JP3854327B2 - ダイシング装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明はダイシング装置に係り、特にウェハやセラミック等を微細切削加工する際用いられるダイシングブレードを回転軸から取り外し交換するダイシング装置に関する。
【0002】
例えば、ウエハ上に形成された複数の半導体素子チップを個々に分割するためにダイシングが行われる。
また、ダイシングを行うダイシングブレードは、所定期間の使用後に交換する必要があるが、当然のことながらこの交換時にはダイシング処理を行うことができない。
【0003】
従って、半導体装置の製造効率を向上させる点より、ダイシングブレードの交換処理を円滑に効率良く行う必要がある。
【0004】
【従来の技術】
図Aはダイシングブレード1を示しており、また図Bは従来構成のダイシングブレード1が取り付けられたダイシング装置2を示している。図Bに示されるように、ダイシングブレード1は、スピンドルモータに接続された回転軸3に取り付けられており、例えば30000rpmで回転するよう構成されている。このダイシングブレード1には、その外周部を覆うカバー4が設けられており、このカバー4には切削加工時にダイシングブレード1に切削水を吹き付ける4本のノズル5〜8(ノズル8はダイシングブレード1を挟んでノズル7の裏側に配設されているため図に現れず)が配設されている。
【0005】
また、9は加工されるウエハである。加工時には、ダイシングブレード1は図中矢印Aで示す方向(時計方向)に回転し、ウエハ9に対して相対的に図中矢印Bで示す方向に進行することにより、ウエハ9を切断する構成となっている。尚、構成によってはダイシングブレードの回転方向が異なるものもある。
【0006】
図Aは、ダイシングブレード1を拡大して示す図である。同図に示すように、ダイシングブレード1は、切刃部1aとハブ部1bとにより構成されている。切刃部1aは微細な砥粒をドーナッツ状に焼結したものであり、またハブ部1bはアルミニウム製であり、ドーナッツ状とされた切刃部1aの中央空間部分に取り付けられている。
【0007】
また、回転軸3はステンレス製であり、ダイシングブレード1はその中央に形成された取付孔1cに回転軸3を挿通し、フランジ10,11で締結することにより回転軸3に取付けられる。また、ダイシングブレード1を回転軸3から取り外す時には、フランジ10,11を取り外し、続いてダイシングブレード1を回転軸3から引き抜くことにより取り外される。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、ダイシングブレード1によりウエハ9を切断する際、ウエハ9からは多量の切削粉(主にシリコン粉)が発生する。この切削粉は微細な粉体であり、高速回転するダイシングブレード1により吹き上がり、その一部は回転軸3と取付孔1cの内壁との微細な間隙部(図3(B)に参照符号12で示す)に侵入してしまう。
【0009】
このように、ダイシングブレード1と回転軸3との間に形成される間隙部12に切削粉が侵入した場合、この切削粉によりダイシングブレード1と回転軸3とが固着してしまい、ダイシングブレード1の取り外し時に回転軸3からダイシングブレード1が外れなくなってしまう。
【0010】
従来では、このようにダイシングブレード1と回転軸3とが固着に対し何ら考慮がされていなかったため、作業者は回転軸3からダイシングブレード1を外すのに多大な労力を要し、ダイシングブレード1の交換作業に長い時間を要していた。上記したように、このダイシングブレード1の交換作業時はダイシング装置を停止する必要があり、この交換作業時はウエハ9を切断作業を行うことができない。従って、従来のダイシングブレード1の交換方法では、ダイシング装置2のメンテナンスのために半導体装置の製造効率が低下してしまうという問題点があった。
【0011】
本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、ダイシングブレードの回転軸からの取り外しを容易に行いうるダイシング装置を提供することを目的とする。
【0012】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決するために本発明では、下記の手段を講じたことを特徴とするものである。
請求項1記載の発明では、
回転軸に取り付けられたダイシングブレードを回転させることにより、被切削物に対し切削加工を行うダイシング装置において、
純水を蓄えるタンクと、
ポンプから送り出された前記タンクの純水を、バイパス通路、又は純水を80℃から100℃に加熱するヒータ部のいずれか一方へ送り出す三方弁と、
前記バイパス通路及びヒータ部に接続され、基部を中心に所定量回転しうるノズルとを有する加熱媒体吹き付け機構を具備し、
前記ノズルは回転しバイパス部からの純水を被切削物の切削部に吹き付けるか、或いは回転しヒータ部によって80℃から100℃に加熱された純水をダイシングブレード取り付け部に吹き付けることを特徴とするものである。
【0017】
本発明によれば、ダイシングブレードを回転軸から取り外す前にブレード取り付け部に熱を印加することにより、ブレード取り付け部と回転軸の熱膨張差に起因してブレード取り付け部と回転軸との間の間隙は広くなる。よって、ブレード取り付け部と回転軸との間に切削粉が介在していたとしても、ダイシングブレードを回転軸から容易に取り外すことが可能となる。
【0020】
【発明の実施の形態】
次に本発明の実施の形態について図面と共に説明する。
図1は本発明の一実施例であるダイシングブレード20の取り外し方法を説明するための図である。ダイシングブレード20は、従来構成と同様に切刃部21とハブ部22とにより構成されており、その中央部に回転軸26に取り付けられる取付孔23を具備したブレード取り付け部24を有している。
【0021】
切刃部21は微細なダイヤモンド粉等の砥粒をドーナッツ状に焼結したものであり、またハブ部22はアルミニウム製でありドーナッツ状とされた切刃部21の中央空間部分に取り付けられている。尚、アルミニウムの熱線膨張係数は23×10-6(deg-1)である。
【0022】
また、ダイシングブレード20のハブ部22には、複数(本実施例では8個)の貫通穴25が形成されており、ダイシングブレード20を回転させた場合、貫通穴25に起因してダイシングブレード20の回転位置近傍に風の流れが発生しするよう構成されている。
【0023】
この貫通穴25を形成することにより発生する風により、切削処理時に発生する切削粉は飛散し、回転軸26とブレード取り付け部24との間に切削粉が侵入するのを防止することができる。しかるに、貫通穴25を形成するのみでは、回転軸26とブレード取り付け部24との間に切削粉が侵入するのを確実に防止することはできない。
【0024】
また、回転軸27はステンレス製であり、スピンドルモータに接続されて例えば30000rpmで回転するよう構成されている。前記したダイシングブレード20は、この回転軸27に取り付けられて回転する構成とされている。尚、ステンレスの熱線膨張係数は15.8×10-6(deg-1)である。
【0025】
一方、ダイシングブレード20の近傍位置には、加熱された加熱媒体をブレード取り付け部24に向け噴射しうるノズル27が配設されている。具体的には、ノズル27はブレード取り付け部24の近傍に開口を有しており、また図示しない加熱手段により加熱された加熱媒体をブレード取り付け部24に向け噴射する構成とされている。
【0026】
加熱媒体としては、例えば純水,CO2水等の液体、或いは不活性ガス等の気体の適用が考えられる。このように、ブレード取り付け部24を加熱する媒体として安定性の高い熱湯或いは加熱された不活性ガスを用いたことにより、ハブ部22或いは切削を行うウェハに悪影響(腐食や酸化等)が発生することを防止できる。尚、加熱媒体は上記の材料に限定されるものではなく、ダイシングブレード20及び被切削物に対し安定した材料であれば他のものを用いることも可能である。
【0027】
上記構成において、ダイシングブレード20を回転軸26から取り外すには、先ずノズル27からブレード取り付け部24に向けて加熱媒体(上記のように、熱湯或いは加熱された不活性ガス)を噴射する。これにより、ブレード取り付け部24及び回転軸26F共には加熱されるが、前記したようにハブ部22はアルミニウム製であり、また回転軸26はステンレス製であり、両者の熱線膨張係数は異なっている。具体的には、回転軸26の熱線膨張係数に対し、その外部に配設されるハブ部22の熱線膨張係数は大きくなるよう構成されている。
【0028】
よって、ブレード取り付け部24を加熱することにより、ハブ部22と回転軸26の熱膨張差に起因してブレード取り付け部24と回転軸26との間の間隙は広くなる。従って、ブレード取り付け部24(ハブ部22)と回転軸26との間に切削粉が介在していたとしても、ダイシングブレード20を回転軸26から容易に取り外すことが可能となる。これにより、ダイシングブレード20の交換作業に要する時間を短縮することができ、ダイシング工程の効率化を図ることができる。
【0029】
図2及び図3は本発明の一実施例であるダイシング装置30を示している。本実施例に係るダイシング装置30は、上記したダイシングブレードの交換方法を適用しうるよう構成したものである。尚、図5を用いて説明したダイシング装置2及び図1を用いて説明したダイシングブレード20と同一構成については、同一符号を附してその説明を省略する。
【0030】
本実施例に係るダイシング装置30は、ダイシングブレード20の下部に切削液を噴射するノズル31に加熱媒体吹き付け機構32(以下、単に加熱機構という)を接続したことを特徴とするものである。
加熱機構32は、大略するとタンク33,ポンプ34,三方弁35,ヒータ36等により構成されている。タンク33は切削水を貯留するものであり、本実施例では切削水としてもまた加熱媒体としても使用することができる純水が貯留されている。また、タンク33はポンプ34と接続されており、タンク33に貯留されている純水はポンプ34により三方弁35に向け圧送される。
【0031】
三方弁35は、ポンプ34から圧送される純水をヒータ36或いはバイパス通路37に選択的に送り出す機能を奏する。具体的には、ダイシング装置30がウェハ9の切断処理を行う場合(図2に示す)には、三方弁35はポンプ34から圧送される純水をバイパス通路37に送り出すよう弁切り換えが行われ、またダイシングブレード20の交換処理を行う場合(図3に示す)には、三方弁35はポンプ34から圧送される純水をヒータ36に送り出すよう弁切り換えが行われる。
【0032】
従って、三方弁35がポンプ34から圧送される純水をヒータ36に送り出すよう切り換えられると、純水はヒータ36で加熱された上でノズル31に送られる。ヒータ36では、純水を80℃から100℃程度まで加熱する。
続いて、上記構成とされたダイシング装置30の動作について説明する。前記したように、図2はダイシング装置30がウェハ9の切断処理を行う状態を示している。この状態では、三方弁35はポンプ34から圧送される純水をバイパス通路37に送り出すよう設定されているため、タンク33内の純水は加熱されることなくノズル31からウェハ9の切削位置に噴射される。
【0033】
一方、ダイシングブレード20の交換時には、三方弁35はポンプ34から圧送される純水がヒータ36に送り出すよう設定される。これにより、ポンプ34から圧送される純水はヒータ36により80℃から100℃程度まで加熱され、加熱された熱湯はノズル31からブレード取り付け部24に噴射される。
【0034】
この際、ノズル31は基部38を中心に所定量回転しうる構成とされており、ダイシングブレード20の交換時にはノズル31の突出口は回転軸26と対向する位置まで回転される。よって、ノズル31から噴射される熱湯はブレード取り付け部24に確実に噴射され、ブレード取り付け部24の加熱処理を効率良く行うことができる。
【0035】
また、上記のようにウェハ9の切断処理を行う時に切削水を噴射するノズル31をダイシングブレード20の交換時には熱湯を噴射するノズルとして用いることにより、ダイシング装置30の構成を従来に比べ大きく変更することなく、ダイシングブレード20の交換を容易としたダイシング装置を実現することができる。
【0036】
上記のようにノズル31から熱湯がブレード取り付け部24に向け噴射されると、ハブ部22と回転軸26の熱膨張差に起因してブレード取り付け部24と回転軸26との間の間隙は広くなり、ブレード取り付け部24(ハブ部22)と回転軸26との間に切削粉が介在していたとしても、ダイシングブレード20を回転軸26から容易に取り外すことができる。よって、ダイシング装置30の構成を上記構成とすることにより、ダイシングブレード20の交換作業に要する時間を短縮することができ、ダイシング工程の効率化を図ることができる。
【0037】
尚、図2及び図3に示したダイシング装置30では、加熱媒体として純水を用いた構成に例に挙げて説明したが、加熱媒体は純水に限定されるものではなく、他の液体を用いても、また不活性ガスを用いた構成としてもよい。
また、上記した実施例では、加熱媒体の加熱温度を80℃から100℃とした例を示したが、加熱媒体の加熱温度はハブ部22の材質及び回転軸26の材質の熱線膨張係数により決定されるものであり、特に上記の温度範囲に限定されるものではない。
【0038】
【発明の効果】
上述の如く本発明によれば、ブレード取り付け部に熱を印加することによりブレード取り付け部と回転軸との間の間隙は広くなるため、ブレード取り付け部と回転軸との間に切削粉が介在していたとしてもダイシングブレードを回転軸から容易に取り外すことが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例であるダイシングブレードの交換方法を説明するための図である。
【図2】本発明の一実施例であるダイシングブレードの交換方法を適用しうるダイシング装置を示す図(ダイシング時)である。
【図3】本発明の一実施例であるダイシングブレードの交換方法を適用しうるダイシング装置を示す図(ダイシングブレードの交換時)である。
【図4】従来のダイシングブレードの一例を示す図である。
【図5】図4に示すダイシングブレードを装着したダイシング装置を示す図である。
【符号の説明】
20 ダイシングブレード
21 切刃部
22 ハブ部
23 貫通穴
24 ブレード取り付け部
26 回転軸
27,31 ノズル
30 ダイシング装置
32 加熱機構
33 タンク
34 ポンプ
35 三方弁
36 ヒータ
37 バイパス通路
Claims (1)
- 回転軸に取り付けられたダイシングブレードを回転させることにより、被切削物に対し切削加工を行うダイシング装置において、
純水を蓄えるタンクと、
ポンプから送り出された前記タンクの純水を、バイパス通路、又は純水を80℃から100℃に加熱するヒータ部のいずれか一方へ送り出す三方弁と、
前記バイパス通路及びヒータ部に接続され、基部を中心に所定量回転しうるノズルとを有する加熱媒体吹き付け機構を具備し、
前記ノズルは回転しバイパス部からの純水を被切削物の切削部に吹き付けるか、或いは回転しヒータ部によって80℃から100℃に加熱された純水をダイシングブレード取り付け部に吹き付けることを特徴とするダイシング装置。
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JP31836395A JP3854327B2 (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | ダイシング装置 |
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JP31836395A Expired - Lifetime JP3854327B2 (ja) | 1995-12-06 | 1995-12-06 | ダイシング装置 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1995
- 1995-12-06 JP JP31836395A patent/JP3854327B2/ja not_active Expired - Lifetime
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