KR20230127150A - 반송 장치 - Google Patents

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KR20230127150A
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grinding
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코이치 시노하라
토모타카 사와다
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가부시기가이샤 디스코
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Abstract

(과제) 카세트로부터 피가공물을 반출할 때의 오퍼레이터의 작업을 간편하게 할 수 있는 반송 장치를 제공한다.
(해결 수단) 촬상 유닛에 의한 촬상에 의해 형성되는 복수의 화상을 참조하여, 피가공물을 카세트로부터 반출할 때에 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 위치를 결정한다. 그 때문에, 카세트의 세부 구조 및 카세트에 수용되어 있는 피가공물의 휘어짐 또는 변형을 오퍼레이터가 미리 파악할 필요가 없다. 그 결과, 카세트로부터 피가공물을 반출할 때의 오퍼레이터의 작업이 간편해진다.

Description

반송 장치{TRANSFER APPARATUS}
본 발명은, 피가공물을 반송하는 반송 장치에 관한 것이다.
IC(Integrated Circuit) 등의 디바이스의 칩은, 휴대 전화 및 퍼스널 컴퓨터 등의 각종 전자 기기에 있어서 불가결의 구성 요소이다. 이와 같은 칩은, 예를 들어, 표면에 다수의 디바이스가 형성된 웨이퍼 등의 피가공물을 개개의 디바이스를 포함하는 영역마다 분할하는 것에 의해 제조된다.
디바이스가 형성된 피가공물은, 칩의 소형화 및 경량화 등을 목적으로 하여, 그 분할 전에 박화되는 경우가 많다. 피가공물을 박화하는 방법으로는, 예를 들어, 피가공물의 표면(하면) 측을 유지하는 척 테이블과, 척 테이블의 상방에 설치되고, 또한, 환형으로 이산하여 배치된 복수의 연삭 지석을 구비하는 연삭 휠을 갖는 연삭 장치에 의한 연삭을 들 수 있다.
이와 같이 피가공물을 연삭하기 위해서는, 그 전제로서 피가공물을 연삭 장치에 반입하는 것이 필요해진다. 예를 들어, 일반적인 칩의 제조 공정에서는, 1 로트분(25매 정도)의 피가공물이 카세트에 수용되고, 이 카세트가 연삭 장치에 설치된 카세트 테이블의 재치면에 반입된다. 또한, 연삭 장치는, 일반적으로, 피가공물을 로봇 핸드로 유지하여 카세트로부터 반출하는 반송 로봇(반출 수단)을 갖는다(예를 들어, 특허문헌 1 참조).
특허문헌 1: 일본 공개특허공보 2001-284303호
카세트는, 일반적으로, 서로 대향하고, 또한, 각각의 내측면에 복수의 홈이 형성되어 있는 한 쌍의 측벽을 갖는다. 그리고, 카세트에 있어서는, 웨이퍼 등의 피가공물의 외주 가장자리가 복수의 홈 중 어느 하나에 배치된 상태로 피가공물이 수용된다. 한편, 한 쌍의 측벽의 간격 및 복수의 홈의 설치 간격 등의 카세트의 세부 구조는, 수용하는 피가공물의 사이즈에 따라 상이한 경우가 많다.
그 때문에, 반송 로봇을 이용하여 카세트로부터 피가공물을 반출할 때에는, 오퍼레이터가 당해 카세트의 세부 구조를 미리 파악하여, 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 적절한 위치를 설정하기 위한 정보를 반송 로봇에 입력할 필요가 있다. 다만, 세부 구조가 상이한 카세트의 종류가 다양하게 걸쳐 있는 경우에는, 오퍼레이터가 하나하나 자세히 카세트의 세부 구조를 파악하는 것은 번잡하다.
또한, 동일한 종류의 카세트라도, 그 제조 메이커 또는 제조 로트 등의 차이에 기인하여 카세트의 세부 구조에 치수 오차가 생기는 경우가 있다. 이러한 경우에는, 반송 로봇을 이용하여 카세트로부터 피가공물을 반출할 때에, 오퍼레이터가 미리 파악할 수 있는 정보를 참조해도 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 적절한 위치를 설정하는 것이 곤란해질 우려가 있다.
또한, 카세트에 수용되어 있는 피가공물의 휘어짐 또는 변형에 기인하여, 카세트로부터 피가공물을 반출하기 위해서 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 적절한 위치가 변화하는 경우도 있다. 이러한 경우에는, 오퍼레이터가 하나하나 자세히 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 적절한 위치를 파악할 필요가 있는데, 이러한 작업은 번잡하다.
이러한 점을 감안하여, 본 발명의 목적은, 카세트로부터 피가공물을 반출할 때의 오퍼레이터의 작업을 간편하게 할 수 있는 반송 장치를 제공하는 것이다.
본 발명에 의하면, 서로 대향하는 한 쌍의 측벽을 가지고, 당해 한 쌍의 측벽의 각각의 내측면에 형성되어 있는 복수의 홈 중 어느 하나에 외주 가장자리가 배치된 상태로 피가공물을 수용하는 카세트가 재치되는 재치면을 갖는 카세트 테이블과, 상기 카세트로부터 상기 피가공물을 반출하는 반송 로봇과, 당해 반송 로봇의 동작을 제어하는 컨트롤러를 구비한 반송 장치로서, 상기 반송 로봇은, 상기 재치면에 수직인 제1 방향 및 상기 재치면에 평행한 제2 방향으로 이동 가능한 선단을 갖는 반송 아암과, 상기 반송 아암의 상기 선단에 배치되고, 또한, 상기 피가공물을 유지 가능한 로봇 핸드와, 상기 반송 아암에 고정되고, 또한, 상기 재치면에 재치된 상기 카세트에 포함되는 영역을 촬상 가능한 촬상 유닛을 갖고, 상기 컨트롤러는, 상기 촬상 유닛을 이용하여 상기 피가공물이 수용되어 있는 상기 카세트의 상이한 영역을 촬상하여 복수의 화상을 형성한 후에, 상기 복수의 화상을 참조하여, 상기 피가공물을 상기 카세트로부터 반출할 때에 상기 카세트에 삽입되는 상기 로봇 핸드의 상기 제1 방향에 있어서의 위치 및 상기 제2 방향에 있어서의 위치를 결정하는, 반송 장치가 제공된다.
바람직하게는, 상기 복수의 화상은, 상기 복수의 홈 중 상기 제1 방향에 있어서 인접하는 2개 이상의 홈을 포함하는 영역을 촬상하는 것에 의해 형성되는 측벽 화상을 포함하고, 상기 컨트롤러는, 상기 측벽 화상을 참조하여, 상기 복수의 홈의 상기 제1 방향에 있어서의 설치 간격을 측정한 후, 상기 설치 간격을 참조하여, 상기 피가공물을 상기 카세트로부터 반출할 때의 상기 로봇 핸드의 상기 제1 방향에 있어서의 위치를 결정한다.
본 발명에 있어서는, 촬상 유닛에 의한 촬상에 의해 형성되는 복수의 화상을 참조하여, 피가공물을 카세트로부터 반출할 때에 카세트에 삽입되는 로봇 핸드의 위치가 결정된다. 그 때문에, 본 발명에 있어서는, 카세트의 세부 구조 및 카세트에 수용되어 있는 피가공물의 휘어짐 또는 변형을 오퍼레이터가 미리 파악할 필요가 없다. 그 결과, 카세트로부터 피가공물을 반출할 때의 오퍼레이터의 작업이 간편해진다.
도 1은, 피가공물을 반송하는 반송 장치를 포함하는 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 2는, 반송 로봇의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 3은, 피가공물의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 4는, 카세트의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다.
도 5는, 턴 테이블 및 그 주변의 구조를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
도 6(A), 도 6(B) 및 도 6(C)의 각각은, 피가공물을 카세트로부터 반출할 때의 반송 로봇의 동작의 일례의 모습을 모식적으로 도시하는 사시도이다.
첨부 도면을 참조하여, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 도 1은, 피가공물을 반송하는 반송 장치를 포함하는 연삭 장치의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 또한, 도 1에 있어서는, 연삭 장치의 구성 요소의 일부가 기능 블록으로 도시되어 있다. 또한, 도 1에 도시되는 X축 방향(전후 방향) 및 Y축 방향(좌우 방향)은, 수평면 상에 있어서 서로 수직인 방향이며, 또한, Z축 방향(상하 방향, 높이 방향)은, X축 방향 및 Y축 방향에 수직인 방향(연직 방향)이다.
도 1에 도시되는 연삭 장치(2)는, 각종 구성 요소를 지지하는 베이스(4)를 구비한다. 베이스(4)의 상면의 전단 측에는 개구(4a)가 형성되어 있고, 개구(4a) 내에는, 반송 로봇(6)과 반송 로봇(6)을 Y축 방향을 따라 이동시키는 Y축 이동 기구(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이 Y축 이동 기구는, 예를 들어, 볼 나사 및 모터 등을 포함한다.
도 2는, 반송 로봇(6)을 모식적으로 도시하는 사시도이다. 반송 로봇(6)은, Z축 방향을 따라 연장되는 원기둥 형상의 제1 구동부(8)를 갖는다. 이 제1 구동부(8)의 하부는, Y축 이동 기구에 고정되어 있다. 또한, 제1 구동부(8)의 내부에는, Z축 방향을 따라 이동 가능한 피스톤 로드를 갖고, Z축 방향을 따른 회전축의 둘레로 회전 가능한 에어 실린더 등의 액추에이터(도시하지 않음)가 설치되어 있다.
또한, 제1 구동부(8)의 상면 측에는, 이 피스톤 로드가 통과하는 개구가 설치되어 있다. 이 피스톤 로드의 상단부에는, 반송 아암(10)이 연결되어 있다. 그 때문에, 반송 아암(10)은 Y축 방향 및 Z축 방향을 따라 이동 가능하다. 즉, Y축 이동 기구를 동작시키면, 제1 구동부(8)와 함께 반송 아암(10)이 Y축 방향을 따라 이동한다. 또한, 제1 구동부(8)의 내부에 설치되어 있는 액추에이터를 동작시키면, 반송 아암(10)이 Z축 방향을 따라 이동한다(승강한다).
반송 아암(10)은, 복수의 관절을 갖는 로봇 아암이다. 구체적으로는, 반송 아암(10)은, Z축 방향에 수직인 방향으로 연장되는 판 형상의 제1 아암부(10a)를 갖는다. 이 제1 아암부(10a)의 일단부의 하측은, 피스톤 로드와 함께 이동 및 회전하도록 피스톤 로드의 상단부에 연결되어 있다. 또한, 제1 아암부(10a)의 타단부의 상측에는, 원기둥 형상의 제1 관절부(도시하지 않음)의 하측이 연결되어 있다.
제1 관절부의 상측에는, Z축 방향에 수직인 방향으로 연장되는 판 형상의 제2 아암부(10b)가 연결되어 있다. 이 제2 아암부(10b)의 일단부의 하측은, Z축 방향을 따른 회전축의 둘레로 회전 가능한 양태로 제1 관절부를 통하여 제1 아암부(10a)의 타단부의 상측에 연결되어 있다. 또한, 제2 아암부(10b)의 타단부의 상측에는, 원기둥 형상의 제2 관절부(10c)의 하측이 연결되어 있다.
제2 관절부(10c)의 상측에는, Z축 방향에 수직인 방향으로 연장되는 직육면체 형상의 제2 구동부(10d)가 연결되어 있다. 이 제2 구동부(10d)의 일단부의 하측은, Z축 방향을 따른 회전축의 둘레로 회전 가능한 양태로 제2 관절부(10c)를 통해 제2 아암부(10b)의 타단부의 상측에 연결되어 있다.
또한, 제2 구동부(10d)의 측면에는, 제2 구동부(10d)와 동일한 방향을 따라서 연장되는 촬상 유닛(12)이 고정되어 있다. 이 촬상 유닛(12)은, 예를 들면, LED(Light Emitting Diode) 등의 광원과, 대물 렌즈와, CCD(Charge Coupled Device) 이미지 센서 또는 CMOS(Complementary Metal Oxide Semiconductor) 이미지 센서 등의 촬상 소자를 포함한다. 그리고, 촬상 유닛(12)은, 촬상 유닛(12)에서 보아, 제2 구동부(10d)의 타단으로부터 일단을 향하는 방향으로 존재하는 구조물을 촬상하여 화상을 형성한다.
또한, 제2 구동부(10d)의 내부에는, Z축 방향에 수직인 방향을 따라 회전 가능한 스핀들(10e)을 회전시키는 모터(도시하지 않음)가 설치되어 있다. 이 스핀들(10e)은, 제2 구동부(10d)의 타단부면에 형성되어 있는 개구를 통과하고, 그 선단부가 외부에 노출되어 있다. 또한, 스핀들(10e)의 선단부에는, 판 형상의 연결부(10f)를 통해, 로봇 핸드(14)의 직육면체 형상의 기단부가 연결되어 있다. 즉, 로봇 핸드(14)는, 반송 아암(10)의 선단에 배치되어 있다.
또한, 로봇 핸드(14)는, 그 기단부와 일체화되어 있는 타원판 형상의 부분을 갖는다. 구체적으로는, 이 부분은, 타원의 장축이 스핀들(10e)과 평행이 되는 형상을 갖고, 또한, 이 부분에는, 그 중심으로부터 선단을 향하여 선형의 절결이 형성되어 있다. 또한, 로봇 핸드(14)의 타원판 형상의 부분의 일면에는, 복수의 흡인 구멍(도시하지 않음)이 형성되어 있다.
이 흡인 구멍은, 로봇 핸드(14)의 내부에 설치된 유로 및 기체의 흐름을 제어하는 밸브 등을 통해, 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 그리고, 이 밸브가 개방된 상태로 흡인원을 동작시키는 것에 의해, 로봇 핸드(14)의 타원판 형상의 부분의 일면 근방의 공간에 흡인력이 작용한다.
그 때문에, 이 일면은, 피가공물을 흡인 유지하는 유지면으로서 기능한다. 또한, 반송 로봇(6)에 있어서는, 피가공물이 로봇 핸드(14)의 유지면에 있어서 유지된 상태로 스핀들(10e)을 회전시키는 것에 의해, 피가공물의 상하를 반전시킬 수도 있다. 즉, 피가공물은, 로봇 핸드(14)의 상측 및 하측 중 어느 쪽에서도 유지될 수 있다.
도 3은, 반송 로봇(6)에 의해 반송되는 피가공물의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 도 3에 도시되는 피가공물(11)은, 예를 들어, 실리콘(Si) 등의 반도체 재료로 이루어지는 웨이퍼이다. 또한, 피가공물(11)은, 서로 교차하는 복수의 분할 예정 라인(13)으로 복수의 영역으로 구획되어 있고, 각 영역의 표면(11a) 측에는, IC 또는 LSI 등의 디바이스(15)가 형성되어 있다.
또한, 피가공물(11)의 재질, 형상, 구조 및 크기 등에 제한은 없다. 예를 들어, 피가공물(11)은, 다른 반도체 재료, 세라믹스, 수지 및 금속 등의 재료로 이루어지는 기판이어도 좋다. 마찬가지로, 디바이스(15)의 종류, 수량, 형상, 구조, 크기 및 배치 등에도 제한은 없다.
또한, 피가공물(11)의 표면(11a)에는, 피가공물(11)의 직경과 대략 같은 직경을 갖는 필름형의 테이프가 부착되어 있어도 좋다. 이 테이프는, 예를 들어, 수지로 이루어지고, 피가공물(11)의 이면(11b) 측을 연삭할 때에 표면(11a) 측에 가해지는 충격을 완화하여 디바이스(15)를 보호한다.
도 4는, 피가공물(11)을 수용하는 카세트의 일례를 모식적으로 도시하는 사시도이다. 도 4에 도시되는 카세트(16)는, 평판 형상의 천장판(16a)을 갖는다. 이 천장판(16a)은 직사각 형상의 평판의 4개의 모서리 중 인접하는 한 쌍의 모서리가 모따기되고, 또한 나머지 한 쌍의 모서리가 모따기되지 않고 잔존한 것과 같은 형상을 갖는다.
그리고, 천장판(16a)의 모따기된 한 쌍의 부분의 사이에 위치하는 단부(端部)(후단부)의 하측에는, 천장판(16a)에 수직인 방향(높이 방향)으로 연장되는 측벽(도시하지 않음)의 상단부가 고정되어 있다. 또한, 천장판(16a)의 모따기된 부분과 모따기되어 있지 않은 모서리의 사이에 위치하는 2개의 단부(좌측 단부 및 우측 단부)의 각각의 하측에는, 높이 방향으로 연장되는 측벽(16b, 16c)의 상단부가 고정되어 있다.
한편, 천장판(16a)의 모따기되어 있지 않은 한 쌍의 모서리의 사이에 위치하는 단부(전단부)의 하측에는, 높이 방향으로 연장되는 측벽이 고정되어 있지 않다. 즉, 천장판(16a)의 전단부의 하측은 개방되어, 개구면으로 되어 있다. 또한, 측벽(16b, 16c)의 내측면에는, 높이 방향으로 소정의 간격으로, 높이 방향에 수직인 방향을 따라 연장되는 홈(16d)이 형성되어 있다.
구체적으로는, 측벽(16b)의 내측면에 형성되어 있는 복수의 홈(16d)의 각각은, 측벽(16c)의 내측면에 형성되어 있는 복수의 홈(16d)의 어느 하나와 대향하도록 설치되어 있다. 또한, 홈(16d)의 단면 형상은 대략 직사각형 형상이다. 바꾸어 말하면, 홈(16d)은, 높이 방향에 대략 수직인 한 쌍의 내측면과, 높이 방향에 대략 평행한 바닥면을 갖는다.
그리고, 복수의 홈(16d)의 각각의 내측면 중 천장판(16a)으로부터 먼 쪽에 피가공물(11)의 외주 가장자리를 두는 것에 의해, 피가공물(11)이 카세트(16)에 수용된다. 즉, 서로 대향하는 한 쌍의 홈(16d)의 내측면 중 천장판(16a)으로부터 먼 쪽의 면에 있어서 피가공물(11)의 외주 가장자리가 지지된다.
또한, 측벽(16b)의 내측면 및 측벽(16c)의 내측면에 형성되어 있는 홈(16d)의 수 등에 제한은 없다. 예를 들어, 카세트(16)에는, 1 로트분(25매 정도)의 피가공물(11)에 대응하는 수의 홈(16d)이 형성되어 있어도 좋다.
또한, 측벽(16b)의 하부와 측벽(16c)의 하부는, 가늘고 긴 판 형상의 접속 부재(16e)를 통해 연결되어 있다. 그리고, 카세트(16)는, 예를 들어, 복수의 피가공물(11)을 수용한 상태로 도 1에 도시되는 연삭 장치(2)의 카세트 테이블(18a, 18b)에 반입된다.
이 카세트 테이블(18a, 18b)은, X축 방향 및 Y축 방향에 평행한 상면(재치면)을 가지고, 이 재치면의 개구(4a) 측의 단부에는, Y축 방향을 따라 연장되는 각기둥 형상의 카세트 스토퍼(19)가 설치되어 있다. 그리고, 카세트(16)는, 개구면이 개구(4a) 측에 위치하고, 또한, 측벽(16b, 16c)의 하단부가 카세트 스토퍼(19)에 접촉하도록, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면에 재치된다.
이 경우, 카세트(16)의 측벽(16b, 16c)의 외측면이 X축 방향과 평행하게 된다. 이에 의해, 반송 로봇(6)의 로봇 핸드(14)가 카세트(16)에 삽입될 때의 로봇 핸드(14)의 측벽(16b, 16c)의 내측면에 대한 충돌이 방지된다.
또한, 반송 로봇(6)의 비스듬히 후방에는, 피가공물(11)의 위치를 조정하기 위한 위치 조정 기구(20)가 설치되어 있다. 위치 조정 기구(20)는, 예를 들어, 피가공물(11)을 지지 가능한 상면(지지면)을 갖는 원반 형상의 테이블(20a)과, 테이블(20a)의 주위에 배치된 복수의 핀(20b)을 구비한다.
카세트(16)로부터 반송 로봇(6)에 의해 반출된 피가공물(11)이 테이블(20a)의 지지면에 반입되면, 복수의 핀(20b)은, 피가공물(11)의 외주 가장자리와 접하도록 테이블(20a)의 직경 방향을 따라 이동한다. 이에 의해, 피가공물(11)의 중심이, X축 방향 및 Y축 방향에 있어서 소정의 위치에 맞춰진다. 또한, 반송 로봇(6)에 의한 카세트(16)로부터의 피가공물(11)의 반출의 상세에 대해서는 후술한다.
위치 조정 기구(20)의 비스듬히 후방(반송 로봇(6)의 후방)에는, 피가공물(11)을 유지하여 후방으로 반송하는 반송 기구(22)가 설치되어 있다. 반송 기구(22)는, 피가공물(11)을 흡인하여 유지하는 유지 패드와, 이 유지 패드에 접속된 아암을 구비한다. 그리고, 반송 기구(22)는, 아암에 의해 유지 패드를 선회시키는 것에 의해, 위치 조정 기구(20)로 위치가 조정된 피가공물(11)을 후방으로 반송한다.
반송 기구(22)의 후방에는, 원반 형상의 턴 테이블(24)이 설치되어 있다. 턴 테이블(24)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 접속되어 있고, Z축 방향에 대하여 대략 평행한 회전축 둘레로 회전한다. 턴 테이블(24)의 상면에는, 피가공물(11)을 유지할 수 있는 3개의 척 테이블(26)이 설치되어 있다.
3개의 척 테이블(26)은, 턴 테이블(24)의 둘레 방향을 따라 대략 등간격으로 설치되어 있다. 또한, 턴 테이블(24) 상에 설치되는 척 테이블(26)의 수 등에 제한은 없다. 도 5는, 턴 테이블(24) 및 그 주변의 구조를 모식적으로 도시하는 평면도이다.
또한, 도 5에서는, 설명의 편의상, 일부의 구성 요소가 파선으로 도시되어 있다. 반송 기구(22)는, 유지 패드로 유지한 피가공물(11)을, 반송 기구(22)에 인접하는 반입 반출 영역(A)(도 5 참조)에 배치된 척 테이블(26)에 반입한다. 턴 테이블(24)은, 예를 들어, 도 1 및 도 5에 있어서 화살표로 나타내는 방향으로 회전하며, 각 척 테이블(26)을, 반입 반출 영역(A), 거친 연삭 영역(B), 마무리 연삭 영역(C)의 순서로 이동시킨다.
각 척 테이블(26)은, 모터 등의 회전 구동원(도시하지 않음)에 접속되어 있고, Z축 방향에 대하여 대략 평행한 회전축의 둘레로 회전한다. 각 척 테이블(26)은, 예를 들어, 스테인리스강 등의 금속 재료로 이루어지는 원반 형상의 프레임을 갖는다. 이 프레임의 상면 측에는 원 형상의 개구를 상단에 갖는 오목부가 형성되어 있고, 이 오목부에는 세라믹스 등으로 이루어지는 원반 형상의 포러스판이 고정되어 있다.
척 테이블(26)의 상면은, 중심이 외측 가장자리보다 약간 돌출한 원추의 측면에 상당하는 형상으로 구성되어 있고, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(26a)으로서 기능한다. 즉, 척 테이블(26)은, 피가공물(11)을 유지하는 유지면(26a)을 상부에 구비한다.
유지면(26a)은, 척 테이블(26)의 내부에 형성된 흡인로(도시하지 않음) 등을 통해 이젝터 등의 흡인원(도시하지 않음)에 접속되어 있다. 척 테이블(26)에 반입된 피가공물(11)은, 유지면(26a) 근방의 공간에 작용하는 흡인력에 의해 유지된다.
도 1에 도시되는 바와 같이, 거친 연삭 영역(B) 및 마무리 연삭 영역(C)의 후방(턴 테이블(24)의 후방)에는, 각각, 기둥 형상의 지지 구조(28)가 설치되어 있다. 지지 구조(28)의 전방면 측에는, Z축 이동 기구(30)가 설치되어 있다. Z축 이동 기구(30)는, 지지 구조(28)의 전방면에 고정되고, 또한, Z축 방향을 따라 연장되는 한 쌍의 가이드 레일(32)을 구비한다.
한 쌍의 가이드 레일(32)의 전방면 측에는, 한 쌍의 가이드 레일(32)을 따라 슬라이드 가능한 양태로 이동 플레이트(34)가 연결되어 있다. 또한, 한 쌍의 가이드 레일(32)의 사이에는, Z축 방향을 따라 연장되는 나사축(36)이 배치되어 있다. 이 나사축(36)의 일단부에는, 나사축(36)을 회전시키기 위한 모터(38)가 연결되어 있다.
또한, 나사축(36)의 나선 형상의 홈이 형성된 표면에는, 회전하는 나사축(36)의 표면을 구르는 다수의 볼을 수용하는 너트(도시하지 않음)가 설치되어, 볼 나사가 구성되어 있다. 즉, 나사축(36)이 회전하면, 다수의 볼이 너트 내를 순환하고, 너트가 Z축 방향을 따라 이동한다. 또한, 이 너트는, 이동 플레이트(34)의 후면(이면) 측에 고정되어 있다.
그 때문에, 나사축(36)의 일단부에 연결되어 있는 모터(38)로 나사축(36)을 회전시키면, 너트와 함께 이동 플레이트(34)가 Z축 방향을 따라 이동한다. 또한, 이동 플레이트(34)의 전방면(표면) 측에는, 고정구(40)가 설치되어 있다. 고정구(40)는, 피가공물(11)을 연삭하기 위한 연삭 유닛(42)을 지지한다. 이 연삭 유닛(42)은, 고정구(40)에 고정되는 스핀들 하우징(44)을 구비한다.
스핀들 하우징(44)에는, Z축 방향을 따른 회전축의 둘레로 회전하는 스핀들(46)이 회전할 수 있는 양태로 수용되어 있다. 이 스핀들(46)의 하단부는, 스핀들 하우징(44)의 하단면으로부터 노출되어 있다. 그리고, 노출된 스핀들(46)의 하단부에는, 원반 형상의 마운트(48)가 고정되어 있다.
거친 연삭 영역(B) 측의 연삭 유닛(42)의 마운트(48)의 하면에는, 거친 연삭용의 제1 연삭 휠(50a)이 장착되어 있다. 이 거친 연삭용의 제1 연삭 휠(50a)은, 스테인리스강 또는 알루미늄 등의 금속으로 마운트(48)와 대략 동일 직경으로 형성된 제1 휠 베이스를 구비한다.
제1 휠 베이스의 하면에는, 거친 연삭에 적합한 다이아몬드 등의 지립이 비트리파이드 또는 레지노이드 등의 본드로 고정되는 것에 의해 구성되는 복수의 제1 연삭 지석이 환형으로 배치되어 있다. 또한, 거친 연삭 영역(B) 측의 연삭 유닛(42)의 스핀들 하우징(44)에는, 스핀들(46)의 상단 측에 접속되는 모터 등의 제1 회전 구동원(도시하지 않음)이 수용되어 있다.
그리고, 제1 회전 구동원의 동력에 의해 스핀들(46)을 회전시키면, 제1 연삭 휠(50a)이 회전한다. 또한, 제1 연삭 휠(50a)의 근방에는, 피가공물(11)과 제1 연삭 지석이 접촉하는 부분(가공점)에 순수 등의 액체(연삭액)를 공급할 수 있는 액체 공급용 노즐(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 다만, 이 액체 공급용 노즐 대신에, 또는, 액체 공급용 노즐과 함께, 액체의 공급에 사용되는 액체 공급구가 제1 연삭 휠(50a)에 형성되어도 된다.
마찬가지로, 마무리 연삭 영역(C) 측의 연삭 유닛(42)의 마운트(48)의 하면에는, 마무리 연삭용의 제2 연삭 휠(50b)이 장착되어 있다. 이 마무리 연삭용의 제2 연삭 휠(50b)은, 스테인리스강 또는 알루미늄 등의 금속으로 마운트(48)와 대략 동일 직경으로 형성된 제2 휠 베이스를 구비한다.
제2 휠 베이스의 하면에는, 마무리 연삭에 적합한 다이아몬드 등의 지립이 비트리파이드 또는 레지노이드 등의 본드로 고정되는 것에 의해 구성되는 복수의 제2 연삭 지석이 환형으로 배치되어 있다. 또한, 마무리 연삭 영역(C) 측의 연삭 유닛(42)의 스핀들 하우징(44)에는, 스핀들(46)의 상단 측에 접속되는 모터 등의 제2 회전 구동원(도시하지 않음)이 수용되어 있다.
그리고, 제2 회전 구동원의 동력에 의해 스핀들(46)을 회전시키면, 제2 연삭 휠(50b)이 회전한다. 또한, 제2 연삭 휠(50b)의 근방에는, 피가공물(11)과 제2 연삭 지석이 접촉하는 부분(가공점)에 순수 등의 액체(연삭액)를 공급할 수 있는 액체 공급용 노즐(도시하지 않음)이 설치되어 있다. 다만, 이 액체 공급용 노즐 대신에, 또는, 액체 공급용 노즐과 함께, 액체의 공급에 사용되는 액체 공급구가 제2 연삭 휠(50b)에 설치되어도 된다.
각 척 테이블(26)에 유지된 피가공물(11)은, 상술한 2세트의 연삭 유닛(42)에 의해 순서대로 연삭된다. 구체적으로는, 거친 연삭 영역(B)의 척 테이블(26)에 유지된 피가공물(11)은, 거친 연삭 영역(B) 측의 연삭 유닛(42)으로 연삭되고, 마무리 연삭 영역(C)의 척 테이블(26)에 유지된 피가공물(11)은, 마무리 연삭 영역(C) 측의 연삭 유닛(42)으로 연삭된다.
반입 반출 영역(A)의 전방, 또한, 반송 기구(22)의 측방에는, 연삭이 완료된 피가공물(11)을 유지하여 전방으로 반송하는 반송 기구(52)가 설치되어 있다. 반송 기구(52)는, 피가공물(11)을 흡인하여 유지하는 유지 패드와, 이 유지 패드에 접속된 아암을 구비한다. 그리고, 반송 기구(52)는, 아암에 의해 유지 패드를 선회시키는 것에 의해, 연삭이 완료된 피가공물(11)을 척 테이블(26)로부터 전방으로 반송한다.
반송 기구(52)의 전방에는, 반송 기구(52)에 의해 반출된 피가공물(11)을 세정하는 세정 유닛(54)이 설치되어 있다. 세정 유닛(54)은, 예를 들어, 피가공물(11)을 지지 가능한 상면(지지면)을 가지고, 이 지지면에 있어서 피가공물(11)을 유지한 상태로 회전하는 스피너 테이블(54a)과, 스피너 테이블(54a)에 의해 유지된 피가공물(11)에 세정용의 유체를 분사하는 노즐(도시하지 않음)을 구비한다.
세정 유닛(54)으로 세정된 피가공물(11)은, 반송 로봇(6)에 의해 스피너 테이블(54a)로부터 반출되어 카세트(16)에 반입된다. 연삭 장치(2)의 각 구성 요소의 동작은, 연삭 장치(2)에 내장되는 컨트롤러(56)에 의해 제어된다. 컨트롤러(56)는, 예를 들어, 연삭 장치(2)의 구성 요소를 제어하는 처리부(58)와, 처리부(58)에 있어서 이용되는 각종 정보(데이터 및 프로그램 등)를 기억하는 기억부(60)를 갖는다.
이 기억부(60)에는, 예를 들어, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 폭(Y축 방향을 따른 길이) 등이 기억되어 있다. 또한, 처리부(58)의 기능은, 기억부(60)에 기억된 프로그램을 판독하여 실행하는 CPU(Central Processing Unit) 등에 의해 구현된다. 또한, 기억부(60)의 기능은, DRAM(Dynamic Random Access Memory), SRAM(Static Random Access Memory) 및 NAND형 플래시 메모리 등의 반도체 메모리와, HDD(Hard Disk Drive) 등의 자기 기억 장치 중 적어도 하나에 의해 구현된다.
또한, 연삭 장치(2)는, 상기한 구성 요소 이외의 구성 요소를 구비해도 좋다. 예를 들어, 연삭 장치(2)는, 오퍼레이터로부터의 지시를 컨트롤러(56)에 입력하는 터치 센서와, 오퍼레이터를 향해 각종 정보를 출력하는 디스플레이에 의해 구성되는 터치 패널을 구비해도 좋다.
또한, 도 1에 도시되는 연삭 장치(2)는, 반송 로봇(6)을 중심으로 한 반송 장치를 갖는다고 표현할 수도 있다. 구체적으로는, 이 반송 장치는, 카세트(16)가 재치되는 재치면을 갖는 카세트 테이블(18a, 18b)과, 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출하는 반송 로봇(6)과, 반송 로봇(6)의 동작을 제어하는 컨트롤러(56)를 포함한다.
이하에서는, 피가공물(11)을 카세트(16)로부터 반출할 때의 반송 로봇(6)의 동작의 일례에 대해서, 도 6(A), 도 6(B) 및 도 6(C)를 참조하여 설명한다. 이 동작에 있어서는, 우선, 개구면이 개구(4a) 측에 위치하고, 또한, 측벽(16b, 16c)의 하단부가 카세트 스토퍼(19)에 접촉하도록, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면에 카세트(16)를 재치한다. 계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단 및 그 바로 위의 공간을 촬상 가능한 위치에 촬상 유닛(12)을 위치시킨다.
구체적으로는, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단의 후방에 반송 로봇(6)이 위치되도록, 처리부(58)가 개구(4a)의 내측에 설치되어 있는 Y축 이동 기구를 동작시킨다. 그리고, 촬상 유닛(12)의 대물 렌즈가 전방을 향하고, 또한, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면과 대략 같은 높이에 위치되도록, 처리부(58)가, 반송 로봇(6)의 제1 구동부(8)의 내부에 설치된 액추에이터를 제어하여 촬상 유닛(12) 등을 승강시키고, 또한, 제1 아암부(10a), 제2 아암부(10b) 및/또는 제2 구동부(10d)를 회전시킨다 .
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단 및 그 바로 위의 공간을 촬상하도록 처리부(58)가 촬상 유닛(12)을 동작시킨다(도 6(A) 참조). 그리고, 이 촬상에 의해 형성된 화상(제1 화상)에 카세트(16)의 측벽(16c)이 포함되어 있으면, 제1 화상에 기초하여 처리부(58)가 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단과 카세트(16)의 측벽(16c)과의 Y축 방향에 있어서의 간격(제1 간격: I1)을 측정한다.
한편, 제1 화상에 카세트(16)의 측벽(16c)이 포함되어 있지 않으면, 처리부(58)가, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 타단을 향하도록 소정의 거리만큼 반송 로봇(6)을 Y축 방향을 따라서 이동시킨다. 또한, 당해 소정의 거리는, 예를 들어, 촬상 유닛(12)에 의한 촬상에 의해 형성되는 화상에 포함되는 공간의 폭(Y축 방향을 따른 길이)과 대략 동등해지도록 설정된다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일부 및 그 바로 위의 공간을 촬상하도록 처리부(58)가 촬상 유닛(12)을 동작시킨다. 그리고, 이 촬상에 의해 형성된 화상(제2 화상)에 카세트(16)의 측벽(16c)이 포함되어 있으면, 제1 화상 및 제2 화상에 기초하여 처리부(58)가 제1 간격(I1)을 측정한다.
한편, 제2 화상에 카세트(16)의 측벽(16c)이 포함되어 있지 않으면, 카세트(16)의 측벽(16c)을 포함하는 화상이 형성될 때까지 상술한 반송 로봇(6)의 이동과 촬상 유닛(12)에 의한 촬상을 반복한 후, 처리부(58)가 제1 간격(I1)을 측정한다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 타단 및 그 바로 위의 공간을 촬상 가능한 위치에 촬상 유닛(12)을 위치시킨다. 구체적으로는, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 타단의 후방에 반송 로봇(6)이 위치되도록, 처리부(58)가 개구(4a)의 내측에 설치되어 있는 Y축 이동 기구를 동작시킨다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 타단 및 그 바로 위의 공간을 촬상하도록 처리부(58)가 촬상 유닛(12)을 동작시킨다(도6(B) 참조). 그리고, 이 촬상에 의해 형성된 화상(제3 화상)에 카세트(16)의 측벽(16b)이 포함되어 있으면, 제3 화상에 기초하여 처리부(58)가 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 타단과 카세트(16)의 측벽(16b)과의 Y축 방향에 있어서의 간격(제2 간격: I2)을 측정한다.
한편, 제3 화상에 카세트(16)의 측벽(16c)이 포함되어 있지 않으면, 카세트(16)의 측벽(16b)을 포함하는 화상(제4 화상)이 형성될 때까지, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단을 향하는 반송 로봇(6)의 이동과 촬상 유닛(12)에 의한 촬상을 반복한다. 그리고, 제4 화상이 형성되면, 제3 화상 및 제4 화상에 기초하여 처리부(58)가 제2 간격(I2)을 측정한다.
계속해서, 처리부(58)가 제1 간격(I1) 및 제2 간격(I2)에 기초하여 카세트(16)의 Y축 방향에 있어서의 중심의 위치를 특정한다. 예를 들어, 기억부(60)에 기억된 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 폭을 W로 하면, 상기 중심의 위치는, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 일단으로부터 {W+(I1-I2)}/2만큼 떨어진 위치이다.
그리고, 처리부(58)는, 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출할 때에 카세트(16)에 삽입되는 로봇 핸드(14)의 Y축 방향에서의 위치를 나타내는 데이터로서, 당해 중앙의 위치를 나타내는 데이터를 기억부(60)에 기억시킨다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 중심 및 그 바로 위의 공간을 촬상 가능한 위치에 촬상 유닛(12)을 위치시킨다. 구체적으로는, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 중심의 후방에 반송 로봇(6)이 위치되도록, 처리부(58)가 개구(4a)의 내측에 설치되어 있는 Y축 이동 기구를 동작시킨다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 중심 및 그 바로 위의 공간을 촬상하도록 처리부(58)가 촬상 유닛(12)을 동작시킨다(도 6(C) 참조). 그리고, 이 촬상에 의해 형성된 화상(제5 화상)에 하나 또는 복수의 피가공물(11)이 포함되어 있으면, 제5 화상에 기초하여 처리부(58)가 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면으로부터 본 하나 또는 복수의 피가공물(11)의 각각의 높이를 측정한다.
또한, 제5 화상에 카세트(16)의 천장판(16a)이 포함되어 있지 않으면, 촬상 유닛(12) 등을 소정의 높이만큼 상승시키도록, 처리부(58)가 반송 로봇(6)의 제1 구동부(8)에 설치된 액추에이터를 동작시킨다. 또한, 당해 소정의 높이는, 예를 들어, 촬상 유닛(12)에 의한 촬상에 의해 형성되는 화상에 포함되는 공간의 높이(Z축 방향을 따른 길이)와 동등해지도록 설정된다.
계속해서, 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면의 중심의 바로 위의 공간을 촬상하도록 처리부(58)가 촬상 유닛(12)을 동작시킨다. 그리고, 이 촬상에 의해 형성된 화상(제6 화상)에 하나 또는 복수의 피가공물(11)이 포함되어 있으면, 제5 화상 및 제6 화상에 기초하여 처리부(58)가 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면으로부터 본 하나 또는 복수의 피가공물(11)의 각각의 높이를 측정한다.
또한, 제6 화상에 카세트(16)의 천장판(16a)이 포함되어 있지 않으면, 카세트(16)의 천장판(16a)을 포함하는 화상이 형성될 때까지 촬상 유닛(12) 등의 상승과 촬상 유닛(12)에 의한 촬상을 반복한다. 또한, 촬상의 반복에 의해 형성되는 각 화상에 하나 또는 복수의 피가공물(11)이 포함되어 있으면, 처리부(58)가 카세트 테이블(18a, 18b)의 재치면으로부터 본 하나 또는 복수의 피가공물(11)의 각각의 높이를 측정한다.
계속해서, 측정된 하나 또는 복수의 피가공물(11)의 높이로부터 오프셋된 위치를 나타내는 데이터를, 카세트(16)로부터 각 피가공물(11)을 반출할 때에 카세트(16)에 삽입되는 로봇 핸드(14)의 Z축 방향에서의 위치를 나타내는 데이터로서, 처리부(58)가 기억부(60)에 기억시킨다. 또한, 이 오프셋은, 카세트(16)에 삽입되는 로봇 핸드(14)와 피가공물(11)의 충돌을 방지하기 위해 설정된다.
또한, 오프셋량은, 예를 들어, 카세트(16)의 측벽(16b, 16c)의 내측면에 형성되어 있는 복수의 홈(16d) 중 Z축 방향에 있어서 인접하는 2개 이상의 홈(16d)을 포함하는 화상(측벽 화상)에 기초하여 결정된다. 구체적으로는, 처리부(58)가, 측벽 화상에 기초하여 복수의 홈(16d)의 Z축 방향에 있어서의 설치 간격을 측정한 후, 이 설치 간격의 1/4배 내지 3/4배(예를 들어, 1/2배)의 거리를 오프셋량으로서 결정한다.
또한, 측벽 화상은, 예를 들면, 오프셋량을 결정하기 위해 추가로 실시되는 촬상에 의해 형성된다. 또는, 상기의 제1 화상 내지 제4 화상 중 어느 하나에 당해 2개 이상의 홈(16d)이 포함되어 있는 경우에는, 이들 화상 중 적어도 하나가 측벽 화상으로서 유용되어도 된다.
계속해서, 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출한다. 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출할 때에는, 우선, 기억부(60)에 기억된 데이터에 기초하여 피가공물(11)을 반출하는 데 적절한 위치에 위치된 로봇 핸드(14)를 카세트(16)에 삽입한다.
예를 들어, 로봇 핸드(14)는, 이하의 순서로 카세트(16)에 삽입된다. 우선, 로봇 핸드(14)의 유지면이 위를 향하도록, 제2 구동부(10d)의 내부에 설치되어 있는 스핀들(10e)을 처리부(58)가 회전시킨다.
계속해서, 기억부(60)에 기억된 로봇 핸드(14)의 Y축 방향에서의 위치를 나타내는 데이터를 참조하여, 처리부(58)가 개구(4a)의 내측에 설치되어 있는 Y축 이동 기구를 동작시킨다. 이에 의해, 카세트(16)의 Y축 방향에 있어서의 중심의 후방에 반송 로봇(6)이 위치된다.
계속해서, 기억부(60)에 기억된 로봇 핸드(14)의 Z축 방향에서의 위치를 나타내는 데이터를 참조하여, 처리부(58)가 반송 로봇(6)의 제1 구동부(8)의 내부에 설치된 액추에이터를 제어하여 촬상 유닛(12) 등을 승강시킨다. 이에 의해, 반출될 예정인 피가공물(11)의 높이로부터 상기 오프셋량만큼 아래의 위치에 로봇 핸드(14)의 유지면이 위치된다.
계속해서, 기억부(60)에 기억된 로봇 핸드(14)의 Y축 방향에 있어서의 위치를 나타내는 데이터를 참조하여, 처리부(58)가, 제1 아암부(10a), 제2 아암부(10b) 및/또는 제2 구동부(10d)를 회전시킨다. 이에 의해, 로봇 핸드(14)의 유지면의 Y축 방향에서의 중심과 카세트(16)의 Y축 방향에서의 중심이 일치한 상태로 로봇 핸드(14)가 카세트(16)에 삽입된다.
계속해서, 로봇 핸드(14)의 유지면이 피가공물(11)에 접촉하여 지지하도록, 처리부(58)가 제1 구동부(8)에 설치된 액추에이터를 제어하여 로봇 핸드(14) 등을 상승시킨다. 계속해서, 피가공물(11)이 로봇 핸드(14)에 흡인 유지되도록 처리부(58)가 로봇 핸드(14)를 제어한다.
계속해서, 피가공물(11)이 카세트(16)로부터 반출되도록, 처리부(58)가 제1 아암부(10a), 제2 아암부(10b) 및 제2 구동부(10d)를 회전시킨다. 이상에 의해, 카세트(16)로부터의 피가공물(11)의 반출이 완료된다.
상술한 연삭 장치(2)에 포함되는 반송 장치에 있어서는, 촬상 유닛(12)에 의한 촬상에 의해 형성되는 복수의 화상을 참조하여, 피가공물(11)을 카세트(16)로부터 반출할 때에 카세트(16)에 삽입되는 로봇 핸드(14)의 위치가 결정된다.
그 때문에, 이 반송 장치에서는, 카세트(16)의 세부 구조 및 카세트(16)에 수용되어 있는 피가공물(11)의 휘어짐 또는 변형을 오퍼레이터가 미리 파악할 필요가 없다. 그 결과, 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출할 때의 오퍼레이터의 작업이 간편해진다.
또한, 연삭 장치(2)에 포함되는 반송 장치에 있어서는, 촬상 유닛(12)에 의해 카세트(16)에 수용된 피가공물(11)을 촬상하여 화상을 형성한 후에 카세트(16)로부터 피가공물(11)을 반출한다. 그 때문에, 이 반송 장치에 있어서는, 카세트(16)에 있어서의 피가공물(11)의 수용 상태의 이상(異常) 및 피가공물(11) 자체의 이상을 용이하게 발견할 수 있다.
또한, 카세트(16)에 있어서의 피가공물(11)의 수용 상태의 이상으로서는, 예를 들어, 비스듬히 삽입(측벽(16b, 16c)의 상이한 높이의 홈(16d)에 있어서 피가공물(11)의 외주 가장자리가 지지된 상태) 및 2매 투입(측벽(16b, 16c)의 동일한 높이의 홈(16d)에 2매의 피가공물(11)의 각각의 외주 가장자리가 지지된 상태) 등을 들 수 있다.
또한, 피가공물(11) 자체의 이상으로서는, 예를 들어, 피가공물(11)이 연삭에 부적절한 형상을 갖는 경우(피가공물(11)이 지나치게 두껍거나 또는 지나치게 얇거나 또는 피가공물(11)의 휘어짐 또는 변형이 지나치게 큰 경우 등)를 들 수 있다.
그리고, 연삭 장치(2)에 있어서는, 피가공물(11)의 수용 상태의 이상 및 피가공물(11) 자체의 이상이 발견된 경우에, 예를 들어, 터치 패널 등을 통해 오퍼레이터에게 에러 메시지를 통지할 수 있다.
또한, 상술한 내용은 본 발명의 일 형태이며, 본 발명은 상술한 내용에 한정되지 않는다. 예를 들어, 연삭 장치(2)에 포함되는 반송 장치에는, 촬상 유닛(12)에 의한 촬상 시에 이용되는 하나 또는 복수의 광원이 설치되어 있어도 좋다.
예를 들어, 이 반송 장치에는, 카세트 테이블(18a, 18b)에 재치된 카세트(16)를 향하여, 비스듬히 상방으로부터 광을 조사하는 광원, 비스듬히 하방으로부터 광을 조사하는 광원 및 비스듬히 측방으로부터 광을 조사하는 광원이 설치되어도 좋다. 그리고, 반송 장치에 있어서는, 촬상 유닛(12)에 의한 카세트(16)의 동일한 영역의 촬상을 상이한 광원으로부터 카세트(16)에 광이 조사된 상태에서 실시하는 것에 의해 복수 매의 화상이 형성되어도 된다.
또한, 이 반송 장치에는, 카세트 테이블(18a, 18b)에 재치된 카세트(16)를 향하여, 상이한 형상의 패턴의 광을 조사하는 것이 가능한 광원이 설치되어도 좋다. 그리고, 반송 장치에 있어서는, 촬상 유닛(12)에 의한 카세트(16)의 동일한 영역의 촬상을 상이한 형상의 패턴의 광이 카세트(16)에 조사된 상태에서 행하는 것에 의해 복수 매의 화상이 형성되어도 된다.
이와 같이 광의 조사 조건이 상이한 상태에서 카세트(16)의 동일한 영역의 촬상을 실시하여 복수 매의 화상이 형성되는 경우에는, 당해 영역에 포함되는 피가공물(11)의 3차원 구조를 보다 상세하게 파악하는 것이 용이해진다.
그 밖에, 상술한 실시 형태에 관한 구조 및 방법 등은, 본 발명의 목적의 범위를 일탈하지 않는 한에 있어서 적절히 변경하여 실시할 수 있다.
2: 연삭 장치
4: 베이스(4a: 개구)
6: 반송 로봇
8: 제1 구동부
10: 반송 아암(10a: 제1 아암부, 10b: 제2 아암부, 10c: 제2 관절부)
(10d: 제2 구동부, 10e: 스핀들, 10f: 연결부)
11: 피가공물(11a: 표면, 11b: 이면)
12: 촬상 유닛
13: 분할 예정 라인
14: 로봇 핸드
15: 디바이스
16: 카세트(16a: 천장판, 16b, 16c: 측벽)
(16d: 홈, 16e: 연결 부재)
18a, 18b: 카세트 테이블
19: 카세트 스토퍼
20: 위치 조정 기구(20a: 테이블, 20b: 핀)
22: 반송 기구
24: 턴 테이블
26: 척 테이블(26a: 유지면)
28: 지지 구조
30: Z축 이동 기구
32: 가이드 레일
34: 이동 플레이트
36: 나사 축
38: 모터
40: 고정구
42: 연삭 유닛
44: 스핀들 하우징
46: 스핀들
48: 마운트
50a: 제1 연삭 휠
50b: 제2 연삭 휠
52: 반송 기구
54: 세정 유닛(54a: 스피너 테이블)
56: 컨트롤러
58: 처리부
60: 기억부

Claims (2)

  1. 서로 대향하는 한 쌍의 측벽을 가지고, 당해 한 쌍의 측벽의 각각의 내측면에 형성되어 있는 복수의 홈 중 어느 하나에 외주 가장자리가 배치된 상태로 피가공물을 수용하는 카세트가 재치되는 재치면을 갖는 카세트 테이블과, 당해 카세트로부터 상기 피가공물을 반출하는 반송 로봇과, 당해 반송 로봇의 동작을 제어하는 컨트롤러를 구비한 반송 장치로서,
    상기 반송 로봇은, 상기 재치면에 수직인 제1 방향 및 상기 재치면에 평행한 제2 방향으로 이동 가능한 선단을 갖는 반송 아암과, 당해 반송 아암의 상기 선단에 배치되고, 또한, 상기 피가공물을 유지 가능한 로봇 핸드와, 상기 반송 아암에 고정되고, 또한, 상기 재치면에 재치된 상기 카세트에 포함되는 영역을 촬상 가능한 촬상 유닛을 갖고,
    상기 컨트롤러는, 상기 촬상 유닛을 이용하여 상기 피가공물이 수용되어 있는 상기 카세트의 상이한 영역을 촬상하여 복수의 화상을 형성한 후에, 상기 복수의 화상을 참조하여, 상기 피가공물을 상기 카세트로부터 반출할 때에 상기 카세트에 삽입되는 상기 로봇 핸드의 상기 제1 방향에 있어서의 위치 및 상기 제2 방향에 있어서의 위치를 결정하는, 반송 장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 화상은, 상기 복수의 홈 중 상기 제1 방향에 있어서 인접하는 2개 이상의 홈을 포함하는 영역을 촬상하는 것에 의해 형성되는 측벽 화상을 포함하고,
    상기 컨트롤러는, 상기 측벽 화상을 참조하여, 상기 복수의 홈의 상기 제1 방향에 있어서의 설치 간격을 측정한 후, 당해 설치 간격을 참조하여, 상기 피가공물을 상기 카세트로부터 반출할 때의 상기 로봇 핸드의 상기 제1 방향에 있어서의 위치를 결정하는 것인, 반송 장치.
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