JP6821259B2 - 被加工物の加工方法 - Google Patents
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Landscapes
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Description
11 ウェーハ(被加工物)
13a 第1ストリート
13b 第2ストリート
15 デバイス
21a 始点
21b 終点
25 非検出領域
27 改質層
28 チャックテーブル
36 集光器
62 加工用レーザ発振器
66 ダイクロイックミラー
68 集光レンズ
70 センシング用レーザ発振器
78 高さ位置検出部
80 ピンホールマスク
82 ビームスプリッタ
86 第1の受光素子
88 受光領域規制手段
90 シリンドリカルレンズ
92 一次元マスク
94 第2の受光素子
Claims (1)
- 第1の方向に伸長する複数の第1ストリートと、該第1の方向に交差する第2の方向に伸長する複数の第2ストリートと、該複数の第1ストリートと該複数の第2ストリートで区画された各領域にそれぞれ形成された複数のデバイスと、を表面に有し、
該第2の方向において隣接する該デバイスが該第1の方向に互いにずれて配置されることで該複数の第2ストリートは該第2の方向に非連続で形成され、
該第1ストリート及び該第2ストリートの上面高さ位置が該デバイスの上面高さ位置と異なる被加工物の加工方法であって、
被加工物をチャックテーブルで保持する保持ステップと、
該チャックテーブルと上面高さ位置測定手段とを該第1の方向に相対的に移動させて、第1ストリート上面高さ位置データを取得する第1ストリート上面高さ位置検出ステップと、
該チャックテーブルと該上面高さ位置測定手段とを該第2の方向に相対的に移動させて、第2ストリート上面高さ位置データを取得する第2ストリート上面高さ位置検出ステップと、
該第1ストリート上面高さ位置データに基づいて、被加工物に対して透過性を有する波長のレーザビームの集光点を被加工物内部に位置付けた状態で該第1ストリートに沿って該レーザビームを照射して、該第1ストリートに沿った第1改質層を形成する第1レーザ加工ステップと、
該第2ストリート上面高さ位置データに基づいて、該レーザビームの集光点を被加工物内部に位置付けた状態で該第2ストリートに沿って該レーザビームを照射して、該第2ストリートに沿った非連続な第2改質層を形成する第2レーザ加工ステップと、を備え、
該第2ストリート上面高さ位置検出ステップでは、該第2の方向における該デバイスと該第2ストリートの上面高さ位置を連続的に検出し、
該第2レーザ加工ステップでは、該第2ストリート上面高さ位置データの内、該デバイスと該デバイスに隣接する該第2ストリートの境界を始点とし、該第2ストリート内で該始点から所定距離離間した位置を終点とした領域を除く該第2ストリートの上面高さ位置データを基に、該レーザビームの集光点を被加工物内部に位置付けることを特徴とする被加工物の加工方法。
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