JP2011165932A - 裏面撮像テーブルユニット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】環状フレームに装着されたダイシングテープ上のウエーハを保持するチャックテーブルを搭載したチャックテーブルベースをX軸方向に加工送りする手段と、ウエーハを分割加工する手段と、前記環状フレームをチャックテーブルに搬送する手段とを備えた分割加工装置のための、分割加工ウエーハの裏面撮像テーブルユニットであって、前記チャックテーブルベースに装着される撮像テーブルベース上の一対のガイドレールに案内されてX軸方向に相対移動可能で、かつ中央部にウエーハが載置される透明保持部100を有する撮像テーブル96と、該透明保持部上に載置されたウエーハの裏面を撮像する撮像機構とを具備し、該撮像機構は撮像用カメラ88と、該撮像用カメラをX軸方向と直交するY軸方向に移動するカメラ移動手段とを含む。
【選択図】図6
Description
14 第1X軸送り機構
14a 第2X軸送り機構
16 チャックテーブルベース
18 第1チャックテーブル
18a 第2チャックテーブル
32 第1Y軸送り機構
32a 第2Y軸送り機構
42 第1撮像手段
42a 第2撮像手段
54 第3Y軸送り機構
54a 第4Y軸送り機構
57 搬送手段
62 第1Z軸送り機構
62a 第2Z軸送り機構
64 第1切削ユニット
68 第1切削ブレード
80 撮像テーブルユニット
82 撮像テーブルベース
86 撮像機構
88 撮像用カメラ
96 撮像テーブル
100 透明保持部
Claims (3)
- 環状フレームに装着されたダイシングテープに貼着されたウエーハを保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルが搭載されるチャックテーブルベースと、該チャックテーブルベースをX軸方向に加工送りする加工送り手段と、該チャックテーブルに保持されたウエーハを分割加工する加工手段と、該環状フレームを保持してウエーハを該チャックテーブルに搬送する搬送手段と、を備えた分割加工装置の該チャックテーブルベースに搭載されて分割加工されたウエーハの裏面を撮像する裏面撮像テーブルユニットであって、
該チャックテーブルを取り外した前記チャックテーブルベースに装着され、X軸方向に伸張する一対のガイドレールを有する撮像テーブルベースと、
該一対のガイドレールに案内されてX軸方向に相対移動可能に該撮像テーブルベースに搭載され、中央部にウエーハが載置される透明載置部を有する撮像テーブルと、
該透明載置部上に載置されたウエーハの裏面を撮像する該撮像テーブルベースに取り付けられた撮像機構とを具備し、
該撮像機構は撮像用カメラと、該撮像用カメラをX軸方向と直交するY軸方向に移動するカメラ移動手段とを含むことを特徴とする裏面撮像テーブルユニット。 - 前記チャックテーブルベースが前記加工送り手段によりX軸方向に移動されるとき、前記撮像テーブルは該撮像テーブル上に載置された前記環状フレームを介して前記搬送手段によってX軸方向及びY軸方向に直交するZ軸方向に押圧されることで静止され、該撮像テーブルベースが該撮像テーブルに対してX軸方向に相対移動することで前記撮像用カメラをX軸方向の任意の位置に移動させることを特徴とする請求項1記載の裏面撮像テーブルユニット。
- 裏面撮像テーブルユニットを分割加工装置の前記チャックテーブルベース上に載置する際は、前記撮像テーブルベースの前記ガイドレールをX軸方向と平行に位置づけて載置することを特徴とする請求項1又は2記載の裏面撮像テーブルユニット。
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