JP2022072131A - レーザー加工装置 - Google Patents
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- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
Description
波長 :355nm
繰り返し周波数 :50kHz
平均出力 :3W
焦点距離 :50mm
加工送り速度 :200mm/秒
2:保持手段
25:チャックテーブル
25a:保持面
3:基台
4:保持手段
5:Z軸移動手段
51:パルスモータ
52:ボールねじ
6:レーザー照射手段
61:発振器
64:集光器
7:撮像手段
8:Z位置検出手段
81:Z軸スケール
82:Z位置読み取り部
9:表示手段
10:検査用ウエーハ
30:移動手段(送り手段)
31:X軸方向送り手段
32:Y軸方向送り手段
37:枠体
37a:垂直壁部
37b:水平壁部
100:制御手段
110:Z位置記憶部
120:検査範囲設定部
130:画像記憶部
140:画像処理部
Claims (3)
- 被加工物を保持するX軸及びY軸で規定される保持面を備えたチャックテーブルを有する保持手段と、該チャックテーブルに保持された被加工物に対して吸収性を有する波長のパルスレーザー光線を照射してアブレーション加工を施すレーザー照射手段と、該チャックテーブルと該レーザー照射手段とを相対的にX軸方向及びY軸方向に加工送りする送り手段と、被加工物の加工領域を撮像する撮像手段と、制御手段と、を少なくとも備えたレーザー加工装置であって、
該レーザー照射手段は、パルスレーザー光線を発振する発振器と、該発振器が発振したパルスレーザー光線を集光する集光器と、該集光器を該チャックテーブルの保持面に直交するZ軸方向に移動するZ軸移動手段とを備え、
該制御手段は、該集光器によって位置付けられる集光点のZ軸方向の位置を記憶するZ位置記憶部と、該Z位置記憶部に記憶された該位置を基準とする粗密間隔の検査範囲と精密範囲の検査範囲とを設定する検査範囲設定部と、該撮像手段によって撮像した被加工物の加工領域の画像を該粗密間隔の検査範囲及び該精密間隔の検査範囲に対応して記憶する画像記憶部と、該画像記憶部に記憶された該画像を処理する画像処理部と、を備え、
該制御手段は、該チャックテーブルに保持された検査用の被加工物の上面に集光点を位置付けるZ軸方向の該位置を基準として、該検査範囲設定部によって設定された該粗密間隔の検査範囲において該集光器をZ軸方向に間欠的に移動すると共にX軸方向又はY軸方向に該チャックテーブルを間欠的に移動してパルスレーザー光線を照射して、被加工物の上面に複数の第1の加工痕を形成し、該撮像手段で該第1の加工痕を撮像して該画像記憶部に記憶し、該画像処理部によって該画像記憶部に記憶された該第1の加工痕の画像を処理して、該第1の加工痕の中で最も小さい第1の最小加工痕を抽出し、該第1の最小加工痕に対応した該集光点のZ軸方向における第1の最小加工痕Z位置を検出し、さらに、該チャックテーブルに保持された検査用の被加工物の上面に集光点を位置付ける第1の最小加工痕Z位置を基準として、該検査範囲設定部によって設定された該精密間隔の検査範囲において該集光器をZ軸方向に間欠的に移動すると共にX軸方向又はY軸方向に該チャックテーブルを間欠的に移動してパルスレーザー光線を照射して、被加工物の上面に複数の第2の加工痕を形成し、該撮像手段で該第2の加工痕を撮像して該画像記憶部に記憶し、該画像処理部によって該画像記憶部に記憶された該第2の加工痕の画像を処理して該第2の加工痕の中で最も小さい第2の最小加工痕を抽出し、該第2の最小加工痕に対応した該集光点のZ軸方向の第2の最小加工痕Z位置を検出し、該第2の最小加工痕Z位置を該Z位置記憶部に記憶するレーザー加工装置。 - 該粗密間隔の検査範囲とは、粗密間隔がZ軸方向において50μm以上であって、検査範囲が±1.0mm以上であり、該精密間隔の検査範囲とは、精密間隔がZ軸方向において5μm以下であって、検査範囲が±0.05mm以下である請求項1に記載のレーザー加工装置。
- 表示手段を備え、該表示手段は、該撮像手段が撮像した加工痕の画像を表示すると共に、該加工痕に対応する集光点のZ座標位置を表示する請求項1、又は2に記載のレーザー加工装置。
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2020
- 2020-10-29 JP JP2020181418A patent/JP2022072131A/ja active Pending
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