JPH05144937A - ダイシングブレード - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】本発明はウエハやセラミック等を微細切削加工
する際用いられるダイシングブレードに関し、切り出さ
れるチップの歩留りを向上することを目的とする。 【構成】切刃部１１とハブ部１２とより構成され、切削
水２０を吹き付けられつつ切削加工を行うダイシングブ
レードにおいて、切削水２０を加工進行方向に対して後
方に送り出す送り出す送り出し機構として、ハブ部１２
に貫通穴１３を形成した。 【効果】ハブ部１２に貫通穴１３を形成することにより
発生する風により、切削水は加工進行方向に対して後方
に送り出されるため、ウエハ上に切削粉を含む切削水が
残存する量は少なくすることができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はダイシングブレードに係
り、特にウエハやセラミック等を微細切削加工する際用
いられるダイシングブレードに関する。

【０００２】ウエハ上に形成された複数の半導体素子チ
ップを個々に分割するためにダイシングが行われる。

【０００３】ダイシングはダイシングブレードを用い、
このダイシングブレードを高速回転すると共に切削水を
吹き付けつつ行われるが、この際ウエハより切削粉が発
生する。

【０００４】従って、この切削粉が半導体素子チップに
悪影響を及ぼさないよう処理することが重要となる。

【０００５】

【従来の技術】図４は従来構成のダイシングブレード１
が取り付けられたダイシング装置２を示す概略構成図で
ある。

【０００６】ダイシングブレード１は、図示しないスピ
ンドルモータに接続されており、例えば30000rpmで回転
するよう構成されている。このダイシングブレード１に
は、その外周部を覆うカバー３が設けられており、この
カバー３には切削加工時にダイシングブレード１に切削
水を吹き付ける４本のノズル４〜７（ノズル７はダイシ
ングブレード１を挟んでノズル６の裏側に配設されてい
るため、図に現れず）が配設されている。また、８は加
工されるウエハである。

【０００７】加工時には、ダイシングブレード１は図中
矢印Ａで示す方向（時計方向）に回転し、ウエハ８に対
して相対的に図中矢印Ｂで示す方向に進行することによ
り、ウエハ８を切断する構成となっている（尚、構成に
よってはダイシングブレードの回転方向が異なるものも
ある）。

【０００８】図４は、ダイシングブレード１を拡大して
示す図である。同図に示すように、ダイシングブレード
１は、切刃部１ａとハブ部１ｂとにより構成されてい
る。切刃部１ａは微細な砥粒をドーナッツ状に焼結した
ものであり、またハブ部１ｂはアルミニウム製であり、
ドーナッツ状とされた切刃部１ａの中央空間部分に取り
付けられている。従来、このハブ部１ｂは偏平な円盤状
の形状とされていた。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】ダイシングブレード１
によりウエハ８を切断する際、前記のようにダイシング
ブレード１は高熱を発生する。この熱を冷やすために、
また切削状態を良好とするために各ノズル４〜７からは
切削水が吹き付けられる。また、ウエハ８を切断する
際、切削粉が多量に発生し、切削水はこの切削粉を流し
取る機能をも有している。この切削粉を含む切削水がウ
エハ８上に付着したまま乾燥した場合には、ウエハ８に
悪影響を及ぼし、切り出されるチップの歩留りを低下さ
せる原因となる。

【００１０】しかるに、従来のダイシングブレード１
は、単にウエハ８を切断するだけの機能しか有していな
かったため、ダイシングブレード１に吹き付けられた切
削水は切断スピード，切削水の水量等の条件により乱れ
た状態で飛散し、ウエハ８上に多量の切削粉が残存して
しまい、これに起因して切り出されるチップの歩留りが
低下してしまうという問題点があった。

【００１１】本発明は上記の点に鑑みてなされたもので
あり、切り出されるチップの歩留りを向上し得るダイシ
ングブレードを提供することを目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記問題点は、切刃部と
ハブ部とより構成され、切削水を吹き付けられつつ切削
加工を行うダイシングブレードにおいて、ハブ部に、切
削水を加工進行方向に対して後方に送り出す送り出し機
構を設けることにより解決することができる。

【００１３】また、送り出し機構を、ハブ部に形成され
た貫通穴とすることにより一層効果的に解決することが
できる。

【００１４】

【作用】ダイシングブレードを上記構成とすることによ
り、ダイシングブレードが発生する風により切削水は加
工進行方向に対して後方に送り出されるため、ウエハ上
に切削粉を含む切削水が残存する量は少なくなり、ウエ
ハ上に残る切削粉の量も従来に比べて激減し、切り出し
た後のチップの歩留り及び信頼性を向上することができ
る。

【００１５】また、貫通穴により発生する風は、切削粉
を含む切削水の切刃部への付着をも防止するため、ダイ
シングブレードの寿命の延長を図ることができる。

【００１６】更に、ハブ部に貫通穴を形成することによ
り、冷却効率を向上させることができ、これによっても
ダイシングブレードの寿命の延長を図ることができる。

【００１７】

【実施例】次に本発明の実施例について図面と共に説明
する。

【００１８】図１は本発明の一実施例であるダイシング
ブレード１０を示している。ダイシングブレード１０
は、従来構成と同様に切刃部１１とハブ部１２とにより
構成されている。切刃部１１は微細なダイヤモンド粉等
の砥粒をドーナッツ状に焼結したものである。またハブ
部１２はアルミニウム製であり、ドーナッツ状とされた
切刃部１１の中央空間部分に取り付けられている。

【００１９】本発明に係るダイシングブレード１０で
は、このハブ部１２に複数（本実施例では８個）の貫通
穴１３を形成したことを特徴とするものである。この貫
通穴１３を形成することにより、ダイシングブレード１
０を回転させた場合、貫通穴１３に起因してダイシング
ブレード１０の回転位置近傍には風の流れが発生する。

【００２０】従来の如く、偏平な円盤状形状のハブ部１
ｂ（図４参照）であっても、ダイシングブレード１の回
転位置近傍に風の流れは発生する。しかるに、ハブ部１
ｂは偏平な形状であり、積極的に風を発生させる構成で
はなかったため、大きな風の流れは発生しない。

【００２１】これに対してダイシングブレード１０は、
ハブ部１２に複数の貫通穴１３を形成しているため、ダ
イシングブレード１０の回転位置近傍には強い風の流れ
が発生する。この強い風は、ダイシングブレード１０の
近傍の空気が、ダイシングブレード１０の回転に伴い貫
通穴１３内に巻き込まれることにより生ずるものであ
る。

【００２２】図２はダイシングブレード１０が取り付け
られたダイシング装置１４を示す概略構成図である。ダ
イシング装置１４自体の構成は、図４に示したダイシン
グ装置２と変わるところは無い。ダイシングブレード１
０は、このダイシング装置１４に取り付けられて、例え
ば30000rpmで回転することにより、ウエハ１５に対し切
削加工を行い切断する。

【００２３】またウエハ１５の切削加工時に、ダイシン
グブレード１０には、カバー１６に配設されたノズル１
７〜１９から切削水が吹き付けられる。加工時には、ダ
イシングブレード１０は図中矢印Ａで示す方向（時計方
向）に回転し、またダイシング装置１４は相対的に図中
矢印Ｂで示す方向に進行することにより、ウエハ１５は
ダイシングブレード１０により切断される。

【００２４】この切削加工により、吹き付けられた切削
水には多量の切削粉（主にＳｉ粉）が混ざりこんだ状態
となる。この切削粉を含む切削水がウエハ１５上で乾燥
した場合には、切削粉がウエハ１５上に残存し、切り出
されたチップの歩留りを低下させることは前記した通り
である。

【００２５】しかるに、本発明に係るダイシングブレー
ド１０は、ハブ部１２に複数の貫通穴１３を形成してお
り、ダイシングブレード１０の回転位置近傍には強い風
の流れが発生する構成となっている。上記のように、ダ
イシングブレード１０が図中矢印Ａ方向に回転する場
合、切削位置近傍では、図中矢印Ｃで示す方向（ダイシ
ングブレード１０の接線方向）に風は流れている。

【００２６】従って、同図（Ｂ）に示すように、切削粉
を含む切削水２０は、ダイシングブレード１０が発生す
る風により加工進行方向に対して後方（図中矢印Ｃ方
向）に付勢される。即ち、ハブ部１２に形成された貫通
穴１３は、切削水２０を加工進行方向（Ｂ方向）に対し
て後方に送り出す送り出し機構として機能する。

【００２７】このダイシングブレード１０が発生する風
の付勢力により切削水２０の乱れた飛散は防止され、切
削粉を含む切削水２０はウエハ１５上を流れ排水され
る。これにより、ウエハ１５上に切削粉を含む切削水２
０が残存する量は少なくなり、切削水２０が乾燥した後
にウエハ１５上に残る切削粉の量も従来に比べて激減
し、切り出した後のチップの歩留り及び信頼性を向上す
ることができる。

【００２８】また、切削粉を含む切削水２０がダイシン
グブレード１０に付着し、これが乾燥した場合には、切
削粉により切刃部１１の所謂めずまりが生じ、ダイシン
グブレード１０の寿命低下が発生することが知られてい
る。しかるに、本発明に係るダイシングブレード１０
は、上記のように貫通穴１３により強い風を発生するた
め、切削粉を含む切削水２０のダイシングブレード１０
への付着も防止することができ、ダイシングブレード１
０の寿命の延長を図ることができる。

【００２９】更に、ダイシングブレード１０は上記のよ
うに高速回転されることによりウエハ１５を切削するた
め、切削時は非常に高温の状態となる。従来では高温と
なったダイシングブレード１を冷却する手段は切削水の
みであったが、ハブ部１２に貫通穴１３を形成すること
により、冷却効率を向上させることができ、これによっ
てもダイシングブレード１０の寿命の延長を図ることが
できる。

【００３０】尚、上記実施例では、切削水２０を加工進
行方向に対して後方に送り出す送り出し機構としてハブ
部に貫通穴１３を形成した構成を示したが、送り出し機
構の構成はこれに限定されるものではなく、ダイシング
ブレードの回転により風を発生させて切削水を加工進行
方向に対して後方に送り出せる構成であれば、他の構成
でもよく、例えばハブ部に風発生用のフィンを設けた構
成等が考えられる。

【００３１】

【発明の効果】上述の如く本発明によれば、ダイシング
ブレードが発生する風により切削水は加工進行方向に対
して後方に送り出されるため、ウエハ上に切削粉を含む
切削水が残存する量は少なくなり、ウエハ上に残る切削
粉の量も従来に比べて激減し、切り出した後のチップの
歩留り及び信頼性を向上することができる。

【００３２】また、貫通穴により発生する風は、切削粉
を含む切削水の切刃部への付着をも防止するため、ダイ
シングブレードの寿命の延長を図ることができる。

【００３３】更に、ハブ部に貫通穴を形成することによ
り、冷却効率を向上させることができ、これによっても
ダイシングブレードの寿命の延長を図ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例であるダイシングブレードを
説明するための図である。

【図２】図１に示すダイシングブレードを装着したダイ
シング装置を示す図である。

【図３】従来のダイシングブレードの一例を示す図であ
る。

【図４】図３に示すダイシングブレードを装着したダイ
シング装置を示す図である。

【符号の説明】

１０ ダイシングブレード １１ 切刃部 １２ ハブ部 １３ 貫通穴 １４ ダイシング装置 １５ ウエハ １６ カバー １７〜１９ ノズル ２０ 切削水

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 切刃部（１１）とハブ部（１２）とより
   構成され、切削水（２０）を吹き付けられつつ切削加工
   を行うダイシングブレードにおいて、 該ハブ部（１２）に、該切削水（２０）を加工進行方向
   に対して後方に送り出す送り出し機構（１３）を設けた
   ことを特徴とするダイシングブレード。
2. 【請求項２】 該送り出し機構は、該ハブ部（１２）に
   形成された貫通穴（１３）であることを特徴とする請求
   項１のダイシングブレード。