JP5394204B2 - 切削ブレードの消耗量管理方法 - Google Patents
切削ブレードの消耗量管理方法Info
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Description
14 第1X軸送り機構
14a 第2X軸送り機構
18 第1チャックテーブル
18a 第2チャックテーブル
32 第1Y軸送り機構
32a 第2Y軸送り機構
42 第1撮像手段
42a 第1撮像手段
44 第1レーザ照射手段
44a 第2レーザ照射手段
54 第3Y軸送り機構
54a 第4Y軸送り機構
62 第1Z軸送り機構
62a 第2Z軸送り機構
64 第1切削ユニット
68 第1切削ブレード
72 レーザポインタ
74 レーザビーム
76 焦点
82 撮像画像
86 切削溝
Claims (2)
- ウエーハを保持する第1チャックテーブルと、該第1チャックテーブルをX軸方向に加工送りする第1加工送り手段と、該第1チャックテーブルと独立して配設されたウエーハを保持する第2チャックテーブルと、該第2チャックテーブルをX軸方向に加工送りする第2加工送り手段と、該第1チャックテーブル又は該第2チャックテーブルに保持されたウエーハに作用して切削を施す切削ブレードを備えた切削手段と、該切削手段をX軸方向に直交するY軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、該切削手段をX軸方向及びY軸方向と直交するZ軸方向に切り込み送りする切り込み送り手段と、該切削手段からX軸方向に離れた位置に配設され該第1チャックテーブル又は該第2チャックテーブルに保持されたウエーハに形成された切削溝の深さを検出する深さ検出手段と、を備えた切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法であって、
該第1チャックテーブル上に保持されているウエーハを該切削手段により切削する第1切削工程と、
該第2チャックテーブル上に保持されているウエーハを該切削手段により切削する第2切削工程と、
該第2切削工程を実施している間の時間を利用して、該第1加工送り手段を作動させて該第1チャックテーブルを該深さ検出手段の直下に位置付け、該深さ検出手段によってウエーハに形成された該切削溝の深さを検出し、検出された溝深さから該切削ブレードの消耗量を算出する消耗量算出工程と、
該消耗量算出工程から算出された該切削ブレードの消耗量に基づいて、該切削手段の該切り込み送り手段を作動させて該切削ブレードのZ軸方向の原点位置を補正する位置補正工程と、
を具備したことを特徴とする切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。 - 前回までに算出された消耗量の合計と前記消耗量算出工程で算出された該切削ブレードの消耗量の加算値が、予め定めた該切削ブレードの使用可能限界の基準となる最大消耗可能量を上回る場合は、該切削ブレードの使用を中止する限界判定工程を更に具備した請求項1記載の切削装置における切削ブレードの消耗量管理方法。
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