JP7282458B2 - 保持テーブル及び加工装置 - Google Patents
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Description
4 :基台
8 :X軸Y軸移動機構
10 :X軸ガイドレール
10a :X軸スケール
12 :X軸移動テーブル
14 :X軸ボールネジ
16 :X軸パルスモータ
20 :Y軸ガイドレール
20a :Y軸スケール
22 :Y軸移動テーブル
22a :底板部
22b :側板部
22c :天板部
22d :空間
22e :ナット部
24 :Y軸ボールネジ
26 :Y軸パルスモータ
28 :保持テーブル(チャックテーブル)
30 :枠体
30a :開口部
30b :プーリー部
30c :クランプ
32 :保持部材
32a :表面
32b :裏面
32c :吸引路
32d :開口部
34 :吸引源
36 :被覆層
38 :回転駆動源
38a :プーリー
40 :ベルト
42 :支持構造
44 :Z軸移動機構
46 :Z軸ガイドレール
48 :切削ユニット(加工ユニット)
50 :スピンドルハウジング
52 :Z軸ボールネジ
54 :Z軸パルスモータ
56 :切削ブレード
58 :上部撮像ユニット
62 :撮像ユニット支持構造
64 :撮像ユニット移動機構
66 :Z軸ガイドレール
68 :Z軸移動プレート
70 :Z軸ボールネジ
72 :Z軸パルスモータ
74 :支持アーム
76 :下部撮像ユニット
78 :照明装置
80 :カメラ
82 :制御ユニット
92 :保持部材
92a :透明部
92b :吸引部
92c :枠部
11 :被加工物
11a :表面
11b :裏面
13 :テープ(ダイシングテープ)
15 :フレーム
Claims (3)
- 被加工物を保持する際に使用される保持テーブルであって、
表面及び該表面とは反対側の裏面を有し、少なくとも一部が該表面から該裏面まで透明な保持部材と、
ポリテトラフルオロエチレンを含む材料からなり、該保持部材の透明な該一部の該表面を被覆する被覆層と、を備え、
該保持部材には、一端が該表面に開口し、他端が吸引源に接続される吸引路が形成されており、
該被加工物に貼付されるテープを該被覆層に接触させた状態で、該テープを該吸引路の該一端で吸引することにより、該テープを介して該被加工物を保持することを特徴とする保持テーブル。 - 請求項1に記載の保持テーブルを備えた加工装置であって、
該保持テーブルと、
該被加工物に加工を施す加工ユニットと、
該テープを介して該保持テーブルに保持された該被加工物を撮像する撮像ユニットと、を備え、
該撮像ユニットは、該保持部材の該裏面側に配置され、該保持部材の透明な該一部及び該テープを介して該裏面側から該被加工物を撮像することを特徴とする加工装置。 - 該加工ユニットは、切削ブレードと、該切削ブレードが先端側に装着されるスピンドルと、を備えることを特徴とする請求項2に記載の加工装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019056421A JP7282458B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | 保持テーブル及び加工装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2019056421A JP7282458B2 (ja) | 2019-03-25 | 2019-03-25 | 保持テーブル及び加工装置 |
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Publication Number | Publication Date |
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JP2020157387A JP2020157387A (ja) | 2020-10-01 |
JP7282458B2 true JP7282458B2 (ja) | 2023-05-29 |
Family
ID=72641007
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP7282458B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
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JP2022105448A (ja) | 2021-01-04 | 2022-07-14 | 株式会社ディスコ | 検査装置、及び加工装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2005522336A (ja) | 2002-04-09 | 2005-07-28 | ストラスボー インコーポレーテッド | 表面処理の際の加工物の保護 |
JP2010087141A (ja) | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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- 2019-03-25 JP JP2019056421A patent/JP7282458B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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