CN114227481B - 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机 - Google Patents

一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机 Download PDF

Info

Publication number
CN114227481B
CN114227481B CN202111528465.0A CN202111528465A CN114227481B CN 114227481 B CN114227481 B CN 114227481B CN 202111528465 A CN202111528465 A CN 202111528465A CN 114227481 B CN114227481 B CN 114227481B
Authority
CN
China
Prior art keywords
fixedly connected
plate
wall
sliding
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202111528465.0A
Other languages
English (en)
Other versions
CN114227481A (zh
Inventor
龚胜
胡天
徐志强
陈逢军
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hunan Aikairuisi Intelligent Technology Co ltd
Original Assignee
Hunan Aikairuisi Intelligent Technology Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hunan Aikairuisi Intelligent Technology Co ltd filed Critical Hunan Aikairuisi Intelligent Technology Co ltd
Priority to CN202111528465.0A priority Critical patent/CN114227481B/zh
Publication of CN114227481A publication Critical patent/CN114227481A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN114227481B publication Critical patent/CN114227481B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/0076—Other grinding machines or devices grinding machines comprising two or more grinding tools
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/0023—Other grinding machines or devices grinding machines with a plurality of working posts
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B27/00—Other grinding machines or devices
    • B24B27/0069—Other grinding machines or devices with means for feeding the work-pieces to the grinding tool, e.g. turntables, transfer means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/005—Feeding or manipulating devices specially adapted to grinding machines
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B41/00—Component parts such as frames, beds, carriages, headstocks
    • B24B41/06—Work supports, e.g. adjustable steadies
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B47/00—Drives or gearings; Equipment therefor
    • B24B47/22—Equipment for exact control of the position of the grinding tool or work at the start of the grinding operation
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67092—Apparatus for mechanical treatment

Abstract

本发明涉及砂轮划片机技术领域，且公开了一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架，所述机架的顶部固定连接有床身，所述床身的顶部固定连接有盖板。该多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，通过多工位结构和多工位同步给料结构的设置，通过将晶圆本体放进放料筒的内部，使晶圆本体的底部活动连接在滑动槽二的内部，启动电动气缸，电动气缸的输出端带动着滑动板在滑动槽一的内部滑动，当滑动板向后端移动的同时，也带动着活动块也跟随着移动，活动块移动的时候推动着晶圆本体向后侧移动，使晶圆本体通过两个送料孔和通孔一、矩形孔一、矩形孔二掉进放置板的顶部，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。

Description

一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机
技术领域
本发明涉及砂轮划片机技术领域，具体为一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主；随着高新技术领域的不断发展，二极晶圆；硅晶圆等各种半导体集成电路晶圆的需求也越来越大，这使得半导体等集成电路行业得以飞速发展；在半导体晶圆的生产制造过程中常常需要用到精密切割划片设备。
传统砂轮式划片设备在晶圆加工过程中,大多数采用人工上料,人工从料架取出晶圆，然后将晶圆放进工位进行加工,在此过程中,由于是以人为主体进行取料,对人工熟练程度要求较高,不能进行多工位同步加工给料，这种供料方式速度低，因此，我们提出了一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机来解决上述问题。
发明内容
针对现有技术的不足，本发明提供了一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，实现了多工位同步给料，解决了不能进行多工位同步加工给料的问题。
本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架，所述机架的顶部固定连接有床身，所述床身的顶部固定连接有盖板，所述盖板的底部设置有划片结构，所述床身的左侧开设有凹槽，所述机架的顶部设置有多工位结构，所述机架的顶部设置有稳定结构，所述机架的顶部靠近盖板的底部设置有多工位同步给料结构，所述床身的右侧固定连接有固定柱，所述固定柱的右端固定连接有放料筒，所述放料筒的内部活动连接有晶圆本体；
通过采用上述技术方案，多工位结构和多工位同步给料结构的设置，实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。
所述划片结构包括电动液压缸，所述电动液压缸的底部固定连接在盖板的顶部，所述电动液压缸的内部活动连接有液压杆，所述液压杆的底部固定连接有连接板，所述连接板的底部固定连接有U形块，所述U形块的前侧外壁固定连接有旋转电机，所述旋转电机输出端的后端外壁转动连接在U形块的内部，所述旋转电机的输出端外壁螺纹连接有螺纹块，所述螺纹块的底部前侧外壁固定连接有转动电机，所述转动电机输出端的后端外壁转动连接在螺纹块的内部，所述螺纹块的外壁固定连接有磨砂轮。
通过采用上述技术方案，U形块、旋转电机、螺纹块和磨砂轮的设置，实现了便于对划片结构内部的磨砂轮进行前后位置调节的作用。
进一步的，所述多工位结构包括电机一，所述电机一的底部镶嵌在机架的顶端内部，所述电机一的内部固定连接有转动轴一，所述转动轴一的顶部固定连接有齿轮，所述齿轮的顶部固定连接有放置板，所述放置板的一侧设置有固定结构。
通过采用上述技术方案，电机一、转动轴一、齿轮和四个放置板的设置，实现了多工位进行加工的作用。
进一步的，所述固定结构包括电动伸缩缸，所述电动伸缩缸的底部固定连接在齿轮的顶部，所述电动伸缩缸的内部活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的右端固定连接有推动板，所述推动板的右侧固定连接有推动杆，所述推动杆的右端固定连接有固定块。
通过采用上述技术方案，电动伸缩缸、伸缩杆、推动板、推动杆和固定块的设置，晶圆本体在加工的过程中固定稳定，进行划片的时候位置不偏移，避免划片尺寸错误的问题。
进一步的，所述稳定结构包括电机二，所述电机二的底部固定连接在机架的顶部，所述电机二的内部固定连接有转动轴二，所述转动轴二的顶端外壁固定连接有固定环，所述固定环的左侧外壁固定连接有卡接块。
通过采用上述技术方案，实现了对齿轮进行固定的作用，不会导致齿轮顶部晶圆本体在进行加工的过程中，齿轮产生晃动，具有稳定的效果。
进一步的，所述多工位同步给料结构包括支撑杆，所述支撑杆的左端固定连接在床身的右侧，所述支撑杆的右端固定连接有支撑架，所述支撑架的底部右端固定连接有固定板，所述固定板的内部开设有通孔一，所述固定板的内部靠近通孔一的顶部外壁开设有滑动槽一，所述滑动槽一的内部设置有活动结构，所述滑动槽一的内部固定连接有电动气缸，所述支撑架的顶部右端设置有送料结构。
通过采用上述技术方案，滑动槽二、电动气缸、滑动板、滑动槽一、活动块和两个送料孔的设置，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。
进一步的，所述活动结构包括滑动板，所述滑动板的底部滑动连接在滑动槽一的内部，所述滑动板的内部开设有矩形孔一，所述滑动板的内部开设有矩形孔二，所述滑动板的顶部固定连接有销座，所述销座的内部固定连接有销轴，所述销轴的外壁活动连接有活动块，所述活动块的前侧外壁固定连接有矩形块。
通过采用上述技术方案，活动块、矩形块、矩形孔一和矩形孔二的设置，实现了便于对晶圆本体进行推送的作用。
进一步的，所述送料结构包括固定座，所述固定座的左侧外壁固定连接在支撑架的顶部右端，所述固定座的内部开设有滑动槽二，所述固定座的内部靠近滑动槽二的一侧开设有通孔二，所述固定座的内部靠近通孔二的一侧开设有送料孔。
通过采用上述技术方案，固定座和滑动槽二的设置，滑动槽二起到了支撑晶圆本体的作用，同时也起到了便于晶圆本体在滑动槽二的内部滑动的作用。
进一步的，所述固定结构的数量有两个，且每个固定结构的大小相同，所述送料孔的数量有两个，且每个送料孔的大小相同，所述放料筒的数量有两个，且每个放料筒的大小相同。
通过采用上述技术方案，两个送料孔起到了便于晶圆本体从固定座的内部掉落下去，通过放料筒的设置，起到了可以放置多个晶圆本体，便于对多工位进行给料的作用。
进一步的，所述滑动槽二的内部滑动连接有晶圆本体，所述通孔二的内部设有活动块，所述电动气缸的输出端固定连接在滑动板的前侧外壁。
通过采用上述技术方案，滑动槽二的设置，起到了便于晶圆本体在滑动槽二的内部滑动的作用。
进一步的，所述放置板的数量有四个，且每个放置板的大小相同，所述磨砂轮的数量有两个，且每个磨砂轮的大小相同，所述通孔一、矩形孔一和矩形孔二的大小与晶圆本体的大小相匹配。
通过采用上述技术方案，四个放置板和两个磨砂轮的设置，实现了便于多工位进行加工的作用。
本发明的有益效果是：
1、该多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，通过多工位结构和多工位同步给料结构的设置，通过将晶圆本体放进放料筒的内部，使晶圆本体的底部活动连接在滑动槽二的内部，启动电动气缸，电动气缸的输出端带动着滑动板在滑动槽一的内部滑动，当滑动板向后端移动的同时，也带动着活动块也跟随着移动，活动块移动的时候推动着晶圆本体向后侧移动，使晶圆本体通过两个送料孔和通孔一、矩形孔一、矩形孔二掉进放置板的顶部，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的。
2、该多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，通过固定结构的设置，当晶圆本体掉落到放置板的顶部时，启动电动伸缩缸，电动伸缩缸带动着伸缩杆、推动板和推动杆向晶圆本体的一侧靠近，使固定块夹紧晶圆本体，晶圆本体在加工的过程中固定稳定，进行划片的时候位置不偏移，避免划片尺寸错误的问题；通过电机二、转动轴二、固定环和卡接块的设置，当齿轮停止转动的时候，晶圆本体需要进行划片的时候，通过启动电机二，电机带动转动轴二和固定环转动，使卡接块卡接在齿轮外壁齿槽的内部，实现了对齿轮进行固定的作用，不会导致齿轮顶部晶圆本体在进行加工的过程中，齿轮产生晃动，具有稳定的效果。
附图说明
为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例描述中或现有技术中所需要使用的附图作简单地介绍。
图1为本发明结构立体图；
图2为本发明结构示意图；
图3为本发明活动结构俯视图；
图4为本发明图3中A处结构放大图；
图5为本发明送料结构侧视图。
附图标记说明：1、机架；2、床身；3、盖板；4、划片结构；41、电动液压缸；42、液压杆；43、连接板；44、U形块；45、旋转电机；46、螺纹块；47、转动电机；48、磨砂轮；5、凹槽；6、多工位结构；61、电机一；62、转动轴一；63、齿轮；64、放置板；65、固定结构；651、电动伸缩缸；652、伸缩杆；653、推动板；654、推动杆；655、固定块；7、稳定结构；71、电机二；72、转动轴二；73、固定环；74、卡接块；8、多工位同步给料结构；81、支撑杆；82、支撑架；83、固定板；84、通孔一；85、滑动槽一；86、活动结构；861、滑动板；862、矩形孔一；863、矩形孔二；864、销座；865、销轴；866、活动块；867、矩形块；87、电动气缸；88、送料结构；881、固定座；882、滑动槽二；883、通孔二；884、送料孔；9、固定柱；10、放料筒；11、晶圆本体。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
请参阅图1-5，一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架1，机架1的顶部固定连接有床身2，床身2的顶部固定连接有盖板3，盖板3的底部设置有划片结构4，床身2的左侧开设有凹槽5，机架1的顶部设置有多工位结构6，机架1的顶部设置有稳定结构7，机架1的顶部靠近盖板3的底部设置有多工位同步给料结构8，床身2的右侧固定连接有固定柱9，固定柱9的右端固定连接有放料筒10，放料筒10的内部活动连接有晶圆本体11；通过多工位结构6和多工位同步给料结构8的设置，实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的；
划片结构4包括电动液压缸41，电动液压缸41的底部固定连接在盖板3的顶部，电动液压缸41的内部活动连接有液压杆42，液压杆42的底部固定连接有连接板43，连接板43的底部固定连接有U形块44，U形块44的前侧外壁固定连接有旋转电机45，旋转电机45输出端的后端外壁转动连接在U形块44的内部，旋转电机45的输出端外壁螺纹连接有螺纹块46，螺纹块46的底部前侧外壁固定连接有转动电机47，转动电机47输出端的后端外壁转动连接在螺纹块46的内部，螺纹块46的外壁固定连接有磨砂轮48；通过电动液压缸41、液压杆42、连接板43、U形块44、旋转电机45、螺纹块46、转动电机47和磨砂轮48的设置，实现了对划片结构4内部的磨砂轮48进行前后位置调节的目的，同时也起到了便于对晶圆本体11进行多工位加工的作用。
多工位结构6包括电机一61，电机一61的底部镶嵌在机架1的顶端内部，电机一61的内部固定连接有转动轴一62，转动轴一62的顶部固定连接有齿轮63，齿轮63的顶部固定连接有放置板64，放置板64的一侧设置有固定结构65；通过电机一61、转动轴一62、齿轮63和放置板63的设置，起到了便于对进行加工的晶圆本体11进行转动的作用。
固定结构65包括电动伸缩缸651，电动伸缩缸651的底部固定连接在齿轮63的顶部，电动伸缩缸651的内部活动连接有伸缩杆652，伸缩杆652的右端固定连接有推动板653，推动板653的右侧固定连接有推动杆654，推动杆654的右端固定连接有固定块655；通过固定结构65的设置，当晶圆本体11掉落到放置板64的顶部时，启动电动伸缩缸651，电动伸缩缸651带动着伸缩杆652、推动板653和推动杆654向晶圆本体11的一侧靠近，使固定块655夹紧晶圆本体11，晶圆本体11在加工的过程中固定稳定，进行划片的时候位置不偏移，避免划片尺寸错误的问题。
稳定结构7包括电机二71，电机二71的底部固定连接在机架1的顶部，电机二71的内部固定连接有转动轴二72，转动轴二72的顶端外壁固定连接有固定环73，固定环73的左侧外壁固定连接有卡接块74；通过电机二71、转动轴二72、固定环73和卡接块74的设置，当齿轮63停止转动的时候，晶圆本体11需要进行划片的时候，通过启动电机二72，电机71带动转动轴二72和固定环73转动，使卡接块74卡接在齿轮63外壁齿槽的内部，实现了对齿轮63进行固定的作用，不会导致齿轮63顶部晶圆本体11在进行加工的过程中，齿轮63产生晃动，具有稳定的效果。
多工位同步给料结构8包括支撑杆81，支撑杆81的左端固定连接在床身2的右侧，支撑杆81的右端固定连接有支撑架82，支撑架82的底部右端固定连接有固定板83，固定板83的内部开设有通孔一84，固定板83的内部靠近通孔一84的顶部外壁开设有滑动槽一85，滑动槽一85的内部设置有活动结构86，滑动槽一85的内部固定连接有电动气缸87，支撑架82的顶部右端设置有送料结构88；通过将晶圆本体11放进放料筒10的内部，使晶圆本体11的底部活动连接在滑动槽二882的内部，启动电动气缸87，电动气缸87的输出端带动着滑动板861在滑动槽一85的内部滑动，当滑动板861向后端移动的同时，也带动着活动块866也跟随着移动，活动块866移动的时候推动着晶圆本体11向后侧移动，使晶圆本体11通过两个送料孔884和通孔一84、矩形孔一862、矩形孔二863掉进放置板64的顶部，这样实现了多工位同步给料，同时达到了提高加工效率的目的。
活动结构86包括滑动板861，滑动板861的底部滑动连接在滑动槽一85的内部，滑动板861的内部开设有矩形孔一862，滑动板861的内部开设有矩形孔二863，滑动板861的顶部固定连接有销座864，销座864的内部固定连接有销轴865，销轴865的外壁活动连接有活动块866，活动块866的前侧外壁固定连接有矩形块867；通过活动块866、矩形块867、矩形孔一862和矩形孔二863的设置，便于对晶圆本体11进行推送。
送料结构88包括固定座881，固定座881的左侧外壁固定连接在支撑架82的顶部右端，固定座881的内部开设有滑动槽二882，固定座881的内部靠近滑动槽二882的一侧开设有通孔二883，固定座881的内部靠近通孔二883的一侧开设有送料孔884；通过固定座88和滑动槽二882的设置，滑动槽二882起到了支撑晶圆本体11的作用，便于晶圆本体11在滑动槽二882的内部滑动，便于送料。
固定结构65的数量有两个，且每个固定结构65的大小相同，送料孔884的数量有两个，且每个送料孔884的大小相同，放料筒10的数量有两个，且每个放料筒10的大小相同。
滑动槽二882的内部滑动连接有晶圆本体11，通孔二883的内部设有活动块866，电动气缸87的输出端固定连接在滑动板861的前侧外壁。
放置板64的数量有四个，且每个放置板64的大小相同，磨砂轮48的数量有两个，且每个磨砂轮48的大小相同，通孔一84、矩形孔一862和矩形孔二863的大小与晶圆本体11的大小相匹配。
在使用时，通过将晶圆本体11放进放料筒10的内部，使晶圆本体11的底部活动连接在滑动槽二882的内部，启动电动气缸87，电动气缸87的输出端带动着滑动板861在滑动槽一85的内部滑动，当滑动板861向后端移动的同时，也带动着活动块866也跟随着移动，活动块866移动的时候推动着晶圆本体11向后侧移动，使晶圆本体11通过两个送料孔884和通孔一84、矩形孔一862、矩形孔二863掉进放置板64的顶部，这样实现了多工位同步给料的作用，同时达到了提高加工效率的目的；通过固定结构65的设置，当晶圆本体11掉落到放置板64的顶部时，启动电动伸缩缸651，电动伸缩缸651带动着伸缩杆652、推动板653和推动杆654向晶圆本体11的一侧靠近，使固定块655夹紧晶圆本体11，防止晶圆本体11在加工的过程中不稳定，导致在进行划片的时候位置偏移，划片尺寸错误；通过电机二71、转动轴二72、固定环73和卡接块74的设置，当齿轮63停止转动的时候，晶圆本体11需要进行划片的时候，通过启动电机二72，电机71带动转动轴二72和固定环73转动，使卡接块74卡接在齿轮63外壁齿槽的内部，实现了对齿轮63进行固定的作用，不会导致齿轮63顶部晶圆本体11在进行加工的过程中，齿轮63产生晃动，具有稳定的效果。
对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本发明。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本发明的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本发明将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。

Claims (4)

1.一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)的顶部固定连接有床身(2)，所述床身(2)的顶部固定连接有盖板(3)，所述盖板(3)的底部设置有划片结构(4)，所述床身(2)的左侧开设有凹槽(5)，所述机架(1)的顶部设置有多工位结构(6)，所述机架(1)的顶部设置有稳定结构(7)，所述机架(1)的顶部靠近盖板(3)的底部设置有多工位同步给料结构(8)，所述床身(2)的右侧固定连接有固定柱(9)，所述固定柱(9)的右端固定连接有放料筒(10)，所述放料筒(10)的内部活动连接有晶圆本体(11)；
所述划片结构(4)包括电动液压缸(41)，所述电动液压缸(41)的底部固定连接在盖板(3)的顶部，所述电动液压缸(41)的内部活动连接有液压杆(42)，所述液压杆(42)的底部固定连接有连接板(43)，所述连接板(43)的底部固定连接有U形块(44)，所述U形块(44)的前侧外壁固定连接有旋转电机(45)，所述旋转电机(45)输出端的后端外壁转动连接在U形块(44)的内部，所述旋转电机(45)的输出端外壁螺纹连接有螺纹块(46)，所述螺纹块(46)的底部前侧外壁固定连接有转动电机(47)，所述转动电机(47)输出端的后端外壁转动连接在螺纹块(46)的内部，所述螺纹块(46)的外壁固定连接有磨砂轮(48)；
所述多工位结构(6)包括电机一(61)，所述电机一(61)的底部镶嵌在机架(1)的顶端内部，所述电机一(61)的内部固定连接有转动轴一(62)，所述转动轴一(62)的顶部固定连接有齿轮(63)，所述齿轮(63)的顶部固定连接有放置板(64)，所述放置板(64)的一侧设置有固定结构(65)；
所述固定结构(65)包括电动伸缩缸(651)，所述电动伸缩缸(651)的底部固定连接在齿轮(63)的顶部，所述电动伸缩缸(651)的内部活动连接有伸缩杆(652)，所述伸缩杆(652)的右端固定连接有推动板(653)，所述推动板(653)的右侧固定连接有推动杆(654)，所述推动杆(654)的右端固定连接有固定块(655)；
所述稳定结构(7)包括电机二(71)，所述电机二(71)的底部固定连接在机架(1)的顶部，所述电机二(71)的内部固定连接有转动轴二(72)，所述转动轴二(72)的顶端外壁固定连接有固定环(73)，所述固定环(73)的左侧外壁固定连接有卡接块(74)；
所述多工位同步给料结构(8)包括支撑杆(81)，所述支撑杆(81)的左端固定连接在床身(2)的右侧，所述支撑杆(81)的右端固定连接有支撑架(82)，所述支撑架(82)的底部右端固定连接有固定板(83)，所述固定板(83)的内部开设有通孔一(84)，所述固定板(83)的内部靠近通孔一(84)的顶部外壁开设有滑动槽一(85)，所述滑动槽一(85)的内部设置有活动结构(86)，所述滑动槽一(85)的内部固定连接有电动气缸(87)，所述支撑架(82)的顶部右端设置有送料结构(88)；
所述活动结构(86)包括滑动板(861)，所述滑动板(861)的底部滑动连接在滑动槽一(85)的内部，所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔一(862)，所述滑动板(861)的内部开设有矩形孔二(863)，所述滑动板(861)的顶部固定连接有销座(864)，所述销座(864)的内部固定连接有销轴(865)，所述销轴(865)的外壁活动连接有活动块(866)，所述活动块(866)的前侧外壁固定连接有矩形块(867)；
所述送料结构(88)包括固定座(881)，所述固定座(881)的左侧外壁固定连接在支撑架(82)的顶部右端，所述固定座(881)的内部开设有滑动槽二(882)，所述固定座(881)的内部靠近滑动槽二(882)的一侧开设有通孔二(883)，所述固定座(881)的内部靠近通孔二(883)的一侧开设有送料孔(884)。
2.根据权利要求1所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述固定结构(65)的数量有两个，且每个固定结构(65)的大小相同，所述送料孔(884)的数量有两个，且每个送料孔(884)的大小相同，所述放料筒(10)的数量有两个，且每个放料筒(10)的大小相同。
3.根据权利要求2所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述滑动槽二(882)的内部滑动连接有晶圆本体(11)，所述通孔二(883)的内部设有活动块(866)，所述电动气缸(87)的输出端固定连接在滑动板(861)的前侧外壁。
4.根据权利要求3所述的一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机，其特征在于：所述放置板(64)的数量有四个，且每个放置板(64)的大小相同，所述磨砂轮(48)的数量有两个，且每个磨砂轮(48)的大小相同，所述通孔一(84)、矩形孔一(862)和矩形孔二(863)的大小与晶圆本体(11)的大小相匹配。
CN202111528465.0A 2021-12-14 2021-12-14 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机 Active CN114227481B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111528465.0A CN114227481B (zh) 2021-12-14 2021-12-14 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202111528465.0A CN114227481B (zh) 2021-12-14 2021-12-14 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN114227481A CN114227481A (zh) 2022-03-25
CN114227481B true CN114227481B (zh) 2023-03-24

Family

ID=80755905

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202111528465.0A Active CN114227481B (zh) 2021-12-14 2021-12-14 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN114227481B (zh)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN209478632U (zh) * 2018-11-13 2019-10-11 泰州芯格电子科技有限公司 一种晶圆片湿式切割用划片机
CN110524124A (zh) * 2019-10-10 2019-12-03 浙江泰好科技股份有限公司 一种便于调节角度的多工位激光切割设备
CN212322954U (zh) * 2020-04-16 2021-01-08 常州旺童半导体科技有限公司 一种多芯片同步划片的装置

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007229843A (ja) * 2006-02-28 2007-09-13 Disco Abrasive Syst Ltd 切削装置
JP5394204B2 (ja) * 2009-11-12 2014-01-22 株式会社ディスコ 切削ブレードの消耗量管理方法
JP6214901B2 (ja) * 2013-04-04 2017-10-18 株式会社ディスコ 切削装置
CN104647446A (zh) * 2013-11-25 2015-05-27 陈训宏 高效率电路板切割机
CN209718276U (zh) * 2019-01-24 2019-12-03 深圳市正和兴电子有限公司 一种晶圆的拼接切割装置
CN213411685U (zh) * 2020-10-31 2021-06-11 菊龙（天津）磨具有限公司 一种树脂砂轮生产用网片投放装置
CN112846527B (zh) * 2021-01-12 2022-12-13 深圳市普光太阳能有限公司 一种光伏电池加工用激光划片方法
CN112466793B (zh) * 2021-02-01 2021-04-09 四川晶辉半导体有限公司 一种芯片晶圆划片装置
CN112959630A (zh) * 2021-02-25 2021-06-15 孙廷龙 一种多工位注塑成型装置
CN113715183A (zh) * 2021-09-29 2021-11-30 秦皇岛中恒精机设备有限公司 一种多轴多工位切割机

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN209478632U (zh) * 2018-11-13 2019-10-11 泰州芯格电子科技有限公司 一种晶圆片湿式切割用划片机
CN110524124A (zh) * 2019-10-10 2019-12-03 浙江泰好科技股份有限公司 一种便于调节角度的多工位激光切割设备
CN212322954U (zh) * 2020-04-16 2021-01-08 常州旺童半导体科技有限公司 一种多芯片同步划片的装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN114227481A (zh) 2022-03-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN114227481B (zh) 一种多工位同步给料的晶圆加工用砂轮划片机
CN210938594U (zh) 新能源汽车用导流板加工装置
CN217914416U (zh) 一种具有定位功能的数控双端面磨床
CN105563274B (zh) 一种长轴产品自动加工装置
CN111716192B (zh) 一种可调节的金属加工用去毛刺装置
CN115519410A (zh) 一种可快速定位的铜杆打磨加工装置及其加工方法
CN213106284U (zh) 一种成型磨床自动送料机构
CN113043081A (zh) 一种机械刀具刀刃批量打磨设备
CN114582769A (zh) 一种吹气型晶圆传片系统及操作方法
CN208600836U (zh) 一种棒料割槽数控专机
CN116587451B (zh) 一种半导体晶圆材料加工装置及方法
CN220388951U (zh) 一种用于数控磨床的取料装置
CN207467576U (zh) 插片机满载承载盒取送装置
CN220073618U (zh) 一种数控激光切管机上料装置
CN218019457U (zh) 一种晶圆精准切割装置
CN220260427U (zh) 一种半导体晶圆磨边机
CN218746624U (zh) 一种自动上下料的平面磨床
CN116902491B (zh) 一种用于电池负极材料件的输送装置
CN218110193U (zh) 一种轮毂生产用表面打磨装置
CN220408739U (zh) 一种适用于晶圆加工的夹取装置
CN217071834U (zh) 一种热镶钻头加工用削切装置
CN215700501U (zh) 一种便于废屑自动分离的螺栓抛光装置
CN115229509B (zh) 一种用于模具顶针生产的削磨一体机
CN214518772U (zh) 一种便于调节的机械加工车床
CN220445967U (zh) 一种控制精密铣削手机边框毛刺的装置

Legal Events

Date Code Title Description
PB01 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant