JP3602720B2 - 基板処理装置 - Google Patents

Description

【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体ウエハや液晶表示用ガラス基板等の薄板状精密基板（以下、単に「基板」という。）に対して所定の処理を施す基板処理装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】
従来より、基板の製造過程で使用される基板処理装置には、液処理ユニットや熱処理ユニット等の複数の処理部が設けられている。また、基板に対する一連の処理を行うために、これら複数の処理部間で基板を搬送することが必要となるため、基板をアーム上に保持した状態で各処理部間での搬送を行うことができる搬送ロボットが設けられている。
【０００３】
また、搬送ロボットが各処理部に対して基板を搬送することができるように、各処理部が搬送ロボットの周囲に配置されるとともに、基板処理装置の内部雰囲気を清浄に保つ必要のあることから基板処理装置内部は略密閉された構造となっている。
【０００４】
従って、オペレータが基板処理装置内部の搬送ロボットの状態を確認することは、困難な構造となっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】
ところで、基板処理装置の搬送ロボットは、基板を搬送する際に何らかのトラブル（異常）が検出されると、即時停止し、オペレータにトラブルの発生を通知するように構成されている。
【０００６】
また、基板処理装置においては、搬送ロボットが基板の搬送を行う際に何らかのトラブルが発生した場合に、トラブル発生時の搬送ロボットの状態をオペレータが確認することは非常に重要なことである。
【０００７】
例えば、搬送ロボットが熱処理ユニットから基板を取り出す動作を行ったにもかかわらず、基板検出センサによってアーム上に基板を検出することができなかった場合は、実際にアームが熱処理ユニット内の基板を取り損なった可能性もあるが、基板検出センサが故障している可能性もある。従って、オペレータがトラブル発生時の搬送ロボットの状態を確認することによって、トラブルの原因を究明し、その原因に応じた対処を行うことが可能となる。
【０００８】
しかし、従来の基板処理装置では、搬送ロボットが基板の搬送を行う際に何らかのトラブルが発生した場合に、オペレータが搬送ロボットの状態を確認しようとすると、基板処理装置のカバー類を取り外した後、装置内部に身を乗り出して確認し、それでも確認できない場合には、さらに鏡等を使用して確認しなければならず、非常に困難であるとともに長時間を要する作業であった。従って、復帰作業にも長時間を要することとなり、オペレータへの負担や装置の稼働率の点で重大な問題であった。
【０００９】
また、オペレータが経験等に基づいて、トラブル原因を推測して復帰作業を行うことも考えられるが、この場合、オペレータの推測したトラブル原因が間違っていると、基板や搬送ロボットを損壊させることとなる。
【００１０】
この発明は、上記課題に鑑みてなされたものであって、搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オペレータが容易に搬送ロボットの状態を確認できるとともに、復帰作業も容易に行うことができる基板処理装置を提供することを目的とする。
【００１１】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、請求項１に記載の発明は、搬送ロボットが複数の処理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の処理を施す基板処理装置であって、(a)搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する際に、基板を保持するアームと、(b)アームにおける基板の有無を検出する基板検出センサと、(c)搬送ロボットの動作を制御するとともに、基板検出センサの出力を監視する制御部と、(d)制御部からの命令に基づいて警報を発生させる警報発生手段とを備え、前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、前記アームが所定の処理部に対して進入可能な高さ位置であって、前記アームが前記所定の処理部に対向することにより、前記アームの基板保持状態を確認できる確認可能位置に前記搬送ロボットを移動させるとともに、前記警報発生手段に対して命令を送出することを特徴としている。
【００１２】
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の基板処理装置において、さらに、（ｅ）制御部に対して搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性の操作パネルを備えることを特徴としている。
【００１３】
請求項３に記載の発明は、請求項１又は請求項２に記載の基板処理装置において、前記制御部は、前記搬送ロボットが前記確認可能位置に移動した後、所定の入力に応答して前記アームを駆動して前記所定の処理部に進入させることを特徴としている。
【００１４】
請求項４に記載の発明は、搬送ロボットが複数の処理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の処理を施す装置であって、 (a) 前記搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する際に、基板を保持するアームと、 (b) 前記アームにおける基板の有無を検出する基板検出センサと、 (c) 前記搬送ロボットの動作を制御するとともに、前記基板検出センサの出力を監視する制御部と、 (d) 前記制御部からの命令に基づいて警報を発生させる警報発生手段と、を備え、前記複数の処理部の少なくとも１つは、開放することによって装置内部を観察することができる開閉扉を有し、前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、前記開閉扉を開放することによって前記アームの基板保持状態を確認することができる確認可能位置に前記搬送ロボットを移動させるとともに、前記警報発生手段に対して前記命令を送出することを特徴としている。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の装置において、さらに、 (e) 前記制御部に対して前記搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性の操作パネル、を備えることを特徴としている。
請求項６に記載の発明は、請求項４又は請求項５に記載の装置において、前記確認可能位置は、前記アームが所定の処理部に対して進入可能な高さ位置であって、前記アームが前記所定の処理部に対向することにより、前記アームの基板保持状態の確認が可能な位置であることを特徴としている。
請求項７に記載の発明は、請求項６に記載の装置において、前記制御部は、前記搬送ロボットが前記確認可能位置に移動した後、所定の入力に応答して前記アームを駆動して前記所定の処理部に進入させることを特徴としている。
【００１５】
【発明の実施の形態】
＜１．基板処理装置の全体構成＞
まず、本発明に係る基板処理装置の全体構成について説明する。図１は、実施形態の基板処理装置を説明する図である。図１（ａ）は、装置の平面図であり、図１（ｂ）は、装置の正面図である。なお、図１には、その方向関係を明確にするためＸＹＺ直交座標系を付している。ここでは、床面に平行な水平面をＸＹ面とし、鉛直方向をＺ方向としている。
【００１６】
図１に示すように、本実施の形態においては、基板処理装置は、基板の搬出入を行うインデクサＩＤと、基板に処理を行う複数の処理ユニットおよび各処理ユニットに基板を搬送する基板搬送手段が配置されるユニット配置部ＭＰと、図示しない露光装置とユニット配置部ＭＰとの間で基板の搬入／搬出を行うために設けられているインターフェイスＩＦとから構成されている。
【００１７】
ユニット配置部ＭＰは、最下部に、薬剤を貯留するタンクや配管等を収納するケミカルキャビネット１１を備え、この上側であってその４隅には、基板に処理液による処理を施す液処理ユニットとして、基板を回転させつつレジスト塗布処理を行う塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２（スピンコータ）と、露光後の基板の現像処理を行う現像処理ユニットＳＤ１、ＳＤ２（スピンデベロッパ）とが配置されているとともに、装置の前側（Ｙ方向の負の向き側）であって両塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２の間には、基板に純水等の洗浄液を供給して基板を回転洗浄する洗浄処理ユニットＳＳ（スピンスクラバ）が配置されている。さらに、これらの液処理ユニットの上側には、基板に熱処理を行う多段熱処理ユニット２０が装置の前部及び後部に配置されている。
【００１８】
塗布処理ユニットＳＣ１、ＳＣ２や現像処理ユニットＳＤ１、ＳＤ２に挟まれた装置中央部には、周囲の全処理ユニットにアクセスしてこれらとの間で基板の受け渡しを行うための基板搬送手段として、搬送ロボットＴＲ１が配置されている。この搬送ロボットＴＲ１は、鉛直方向に移動可能であるとともに中心の鉛直軸回りに回転可能となっている。この搬送ロボットＴＲ１についてはさらに後述する。
【００１９】
なお、ユニット配置部ＭＰの最上部には、クリーンエアのダウンフローを形成するフィルタファンユニットＦＦＵが設置されている。多段熱処理ユニット２０の直下にも、液処理ユニット側にクリーンエアのダウンフローを形成するフィルタファンユニットＦＦＵが設置されている。
【００２０】
次に、図２は、図１の処理ユニットの配置構成を説明する図である。塗布処理ユニットＳＣ１の上方には、多段熱処理ユニット２０として、６段構成の熱処理ユニットが配置されている。これらのうち、最下段より数えて１段目の位置には基板の冷却処理を行うクールプレート部ＣＰ１が設けられており、２段目，３段目についても同様にクールプレート部ＣＰ２，ＣＰ３が設けられている。そして、４段目には、基板に対して密着強化処理を行う密着強化部ＡＨが設けられ、５段目と６段目の位置には、基板の加熱処理を行うホットプレート部ＨＰ１，ＨＰ２が設けられている。
【００２１】
塗布処理ユニットＳＣ２の上方にも、多段熱処理ユニット２０として、６段構成の熱処理ユニットが配置されている。これらのうち、最下段より１段目から３段目の位置にはクールプレート部ＣＰ４〜ＣＰ６が設けられており、４段目から６段目の位置にはホットプレート部ＨＰ３〜ＨＰ５が設けられている。
【００２２】
現像処理ユニットＳＤ１の上方にも、多段熱処理ユニット２０として、４段構成の熱処理ユニットが配置されている。このうち、最下段より１段目，２段目の位置にはクールプレート部ＣＰ７，ＣＰ８が設けられており、３段目，４段目の位置にはホットプレート部ＨＰ６，ＨＰ７が設けられている。なお、最上段側の２段は、本実施形態の装置の場合、空状態となっているが、用途及び目的に応じてホットプレート部やクールプレート部、又はその他の熱処理ユニットを組み込むことができる。
【００２３】
現像処理ユニットＳＤ２の上方にも、多段熱処理ユニット２０として、２段構成の熱処理ユニットが配置されている。このうち、最下段より１段目の位置には、クールプレート部ＣＰ４が設けられており、２段目の位置には、基板に対して露光後のベーキング処理を行う露光後ベークプレート部ＰＥＢが設けられている。この場合も、露光後ベークプレート部ＰＥＢより上段側は空状態となっているが、用途及び目的に応じてホットプレート部やクールプレート部、又はその他の熱処理ユニットを組み込むことができる。
【００２４】
そして、上記の液処理ユニットや熱処理ユニット間をユニット配置部ＭＰの中央部に設けられた搬送ロボットＴＲ１が順次に搬送することによって基板に対して所定の処理を施すことができる。
【００２５】
なお、液処理ユニットについては、通常、オペレータによるノズル交換等のメンテナンスが頻繁に行われる処理部であるため、図３に示すように、この基板処理装置においては、液処理ユニットのそれぞれに対してメンテナンスが容易となるように開閉扉１２が設けられる。
【００２６】
さらに、この基板処理装置のインデクサＩＤには、オペレータが処理内容等を操作入力するための操作パネル１４ａが設けられるとともに、接続部１３を介して可搬性の操作パネル１４ｂも接続可能なように構成されている。この可搬性の操作パネル１４ｂを使用することにより、各液処理ユニットでのオペレータのメンテナンス時に、操作パネルの操作が必要となる場合であっても、オペレータの手元に操作パネル１４ｂを配置することができるので、操作効率が向上する。また、操作パネルは、液処理ユニットのそれぞれについて、例えば、開閉扉１２の下側等のオペレータが操作容易な位置に複数個設置するようにしても良い。なお、この操作パネル１４ａ，１４ｂは、表示機構も兼ね備えている。
【００２７】
なお、図１ないし図３に示すインターフェイスＩＦは、ユニット配置部ＭＰにおいてレジストの塗布が終了した基板を露光装置側に渡したり露光後の基板を露光装置側から受け取るべく、かかる基板を一時的にストックする機能を有し、図示を省略しているが、搬送ロボットＴＲ１との間で基板を受け渡すロボットと、基板を載置するバッファカセットとを備えている。
【００２８】
＜２．搬送ロボットの構成＞
次に搬送ロボットＴＲ１の構成について説明する。図４は、搬送ロボットＴＲ１の外観斜視図である。この搬送ロボットＴＲ１は、基板Ｗを保持する一対のアーム３１ａ，３１ｂを水平方向に移動させるアーム駆動機構部と、伸縮しつつ鉛直方向に移動させる伸縮昇降機構部と、鉛直軸周りに回転させる回転駆動機構部とを備えている。そして、これらの機構部によってアーム３１ａ，３１ｂを搬送ロボットＴＲ１の周囲に配置された全ての処理ユニットに対してアクセスすることが可能となっている。
【００２９】
本発明にかかる基板処理装置の搬送ロボットＴＲ１の伸縮昇降機構は、いわゆるテレスコピック型の伸縮機構であり、カバー４１ｄをカバー４１ｃに収納可能であり、カバー４１ｃをカバー４１ｂに収納可能であり、カバー４１ｂをカバー４１ａに収納可能である。そして、アーム３１ａ，３１ｂを降下させる際には、カバーを順次に収納していくことができ、逆に、アーム３１ａ，３１ｂを上昇させる際には収納した状態のカバーが順次に引き出されるように実現されている。これらのカバー４１ａ〜４１ｄは内部に設けられている伸縮昇降機構部が、動作する際に発生する粉塵を搬送ロボットＴＲ１の外部に出さないために設けられており、これにより基板へのパーティクルの付着を抑制することができる。
【００３０】
また、この搬送ロボットＴＲ１は基台４４上に設置されており、基台４４の中心を軸として回転することができるように回転駆動機構部が構成されている。なお、基台４４に固定された状態で、固定カバー４３が取り付けられている。
【００３１】
図５は、搬送ロボットＴＲ１の動作機構を説明するための側面断面図である。図５に示すように、この搬送ロボットＴＲ１の内部は、上記のようにテレスコピック型の多段入れ子構造となっている。そして、収縮時において、昇降部材４２ａは昇降部材４２ｂに収納され、昇降部材４２ｂは昇降部材４２ｃに収納され、昇降部材４２ｃは昇降部材４２ｄに収納され、昇降部材４２ｄは固定部材４２ｅに収納されるように構成されている。
【００３２】
そして、昇降部材４２ｂ，４２ｃ，４２ｄには、それぞれプーリ４７ａ，４７ｂ，４７ｃが取り付けられている。これらプーリ４７ａ，４７ｂ，４７ｃには、ベルトＬ３，Ｌ２，Ｌ１が掛架されている。そして、ベルトＬ１の一端は固定部材４２ｅの上部に固定されており、他端は昇降部材４２ｃの下部に固定されている。同様に、ベルトＬ２は昇降部材４２ｄの上部と昇降部材４２ｂの下部に固定されており、ベルトＬ３は昇降部材４２ｃの上部と昇降部材４２ａの下部に固定されている。
【００３３】
そして、回転台４５上に設置されたモータやシリンダ等の駆動機構Ｄ１を駆動することにより、支持部材４８が昇降し、この支持部材４８に固着された昇降部材４２ｄが昇降するように構成されている。この昇降部材４２ｄの昇降動作よって、上記のプーリやベルトを介して各昇降部材４２ｃ，４２ｂ，４２ａが昇降するように構成されている。
【００３４】
なお、カバー４１ｂ，４１ｃ，４１ｄは、搬送ロボットＴＲ１の側面のみを覆うように形成されており、昇降部材４２ａ〜４２ｄとはプーリやベルト等の可動部の動作を妨げないような状態で接続されている。
【００３５】
そして、駆動機構Ｄ２は、回転台４５を基台４４の軸Ｇを中心に回転させるための駆動機構であり、モータ等によって構成されている。従って、回転台４５が軸Ｇを中心に回転することによって、アーム３１ａ，３１ｂが軸Ｇを中心として回転することが可能となっている。
【００３６】
次に、搬送ロボットＴＲ１のアーム３１ａ，３１ｂについて説明する。図６は、図４に示した搬送ロボットＴＲ１のアーム部分の拡大図である。
【００３７】
ステージ３５上には、ほぼ同一構造の２個のアーム３１ａ，３１ｂが取り付けられている。各アーム３１ａ，３１ｂは、それぞれステージ３５に対する姿勢を維持しつつ、各セグメント部分の屈伸動作を行うことにより水平方向に直進することができるように構成されている。
【００３８】
この直進動作は、各アーム３１ａ，３１ｂのそれぞれについてステージ３５内に設けられたモータ等のアーム駆動機構部によって行われる。そして、この直進動作により、各アーム３１ａ，３１ｂは、正面にある処理ユニットに対して基板を搬送するように構成されている。また、アーム３１ａと３１ｂとは、それぞれ異なる高さ位置に配置されており、アーム３１ａが上側に、アーム３１ｂが下側に設けられている。このため、アーム３１ａ，３１ｂのそれぞれの基板の搬送動作において互いに干渉しないような構造となっている。そして、例えば、各アーム３１ａ，３１ｂを互い違いに屈伸させれば、正面にある処理ユニット中の処理済み基板Ｗを取り出して、未処理の基板Ｗをこの処理ユニット中に搬入することができる。処理ユニットに対して基板の取り出し、又は、搬入の動作が行われると、各アーム３１ａ，３１ｂは、ステージ３５の上方の戻り位置（原点位置）に戻る。
【００３９】
そして、アーム３１ａと３１ｂとの間の高さ位置であって、各アームの戻り位置に対応する位置には、アーム３１ａが保持する基板と、アーム３１ｂが保持する基板との間で温度等についての影響を相互に与えないために、遮蔽板３２が設けられている。この遮蔽板３２は、ステージ３５に固定されているブラケット３４によって支持されている。
【００４０】
また、ブラケット３４は、アーム３１ａの上方にも伸びており、その先端部分と遮蔽板３２の上面側とには、アーム３１ａ上に基板が存在するか否かを検出する透過型光電スイッチ等のような基板検出センサ２１ａ，２１ｂが取り付けられている。なお、アーム３１ｂ上に基板が存在するか否かを検出する同様の基板検出センサも遮蔽板３２の下面側に設けられている。
【００４１】
図７は、搬送ロボットＴＲ１のアーム部分を側方からみた概略図である。図７に示すように、ブラケット３４の先端部分と遮蔽板３２の上面側とに取り付けられた基板検出センサ２１ａ，２１ｂと同様の基板検出センサ２２ａ，２２ｂが、遮蔽板３２の下面側と、ステージ３５の上面側とに取り付けられている。
【００４２】
基板検出センサ２１ａ，２１ｂは、アーム３１ａが戻り位置にあるときに、アーム３１ａ上の基板の有無を検出するセンサである。例えば、基板検出センサ２１ａを投光部とし、基板検出センサ２１ｂを受光部とすると、基板検出センサ２１ａから出射される光が基板Ｗによって遮光されると、基板検出センサ２１ｂには光が到達しないため、基板検出センサ２１ｂの出力により、アーム３１ａ上に基板Ｗが存在することを認識することができる。また、基板検出センサ２１ｂが光を受光すると、その出力により、アーム３１ａ上に基板Ｗが存在しないことを認識することができる。なお、基板検出センサ２１ａを受光部とし、基板検出センサ２１ｂを投光部としても良いことは言うまでもない。
【００４３】
同様に、基板検出センサ２２ａ，２２ｂは、アーム３１ｂが戻り位置にあるときに、アーム３１ｂ上の基板の有無を検出するセンサであり、受光部となるいずれか一方の出力を監視することによってアーム３１ｂ上の基板の有無を認識することができる。
【００４４】
このように、この搬送ロボットＴＲ１に設けられた各機構部により、周囲に配置された全ての処理ユニットに対してアーム３１ａ，３１ｂをアクセスすることが可能な構成となっている。また、各アームの戻り位置に対応する位置に、基板検出センサ２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂが設けられているため、搬送の際に、各アーム上の基板の有無を検出することができ、この検出結果に応じてオペレータにトラブル発生を通知する警報を発生させることも可能となる。
【００４５】
＜３．基板処理装置の制御機構＞
次に、この基板処理装置の制御機構について説明する。図８は、この基板処理装置の制御機構を示すブロック図である。
【００４６】
図８に示すように、この基板処理装置には、基板の処理における各処理ユニットや搬送ロボットの動作等を統括的に制御するメインコントローラ１００が設けられており、メインコントローラ１００には、操作パネル１４と警報発生部１５とが接続されている。
【００４７】
図８に示す操作パネル１４は、図３に示した操作パネル１４ａと１４ｂを含むものである。メインコントローラ１００は、操作パネル１４に対して、基板の処理状況、又は、搬送ロボットＴＲ１の基板の搬送状況をオペレータに通知するための表示情報を送出するとともに、操作パネル１４からオペレータの操作による入力情報を入力する。
【００４８】
警報発生部１５は、この基板処理装置における基板の処理中や搬送中等にトラブルが発生した場合に、オペレータに対してトラブル発生を通知するためのものである。この警報発生部１５により、オペレータはトラブル発生を認識することができるが、トラブルの内容については認識することはできないことがある。そこで、メインコントローラ１００は、トラブル発生の際に警報発生部１５に対して警報命令を送出するとともに、操作パネル１４上にトラブルの内容を表示するように操作パネル１４に対して表示情報を送出する。
【００４９】
また、メインコントローラ１００は、操作パネル１４から得られた入力情報に基づいて、図示しない各処理ユニットのコントローラや、搬送ロボットＴＲ１についての搬送ロボットコントローラ２００等のようにメインコントローラに接続された各コントローラに対して、所定の処理又は搬送動作を行うように制御命令を出力する。
【００５０】
搬送ロボットコントローラ２００は、メインコントローラ１００からの制御命令を受信すると、制御命令に基づいて搬送ロボットＴＲ１を動作させるべく、伸縮昇降機構部２１０，回転駆動機構部２２０，アーム駆動機構部２３０のそれぞれに対して駆動信号を送出する。
【００５１】
また、搬送ロボットコントローラ２００には、アーム３１ａ上の基板を検出するための基板検出センサ２１ａ，２１ｂと、アーム３１ｂ上の基板を検出するための基板検出センサ２２ａ，２２ｂとについても接続されている。そして、搬送ロボットコントローラ２００は、メインコントローラ１００からの制御命令に基づいて各基板検出センサからの出力をメインコントローラ１００に対して送出するように構成されている。
【００５２】
従って、メインコントローラ１００は、搬送ロボットコントローラ２００に対して制御命令を送出することにより、搬送ロボットＴＲ１の動作を制御するとともに、各基板検出センサの出力を監視することが可能となっている。
【００５３】
そして、メインコントローラ１００が、各基板検出センサの出力によりトラブルを検出した際には、搬送ロボットコントローラ２００に対して搬送ロボットＴＲ１の停止命令を出力して搬送ロボットＴＲ１を一旦停止させる。そして、警報発生部１５に対して警報命令を出力し、オペレータに対してアーム３１ａ又は３１ｂ上の基板検出にトラブルが発生したことを通知する。また、メインコントローラ１００は、操作パネル１４に対して警報画面を表示させる。
【００５４】
図９は、操作パネル１４に表示される警報画面を示す図である。警報画面には、メインコントローラ１００が基板検出センサについて異常を検出したトラブルの発生時間と、トラブル発生箇所についてユニットと、警報名称とが一覧表示部Ｒ１１に表示される。この警報画面は、各基板検出センサによる異常検出の場合だけでなく、その他の基板の処理中等に発生したトラブル時にも表示される。従って、警報画面にトラブルの発生時間と発生箇所とその名称を一覧表示部Ｒ１１に一覧形式で表示させることにより、オペレータが容易にトラブルの発生について認識することができる。また、一覧形式で表示されるトラブルの数が多い場合には、オペレータがスクロールボタンＢ１１，Ｂ１２を操作することにより、一覧表示の上方向又は下方向に表示内容をスクロールさせることができる。
【００５５】
また、警報画面には、アラームリスタートボタンＢ１３，キャンセルリスタートボタンＢ１４，詳細文章ボタンＢ１５，状況確認ボタンＢ１６，閉じるボタンＢ１７が表示されており、オペレータがこれらのボタンを押す操作を行うことにより、メインコントローラ１００に種々の制御を行わせるように指示を行うことができる。
【００５６】
アラームリスタートボタンＢ１３は、アーム上に存在するはずの基板が検出できなかった場合に操作されたときには、再度メインコントローラ１００が基板検出センサの出力を確認し、基板を検出することができれば警報状態を解除して、基板に対する処理を続行開始させるボタンである。すなわち、再度の検出によって、正常状態となっていれば処理を続行させるボタンである。なお、再度の確認によっても基板を検出することができなければ、警報状態は継続する。
【００５７】
キャンセルリスタートボタンＢ１４は、アーム上に存在するはずの基板が検出できなかった場合に操作されたときには、再度メインコントローラ１００が基板検出センサの出力を確認し、再び基板を検出することができなかった場合であっても警報状態を解除して、基板に対する処理を続行開始させるボタンである。この場合は、アーム上の基板はキャンセルしたもの（なくなったもの）として、基板を検出し、アーム上に基板が検出されなければ正常な状態に戻ったとして、後の処理を続行させる制御である。なお、再度の確認によって、基板を検出することができたならば、今度はキャンセルしたはずの基板がアーム上に存在することになるので、新たに別の警報を発生させ、停止状態を継続させる。
【００５８】
詳細文章ボタンＢ１５は、操作パネル１４の表示内容を警報画面から後述する詳細画面に変更するボタンである。オペレータがこのボタンを操作することにより、メインコントローラ１００は操作パネル１４の表示状態を詳細画面に切り換える。
【００５９】
状況確認ボタンＢ１６は、基板検出センサによる異常検出時に停止した状態の搬送ロボットＴＲ１を移動させるために、操作パネル１４に状況確認画面を表示させるボタンである。オペレータがこのボタンを操作することにより、メインコントローラ１００は操作パネル１４の表示状態を状況確認画面に切り換える。
【００６０】
閉じるボタンＢ１７は、警報画面の表示状態を終了させるボタンである。
【００６１】
ここで、詳細画面について説明する。図１０は、警報内容の詳細を表示する詳細画面を示す図である。詳細画面には、警報画面に表示されていた警報名称と、その警報がどのようにして生じたかを示す警報内容と、その警報に対するオペレータの対処・復帰手順とがそれぞれの表示領域Ｒ２１，Ｒ２２，Ｒ２３に表示される。オペレータは、この詳細画面を参照することにより、警報の内容や取りうる措置を認識することができる。また、警報名称が「基板検出異常」として同じ場合であっても、メインコントローラ１００は異常を検出した際の状況に応じて警報内容や対処・復帰手順を表示する。従って、オペレータは、警報画面だけでは認識することができない内容を詳細画面を参照することにより認識することができる。
【００６２】
なお、詳細画面に設けられている閉じるボタンＢ２１をオペレータが操作することにより、メインコントローラ１００は操作パネル１４の表示状態を詳細画面から再び警報画面に変更する。
【００６３】
以上のようなメインコントローラ１００の制御により、基板検出においてトラブルが生じた場合には、即時オペレータに通知されるとともに、オペレータは操作パネル１４の警報画面により、搬送ロボットＴＲ１の基板の検出にトラブルが発生したことを認識することができる。さらに、トラブル検出した状態で搬送ロボットＴＲ１の搬送動作を停止させることができる。
【００６４】
ところで、搬送ロボットＴＲ１が異常停止した状態では、上述した搬送ロボットの構成によると、各アームは戻り位置に位置している。このように異常停止した状態のアーム自体を動作させることは困難である。例えば、アーム上に基板が傾斜した状態等のように正常でない状態で保持されている場合には、アーム駆動機構部２３０を駆動してアームの屈伸動作を行わせると、不安定な状態で保持されていた基板が熱処理ユニット等の搬入口付近に接触して落下する可能性があり、基板を破損することになるからである。また、その他の場合であっても、基板やアームを破損したりすることになる。
【００６５】
しかし、各アームは戻り位置に位置しているので、搬送ロボットＴＲ１の伸縮昇降機構部２１０や回転駆動機構部２２０については、動作させても基板やアームを破損させる可能性が低い。
【００６６】
図１１，図１２は、基板処理装置の側断面を示す概略図である。例えば、図１１に示すように搬送ロボットＴＲ１が、Ｚ方向に伸び、塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２の上方に多段配置された各熱処理ユニットに対してアクセスする際にトラブルが発生した場合は、図３に示したような塗布処理ユニットＳＣ１，ＳＣ２等に設けられた開閉扉１２を開いてオペレータが装置内部を観察したとしてもアーム上の基板の状態を認識することができない。これに対し、搬送ロボットＴＲ１が、図１２に示すように収縮した状態であるときには、図３に示した開閉扉１２を開いて装置内部を観察することにより、アーム上の基板の状態を認識することができる。
【００６７】
そこで、この基板処理装置では、メインコントローラ１００が各基板検出センサの出力によりトラブルの発生を検出した後、各アームの基板保持状態をオペレータが確認することができる位置（確認可能位置）に搬送ロボットＴＲ１を移動させるように構成されている。
【００６８】
例えば、搬送ロボットＴＲ１が図１１に示すような状態で停止した場合には、その後、メインコントローラ１００が搬送ロボットコントローラ２００に対して伸縮昇降機構部２１０を駆動し、搬送ロボットＴＲ１を図１２に示すような状態まで下降させるように制御命令を送出する。これにより、オペレータは、容易にトラブル発生時の搬送ロボットＴＲ１のアームの状態を認識することができる。
【００６９】
ここで、異常停止した搬送ロボットＴＲ１の確認可能位置への移動は、メインコントローラ１００が自動的に行っても良いが、この基板処理装置では、オペレータの指示に基づいて行うように構成されている。すなわち、オペレータが操作パネル１４を操作することにより、メインコントローラ１００が異常停止した搬送ロボットＴＲ１を動作させ、確認可能位置へ移動させるように構成されている。
【００７０】
このときの操作パネル１４の表示状態が、状況確認画面である。図１３は、状況確認画面を示す図である。状況確認画面には、この基板処理装置の構成が表示される。図１３の状況確認画面には、液処理ユニットの配置構成とインデクサＩＤの配置構成が示されている。そして、インデクサＩＤの表示部分又は各液処理ユニットの表示部分は、オペレータによる操作可能な表示ボタンＢ３１〜Ｂ３６となっている。そして、オペレータは、表示ボタンＢ３２〜Ｂ３６のいずれかを押す操作を行うことによって、搬送ロボットＴＲ１の状態を確認する位置を指定する。この指定により、停止状態の搬送ロボットＴＲ１を指定された液処理ユニットにアクセス可能な状態とさせるために、メインコントローラ１００は、搬送ロボットコントローラ２００に対して搬送ロボットＴＲ１を動作させる制御命令を送出する。基板検出の際のトラブルが熱処理ユニットにアクセスする際に発生した場合には、メインコントローラ１００からの制御命令により、搬送ロボットＴＲ１は指定された液処理ユニットにアクセスすることができるような高さ位置に下降することとなる。
【００７１】
なお、オペレータによる液処理ユニットの指定は、搬送ロボットＴＲ１をアクセス可能な状態に移動させるだけであるため、伸縮昇降機構部２１０と回転駆動機構部２２０を駆動させることにより、搬送ロボットＴＲ１を指定された液処理ユニットに対向する位置に移動させるだけである。従って、基板が不安定な状態で保持されている可能性のあるアームについては駆動を行うものではなく、基板をアームから落下させて破損させるような可能性は非常に低い。
【００７２】
このように、状況確認画面によって、オペレータが、搬送ロボットＴＲ１の異常が発生した状態を確認するための液処理ユニットを指定することにより、搬送ロボットＴＲ１は、各アームの基板保持状態をオペレータが確認することができる位置（確認可能位置）に移動する。
【００７３】
液処理ユニットの上方に多段に積層配置された熱処理ユニットにアクセスする際にトラブルが発生しても、オペレータはその搬送ロボットＴＲ１の状態を確認することは容易ではない。しかし、上述のように液処理ユニットには、オペレータによるメンテナンスが容易なように開閉扉１２が設けられているため、搬送ロボットＴＲ１を液処理ユニットに対向する位置に移動させれば、開閉扉１２を開放することにより、オペレータは容易に搬送ロボットＴＲ１の状態を確認することができる。また、この確認可能位置への移動前後において各アームは戻り位置に位置するので、たとえ基板が不安定な状態で保持されていたとしても落下したり、他の処理ユニット等に接触する可能性は低く、基板を破損することはない。また、搬送ロボットＴＲ１についても、単に昇降移動と回転動作を行うだけであり、搬送ロボットＴＲ１自体を破損することもない。
【００７４】
このようにメインコントローラ１００は、搬送ロボットの動作を制御するとともに、基板検出センサの出力を監視する制御部として機能し、基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、警報発生部１５に対して警報命令を送出するとともに、オペレータからの指示入力に基づいて各アームの基板保持状態の確認可能位置に搬送ロボットＴＲ１を移動させることができるように構成されている。
【００７５】
また、基板検出異常が基板検出センサの故障等によって生じたものである場合は、基板検出センサを交換する必要がある。また、アームに基板が不安定な状態で保持されている場合には、その基板を正常な状態に載置する必要がある。
【００７６】
このような場合、オペレータは、確認可能位置に移動した搬送ロボットを開閉扉１２が設けられた部分から観察することにより、基板検出異常が発生したアームを駆動しても良いかどうかを判断することができるため、オペレータはさらに操作パネル１４を操作することにより、搬送ロボットＴＲ１のアームを指定した液処理ユニットに対して伸長させるように駆動することができる。
【００７７】
すなわち、メインコントローラ１００は、操作パネル１４からの入力に応じてアーム駆動機構部２３０を駆動させるために搬送ロボットコントローラ２００に対して制御命令を送出するように構成されている。ただし、不安定な状態の基板を落下させないようにアームの振動を抑えるため、オペレータの１回の操作によってアームの駆動量の１ピッチ分移動させるというように、アームを所定ピッチずつ移動させるように構成することが望ましい。
【００７８】
これにより、搬送ロボットＴＲ１のアームが指定した液処理ユニットにアクセスした伸びた状態となり、オペレータは開閉扉１２を開け、基板検出センサの交換や不安定な状態の基板を正常な載置状態とすることができる。
【００７９】
＜４．処理シーケンス＞
次に、メインコントローラ１００が基板検出センサの出力によってトラブルを検知した場合の処理シーケンスの一例について説明する。
【００８０】
図１４は、搬送ロボットＴＲ１の基板検出センサによる異常検出と、異常検出した場合のメインコントローラ１００の処理及びオペレータの対応処理を示すフローチャートである。
【００８１】
まず、ステップＳ１０において、メインコントローラ１００は、搬送ロボットコントローラ２００に対して基板を所定の熱処理ユニット等に搬送するように命令する。これにより、搬送ロボットコントローラ２００は、伸縮昇降機構部２１０，回転駆動機構部２２０，アーム駆動機構部２３０のそれぞれに対して駆動信号を出力し、搬送ロボットＴＲ１はメインコントローラ１００によって指定された動作を行う。そして、ステップＳ１１において、搬送ロボットＴＲ１の搬送動作が終了する。このとき、搬送ロボットＴＲ１の各アームは戻り位置に戻っていることとなる。
【００８２】
そして、ステップＳ１２において、メインコントローラ１００が各基板検出センサ２１ａ，２１ｂ又は２２ａ，２２ｂの出力を読み取り、正常であるか異常であるかの判定を行う。
【００８３】
例えば、ステップＳ１０における基板の搬送がいずれかの熱処理ユニットに対して基板を搬入する動作であった場合には、搬入動作後のアームには基板が存在しないのが正常である。従って、基板検出センサによって搬入動作を行ったアーム上に基板が検出されたときは異常であると認識する。
【００８４】
また、ステップＳ１０における基板の搬送がいずれかの熱処理ユニットから基板を取り出す（搬出）する動作であった場合には、搬出動作後のアーム上に基板が存在するのが正常である。従って、基板検出センサによって搬出動作を行ったアーム上に基板が検出されないときは異常であると認識する。
【００８５】
このように、基板検出センサ２１ａ，２１ｂ又は２２ａ，２２ｂによって異常と認識される場合としては、搬送ロボットＴＲ１の各アームの動作前後において、アーム上に存在するはずの基板が検出されなかった場合と、アーム上に基板が在しないはずであるにもかかわらず、基板が検出された場合とである。具体例を挙げると、▲１▼基板が存在しないことを確認するために空取り動作を行ったにもかかわらず、動作後、アーム上に基板が検出された場合、▲２▼基板を取り出すためにアームをアクセスさせようとしたが、そのアーム上に既に基板が検出されている場合、▲３▼基板を取り出す動作を行ったにもかからず、動作後、アーム上に基板が検出されなかった場合、▲４▼基板を搬入するためにアームをアクセスさせようとしたが、そのアーム上に基板が検出されなかった場合、▲５▼基板を搬入したにもかかわらず、動作後、アーム上に基板が検出された場合との５つの場合がある。
【００８６】
そして、メインコントローラ１００がこれらの異常に該当するか否かによって、正常か異常かを判定する。
【００８７】
ステップＳ１３では、メインコントローラ１００は、ステップＳ１２における判定結果について「正常」と判定した場合にステップＳ２０に処理を進め、「異常」と判定した場合にトラブル発生時の処理であるステップＳ１４に処理を進める。
【００８８】
そして、ステップＳ１４において、メインコントローラ１００は、一旦搬送ロボットＴＲ１を停止させる命令を搬送ロボットコントローラ２００に対して送出し、警報発生部１５に対して警報命令を送出するとともに、操作パネル１４に対して警報画面の表示を行わせる。この制御により、オペレータは、搬送ロボットＴＲ１の搬送動作の際に、基板検出センサによってトラブルが検出されたことを認識することができる。
【００８９】
そして、ステップＳ１５において、オペレータは、操作パネル１４に状況確認画面（図１３参照）を表示させて、搬送ロボットＴＲ１を移動させる液処理ユニットを指定する。
【００９０】
メインコントローラ１００は、ステップＳ１６において搬送ロボットコントローラ２００に対して搬送ロボットＴＲ１の制御命令を出力し、搬送ロボットＴＲ１を指定された液処理ユニットにアクセス可能な高さ位置に下降させるとともに、アームを指定された液処理ユニットに対向する位置となるように回転動作を行わせる。
【００９１】
このステップＳ１６の処理が行われると、オペレータは、指定した液処理ユニットに設けられている開閉扉１２を開けて装置内部を見ることにより、搬送ロボットＴＲ１のアームの基板保持状態を直接確認することができる。この結果、基板がアームに不安定な状態（例えば、傾いて保持されている状態等）で保持されている場合であっても目視により容易に認識することができる。また、基板検出センサによって基板が検出されたにもかかわらず、目視によるとアーム上に基板が存在しない場合は、基板検出センサの不良であると認識することができる。換言すれば、ステップＳ１６の処理により、搬送ロボットＴＲ１は確認可能位置に移動し、オペレータは目視によって搬送ロボットＴＲ１の基板保持状態を確認してトラブルの原因を特定することができる。
【００９２】
なお、オペレータは、このとき必要に応じて上述したアラームリスタートボタンＢ１３やキャンセルリスタートボタンＢ１４を押すことにより、基板検出センサの出力を再度確認するようにすれば、よりトラブル原因の特定が容易になるとともに、トラブルが解消されていた場合は、処理の続行を行うことが可能となる。
【００９３】
そして、トラブルの原因が、基板検出センサの故障である場合には基板検出センサを交換する等の対処が必要となり、また、アーム上に基板が不安定な状態で保持されている場合にはアーム上の基板を正常な保持状態で載置する等の対処が必要となる。このような場合は、オペレータがアームに対する作業を行い易いようにアームを指定した液処理ユニットに対して進入させる必要がある。
【００９４】
そのため、ステップＳ１７においては、オペレータが操作パネル１４からアームを液処理ユニットに対してアクセスするように所定の入力を行う。メインコントローラ１００は、オペレータからの入力に基づいて搬送ロボットＴＲ１のアームを液処理ユニットに所定のピッチずつ進入させるように、搬送ロボットコントローラ２００に対して制御命令を送出する。
【００９５】
これにより、搬送ロボットＴＲ１はアームを指定された液処理ユニットに対して少しずつ間欠的にアームを移動させ、オペレータによる作業可能な位置にアームをアクセスさせる。
【００９６】
そして、ステップＳ１８において、オペレータは操作パネル１４上に詳細画面（図１０参照）を表示させるように操作を行う。これにより、メインコントローラ１００は、操作パネル１４に詳細画面を表示させる。これにより、オペレータは、操作パネル１４に表示される詳細画面の警報内容及び対処・復帰手順に基づいて復帰作業を行うことができる。
【００９７】
操作パネル１４に表示される警報内容としては、上述した具体例の異常と認識される場合の内容が表示され、対処・復帰手順としては、それらの異常の場合の適切な対処方法が表示される。
【００９８】
例えば、▲１▼基板が存在しないことを確認するために空取り動作を行ったにもかかわらず、動作後、アーム上に基板が検出された場合であると、「搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すればそれを取り除いて下さい。基板が存在しなければ、センサの誤検知である可能性が高いです。センサをご確認下さい。」という対処・復帰手順が表示され、▲２▼基板を取り出すためにアームをアクセスさせようとしたが、そのアーム上に既に基板が検出されている場合であると、「搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すればそれを取り除いて下さい。基板が存在しなければ、センサの誤検知である可能性が高いです。センサをご確認下さい。」という対処・復帰手順が表示され、▲３▼基板を取り出す動作を行ったにもかからず、動作後、アーム上に基板が検出されなかった場合であると、「搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すれば、適切な位置に載っているかを確認して下さい。正しく載っていれば、センサの誤検知である可能性が高いので、センサをご確認下さい。正しく載っていなければ、アームの基板保持ガイド部又は処理ユニット内部を確認し、正しく載るように調整して下さい。アーム上に基板が存在しなければ、基板が落下又は処理ユニット内部に残っている可能性がありますので、探して下さい。」という対処・復帰手順が表示される。また、▲４▼基板を搬入するためにアームをアクセスさせようとしたが、そのアーム上に基板が検出されなかった場合であると、「搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すれば、適切な位置に載っているかを確認して下さい。正しく載っていれば、センサの誤検知である可能性が高いので、センサをご確認下さい。正しく載っていなければ、アームの基板保持ガイド部又は処理ユニット内部を確認し、正しく載るように調整して下さい。アーム上に基板が存在しなければ、基板が落下した可能性がありますので、探して下さい。」という対処・復帰手順が表示され、▲５▼基板を搬入したにもかかわらず、動作後、アーム上に基板が検出された場合であると、「搬送ロボットの状態を確認し、アーム上に基板が存在すれば、基板を搬入しようとした処理ユニットに問題がある可能性が高いので、処理ユニットを確認して下さい。アーム上に基板が存在しなければ、センサの誤検知である可能性が高いので、センサをご確認下さい。」という対処・復帰手順が表示される。
【００９９】
このように、操作パネル１４に基板検出センサの検出した異常の状態に応じた内容が表示されるため、オペレータには熟練度のようなものは必要なく、容易に復帰作業を行うことができる。
【０１００】
そして、復帰作業が終了すると、オペレータは操作パネル１４に警報画面を表示させ、アラームリスタートボタンＢ１３又はキャンセルリスタートボタンＢ１４を押す操作を行う。
【０１０１】
これにより、メインコントローラ１００は搬送動作の再開を行うように搬送ロボットコントローラ２００に対して制御命令を送出し、基板処理装置における基板の処理の続行が開始される。
【０１０２】
以上のような一連の処理又は操作により、搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オペレータが容易に搬送ロボットの状態を確認できるとともに、復帰作業も容易に行うことができる。
【０１０３】
＜５．変形例＞
上述の説明においては、搬送ロボットＴＲ１において異常が発生した際の状態を確認するための確認可能位置は、アームが指定された液処理ユニットに対してアクセス（進入）可能な高さ位置であり、アームが指定された液処理ユニットに対向する位置であるとして説明した。しかし、確認可能位置は液処理ユニットに対向する位置であることに限定するものではなく、図１５の基板処理装置に示すように搬送ロボットＴＲ１にトラブルが発生した際の専用の対処ポジションＴＰを設け、対処ポジションＴＰに対向する位置としても良い。この場合は、基板検出センサの交換等の際には、対処ポジションＴＰに対してアームを所定ピッチずつ移動させることとなる。
【０１０４】
また、確認可能位置は、液処理ユニットや対処ポジションにアクセス可能な位置として設定しなくとも、搬送ロボットＴＲ１のアームをオペレータが目視にて容易に確認可能な位置であれば良いため、液処理ユニットや対処ポジションにアクセス可能な位置に限定するものでもない。
【０１０５】
【発明の効果】
以上説明したように、請求項１ないし請求項７に記載の発明によれば、制御部は、基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、警報発生手段に対して命令を送出し、アームの基板保持状態の確認可能位置に搬送ロボットを移動させるため、搬送ロボットにトラブルが発生した際に、オペレータが容易にトラブルの発生を認識することができるとともに、搬送ロボットの状態を容易に確認することができ、効率的にトラブルの原因を究明することができる。
【０１０６】
請求項２および請求項５に記載の発明によれば、制御部に対して搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性の操作パネルを備えるため、搬送ロボットの復帰作業時にオペレータの手元に操作パネルを配置することができるので、操作効率が向上する。
【０１０７】
請求項１、請求項２、および請求項６に記載の発明によれば、確認可能位置は、アームが所定の処理部に対して進入可能な高さにおいて、アームが所定の処理部に対向する位置であるため、アームに対して復帰作業を行う際に、アームを所定の処理部に進入させることができ、復帰作業を容易に行うことができる。
【０１０８】
請求項４および請求項７に記載の発明によれば、制御部は、搬送ロボットが確認可能位置に移動した後、所定の入力に応答してアームを駆動して所定の処理部に進入させるため、より身近な位置でよりよく搬送ロボットの状態を確認することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明の実施の形態の基板処理装置を説明する図である。
【図２】図１の処理ユニットの配置構成を説明する図である。
【図３】基板処理装置の開閉扉及び操作パネルを説明する図である。
【図４】搬送ロボットの外観斜視図である。
【図５】搬送ロボットの動作機構を説明するための側面断面図である。
【図６】図４の搬送ロボットのアーム部分の拡大図である。
【図７】搬送ロボットのアーム部分を側方からみた概略図である。
【図８】基板処理装置の制御機構を示すブロック図である。
【図９】操作パネルに表示される警報画面を示す図である。
【図１０】警報内容の詳細を表示する詳細画面を示す図である。
【図１１】基板処理装置の側断面を示す概略図である。
【図１２】基板処理装置の側断面を示す概略図である。
【図１３】操作パネルに表示される状況確認画面を示す図である。
【図１４】メインコントローラの処理及びオペレータの対応処理を示すフローチャートである。
【図１５】基板処理装置の変形例を示す図である。
【符号の説明】
１４（１４ａ，１４ｂ） 操作パネル
１５ 警報発生部（警報発生手段）
３１ａ，３１ｂ アーム
２１ａ，２１ｂ，２２ａ，２２ｂ 基板検出センサ
１００ メインコントローラ（制御部）
２００ 搬送ロボットコントローラ
２１０ 伸縮昇降機構部
２２０ 回転駆動機構部
２３０ アーム駆動機構部
ＴＰ 対処ポジション
ＴＲ１ 搬送ロボット
Ｗ 基板

Claims (7)

1. 搬送ロボットが複数の処理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の処理を施す装置であって、
   (a) 前記搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する際に、基板を保持するアームと、
   (b) 前記アームにおける基板の有無を検出する基板検出センサと、
   (c) 前記搬送ロボットの動作を制御するとともに、前記基板検出センサの出力を監視する制御部と、
   (d) 前記制御部からの命令に基づいて警報を発生させる警報発生手段と、
   を備え、
   前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、前記アームが所定の処理部に対して進入可能な高さ位置であって、前記アームが前記所定の処理部に対向することにより、前記アームの基板保持状態を確認できる確認可能位置に前記搬送ロボットを移動させるとともに、前記警報発生手段に対して前記命令を送出することを特徴とする基板処理装置。
2. 請求項１に記載の装置において、さらに、
   (e) 前記制御部に対して前記搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性の操作パネル、
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
3. 請求項１又は請求項２に記載の装置において、
   前記制御部は、前記搬送ロボットが前記確認可能位置に移動した後、所定の入力に応答して前記アームを駆動して前記所定の処理部に進入させることを特徴とする基板処理装置。
4. 搬送ロボットが複数の処理部に対して基板を順次に搬送することによって、基板に対する所定の処理を施す装置であって、
   (a) 前記搬送ロボットに設けられ、基板を各処理部間で搬送する際に、基板を保持するアームと、
   (b) 前記アームにおける基板の有無を検出する基板検出センサと、
   (c) 前記搬送ロボットの動作を制御するとともに、前記基板検出センサの出力を監視する制御部と、
   (d) 前記制御部からの命令に基づいて警報を発生させる警報発生手段と、
   を備え、
   前記複数の処理部の少なくとも１つは、開放することによって装置内部を観察することができる開閉扉を有し、
   前記制御部は、前記基板検出センサの出力の異常を検出した場合に、前記開閉扉を開放することによって前記アームの基板保持状態を確認することができる確認可能位置に前記搬送ロボットを移動させるとともに、前記警報発生手段に対して前記命令を送出することを特徴とする基板処理装置。
5. 請求項４に記載の装置において、さらに、
   (e) 前記制御部に対して前記搬送ロボットの動作についての制御命令を与える可搬性の操作パネル、
   を備えることを特徴とする基板処理装置。
6. 請求項４又は請求項５に記載の装置において、
   前記確認可能位置は、前記アームが所定の処理部に対して進入可能な高さ位置であって、前記アームが前記所定の処理部に対向することにより、前記アームの基板保持状態の確認が可能な位置であることを特徴とする基板処理装置。
7. 請求項６に記載の装置において、
   前記制御部は、前記搬送ロボットが前記確認可能位置に移動した後、所定の入力に応答して前記アームを駆動して前記所定の処理部に進入させることを特徴とする基板処理装置。

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