JPH11254324A - 研磨のための方法および装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 典型的な通常の率よりも実質的に大きい除去
率を達成するような高速研磨装置を提供すること。 【解決手段】 本発明による高速研磨装置は、多孔性の
研磨ホイール２と、研磨ホイール２を取付けると共に毎
秒８０ｍにまで達する周速で研磨ホイール２を回転させ
る機械１０、１２とを備えている。高圧で噴出する冷却
剤を実質的に研磨点に先立つ研磨ホイール２の周縁の照
準点１９に方向付ける少なくとも１つのノズル手段２０
を有する高圧冷却剤供給システム２６が設けられてい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は研磨のための方法お
よび装置に関している。特に、高い原料除去率を達成す
ることができる、いわゆるクリープ研磨処理の改良に関
している。

【０００２】

【従来の技術】クリープ研磨は、最大限の深さあるいは
最大限の切除の作業であり、これは１回の行程で固定物
から完全な外形深さを切除できるものである。研磨され
る加工物は、回転する研磨ホイールを一定の速度で通過
するように送られる面テーブルに固定されている。原料
除去率は、ホイールの表面のチップ空胴の大きさ及び数
と他の多くの要因との組合わせによって決定される。チ
ップ空胴がほとんど充満している場合に高い原料除去率
が達成され得るが、最大限のあるいは詰め込まれた空胴
は、加工物表面を焼付けてホイールを損傷するのに十分
な摩擦熱を発生させ得る。

【０００３】従来、ホイールの切込深さを増大させるこ
とは、加工物の送り速度を減少させることや、２回以上
の行程で作業を実施することを必要としていた。

【０００４】ホイールの接触領域に十分な冷却剤の流れ
を与えて、加工物の冷却および研磨ホイールの冷却を確
実にすると共に効果的に洗浄を行うという幾つかの改良
が見出されている。ホイール表面の近傍に大量に約４ｂ
ａｒに達する典型的な供給圧力で冷却剤を供給する噴射
洗浄ノズルを用いることが知られている。ホイールのタ
イプおよび構成は、原料除去率とホイール摩耗との間の
最も満足のいくバランスのために、研磨される材料のタ
イプに合わせて慎重に選択される。構成の慎重な選択お
よび動作の可変性によって、最良の組合わせでの原料除
去率は他の形態の２倍の高さにまで達し得る。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】我々は、典型的な通常
の率よりも実質的に大きい除去率が、小径のホイール
と、冷却剤供給圧力と、ホイール上の冷却剤噴出衝突ポ
イントとの新しい組合わせによって達成され得るという
驚くべき結果を知見した。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明によれば、その最
も広い特徴において、多孔性の研磨ホイールと、研磨ホ
イールを取付けると共に毎秒８０ｍにまで達する周速で
研磨ホイールを回転させる機械と、高圧で噴出する冷却
剤を実質的に研磨点に先立つ研磨ホイールの周縁の照準
点に方向付ける少なくとも１つのノズル手段を有する高
圧冷却剤供給システムと、を備えた高速研磨装置が提供
される。

【０００７】さらに、研磨ホイールを研磨点において深
い切込みとなるように配置する工程と、高圧で噴出する
液体を実質的に研磨点に先立つ研磨ホイールの周縁の照
準点に方向付ける工程と、を備えた高原料除去率で研磨
作業を実施するための方法が提供される。

【０００８】

【発明の実施の形態】本発明の方法および装置並びにそ
れらがいかにして実施されるのかが、添付の図面を参照
して実施例と共に説明される。

【０００９】本発明は、通常のミリングカッタの代わり
に研磨ホイールを用いて作動するようになっている多軸
ミリング機械を用いて実際に実施される。この種の多軸
機械を用いる主たる理由は、研磨される加工物上に複雑
な表面外形を再現するためのその能力であるが、この特
別なテーマは本発明の範囲の外側にある。従って、研磨
ホイールと加工物との相対的な動きは、複合された動き
であり得る。しかしながら、添付の図面においては、簡
単のために、そのような相対的な動きを直線状のものと
して表している。

【００１０】本発明は、添付の図面に示された構成の実
施例を参照して、より詳細に説明される。

【００１１】図１は、本発明の基本原理を図示する図式
的な図である。

【００１２】図２は、多軸マシニングセンタ上の本発明
の一実施例において用いられた冷却剤ノズル装置を図示
している。

【００１３】本発明を組み入れている研磨プロセスの原
理を図示するという目的のために、図１は、加工物６が
相対的に矢印８の方向にホイール２を通って送られる間
に、矢印４の方向に回転する研磨ホイール２を備えた研
磨装置を示している。図示の実施例では、これは、全体
に９として示された接触領域において、“下降”研磨と
して当業者に知られた動作を行う。本発明は同様に“上
昇”研磨で作動することも見出される。実質的に、本発
明のプロセスは、クリープ研磨として知られているプロ
セスの発展形態である。それは、誤った表現であると考
えられ得る。なぜならこの改良結果は、加工物材料をき
わめて高速に除去することを達成しているからである。

【００１４】研磨ホイール２は、標準的な多軸機械の一
部であるツールヘッドまたはチャック１２に保持された
回転スピンドル１０に取付けられている。加工物６は、
面取付テーブル１６上の取付部材１４によって保持され
ている。本発明は“１行程”研磨プロセスであることが
意図されているので、研磨ホイールの幅は、もちろん要
求される研磨面の対応する幅によって決定されている。
我々は、１０ｍｍから４５ｍｍの範囲の幅の研磨ホイー
ルを用いた結果、もし面速度が一定に維持されている場
合、変化に意味が見出されないことを知見した。一方
で、我々は幅の限界の兆候を見出すこともなく、他の理
由は別として、本発明が研磨ホイールの幅にかかわらず
有用であることが予期される。

【００１５】このタイプの研磨ホイールに用いられ、改
良が達成される面速度の値の範囲は、毎秒約１０ｍから
毎秒約８０ｍまでであった。変化するホイールの直径
は、面速度が他の全てのパラメータに調和している場
合、矛盾の無い結果を与えた。記録のために用いられた
研磨ホイールの最大径は約４００ｍｍであるが、この上
限値は、ホイール構造の固有の安定性によるというより
も、機械の作動領域における物理的な許容範囲によって
決定された。明らかに、それらの構成及び構造の特徴に
よる研磨ホイールは、２つだけ示すとすれば最大の回転
速度及び達成できる切込み深さの点で限界があるが、本
実施例においては、これらはプロセスの動作パラメータ
を縮小しなかった。従って、大きさの点で機械が許す場
合、より速度の高い形態が達成されることが予測され得
る。

【００１６】水溶性油を有する液体冷却剤の噴射１８
は、ノズル手段２０を介して、ホイール２の周縁の照準
点１９に向けられている。ノズル２０は、閉ループの冷
却剤供給、収集、濾過システムの出口である。ホイール
から噴出された使用済みの冷却剤は、機械の下方部分に
おいて油だめ２２内に収集され、有効な濾過システム２
４を介して流されて一定の粒子の大きさ、典型的には少
なくとも約１０ミクロンまで破片が除去される。

【００１７】濾過システム２４と一体に、超高圧ポンプ
システム２６が設けられている。このシステム２６は、
一定の圧力をかけて、出口２８を介して供給ノズル２０
に冷却剤を供給する。図示の実施例では、冷却剤の供給
は、１００ｂａｒにも達する圧力、典型的には７０ｂａ
ｒに達する圧力で、毎分約６０リットルに達する流速
で、出口２８を介して供給される。我々は、約４０Ｂａ
ｒから約７０Ｂａｒの圧力範囲で供給される冷却剤を用
いて達成される著しい改良を知見した。

【００１８】ノズル２０は、加工物６の切除領域に先だ
つ約４５゜の地点のホイール周において略放射方向でホ
イールに冷却剤の超高圧噴射１８を供給するために、ホ
イール２の周縁の近傍に配置されている。ノズル２０
は、ホイールの全体の幅に亘る衝撃点においてホイール
の周縁に対して垂直な方向に冷却剤流体の噴射１８を方
向付けるように構成され配置されている。本実施例で
は、ノズル２０はホイール２の幅に略等しい長さを有す
る略長方形状であって、０．５ｍｍから１ｍｍの深さで
ある噴射開口を有している。この開口は、従って、ホイ
ールの周縁にシート状または扇状に冷却剤の噴射１８を
方向付け、ホイールの幅に亘る冷却剤の略均一な分布が
得られる。異なる幅のホイール２が用いられる場合、冷
却剤ノズル２０もまた調和するように変更される。例え
ば単一のノズルの幅よりはるかに広い幅の研磨ホイール
が用いられる場合、ホイールの全体の幅におよぶ合同冷
却剤／潤滑剤噴射を生成すべく、２つのそのようなノズ
ルが隣り合って取付けられ得る。ホイールに適合するよ
うノズルを変更する必要を回避するために、２つのノズ
ルは単一の２倍幅のノズルよりも好まれるかもしれな
い。なぜなら、２つのノズル配置において、ノズルの一
方は消耗を回避すべくオンオフバルブを介して供給され
得るからである。

【００１９】図面では、一対の半径３０，３２が、ホイ
ールスピンドル１０上に中心を置かれて（破線で）示さ
れている。第１半径３０は、ホイール２の周縁上で噴射
１８の衝突領域を通るように引かれている。一方、第２
半径３２は、ホイール２と加工物６との間の接触点を通
るように引かれている。これら２つの半径３０，３２の
間の角度は、噴射１８の衝突点の周上の位置を規定す
る。範囲のうち最も小さい端で約８０ｍｍのホイール直
径を用いている本実施例の図から、この角度は約４５゜
であり、噴射１８は研磨ホイール接点に先だっているこ
とがわかる。従って、もし機械が“上昇”研磨プロセス
に変更されるなら、冷却剤噴射１８の衝突点が対応して
変更されなければならない。異なるホイール直径が試さ
れ、我々は、改良された性能を維持するために、噴出衝
突点とホイール切除点との間を略一定の距離に維持する
ことが最良であることを知見した。すなわち、ホイール
直径が増大されるにつれて、先だつ角度は逆の比率で減
少した。研磨ホイールの周縁の研磨ホイール切除点と冷
却剤照準点とを隔てる距離は、研磨ホイールの直径にか
かわらず、略一定に維持されるように思われる。しかし
ながら、最良の結果を得るためのその距離の大きさは、
幾つかの要因によって影響され、主にホイールの面速度
と多孔性とによるらしい。例えば、ガラス状多孔性ホイ
ールを用いた以上に示された例では、最良の冷却剤照準
点は、切除点に約３０ｍｍから４０ｍｍ先だつ領域にあ
ることが知見された。

【００２０】本発明で達成された効果は、関係する幾つ
かのパラメータを変えることで、ある程度可変であるこ
とが認められる。我々の経験では、前述の冷却剤供給圧
力である限り、接触点に先だつ約４５゜のノズル位置
が、説明された大きさ及び種類の研磨ホイールを用いて
最大の効果を達成した。この配置は、極めて重要である
とは知見されなかったが、複数の試験は原料除去率にと
って重要な利点が接触領域９への従来の冷却剤注入では
達成されなかったことを示した。実際、その領域への冷
却剤の注入は、研磨ホイールの横滑りを促進することに
よって有害な効果を有し得ることが知見された。また、
研磨ホイールの反対側の周の広い範囲でホイール周縁に
向けられた冷却剤は、その他の場所でのめざましい改良
をもたらさないことが知見された。

【００２１】本発明の重要な改良は、主として、従来の
基準によれば極端に高い冷却剤圧力と、多孔性ホイール
との関係における冷却剤噴射の位置と、に依存している
ように見える。従来の研磨プロセスでは、冷却剤流の圧
力は通常１から２Ｂａｒのオーダーであり、従来技術で
は約５Ｂａｒの圧力が高圧として言及されている。我々
は、このようなオーダーの冷却剤圧力では、いかなるタ
イプの研磨ホイールを用いても重要な利点は見出され得
ないことを知見した。ずっと高い冷却剤供給圧力を用い
て、所望の効果が、広い範囲の角度において達成され得
る、あるいは、わずかに異なる角度で最高であり得る。
濾過およびポンプシステムの大きさおよびコストのた
め、実質的に異なる供給圧力で実験することの困難性と
費用とが、そのような不定の実験法を排除する。

【００２２】現実的なノズル装置が図２に示されてい
る。図２では、図１と比較して、同じ部材には同じ参照
符号が付されている。例えば、研磨ホイール２は、軸３
０周りに回転するために機械スピンドル１２に取付けら
れ、ノズル手段２０は、研磨作業の間、接触領域の直前
に配置される。しかしながら、研磨作業が最新の加工プ
ロセスに完全に一体化され得るために、それは多軸マシ
ニングセンタにおいて実施され、ノズル取付装置は、従
って、自動ツール変換機能及び多様な研磨ホイール直径
を満たすようになっている。

【００２３】図２に図示された実施例では、ある範囲の
ホイール直径を満たすために、ノズル手段２０は、並ん
で取付けられた２つの個別のノズル２０ａ，２０ｂを有
している。ノズルの配置は、第１ノズル２０ａが狭い幅
の研磨ホイールに対して一列となるようになっている。
より広いホイールは、付加される幅が第２ノズル２０ｂ
の領域内にくるように配置される。冷却剤供給システム
（以下により詳細に説明される）は、狭い研磨ホイール
が用いられる時ノズル２０ｂを通る流れをせき止めるバ
ルブ手段を有し得る。

【００２４】ツールスピンドル１０は、軸３０周りに回
転するためにチャック１２に取付けられている。ホイー
ル２あるいは他のツールは、スピンドル１０と共に、チ
ャック１２から取外し可能であり、自動ツール変換機構
によって、他のツール、例えば他の直径のホイールと交
換可能である。そのようなツールの変換は、機械ツール
の分野ではよくある。通常は、装置が回転ツールのライ
ブラリあるいは貯蔵所を有しており、回転ツールの各々
は、それ自身のスピンドルに取付けられる。制御コマン
ドに基づいて、チャック１２はスピンドル１０を解放
し、ロボットアーム（図示せず）がツールおよび／また
はスピンドルを把持し、ツール貯蔵所においてそれを他
のツールと交換する。新しいスピンドル１０は、自動的
に締められるチャック１２内に挿入される。この全体の
プロセスが数秒で達成され、作業者の介在を何ら必要と
しない。冷却剤供給ノズル手段２０は、従って、ツール
（研磨ホイール）２の周りのすぐ近くの空間部分からそ
れが取除かれない限り、潜在的な障害物を呈する。

【００２５】ノズル２０ａ，２０ｂの先端（出口開口）
は、使用中、好ましくは、研磨ホイール２の周面に大変
接近して配置される。結果として、ノズルがツール交換
シークエンスの間にホイール２と接触して損傷が引起こ
され得るという明確な可能性が存在する。従って、ノズ
ル手段２０（すなわち両方のノズル２０ａ，２０ｂ）
は、ツール自体およびその周囲の空間をきれいに片付け
るべく、ツール変換作業中に引込められるように配置さ
れている。このことは、新しいツールが例えばより大き
い直径の研磨ホイール２を有する場合に特に重要であり
得る。

【００２６】従って、ノズル手段２０と冷却剤供給シス
テムとは、ノズル２０ａ，２０ｂがツール空間から離れ
て揺動することを可能とするようになっている。この構
成では、これらのノズルは、ツールスピンドル軸３４に
平行かつそれから離れている軸３６周りに離れて揺動す
るように取付けられている。もちろん、軸３４と最大径
の研磨ホイール２の周縁との間には、十分な間隙がなけ
ればならない。

【００２７】ノズル２０ａ，２０ｂは、軸３６と同軸に
配置された管状供給導管３８に結合されている。管状導
管３８の一端３９は閉じているが、反対側の端４０は回
転部４２ａ（導管３８がこれに結合される）と静止部４
２ｂとを有する回転管４２の出口と流体連通するように
結合されている。

【００２８】部分４２ａ，４２ｂは、ヨークアーム４８
に保持されたステッパモータ４６によって駆動されるシ
ャフト４４からの機械的な回転入力によって、相対的に
回転可能である（さらに以下を参照）。

【００２９】回転管４２の静止部４２ａはまた、ヨーク
４８に相対的に固定されており、入口５０から内部の相
互連絡室を介して出口４０まで冷却剤を導くために中空
である。入口５０は、ポンプシステム出口２８によって
示された柔軟供給パイプによって冷却剤濾過／ポンプシ
ステム２６（図１参照）に接続された、ヨーク４８に対
して相対的に固定された導管５２からの冷却剤を受容す
る。従って、作動中、冷却剤流の連続的な供給が出口２
８から供給ノズル２０ａ，２０ｂに維持され得る。ステ
ッパモータ４６は、研磨ホイール２を含むツール空間を
片付けるべく軸３６周りに導管３８およびノズル手段２
０を回転させるように動力を与えられ得る。新しいツー
ル２が所定位置にくると、モータ４６は逆回転して、ノ
ズル手段２０を反対方向にホイール２の周縁に向けて回
転させる。好ましくは、ノズル２０ａ，２０ｂの先端と
ホイールの周縁との間の所定のすき間を設定するため
に、モータ４６はクラッチ機構（図示せず）および逆ト
ルク検出手段（図示せず）と結合している。精確なすき
間を得るために、ステッパモータ４６はノズル先端がホ
イール周縁に当接するまで前進される。クラッチ機構が
瞬間的に滑り、逆トルクセンサが作動してモータ４６へ
の電力供給を遮断する。この瞬間に、ノズルの先端はホ
イール周縁に軽く接触しているはずである。その後、モ
ータが逆回転して、ノズルを所定の距離、図示の実施例
ではステッパモータの１または２ステップに対応する数
ミリメートルだけ引込ませる。冷却剤の供給は、ツール
交換作業の間一時的に休止されても再開され得る。

【００３０】以上のように、ステッパモータとノズル手
段２０は、機械のスピンドル軸３４に対する相対的な回
転のためにチャック１２と同軸に取付けられたヨークア
ーム４８に保持されている。図２に示すように、本実施
例では、ヨークは実質的にディスク型の部分５０を有し
ており、ヨークアーム４８はその部分５０と一体的に形
成されて、機械軸３４に対して相対的に実質的に放射方
向に延びている。環状部分５０の周縁部は、ギヤ部が形
成され、あるいは加工されている。それは、この場合空
気駆動モータである主発動機５４によって駆動されるギ
ヤピニオン５２とかみ合わされている。モータ５４は、
機械に対して相対的に固定されている固定ヨーク５６に
保持されており、結果としてアース部材として機能す
る。例えば、モータ５４が（適切な趣旨で）動力を与え
られると、ピニオン５２が、ヨーク５０およびヨークア
ーム４８を機械軸３４周りに回転させる、このことによ
る効果は、ノズル手段２０の照準点１９を研磨ホイール
２の周縁周りに移動すること、図においては、実線のノ
ズル２０で描かれた初期の照準点から、破線で描かれた
ノズルの位置２０に対応する第２照準点１９に移動する
こと、である。ノズル２０は、ヨーク５０の周縁におい
て、ギヤ部によって対応する角度に対応する範囲内でど
の位置にも配置され得る。すなわち、ノズル手段２０
は、研磨ホイール周縁に冷却剤噴射を方向付けるべく所
望の位置に配置され得る。ノズル２０ａ，２０ｂは、実
質的に放射方向に、すなわち実質的に照準点における接
続に対して垂直に、冷却剤の噴射を方向付けるように構
成され配置されている。ノズル手段は、全体として、機
械軸３４上を中心とした周方向に回転されるので、この
放射状の関係が維持される。このようにして、研磨作業
中、基本機械としての多軸機械の能力が利用され得る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の基本原理を図示する図式的な図。

【図２】多軸マシニングセンタ上の本発明の一実施例に
おいて用いられた冷却剤ノズル装置。

【符号の説明】

２ 研磨ホイール ６ 加工物 ９ 接触領域 １０ 回転スピンドル １２ チャック １４ 取付部材 １６ 面取付テーブル １８ 噴射 １９ 照準点 ２０ 供給ノズル ２０ａ、２０ｂ ノズル ２２ 油だめ ２４ 濾過システム ２６ 超高圧ポンプシステム ２８ 出口 ３０ 軸 ３４ スピンドル軸 ３６ 軸 ３８ 管状導管 ４２ 回転管 ４２ａ 回転部 ４２ｂ 静止部 ４４ シャフト ４６ ステッパモータ ４８ ヨークアーム ５０ ディスク型部分 ５２ ギヤピニオン ５４ 主発動機 ５６ 固定ヨーク

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ、ロドニー、ワトキンス イギリス国ブリストル、ストーク、ロッ ジ、シェルモアー、アベニュ、６ (72)発明者 チャールズ、レイ イギリス国ワーリック、ラグビー、ダンチ ャーチ、ロード、84 (72)発明者 スティーブン、レイ イギリス国ワーリック、ラグビー、ペイル トン、ホーム、ファーム、クローズ、４

Claims (17)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】多孔性の研磨ホイールと、 研磨ホイールを取付けると共に毎秒８０ｍにまで達する
   周速で研磨ホイールを回転させる機械と、 高圧で噴出する冷却剤を実質的に加工点に先立つ研磨ホ
   イールの周縁の照準点に方向付ける少なくとも１つのノ
   ズル手段を有する高圧冷却剤供給システムと、を備えた
   ことを特徴とする高速研磨装置。
2. 【請求項２】ノズル手段は、冷却剤の噴射を、実質的に
   放射方向に研磨ホイールの周の照準点に方向付けるよう
   になっていることを特徴とする請求項１に記載の装置。
3. 【請求項３】ノズル手段は、研磨ホイールの周の照準点
   を、加工点に約３０ｍｍから４０ｍｍ先立つ距離に向け
   られていることを特徴とする請求項１または２に記載の
   装置。
4. 【請求項４】冷却剤ノズル手段は、加工点に対して相対
   的に冷却剤噴射照準点を再位置決めするために、機械の
   スピンドル軸周りに回転可能であることを特徴とする請
   求項１乃至３に記載の装置。
5. 【請求項５】ノズル手段は、スピンドル軸周りに回転可
   能なヨークに保持されていることを特徴とする請求項４
   に記載の装置。
6. 【請求項６】ヨークは、主発動機によって駆動されるこ
   とを特徴とする請求項５に記載の装置。
7. 【請求項７】ヨークは、その少なくとも周縁部近傍にお
   いて、主発動機がピニオンを介して係合するギアが形成
   されていることを特徴とする請求項６に記載の装置。
8. 【請求項８】機械は、自動ツール交換器を有する多軸マ
   シニングセンタを備えており、 ノズル手段は、ツール変換作業に応じてツール空間を空
   にするように可動であることを特徴とする請求項１乃至
   ７のいずれかに記載の装置。
9. 【請求項９】ツール空間を空にするように可動のノズル
   手段は、機械のスピンドル軸と平行かつ横方向に離れた
   軸の周りに揺動するようになっていることを特徴とする
   請求項８に記載の装置。
10. 【請求項１０】可動のノズル手段は、独立のモータによ
    ってその揺動軸上で駆動されることを特徴とする請求項
    ８または９に記載の装置。
11. 【請求項１１】ノズル揺動軸と機械のスピンドル軸との
    間の横方向の間隔に対する相対的なノズル手段の揺動半
    径は、ノズルの先端が研磨ホイールの周に接触するよう
    に回転され得るようになっていることを特徴とする請求
    項１０に記載の装置。
12. 【請求項１２】独立のモータは、ノズルの先端と研磨ホ
    イールの周との間の接触を検出する手段を有しているこ
    とを特徴とする請求項１１に記載の装置。
13. 【請求項１３】高圧冷却剤供給システムは、使用中、ノ
    ズル手段から約４０乃至７０Ｂａｒの圧力で液体の噴射
    を供給することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれ
    かに記載の装置。
14. 【請求項１４】研磨ホイールは、多孔性のガラス状構造
    の酸化アルミニウムで構成されていることを特徴とする
    請求項１乃至１３のいずれかに記載の装置。
15. 【請求項１５】下降切除研磨あるいは上昇切除研磨のた
    め研磨ホイールを加工点において深い切込みとなるよう
    に配置する工程と、高圧で噴出する液体冷却剤を研磨点
    に先立って略放射方向に研磨ホイールの周の照準点に方
    向付けるようにノズル手段を位置決めする工程と、を備
    えた高原料除去率で研磨作業を実施する方法を有する請
    求項１乃至１４のいずれかに記載の装置の使用。
16. 【請求項１６】実質的に以下に詳述され、添付の図面に
    図示された高速研磨装置。
17. 【請求項１７】請求項１６による装置の使用。