JP6957102B2 - 切削装置の基準位置検出方法 - Google Patents
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Description
4 基台
4a,4b,4c 開口
6 カセット支持台
8 カセット
10 X軸移動機構
10a X軸移動テーブル
12 防塵防滴カバー
14,14−1,14−2 チャックテーブル
14a 保持面
16 クランプ
22 切削ユニット
24 支持構造
26 切削ユニット移動機構(切り込み送りユニット)
26a 高さ測定部
28 Y軸ガイドレール
30 Y軸移動プレート
32 Y軸ボールネジ
34 Y軸パルスモータ
36 Z軸ガイドレール
38 Z軸移動プレート
40 Z軸ボールネジ
42 Z軸パルスモータ
44 スピンドル
46 スピンドルハウジング
48 切削ブレード
50 スイッチ
52 直流電源
54 電流計
56 撮像ユニット(カメラ)
56a レンズ
56b 撮像素子
58 洗浄ユニット
60 制御ユニット
60a 処理部
60b 記憶部
11 被加工物
13 デバイス
15 粘着テープ(ダイシングテープ)
17 フレーム
Claims (5)
- 被加工物を保持する保持面を有するチャックテーブルと、切削ブレードが装着されるスピンドルを有し該チャックテーブルに保持された被加工物を該切削ブレードで切削する切削ユニットと、該切削ユニットを該保持面に垂直な方向に移動させる切り込み送りユニットと、該切り込み送りユニットで該切削ユニットを移動させて該切削ブレードを該チャックテーブルに接触させることにより、該切削ブレードと該チャックテーブルとの導通に基づき該切削ブレードと該チャックテーブルとが接触する際の該切削ユニットの高さを基準位置として検出する基準位置検出ユニットと、該切削ユニットとともに該保持面に垂直な方向に移動し該チャックテーブルの該保持面側を撮影するカメラと、を備える切削装置で該基準位置を検出する切削装置の基準位置検出方法であって、
該チャックテーブルの該保持面を該カメラで撮影しながら該保持面に垂直な方向に該カメラを移動させて、該保持面に該カメラの焦点が合う際の該切削ユニットの高さに基づき該切削ブレードと該チャックテーブルとが接触する際の該切削ユニットの高さを概算する概算ステップと、
該概算ステップで概算された該切削ユニットの高さに該カメラの被写界深度を加えた高さ以上の高さを下限高さに設定する下限高さ設定ステップと、
該切削ユニットを該保持面に向かって第1速度で該下限高さまで移動させる接近ステップと、
該接近ステップの後に、該切削ユニットを該保持面に向かって該第1速度より小さい第2速度で移動させることにより、該切削ブレードを該保持面に接触させて該基準位置を検出する接触検出ステップと、を備えることを特徴とする切削装置の基準位置検出方法。 - 該概算ステップの前に、該保持面に該切削ブレードを接触させて該基準位置を検出し、該保持面に垂直な方向に該カメラを移動させて該保持面に該カメラの焦点が合う際の該切削ユニットの高さを検出することで、該基準位置と、該保持面に該カメラの焦点が合う際の該切削ユニットの高さと、の関係を登録する位置関係登録ステップを更に備えることを特徴とする請求項1に記載の切削装置の基準位置検出方法。
- 該位置関係登録ステップの後、該チャックテーブルを交換する交換ステップを更に備えることを特徴とする請求項2に記載の切削装置の基準位置検出方法。
- 該下限高さは、該概算ステップで概算された該切削ユニットの高さに該被写界深度と該切削ブレードの偏心量とを加えた高さ以上の高さに設定されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の切削装置の基準位置検出方法。
- 該概算ステップでは、該切削ブレードを接触させる該保持面の対象領域を該カメラで撮影しながら該保持面に垂直な方向に該カメラを移動させて、該保持面の該対象領域に該カメラの焦点が合う際の該切削ユニットの高さに基づき、該切削ブレードと該チャックテーブルとが接触する際の該切削ユニットの高さを概算することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載の切削装置の基準位置検出方法。
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2017
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