CN114755814B - 一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机，属于精密机床设备附件技术领域，包括显微镜安装支架，显微镜安装支架上设置工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元；工件正面切割观察单元包括工业相机、第一镜筒、第一镜筒夹具、点光源、环形光源、环光固定件；工件背面切割观察单元包括红外接收相机、第二镜筒、第二镜筒夹具、环形红外光源，第二镜筒夹具连接于显微镜安装支架上，第二镜筒装夹于第二镜筒夹具上，红外接收相机连接于第二镜筒顶端。本发明能够实现从工件背面观察到工件正面的切割道，来进行切割产品，实现背切功能，这样避免了从工件正面切割，保证了工件正面的洁净与完整，且提高了切割工件的合格率。

Description

一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机

技术领域

本发明属于精密机床设备附件技术领域，具体地是涉及一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机。

背景技术

划片机属于精密机床设备，划片机在切割晶圆工件时，需要使用显微镜对待切割的工件进行观察，来完成切割。目前，划片机观察工件的方式基本都是从工件正面进行观察，查看到工件正面的切割道位置以后进行切割；一般来说工件的正面品质要求的比较严格，当刀片正面切割时，可能会在工件正面出现一些残渣而污染到工件正面；再有，当刀片与工件正面接触切割时，工件正面极易产生裂痕，会对工件正面造成破坏，严重的会造成被切割的工件全部报废。

目前，划片机所使用的观察切割情况的现有显微镜结构，只能从工件正面进行观察切割道位置，以完成切割，会存在上述：“正面切割时，可能会在工件正面出现一些残渣而污染到工件正面”以及“刀片与工件正面接触切割时，工件正面极易产生裂痕” 的两点问题。因此，目前需要研制出一种可解决上述问题的能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机。

发明内容

本发明就是针对上述问题，弥补现有技术的不足，提供一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构及划片机；本发明的新式显微镜结构，既可以实现正面观察又可以实现背面观察，可以实现透过待切割工件背面而观察到工件正面的切割道位置，以完成在工件背面进行切割，实现背切功能，解决了上述的两点问题。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案。

一方面，本发明提供一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构，包括显微镜安装支架，所述显微镜安装支架上设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元；

所述工件正面切割观察单元包括工业相机、第一镜筒、第一镜筒夹具、点光源、环形光源、环光固定件，第一镜筒夹具连接于显微镜安装支架上，第一镜筒装夹于第一镜筒夹具上，工业相机连接于第一镜筒顶端，点光源连接在第一镜筒夹具上方的第一镜筒中部，环形光源通过环光固定件固定连接在第一镜筒下部的显微镜安装支架上；

所述工件背面切割观察单元包括红外接收相机、第二镜筒、第二镜筒夹具、环形红外光源，第二镜筒夹具连接于显微镜安装支架上，第二镜筒装夹于第二镜筒夹具上，红外接收相机连接于第二镜筒顶端，环形红外光源固定安装于第二镜筒下部的显微镜安装支架上。

作为本发明的一种优选方案，所述第一镜筒夹具包括第一夹块、第二夹块，第二镜筒夹具包括第三夹块、第四夹块；第一夹块与第二夹块上设置有用于与第一镜筒配合的夹持凹槽，第一夹块与第二夹块之间固定连接；第三夹块与第四夹块上设置有用于与第二镜筒配合的夹持凹槽，第三夹块与第四夹块之间固定连接。

作为本发明的另一种优选方案，所述环光固定件前侧表面上设置有吹气管、吹气管夹块，吹气管通过吹气管夹块固定连接于环光固定件上，环光固定件与吹气管夹块上设置有用于与吹气管配合的夹持凹槽。

作为本发明的另一种优选方案，所述显微镜安装支架包括阶梯式立板、加强筋板，工件正面切割观察单元安装于阶梯式立板的第一个阶梯处，工件背面切割观察单元安装于阶梯式立板的第二个阶梯处，加强筋板设置有两块，两块加强筋板平行连接于阶梯式立板的第三个阶梯处。

作为本发明的另一种优选方案，所述两块加强筋板上设置有对称的穿线孔，数据传输线通过穿线孔与工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元相连，数据传输线还与划片机显示屏相连。

作为本发明的另一种优选方案，所述能够用于划片机背切的新式显微镜结构还包括护壳、切换控制模块，设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元的显微镜安装支架固定连接于护壳内，切换控制模块用于控制工件正面切割观察单元与工件背面切割观察单元分别工作。

另一方面，本发明还提供一种划片机，包括显微镜操纵机构，所述显微镜操纵机构上安装有能够用于划片机背切的新式显微镜结构。

本发明有益效果：

通过将由工业相机、第一镜筒、第一镜筒夹具、点光源、环形光源、环光固定件构成的普通低倍显微镜结构与由红外接收相机、第二镜筒、第二镜筒夹具、环形红外光源构成的特殊的红外高倍显微镜结构结合，组成了本发明的能够用于划片机背切的新式显微镜结构，来实现红外照射以及反馈到划片机显示屏上；利用本发明所设置的红外高倍显微镜结构，能够实现从工件背面观察到工件正面的切割道，来进行切割产品，实现背切功能，这样避免了从工件正面切割，保证了工件正面的洁净与完整，且提高了切割工件的合格率。

附图说明

图1是本发明提供的能够用于划片机背切的新式显微镜结构的立体结构示意图。

图2是本发明提供的能够用于划片机背切的新式显微镜结构的平面结构示意图。

图3是本发明提供的划片机的立体结构示意图。

图4是本发明提供的划片机的平面结构示意图。

图中标记：1为吹气管夹块、2为吹气管、3为环形光源、4为点光源、5为护壳、6为加强筋板、7为显微镜安装支架、8为环形红外光源、9为第二镜筒、10为第二镜筒夹具、11为红外接收相机、12为工业相机、13为第一镜筒、14为第一镜筒夹具、15为环光固定件、16为第一夹块、17为第二夹块、18为穿线孔、19为第四夹块、20为第三夹块、21为显微镜操纵机构、22为新式显微镜结构。

具体实施方式

为了使本发明所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施方式仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

结合图1和图2所示，本发明实施例提供了一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构22，包括显微镜安装支架7，所述显微镜安装支架7上设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元；所述工件正面切割观察单元包括工业相机12、第一镜筒13、第一镜筒夹具14、点光源4、环形光源3、环光固定件15，第一镜筒夹具14连接于显微镜安装支架7上，第一镜筒13装夹于第一镜筒夹具14上，工业相机12连接于第一镜筒13顶端，点光源4连接在第一镜筒夹具14上方的第一镜筒13中部，环形光源3通过环光固定件15固定连接在第一镜筒13下部的显微镜安装支架7上，环光固定件15设置有与环形光源3配合连接的夹持凹槽，环光固定件15两端通过螺钉固定连接于显微镜安装支架7上。

所述工件背面切割观察单元包括红外接收相机11、第二镜筒9、第二镜筒夹具10、环形红外光源8，第二镜筒夹具10连接于显微镜安装支架7上，第二镜筒9装夹于第二镜筒夹具10上，红外接收相机11连接于第二镜筒9顶端，环形红外光源8固定安装于第二镜筒9下部的显微镜安装支架7上。

所述第一镜筒夹具14包括第一夹块16、第二夹块17，第二镜筒夹具10包括第三夹块20、第四夹块19；第一夹块16与第二夹块17上设置有用于与第一镜筒13配合的夹持凹槽，第一夹块16与第二夹块17之间通过螺钉固定连接；第三夹块20与第四夹块19上设置有用于与第二镜筒9配合的夹持凹槽，第三夹块20与第四夹块19之间通过螺钉固定连接。

其中，所述的第一镜筒13为低倍镜筒，所述的第二镜筒9为高倍镜筒。

所述环光固定件15前侧表面上设置有吹气管2、吹气管夹块1，吹气管2通过吹气管夹块1通过螺钉固定连接于环光固定件15上，环光固定件15与吹气管夹块1上设置有用于与吹气管2配合的夹持凹槽。

所述显微镜安装支架7包括阶梯式立板、加强筋板6，工件正面切割观察单元安装于阶梯式立板的第一个阶梯处，工件背面切割观察单元安装于阶梯式立板的第二个阶梯处，加强筋板6设置有两块，两块加强筋板6平行连接于阶梯式立板的第三个阶梯处。

所述两块加强筋板6上设置有对称的穿线孔18，数据传输线通过穿线孔18与工件正面切割观察单元的工业相机12、工件背面切割观察单元的红外接收相机11相连，数据传输线还与划片机显示屏相连。

所述能够用于划片机背切的新式显微镜结构22还包括护壳5、切换控制模块，设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元的显微镜安装支架7固定连接于护壳5内，切换控制模块用于控制工件正面切割观察单元与工件背面切割观察单元分别工作。

具体地，本发明中所述的工件正面切割观察单元实际为由工业相机12、第一镜筒13、第一镜筒夹具14、点光源4、环形光源3、环光固定件15构成的普通低倍显微镜结构，主要是观察工件正面切割的情况，可以用于完成切割要求不高的工件；本发明中所述的工件背面切割观察单元实际为由红外接收相机11、第二镜筒9、第二镜筒夹具10、环形红外光源8构成的特殊的红外高倍显微镜结构，利用特殊的环形红外光源8去照射工件背面，环形红外光源8能够透射到工件正面的切割道,使工件正面的切割道反射回来的光被红外接收相机11接收，从而实现透过工件背面观察到工件正面的切割道的功能，即可进行切割,因此本发明具备背切的能力；红外高倍显微镜结构具有透过工件背面观察正面切割道的功能，普通低倍显微镜结构具有观察工件正面的功能，通过所述切换控制模块来切换普通低倍显微镜结构与红外高倍显微镜结构分别工作，以实现全面观察工件，大大增强了划片机的切割能力。

具体地，背切实际为从工件的背面进行切割，工件的切割通道在工件的正面，背面是没有切割通道的，通常进行的切割操作是将工件的正面置于显微镜下来观察切割道进行切割；背切是将工件背面置于显微镜下通过环形红外光源8的作用穿过工件去观察工件正面的切割道然后从工件背面进行切割。

本发明通过背切功能，来减少从工件正面切割造成工件的损坏与脏污的风险。将红外接收相机11与环形红外光源8整合到新式显微镜结构22上，环形红外光源8的照射加上红外接收相机11的信号接收，实现了划片机从工件背面切割的功能。通过使用红外接收相机11对工件进行背面切割会消除这些问题，通过利用环形红外光源8，能够从工件背面进行观察与切割，消除了切割时脏污问题及对工件正面造成影响，也避免了切割时会产生工件正面的崩边与裂痕。

结合图3和图4所示，本发明实施例还提供了一种划片机，包括显微镜操纵机构21，所述显微镜操纵机构21上安装有能够用于划片机背切的新式显微镜结构22；本发明实施例所提供的划片机，通过设置了新式显微镜结构22，实现了划片机从工件背面切割的功能，提高了工件的合格率与划片机的工作效率，大大加强了划片机的切割能力。

可以理解的是，以上关于本发明的具体描述，仅用于说明本发明而并非受限于本发明实施例所描述的技术方案，本领域的普通技术人员应当理解，仍然可以对本发明进行修改或等同替换，以达到相同的技术效果；只要满足使用需要，都在本发明的保护范围之内。

Claims (4)

1.一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构，其特征在于：包括显微镜安装支架，所述显微镜安装支架上设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元；所述工件正面切割观察单元包括工业相机、第一镜筒、第一镜筒夹具、点光源、环形光源、环光固定件，第一镜筒夹具连接于显微镜安装支架上，第一镜筒装夹于第一镜筒夹具上，工业相机连接于第一镜筒顶端，点光源连接在第一镜筒夹具上方的第一镜筒中部，环形光源通过环光固定件固定连接在第一镜筒下部的显微镜安装支架上；所述工件背面切割观察单元包括红外接收相机、第二镜筒、第二镜筒夹具、环形红外光源，第二镜筒夹具连接于显微镜安装支架上，第二镜筒装夹于第二镜筒夹具上，红外接收相机连接于第二镜筒顶端，环形红外光源固定安装于第二镜筒下部的显微镜安装支架上；所述显微镜安装支架包括阶梯式立板、加强筋板，工件正面切割观察单元安装于阶梯式立板的第一个阶梯处，工件背面切割观察单元安装于阶梯式立板的第二个阶梯处，加强筋板设置有两块，两块加强筋板平行连接于阶梯式立板的第三个阶梯处；所述两块加强筋板上设置有对称的穿线孔，数据传输线通过穿线孔与工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元相连，数据传输线还与划片机显示屏相连；所述能够用于划片机背切的新式显微镜结构还包括护壳、切换控制模块，设置有工件正面切割观察单元、工件背面切割观察单元的显微镜安装支架固定连接于护壳内，切换控制模块用于控制工件正面切割观察单元与工件背面切割观察单元分别工作。

2.根据权利要求1所述的一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构，其特征在于：所述第一镜筒夹具包括第一夹块、第二夹块，第二镜筒夹具包括第三夹块、第四夹块；第一夹块与第二夹块上设置有用于与第一镜筒配合的夹持凹槽，第一夹块与第二夹块之间固定连接；第三夹块与第四夹块上设置有用于与第二镜筒配合的夹持凹槽，第三夹块与第四夹块之间固定连接。

3.根据权利要求1所述的一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构，其特征在于：所述环光固定件前侧表面上设置有吹气管、吹气管夹块，吹气管通过吹气管夹块固定连接于环光固定件上，环光固定件与吹气管夹块上设置有用于与吹气管配合的夹持凹槽。

4.一种划片机，包括显微镜操纵机构，其特征在于：所述显微镜操纵机构上安装有如权利要求1至3中任一项所述的一种能够用于划片机背切的新式显微镜结构。

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