JP5389613B2 - 切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 - Google Patents
切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法 Download PDFInfo
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Description
14 X軸送り機構
18 チャックテーブル
32,54 Y軸送り機構
40,62 Z軸送り機構
42 撮像手段
44 レーザ照射手段
64 切削ユニット
68 切削ブレード
72 レーザポインタ
74 レーザビーム
76 焦点
82 撮像画像
86 切削溝
Claims (3)
- 被加工物を保持し水平面内に回転可能なチャックテーブルと、切削ブレードと、撮像手段と、該撮像手段と一体となって垂直方向(Z軸方向)に上下動し該チャックテーブルの保持面に対して所定角度のレーザビームを照射するレーザポインタと、該撮像手段と該レーザポインタを上下動させるZ軸送り機構と、を備えた切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法であって、
該チャックテーブルの保持面に該撮像手段の焦点を合わせた際の、該撮像手段のZ軸方向の位置を第1基準位置として記憶する第1基準位置設定工程と、
該撮像手段が該第1基準位置にあるときに該レーザポインタから前記所定角度でレーザビームを照射し、該撮像手段で撮像された該チャックテーブルの保持面上の該レーザビームのビームスポットの撮像画像における座標位置(X1,Y1)を第2基準位置として記憶する第2基準位置設定工程と、
該チャックテーブルに保持された被加工物を該切削ブレードにより切削して切削溝を形成する切削工程と、
該レーザポインタからレーザビームを前記所定の角度で照射して該切削溝の底面にビームスポットを形成するビームスポット形成工程と、
該Z軸送り機構を作動して該撮像手段と該レーザポインタを上下動させ、該ビームスポットの座標位置(X2,Y2)を該撮像画像における該第2基準位置の座標(X1,Y1)に合致させる基準位置合致工程と、
被加工物を該切削ブレードで適宜切削加工した後に、該ビームスポット形成工程及び該基準位置合致工程を遂行し、前回実施した該基準位置合致工程後の該撮像手段のZ軸方向の位置と、今回実施した該基準位置合致工程後の該撮像手段のZ軸方向の位置の差から、該切削ブレードの消耗量を割り出す消耗量割り出し工程とを具備し、
該基準位置合致工程では、該レーザポインタから照射された該レーザビームのビームスポットの座標位置(X2,Y2)を該撮像画像において常に該切削溝内に位置させるため、該チャックテーブルをtanθ=Y2/X2の関係から割り出される角度θ回転させることを特徴とする切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。 - 該消耗量割り出し工程から算出された該切削ブレードの消耗量に基づいて、該切削ブレードのZ軸方向の原点位置を補正する位置補正工程を更に具備した請求項1記載の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。
- 前回までに割り出された消耗量の合計と前記消耗量割り出し工程で割り出された該切削ブレードの消耗量の加算値が、予め定めた該切削ブレードの使用可能限界の基準となる最大消耗可能量を上回る場合は、該切削ブレードの使用を中止する限界判定工程を更に具備した請求項1又は2記載の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。
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