JP7037425B2 - レーザー光線の焦点位置検出方法 - Google Patents
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Description
3 :チャックテーブル(保持手段)
3a :保持面(被加工物保持面)
4 :レーザー光線照射手段
13 :割り出し送り手段
16 :Y軸テーブル
20 :加工送り手段
21 :X軸テーブル
27 :支持機構(集光点位置調整手段)
29 :Y軸テーブル
33 :Z軸テーブル
42 :レーザー光線発振手段
43 :光学系
44 :集光器
45 :波長変換機構
50 :撮像手段
60 :制御手段
61 :記憶手段
AC :近似曲線
LS :レーザースポット
LS-V :近似曲線上の最大類似度の集光位置
TS :検査用ウェーハ
W :ウェーハ(被加工物)
Claims (1)
- 被加工物を保持する保持手段と、該保持手段に保持された被加工物の上面側からレーザー光線を照射し集光点を生成する集光器を備えたレーザー光線照射手段と、該集光器が生成するレーザー光線の集光点を該保持手段の被加工物保持面に垂直な方向に移動させる集光点位置調整手段と、該保持手段と該レーザー光線照射手段とを加工送り方向に相対的に移動させる加工送り手段と、該保持手段に保持された被加工物の上面を撮像する撮像手段と、制御手段と、を具備しているレーザー加工装置において、該レーザー光線照射手段によって照射される該レーザー光線の焦点位置を検出する焦点位置検出方法であって、
該保持手段上に表裏面平坦な検査用ウェーハを載置する検査用ウェーハ載置ステップと、
該検査用ウェーハ載置ステップを実施した後に、該レーザー光線集光位置を該検査用ウェーハ上面位置を挟んだ垂直方向の所定範囲で複数回変化させて位置づけて該検査用ウェーハに対して吸収性を有する波長のパルスレーザー光線を照射して隣接するレーザースポット間に隙間を介在させて連続して照射し、所定範囲の複数の集光位置で複数のレーザースポットを形成するレーザースポット形成ステップと、
該レーザースポット形成ステップを実施した後に、該撮像手段により各集光位置のレーザースポットを撮像し、該制御手段により撮像したレーザースポット画像から該レーザースポット形状を抽出し、予め記録手段に記録されている理想のレーザースポット形状との類似度を各集光位置毎に算出し、各集光位置における該類似度の近似曲線を算出し、該近似曲線における最大類似度の集光位置をジャストフォーカス位置であると決定するジャストフォーカス位置決定ステップと、
から構成されることを特徴とするレーザー光線の焦点位置検出方法。
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