CN106404800B - 一种划片机视觉切换控制系统及划片机 - Google Patents

一种划片机视觉切换控制系统及划片机 Download PDF

Info

Publication number
CN106404800B
CN106404800B CN201610945583.4A CN201610945583A CN106404800B CN 106404800 B CN106404800 B CN 106404800B CN 201610945583 A CN201610945583 A CN 201610945583A CN 106404800 B CN106404800 B CN 106404800B
Authority
CN
China
Prior art keywords
light source
module
relay
vision
scribing machine
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610945583.4A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106404800A (zh
Inventor
王兵锋
范华华
贾庆亮
周建生
孟庆嵩
齐昊姝
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CETC Beijing Electronic Equipment Co
Original Assignee
CETC Beijing Electronic Equipment Co
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by CETC Beijing Electronic Equipment Co filed Critical CETC Beijing Electronic Equipment Co
Priority to CN201610945583.4A priority Critical patent/CN106404800B/zh
Publication of CN106404800A publication Critical patent/CN106404800A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106404800B publication Critical patent/CN106404800B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/9501—Semiconductor wafers

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)

Abstract

本发明涉及一种划片机视觉切换控制系统及划片机，所述划片机视觉切换控制系统包括第一视觉模块、第二视觉模块及切换控制模块，所述切换控制模块用于根据控制信号控制所述第一视觉模块或所述第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换。本发明，抗干扰能力强，切换控制可靠，可以避免划片机工作过程中视觉系统效果对划切质量的影响，避免对准效果差、切割道模糊及刀痕偏移等现象，而且，具有结构简单，成本低廉的优点。

Description

一种划片机视觉切换控制系统及划片机
技术领域
本发明涉及集成电路封装设备制造领域，尤其涉及一种划片机视觉切换控制系统及划片机。
背景技术
划片机是集成电路生产线上将晶圆或硅片分割成独立单元的设备。划片机工作过程中，需要借助视觉系统进行观察、对准及调节，划片机的视觉系统直接影响产品的划切质量。划片机视觉系统效果不佳，会造成工作过程中对准效果差、切割道模糊、刀痕偏移等现象，甚至划坏产品。
发明内容
本发明的目的在于提供一种划片机视觉切换控制系统及划片机，利用划片机视觉切换控制系统，解决划片机在针对不同观察目标的视觉切换控制问题，准确、清晰地完成划片机的对准及刀痕校正工作。
本发明所提供的技术方案如下：
一种划片机视觉切换控制系统，包括第一视觉模块和第二视觉模块，还包括：
切换控制模块，用于根据控制信号控制所述第一视觉模块或所述第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换。
采用上述方案，划片机视觉控制系统通过切换控制模块实现了观察目标在第一视觉模块和第二视觉模块之间的切换，可以实现针对不同观察目标准确清晰地完成划片机的对准及刀痕校正工作。
进一步地，所述第一视觉模块包括：
第一显微镜、第一同轴光源及第一环形光源，其中，所述第一显微镜设置于所述第一同轴光源上部，所述第一同轴光源固定在所述第一环形光源的中空圆心部位。
进一步地，所述第二视觉模块包括：
第二显微镜、第二同轴光源及第二环形光源，其中，所述第二显微镜设置于所述第二同轴光源上部，所述第二同轴光源固定在所述第二环形光源的中空圆心部位。
进一步地，所述切换控制模块包括：
光耦、放大器、第一继电器及第二继电器；
其中，所述光耦输出端与所述放大器输入端连接，所述放大器输出端分别与所述第一继电器和所述第二继电器的输入端连接；所述第一环形光源的正极与所述第一同轴光源的正极分别连接所述继电器的常开触点；所述第二环形光源的正极与所述第二同轴光源的正极分别连接所述继电器的常闭触点；所述第一环形光源、所述第一同轴光源、所述第二环形光源及第二同轴光源连接共同负极；
所述光耦接收控制信号进行信号处理输出给所述放大器，所述放大器接收所述光耦输出控制信号；所述控制信号经所述放大器处理，输出给所述第一继电器和所述第二继电器；所述第一继电器和所述第二继电器接收所述控制信号，实现所述第一视觉模块和所述第二视觉模块的切换控制。
进一步地，当控制信号为高电平控制信号时，所述第一继电器和所述第二继电器的常开触点分别与其公共端吸合，所述第一环形光源的正极和所述第一同轴光的正极与电源连接，所述第一环形光源和所述第一同轴光源被点亮。
进一步地，当控制信号为低电平控制信号时，所述第一继电器和所述第二继电器的常闭触点分别与其公共端吸合，所述第二环形光和所述第二同轴光的正极与电源连接，所述第二环形光源和所述第二同轴光源被点亮，所述第一环形光源和所述第一同轴光源熄灭。
进一步地，所述划片机视觉切换控制系统还包括：
晶片台位移机构，所述晶片台位移机构用于控制晶片台在第一方向移动至预定位置。
进一步地，所述划片机视觉切换控制系统还包括：
视觉模块位移机构，所述视觉模块位移机构用于控制所述第一视觉模块和所述第二视觉模块沿第二方向移动至预定位置。
进一步地，所述放大器为达林顿管。
此外，本发明还提供一种划片机，包括以上所述的划片机视觉切换控制系统。
本发明所带来的有益效果如下：
本发明所提供的划片机视觉切换控制系统，通过切换控制模块控制第一视觉模块和第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换，实现划片机在针对不同观察目标的视觉切换控制，准确清晰地完成划片机的对准及刀痕校正工作；采用电平触发设计，抗干扰能力强，切换控制可靠性高。此外，本发明技术方案结构简单，具有较强的经济性和实用性。
附图说明
图1表示本发明提供的视觉切换控制系统原理图；
图2表示本发明提供的视觉切换控制示意图。
具体实施方式
为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
为了解决现有技术中的划片机视觉系统不佳影响划片机划切质量的问题，本发明提供了一种划片机视觉切换控制系统，实现观察不同观察目标时划片机视觉模块的切换，准确清晰地完成划片机的对准及刀痕校正工作。
如图1和图2所示，本发明提供一种划片机视觉切换控制系统，包括视觉切换控制模块S1、第一视觉模块S2及第二视觉模块S3。
其中，视觉切换控制模块S1主要包括：光耦1，放大器2、第一继电器3、第二继电器4；第一视觉模块S2包括第一环形光源5、第一同轴光源6及第一显微镜11；第二视觉模块S3包括第二环形光源7、第二同轴光源8及第二显微镜12。
在视觉切换控制模块S1中，光耦1的管脚2、管脚4连接控制信号，光耦1的管脚15连接放大器2的管脚1、管脚2，光耦1的管脚13连接放大器2的管脚3、管脚4；放大器2的管脚15、管脚16连接第一继电器3的输入端，放大器2的管脚17、管脚18连接第二继电器4的输入端。第一继电器3和第二继电器4的常开触点NO2分别接第一环形光源5和第一同轴光源6的正极，第一继电器3和第二继电器4的常闭触点NC2分别接第二环形光源7和第二同轴光源8的正极，第一环形光源5、第一同轴光源6、第二环形光源7及第二同轴光源8连接共同负极10。
控制信号为高电平时，控制信号经光耦1的管脚2、管脚4输入，所述控制信号经光耦1处理后，经光耦1的管脚13、管脚15分别输出给放大器2的管脚1、管脚2与管脚3、管脚4；所述控制信号经放大器2处理完成后，经放大器2的管脚15、管脚16输出给第一继电器3，经放大器2的管脚17、管脚18输出给第一继电器4，第一继电器3与第二继电器4的常开触点NO2分别与其公共触点com2吸合，第一环形光源5和第一同轴光源6的正极与电源9连接，第一环形光源5和第一同轴光源6被点亮；同时，第二环形光源7和第二同轴光源8熄灭。
控制信号为低电平时，控制信号经过光耦1、放大器2处理后，第一继电器3和第一继电器4的常闭触点NC2分别与其公共端com2吸合，第二环形光源7、第二同轴光源8点亮。同时，第一环形光源5和第一同轴光源6熄灭。实现第一视觉模块S2与第二视觉模块S3的切换。
本发明中，划片机切换系统的切换控制模块S1控制划片机的第一视觉模块S2与第二视觉模块S3的切换，实现划片机针对不同观察目标准确清晰地完成划片机的对准及刀痕校正工作。本发明实施例中，控制电路采用电平触发，抗干扰能力强，切换控制的可靠性强。
进一步地，本发明中的放大器2为达林顿管。
进一步地，本发明提供的切换控制系统中，切换控制模块S1中设有第一上拉电源21、第一上拉电阻R1及第二上拉电阻R2。第一上拉电源21连接并联的第一上拉电阻R1及第二上拉电阻R2，接光耦1的管脚1和管脚3，形成稳定的高电平。
进一步地，本发明提供的切换控制系统中，切换控制模块S1中设有第二上拉电源31、第三上拉电阻R3及第四上拉电阻R4。第二上拉电源31连接并联的第三上拉电阻R3及第四上拉电阻R4，接光耦1的管脚16和管脚14，形成稳定的高电平。
进一步地，第一视觉模块S2中，第一显微镜11设置于第一环形光源5的上部，第一同轴光源6固定在第一环形光源5的中空圆心部位；第二视觉模块S3中，第二显微镜12设置于第二同轴光源8上部，第二同轴光源8固定在第二环形光源7的中空圆心部位。
进一步地，划片机视觉切换控制系统还包括：
晶片台位移机构13，所述晶片台位移机构13控制晶片台15在第一方向移动至预定位置。
进一步地，划片机视觉切换控制系统还包括：
视觉模块位移机构14，视觉模块位移机构14用于控制第一视觉模块S2或所述第二视觉模块S3沿第二方向移动至预定位置。
进一步地，第一上拉电源21为5V，第一上拉电阻R1与第二上拉电阻R2为4.7kΩ。
进一步地，第二上拉电源31为12V，第三上拉电阻R3与第四上拉电阻R4为10kΩ。
此外，本发明还提供一种划片机，包括以上所述的划片机视觉切换控制系统。
以上所述仅是本发明的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明技术原理的前提下，还可以做出若干改进和替换，这些改进和替换也应视为本发明的保护范围。

Claims (7)

1.一种划片机视觉切换控制系统，包括第一视觉模块和第二视觉模块，其特征在于，还包括：
切换控制模块，用于根据控制信号控制所述第一视觉模块或所述第二视觉模块观察观察目标，实现所述第一视觉模块与所述第二视觉模块的切换；
所述切换控制模块包括：
光耦、放大器、第一继电器及第二继电器；
所述光耦接收控制信号进行信号处理输出给所述放大器，所述放大器接收所述光耦输出控制信号；所述控制信号经所述放大器处理，输出给所述第一继电器和所述第二继电器；所述第一继电器和所述第二继电器接收所述控制信号，实现所述第一视觉模块和所述第二视觉模块的切换控制；
所述第一视觉模块包括：
第一显微镜、第一同轴光源及第一环形光源，其中，所述第一显微镜设置于所述第一同轴光源上部，所述第一同轴光源固定在所述第一环形光源的中空圆心部位；
所述第二视觉模块包括：
第二显微镜、第二同轴光源及第二环形光源，其中，所述第二显微镜设置于所述第二同轴光源上部，所述第二同轴光源固定在所述第二环形光源的中空圆心部位；
所述光耦输出端与所述放大器输入端连接，所述放大器输出端分别与所述第一继电器和所述第二继电器的输入端连接；所述第一环形光源的正极连接所述第一继电器的常开触点，所述第一同轴光源的正极连接所述第二继电器的常开触点；所述第二环形光源的正极连接所述第一继电器的常闭触点，所述第二同轴光源的正极连接所述第二继电器的常闭触点；所述第一环形光源、所述第一同轴光源、所述第二环形光源及第二同轴光源连接共同负极。
2.根据权利要求1所述的划片机视觉切换控制系统，其特征在于，
当控制信号为高电平控制信号时，所述第一继电器和所述第二继电器的常开触点分别与其公共端吸合，所述第一环形光源的正极和所述第一同轴光源的正极与电源连接，所述第一环形光源和所述第一同轴光源被点亮。
3.根据权利要求1所述的划片机视觉切换控制系统，其特征在于，
当控制信号为低电平控制信号时，所述第一继电器和所述第二继电器的常闭触点分别与其公共端吸合，所述第二环形光源和所述第二同轴光源的正极与电源连接，所述第二环形光源和所述第二同轴光源被点亮，所述第一环形光源和所述第一同轴光源熄灭。
4.根据权利要求1所述的划片机视觉切换控制系统，其特征在于，所述划片机视觉切换控制系统还包括：
晶片台位移机构，所述晶片台位移机构用于控制晶片台在第一方向移动至预定位置。
5.根据权利要求1所述的划片机视觉切换控制系统，其特征在于，所述划片机视觉切换控制系统还包括：
视觉模块位移机构，所述视觉模块位移机构用于控制所述第一视觉模块和所述第二视觉模块沿第二方向移动至预定位置。
6.根据权利要求1所述的划片机视觉切换控制系统，其特征在于，所述放大器为达林顿管。
7.一种划片机，其特征在于，包括如权利要求1至6任一项所述的划片机视觉切换控制系统。
CN201610945583.4A 2016-11-02 2016-11-02 一种划片机视觉切换控制系统及划片机 Active CN106404800B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610945583.4A CN106404800B (zh) 2016-11-02 2016-11-02 一种划片机视觉切换控制系统及划片机

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610945583.4A CN106404800B (zh) 2016-11-02 2016-11-02 一种划片机视觉切换控制系统及划片机

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106404800A CN106404800A (zh) 2017-02-15
CN106404800B true CN106404800B (zh) 2019-08-30

Family

ID=58013828

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610945583.4A Active CN106404800B (zh) 2016-11-02 2016-11-02 一种划片机视觉切换控制系统及划片机

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106404800B (zh)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN114755814B (zh) * 2022-06-13 2022-09-13 沈阳和研科技有限公司 一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1522051A (zh) * 2003-02-12 2004-08-18 双图像传感器摄像技术及其装置
CN203124915U (zh) * 2013-01-09 2013-08-14 北京石油化工学院 双ccd焊接视觉监控系统
CN105583486A (zh) * 2016-02-25 2016-05-18 西北工业大学 一种光纤与光源对焊装置
CN205545654U (zh) * 2016-01-26 2016-08-31 北京数字家圆科技有限公司 一种双摄像头装置及其应用的终端设备

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3854327B2 (ja) * 1995-12-06 2006-12-06 富士通株式会社 ダイシング装置
JP4616969B2 (ja) * 2000-06-16 2011-01-19 株式会社ディスコ 切断機
JP5394204B2 (ja) * 2009-11-12 2014-01-22 株式会社ディスコ 切削ブレードの消耗量管理方法
CN102873523B (zh) * 2012-09-13 2014-10-22 中国科学院自动化研究所 基于显微视觉的微器件装配在线检测装置
US8995749B2 (en) * 2013-03-28 2015-03-31 Mitutoyo Corporation Enhanced edge detection tool for edges of irregular surfaces
US9304089B2 (en) * 2013-04-05 2016-04-05 Mitutoyo Corporation System and method for obtaining images with offset utilized for enhanced edge resolution
CN104191043B (zh) * 2014-08-04 2017-02-15 东莞市桦徽电子科技有限公司 双轴精密划片机

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1522051A (zh) * 2003-02-12 2004-08-18 双图像传感器摄像技术及其装置
CN203124915U (zh) * 2013-01-09 2013-08-14 北京石油化工学院 双ccd焊接视觉监控系统
CN205545654U (zh) * 2016-01-26 2016-08-31 北京数字家圆科技有限公司 一种双摄像头装置及其应用的终端设备
CN105583486A (zh) * 2016-02-25 2016-05-18 西北工业大学 一种光纤与光源对焊装置

Also Published As

Publication number Publication date
CN106404800A (zh) 2017-02-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN205234448U (zh) 自动验光头主机操控系统
CN106404800B (zh) 一种划片机视觉切换控制系统及划片机
CN105975847A (zh) 一种学生智能设备的多终端控制方法及系统
CN104107107A (zh) 一种自动变光焊接面罩中护目镜组结构
CN105700140A (zh) 瞳距可调的沉浸式视频系统
CN204686407U (zh) 一种基于视觉引导系统的装配装置
CN104053281B (zh) 点灯治具
CN109298531A (zh) 光调控装置、虚拟现实头戴显示设备及光调控方法
CN204203539U (zh) 镜片组合结构及具有该结构的机器视觉镜头
CN207516600U (zh) 一种光通讯发射器件
CN205066712U (zh) 宝石电子角度比例仪
CN202771057U (zh) Plc光分路器组件角度匹配及距离控制调试装置
CN207181803U (zh) 一种用于瞄准镜分划线绘制的装置
CN105915206A (zh) 一种降低芯片功耗的电路
CN204016250U (zh) 一种散光表组合验光箱
CN104849847A (zh) 一种袖珍式暗场宝石显微镜
CN208109727U (zh) 一种光学镜片检测装置
CN105562195A (zh) 一种基于物联网的智能辅助矿山选矿装置
CN205646411U (zh) 一种具有校准功能的熔接机
CN214757029U (zh) 一种教室灯控制系统
CN207525268U (zh) 一种改进的高炉炼铁观察风口用窥视镜
CN216598227U (zh) 一种眼镜用磁吸式充电接头
CN104360461B (zh) 镜片组合结构及具有该结构的机器视觉镜头
CN210005811U (zh) 一种焊接加工用外观检测装置
CN207337885U (zh) 一种信号放大电路及液晶显示面板的修复系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant