許容範囲の下限値と上限値とを採用する場合を例に挙げたが、他の値を基準値としても良い。また、ここでは、ピストン６４及びピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置まで移動させる際に要する時間を測定する場合を例に挙げたが、ピストン６４及びピストンロッド６６を伸び位置から縮み位置まで移動させる際に要する時間を測定する場合も同様である。

判定部５６ｂによる判定の結果は、制御ユニット５６内の報知部５６ｄへと送られる。報知部５６ｄは、タッチパネル５８や表示灯６０に接続されており、例えば、判定部５６ｂによってアクチュエータ２２に異常が発生していると判定された場合には、タッチパネル５８や表示灯６０によってこの判定の結果を報知する。

具体的には、例えば、報知部５６ｄは、アクチュエータ２２に異常が発生していることを示す文字や画像等をタッチパネル５８に表示させる。また、例えば、報知部５６ｄは、表示灯６０を発光、又は点滅させる。これにより、切削装置２のオペレータ等は、アクチュエータ２２に異常が発生していることを認識できる。なお、報知部５６ｄは、判定部５６ｂによってアクチュエータ２２に異常が発生していないと判定された場合にも、タッチパネル５８や表示灯６０によってこの判定の結果を報知して良い。

図５（Ａ）は、制御ユニット５６の測定部５６ａによる測定の結果の第１例を示すグラフであり、図５（Ｂ）は、測定部５６ａによる測定の結果の第２例を示すグラフである。なお、図５（Ａ）及び図５（Ｂ）の横軸は、測定部５６ａによる測定が行われた時点ｔを表しており、縦軸は、測定部５６ａによって測定された時間Δｔを表している。

図５（Ａ）の第１例では、時点がｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４、ｔ_５、ｔ_６と進むにつれて、移動に要する時間Δｔが短くなっている。そして、時点ｔ_６で測定される時間Δｔが、基準値Ａを下回っている。そのため、時点ｔ_６での測定が行われた後には、判定部５６ｂによってアクチュエータ２２に異常が発生していると判定されることになる。

図５（Ｂ）の第２例では、時点がｔ_１、ｔ_２、ｔ_３、ｔ_４、ｔ_５、ｔ_６と進むにつれて、移動に要する時間Δｔが長くなっている。そして、時点ｔ_６で測定される時間Δｔは、基準値Ｂを上回っている。そのため、時点ｔ_６での測定が行われた後には、判定部５６ｂによってアクチュエータ２２に異常が発生していると判定されることになる。

なお、第１例のように時間Δｔが短くなるのは、例えば、エアの流量が正常時より多くなっているためであり、エアの供給及び排出を制御するコントローラの故障等が原因と考えられる。また、第２例のように時間Δｔが長くなるのは、例えば、エアの流量が正常時より少なくなっているため、又は、可動部の抵抗が大きくなっているためであり、ピストンロッド６６等の変形、エアの供給及び排出を制御するコントローラの故障、配管の不具合等が原因と考えられる。

以上のように、本実施形態の切削装置２は、ピストンロッド６６を縮み位置（第１位置）から伸び位置（第２位置）へと移動させる際に要する時間を測定する測定部５６ａと、時間の基準値が記憶される基準値記憶部５６ｃと、測定部５６ａによって測定された時間と基準値記憶部５６ｃに記憶された基準値とを比較して、測定部５６ａによって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲内である場合にアクチュエータ２２に異常が発生していないと判定し、測定部５６ａによって測定された時間が基準値によって規定される時間の範囲外である場合にアクチュエータ２２に異常が発生していると判定する判定部５６ｂと、を含む制御ユニット（判定ユニット）５６を備えている。よって、ピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置へと移動させるだけで、アクチュエータ２２に異常が発生しているか否かを簡単且つ適切に判定できる。

なお、本発明は、上述した実施形態の記載に制限されず種々変更して実施可能である。例えば、上述した実施形態では、空気圧型のアクチュエータ２２等を備える切削装置２を例示したが、本発明のアクチュエータは、少なくとも流体によって駆動されるものであれば良い。例えば、オイルによって駆動される油圧型のアクチュエータを用いることもできる。

また、例えば、上述した実施形態では、板状の被加工物１１を切削加工する際に用いられる切削装置２について説明したが、本発明の装置は、少なくともシリンダに供給される流体によってピストンロッドが２つの位置（第１位置及び第２位置）の間を移動するアクチュエータを含んでいれば、必ずしも切削装置２でなくて良い。

例えば、本発明の装置には、被加工物をレーザービームによって加工する際に用いられるレーザー加工装置や、被加工物を研削加工する際に用いられる研削装置、被加工物を研磨加工する際に用いられる研磨装置等が含まれる。また、本発明の装置は、必ずしも加工装置でなくて良い。例えば、対象を洗浄する際に用いられる洗浄装置等も、本発明の装置に含まれる。

また、上述した実施形態では、ピストン６４及びピストンロッド６６を縮み位置から伸び位置まで移動させる際に要する時間を測定する例を主に説明したが、ピストン６４及びピストンロッド６６を伸び位置から縮み位置まで移動させる際に要する時間が測定されても良い。すなわち、移動の開始点である第１位置と、移動の終了点である第２位置と、の関係を任意に入れ替えることができる。

その他、上述した実施形態や変形例等にかかる構造、方法等は、本発明の目的の範囲を逸脱しない限りにおいて適宜変更して実施できる。

２：切削装置（装置）
４：基台
４ａ：開口
４ｂ：開口
６：カセット支持台
８：カセット
１０：Ｘ軸移動機構（加工送りユニット）
１０ａ：テーブルカバー
１０ｂ：防塵防滴カバー
１２：チャックテーブル
１２ａ：保持面
１４：クランプ
１６：ガイドレール
１８：第１支持構造
２０：アクチュエータ
２２：アクチュエータ
２４：第１保持ユニット
２４ａ：把持機構
２６：アクチュエータ
２８：アクチュエータ
３０：第２保持ユニット
３２：第２支持構造
３４：Ｙ軸Ｚ軸移動機構（割り出し送りユニット、切り込み送りユニット）
３６：切削ユニット（加工ユニット）
３８：切削ブレード
４０：撮像ユニット
４２：オートブレードチェンジャー
４４：ナット着脱ユニット
４４ａ：ナット把持部
４４ｂ：アクチュエータ
４６：ブレード着脱ユニット
４６ａ：ブレード把持部
４６ｂ：アクチュエータ
４８：ブレードラック
５０：洗浄ユニット
５２：テーブル
５４：ノズル
５６：制御ユニット（判定ユニット）
５６ａ：測定部
５６ｂ：判定部
５６ｃ：基準値記憶部
５６ｄ：報知部
５８：タッチパネル（報知ユニット）
６０：表示灯（報知ユニット）
６２：シリンダ
６２ａ：空間
６２ｂ：開口
６２ｃ：第１流路
６２ｄ：第２流路
６２ｅ：第１ストッパー
６２ｆ：第２ストッパー
６４：ピストン
６６：ピストンロッド
６８：センサユニット
６８ａ：第１マグネットセンサ
６８ｂ：第２マグネットセンサ
１１：被加工物
１３：テープ（ダイシングテープ）
１５：フレーム

Claims

流体が供給されるシリンダと、該シリンダに挿入されるピストンロッドと、を含み、該シリンダに供給される流体によって該ピストンロッドが第１位置と第２位置との間を移動するアクチュエータと、
該アクチュエータに異常が発生しているか否かを判定する判定ユニットと、を備え、
該判定ユニットは、
該ピストンロッドを該第１位置から該第２位置へと移動させる際に要する時間を測定する測定部と、
該時間の基準値が記憶される基準値記憶部と、
該測定部によって測定された該時間と該基準値記憶部に記憶された該基準値とを比較して、該測定部によって測定された該時間が該基準値によって規定される時間の範囲内である場合に該アクチュエータに異常が発生していないと判定し、該測定部によって測定された該時間が該基準値によって規定される時間の範囲外である場合に該アクチュエータに異常が発生していると判定する判定部と、
該判定部によって該アクチュエータに異常が発生していると判定された場合に該判定の結果を報知する報知部と、を含むことを特徴とする装置。