JP5459484B2 - ダイシング装置及びダイシング方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 65
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 claims description 13
- 238000003754 machining Methods 0.000 claims description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 239000002173 cutting fluid Substances 0.000 description 2
- 238000002407 reforming Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 4,6-dimethyl-1h-imidazo[1,2-a]purin-9-one Chemical compound N=1C(C)=CN(C2=O)C=1N(C)C1=C2NC=N1 ZLHLYESIHSHXGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007781 pre-processing Methods 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
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- B28D5/00—Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
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- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
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Claims (4)
- ワークを載置するワークテーブルと、
前記ワークの加工を行う加工手段と、
前記ワークテーブル上の前記ワークを撮像する撮像手段と、
前記ワークテーブルと前記加工手段と前記撮像手段とを相対的に移動させる複数の移動手段と、
前記撮像手段と対向するように前記ワークテーブルと同一の移動手段に設けられ、前記撮像手段の備えられた方向に向って撮像を行うアライメントカメラと、
前記アライメントカメラが第1の位置にあるときの前記アライメントカメラに対する前記撮像手段の相対位置と、前記アライメントカメラが前記第1の位置とは異なる位置にあるときの前記アライメントカメラに対する前記加工手段の相対位置とを用いて、前記撮像手段と前記加工手段との相対位置を計算するコントローラと、
を備えたことを特徴とするダイシング装置。 - 前記アライメントカメラの視野中心または視野中心近傍には、前記アライメントカメラと前記撮像手段で撮像することが可能な基準マークが設けられていることを特徴とする、請求項1に記載のダイシング装置。
- 前記基準マークは、前記アライメントカメラの視野中心または視野中心近傍と視野外とに位置することが可能なように移動可能に設けられていることを特徴とする請求項2に記載のダイシング装置。
- ワークを載置するワークテーブルと、前記ワークの加工を行う加工手段と、前記ワークテーブル上の前記ワークを撮像する撮像手段と、前記ワークテーブルと前記加工手段と前記撮像手段とを相対的に移動させる複数の移動手段と、を備えたダイシング装置で用いるダイシング方法において、
前記撮像手段の備えられた方向に向って撮像を行うアライメントカメラを前記撮像手段と対向するように前記ワークテーブルと同一の移動手段に設け、
前記アライメントカメラの視野中心または視野中心近傍に移動可能に設けられた基準マークを前記アライメントカメラと前記撮像手段とで同時に撮像することにより前記アライメントカメラに対する前記撮像手段の位置座標を取得し、
前記アライメントカメラに対する前記撮像手段の位置座標を取得した後に、前記アライメントカメラにより前記加工手段を撮像して前記アライメントカメラに対する前記加工手段の位置座標を取得し、
前記アライメントカメラに対する前記撮像手段の位置座標と、前記アライメントカメラに対する前記加工手段の位置座標とを比較することにより前記撮像手段と前記加工手段との相対位置を算出し、
算出された相対位置に基づき前記ワークを加工することを特徴とするダイシング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009547028A JP5459484B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-11 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007330131 | 2007-12-21 | ||
JP2007330131 | 2007-12-21 | ||
JP2009547028A JP5459484B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-11 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
PCT/JP2008/072514 WO2009081746A1 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-11 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2009081746A1 JPWO2009081746A1 (ja) | 2011-05-06 |
JP5459484B2 true JP5459484B2 (ja) | 2014-04-02 |
Family
ID=40801053
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009547028A Active JP5459484B2 (ja) | 2007-12-21 | 2008-12-11 | ダイシング装置及びダイシング方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9010225B2 (ja) |
JP (1) | JP5459484B2 (ja) |
KR (1) | KR101540136B1 (ja) |
TW (1) | TWI451955B (ja) |
WO (1) | WO2009081746A1 (ja) |
Families Citing this family (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20120016931A (ko) * | 2010-08-17 | 2012-02-27 | (주)큐엠씨 | 기판가공장치 및 기판가공방법 |
DE102011114180A1 (de) * | 2011-09-22 | 2013-03-28 | Weber Maschinenbau Gmbh Breidenbach | Vorrichtung zum Aufschneiden von einem Lebensmittelprodukt und Vorrichtung mit einem Roboter |
US20160250767A1 (en) * | 2013-10-30 | 2016-09-01 | Gea Food Solutions Germany Gmbh | Slicer blade made of plastics |
JP6143668B2 (ja) * | 2013-12-28 | 2017-06-07 | Towa株式会社 | 電子部品製造用の切断装置及び切断方法 |
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JP6343312B2 (ja) * | 2016-08-18 | 2018-06-13 | 株式会社オーエム製作所 | 溝入れ工具の刃幅計測方法 |
JP6703463B2 (ja) * | 2016-09-13 | 2020-06-03 | 株式会社ディスコ | 調整方法及び装置 |
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WO2020179790A1 (ja) | 2019-03-06 | 2020-09-10 | 株式会社東京精密 | ワーク加工装置及び方法 |
US11472055B2 (en) | 2019-03-06 | 2022-10-18 | Tokyo Seimitsu Co., Ltd. | Workpiece processing device and method |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP4659300B2 (ja) | 2000-09-13 | 2011-03-30 | 浜松ホトニクス株式会社 | レーザ加工方法及び半導体チップの製造方法 |
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-
2008
- 2008-12-11 WO PCT/JP2008/072514 patent/WO2009081746A1/ja active Application Filing
- 2008-12-11 US US12/809,919 patent/US9010225B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-12-11 KR KR1020107013930A patent/KR101540136B1/ko active IP Right Grant
- 2008-12-11 JP JP2009547028A patent/JP5459484B2/ja active Active
- 2008-12-18 TW TW97149317A patent/TWI451955B/zh active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
KR20100118560A (ko) | 2010-11-05 |
US9010225B2 (en) | 2015-04-21 |
JPWO2009081746A1 (ja) | 2011-05-06 |
KR101540136B1 (ko) | 2015-07-28 |
TW200936340A (en) | 2009-09-01 |
WO2009081746A1 (ja) | 2009-07-02 |
US20100269650A1 (en) | 2010-10-28 |
TWI451955B (zh) | 2014-09-11 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20111207 |
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