JP6482184B2 - レーザー加工装置 - Google Patents
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Description
また、被加工物に円形加工等の曲線加工を施すと、加工品質の良好な領域と加工品質が悪い領域とが存在するという問題がある。
被加工物はサファイア基板であり、
該レーザー光線照射手段は、サファイア基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線を照射するものであって、レーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段段から発振されたレーザー光線を集光して該被加工物保持手段に保持されたサファイア基板に照射する集光器と、該レーザー光線発振手段と該集光器との間に配設され該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線の偏光面を回転させる1/2波長板と、該1/2波長板を回転させる回転駆動手段と、を含み、
該1/2波長板は、パルスモータの作動により該1/2波長板を、光軸を中心として回動するようになっており、
該制御手段は、該被加工物保持手段に保持されたサファイア基板の加工軌跡を記憶する記憶領域を備えたメモリを具備し、レーザー加工を実施しながら、該メモリに記憶された加工軌跡に対して該集光器から照射されるレーザー光線の偏光面が所定の角度になるように該回転駆動手段を制御するものであって、該メモリに記憶された加工軌跡に対してレーザー光線の偏光面が90度になるように該1/2波長板を回転する該回転駆動手段の該パルスモータを制御する、
ことを特徴とするレーザー加工装置が提供される。
図示のレーザー光線照射手段52は、上記ユニットホルダ51に固定され実質上水平に延出する円筒形状のケーシング521と、該ケーシング521内に配設されたパルスレーザー光線発振手段522と、該パルスレーザー光線発振手段522によって発振されたパルスレーザー光線LBの出力を調整する出力調整手段523と、該出力調整手段523によって出力が調整されたパルスレーザー光線LBを集光してチャックテーブル36に保持された被加工物Wに照射せしめる集光器524とを含んでいる。パルスレーザー光線発振手段522は、YAGレーザー発振器或いはYVO4レーザー発振器からなるパルスレーザー光線発振器522aと、これに付設された繰り返し周波数設定手段522bとから構成されている。
図4には、被加工物としてのサファイア基板10が示されている。図4に示すサファイア基板10は、例えば厚みが200μmの円形状に形成されており、表面10aには加工すべき加工軌跡101および加工開始位置101aが印されている。このサファイア基板10に形成された加工軌跡101の座標および加工開始位置101aは、制御手段8を構成するランダムアクセスメモリ(RAM)83の第1の記憶領域83aに格納される。なお、加工軌跡101および加工開始位置101aは必ずしもサファイア基板10の表面10aに形成する必要はなく、設定された加工軌跡101の座標および加工開始位置101aの座標を制御手段8を構成するランダムアクセスメモリ(RAM)83の第1の記憶領域83aに格納しておけばよい。以下、上述したレーザー加工装置を用いてサファイア基板10に形成された加工軌跡101に沿ってレーザー光線を照射し、サファイア基板10の内部に加工軌跡101に沿って破断の起点となる改質層を形成するレーザー加工方法について説明する。
波長 :532nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :15kHz
パルス幅 :500ps
平均出力 :0.15W
集光スポット径 :φ10μm
加工送り速度 :90mm/秒
波長 :1030nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :50kHz
パルス幅 :10ps
平均出力 :3W
集光スポット径 :φ3.3μm
加工送り速度 :90mm/秒
また、上記レーザー加工溝形成加工における加工条件は、次のように設定されている。
波長 :266nmのパルスレーザー
繰り返し周波数 :50kHz
パルス幅 :10ns
平均出力 :1W
集光スポット径 :φ10μm
加工送り速度 :90mm/秒
2:静止基台
3:チャックテーブル機構
36:チャックテーブル
37:X軸方向移動手段
38:第1のY軸方向移動手段
4:レーザー光線照射ユニット支持機構
43:第2のY軸方向移動手段
5:レーザー光線照射ユニット
52:レーザー光線照射手段
522:パルスレーザー光線発振手段
523:出力調整手段
524:集光器
525:1/2波長板
526:回転駆動手段
6:撮像手段
8:制御手段
10:サファイア基板
F:環状のフレーム
T:保護テープ
Claims (2)
- 被加工物を保持する被加工物保持手段と、該被加工物保持手段に保持された被加工物にレーザー光線を照射するレーザー光線照射手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段とをX軸方向に相対的に移動せしめるX軸方向移動手段と、該被加工物保持手段と該レーザー光線照射手段とをX軸方向に直交するY軸方向に相対的に移動せしめるY軸方向移動手段と、該被加工物保持手段のX軸方向位置を検出するためのX軸方向位置検出手段と、該被加工物保持手段のY軸方向位置を検出するためのY軸方向位置検出手段と、制御手段
と、を具備するレーザー加工装置において、
被加工物はサファイア基板であり、
該レーザー光線照射手段は、サファイア基板に対して透過性を有する波長のレーザー光線を照射するものであって、レーザー光線発振手段と、該レーザー光線発振手段段から発振されたレーザー光線を集光して該被加工物保持手段に保持されたサファイア基板に照射する集光器と、該レーザー光線発振手段と該集光器との間に配設され該レーザー光線発振手段から発振されたレーザー光線の偏光面を回転させる1/2波長板と、該1/2波長板を回転させる回転駆動手段と、を含み、
該1/2波長板は、パルスモータの作動により該1/2波長板を、光軸を中心として回動するようになっており、
該制御手段は、該被加工物保持手段に保持されたサファイア基板の加工軌跡を記憶する記憶領域を備えたメモリを具備し、該メモリに記憶された加工軌跡に対して該集光器から照射されるレーザー光線の偏光面が所定の角度になるように該回転駆動手段を制御するものであって、レーザー加工を実施しながら、該メモリに記憶された加工軌跡に対してレーザー光線の偏光面が90度になるように該1/2波長板を回転する該回転駆動手段の該パルスモータを制御する、
ことを特徴とするレーザー加工装置。 - 該メモリは加工軌跡をX座標、Y座標で記憶し、
該制御手段は、現在加工している領域の座標を(x1,y1)とし、次に加工すべき領域の座標を(x2,y2)とした場合、(y2−y1)/(x2−x1)で加工軌跡の傾きを算出し、算出された傾きに対してレーザー光線の偏光面が所定角度になるように該1/2波長板を回転する該回転駆動手段を制御する、請求項1記載のレーザー加工装置。
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