KR100676271B1 - 기판처리장치 및 기판처리방법 - Google Patents

기판처리장치 및 기판처리방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
동화상 표시부에는, 보수방법을 나타내는 동화상이 비추어진다. 작업자는, 조작패널 동화상 표시부에 표시된 동화상을 보는 것에 의하여, 보수방법을 파악할 수 있다. 이에 의하여, 동화상 표시부에 표시된 동화상에 따라서, 보수를 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
기판처리장치, 기판처리방법, 보수방법

Description

기판처리장치 및 기판처리방법{Substrate Processing Apparatus and Substrate Processing Method}
도 1은, 본 실시형태에 관계되는 기판처리장치의 개략 구성도이다.
도 2는, 도 1의 다단 열처리 유니트의 구성을 설명하는 도면이다.
도 3은, 도 1의 기판처리장치의 제어부 및 조작패널과의 관계를 설명하기 위한 블럭도이다.
도 4는, 도 1의 기판반송 로보트의 외관 사시도이다.
도 5는, 조작패널에 표시되는 상황확인화면을 나타내는 도면이다.
도 6은, 조작패널에 보수화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 7은, 조작패널에 보수화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 8은, 조작패널에 보수화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는, 조작팬널에 상세문장화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10은, 조작패널에 보수이력화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
본 발명은, 기판에 소정의 처리를 행하는 기판처리장치 및 기판처리방법에 관한 것이다.
근래에, 액처리 유니트, 열처리 유니트 등의 복수의 처리유니트가 설치된 기판처리장치가 개발되고 있다. 이 기판처리장치에 있어서는, 기판에 대한 일련의 처리를 행할 필요가 있는 것으로부터, 이들의 복수의 처리유니트 사이에서 기판을 반송하는 것이 가능한 기판반송 로보트가 설치되어 있다.
이 기판반송 로보트에 장애가 발생한 경우, 조작패널에 장애에 관련하는 소정의 정보가 표시되는 기판처리장치가 개발되어 있다(특개평 11-307612호 공보 참조). 이 기판처리장치에 있어서는, 장애가 발생한 경우에, 조작패널에 장애로부터의 복귀수순이 표시된다.
그러나, 상기 기판처리장치의 조작패널에 표시되는 장애로부터의 복귀수순이 문자에 의하여 간단히 표시되기 때문에, 장애로부터 복귀하는 데에는 더욱 상세한 취급 설명서를 읽을 필요가 있어, 시간 및 노력이 들게 된다.
본 발명의 목적은, 단시간에 또한 정확하게 보수(maintenance)를 실시할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 것이다.
본 발명의 일측면에 따른 기판처리장치는, 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판처리장치에 있어서, 기판처리장치의 보수방법을 나타내는 동화상정보를 기억하는 기억장치와, 기억장치에 기억된 동화상정보를 동화상으로서 표시하는 표시장치를 구비한 것이다.
그 기판처리장치에 있어서는, 보수방법을 나타내는 동화상정보가 기억장치에 의하여 기억되고, 그 기억된 동화상정보가 동화상으로서 표시장치에 의하여 표시된다.
이 경우, 작업자는, 표시된 동화상을 보는 것에 의하여 기판처리장치의 보수방법을 용이하게 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
기억장치는, 보수에 요하는 시간에 대한 시간정보를 더 기억하고, 표시장치는, 기억장치에 기억된 보수에 요하는 시간에 대한 시간정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 시간정보에 근거하여 작업시간을 어림잡을 수 있다.
기억장치는, 보수해야 할 위치에 대한 위치정보를 더 기억하고, 표시장치는, 기억장치에 기억된 보수해야 할 위치에 대한 위치정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 위치정보에 근거하여 기판처리장치의 보수위치를 용이하게 파악할 수 있다.
기억장치는, 보수에 있어서 조정(adjustment)해야 할 값에 관한 조정값 정보를 더 기억하고, 표시장치는, 기억장치에 기억된 보수에 있어서 조정해야 할 값에 관한 조정값 정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 조정값 정보에 근거하여 조정해야 할 값을 용이하게 파악할 수 있다. 따라서, 조정을 반복하지 않고 단시간에서 조정을 행할 수 있다.
기억장치는, 보수방법을 나타내는 문자정보를 더 기억하고, 표시장치는, 기억장치에 기억된 보수방법을 나타내는 문자정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 동화상 및 문자를 보는 것에 의하여 용이하게 보수방법을 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 보다 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
보수방법을 나타내는 문자정보는 복수의 언어의 문자정보를 포함하고, 기판처리장치는, 기억장치에 기억된 복수의 언어의 문자정보를 선택하는 조작부를 더 구비하며, 표시장치는, 조작부의 조작에 의하여 선택된 언어의 문자정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 자신이 이해할 수 있는 언어의 문자정보를 선택하는 것에 의하여, 표시된 동화상 및 문자를 보는 것에 의하여 용이하게 보수방법을 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 보다 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
기억장치는, 보수방법을 나타내는 문자정보를 더 기억하고, 기판처리장치는, 기억장치에 기억된 보수방법을 음성으로 출력하는 음성출력장치를 더 구비하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 동화상을 봄과 동시에 음성에 의한 설명을 듣는 것에 의하여 용이하게 보수방법을 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 보다 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
보수방법을 나타내는 문자정보는 복수의 언어의 문자정보를 포함하고, 기판처리장치는, 기억장치에 기억된 복수의 언어의 문자정보를 선택하는 조작부를 더 구비하며, 음성출력장치는, 조작부의 조작에 의하여 선택된 언어의 문자정보를 음성으로 출력하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 자신이 이해할 수 있는 언어의 문자정보를 선택하는 것에 의하여, 표시된 동화상을 봄과 동시에 음성에 의한 설명을 듣는 것에 의하여 용이하게 보수방법을 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 보다 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
기억장치는, 보수를 실시할 시기을 통지(notification)하기 위한 통지정보를 더 기억하고, 표시장치는, 기억장치에 기억된 보수를 실시할 시기를 통지하기 위한 통지정보를 표시하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 표시된 통지정보를 보는 것에 의하여 용이하게 보수를 실시할 시기를 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 실시할 시기를 잊는 것을 방지할 수 있다.
기판처리장치는, 통지정보에 근거하여 작업자에 경보를 출력하는 경보출력장치를 더 구비하여도 좋다.
이 경우, 작업자는, 통지정보에 근거하여 경보출력장치에 의해 경보가 출력되므로, 통지정보를 잊지 않고 확실하게 보수를 실시할 수 있다.
경보출력장치는, 통지정보에 근거하여 경보음을 출력하여도 좋다. 이 경우, 작업자는, 경보음에 의하여 통지정보를 확실하게 파악할 수 있다.
경보출력장치는, 통지정보에 근거하여 경보를 표시하여도 좋다. 이 경우, 작업자는, 경보가 표시되는 것에 의하여 통지정보를 확실하게 파악할 수 있다.
기억장치는, 기판처리장치의 보수의 이력에 관한 이력정보를 더 기억하여도 좋다. 이 경우, 작업자는, 이력정보에 근거하여 각각의 기판처리장치의 보수상황을 파악할 수 있다.
표시장치는, 기판처리장치의 각부(各部)의 보수의 필요 여부를 나타내는 정보를 더 표시하여도 좋다. 이경우, 작업자는, 기판처리장치의 각부의 보수의 필요 여부를 용이하게 판단할 수 있다.
표시장치는, 보수의 필요 여부를 나타내는 정보와 동화상정보를 바꾸어 표시하여도 좋다. 이 경우, 표시장치를 대형화하지 않고 보수의 필요 여부를 나타내는 정보와 동화상정보를 표시할 수 있다.
본 발명의 다른 측면에 따른 기판처리방법은, 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판처리방법에 있어서, 기판처리장치의 보수방법을 나타내는 동화상정보를 기억하는 단계와, 기억된 동화상정보를 동화상으로서 표시하는 단계를 포함한 것이다.
이 기판처리방법에 있어서는, 보수방법을 나타내는 동화상정보가 기억되고, 그 기억된 동화상정보가 동화상으로서 표시된다.
이 경우, 작업자는, 표시된 동화상을 보는 것에 의하여 기판처리장치의 보수방법을 용이하게 파악할 수 있다. 그에 의하여, 보수를 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
[바람직한 실시예의 설명]
이하, 본 발명의 일실시형태에 대하여 도면을 참조하면서 설명한다.
이하의 설명에 있어서, 기판이라 함은, 반도체 웨이퍼, 액정표시장치용 유리기판, PDP(Plasma Display Panel)용 유리기판, 포토마스크(photo mask)용 유리기판, 광디스크용 기판 등을 말한다.
(1) 일실시형태
도 1은, 본 실시형태에 관계되는 기판처리장치(100)의 개략 구성도이고, 도 2는, 도 1의 다단 열처리 유니트(2a~2d)의 구성을 설명하는 도면이다. 도 1(a)는 기판처리장치(100)의 평면도를 나타내고, 도 1(b)는 기판처리장치(100)의 정면도를 나타낸다.
도 1(a),(b)에 도시된 기판처리장치(100)는, 인덱서(indexer, ID), 인터페이스(interface, IF), 처리유니트부(MP) 및 제어부(500)을 포함한다.
도 1(a)에 도시된 바와 같이, 처리유니트부(MP)의 네개의 모서리에는, 기판(W)에 처리액에 의한 처리를 실시하는 도포처리 유니트(spin coater, SC1, SC2) 및 현상처리 유니트(spin developer, SD1, SD2)가 배치된다. 도포처리 유니트(SC1, SC2)의 사이에는, 세정처리 유니트(spin scraper, SS)가 배치된다.
도포처리 유니트(SC1, SC2)에서는, 기판(W)을 회전시키면서 레지스트 도포처리(resist coating processing)가 행하여진다. 현상처리 유니트(SD1, SD2)에서는, 기판(W)을 회전시키면서 노광후의 기판(W)의 현상처리가 행하여진다. 세정처리 유니트(SS)에서는, 기판(W)을 회전시키면서 기판(W)의 표면의 세정처리가 행하여진다.
또한, 도 2에 도시된 바와 같이, 다단 열처리 유니트(2a)의 최하단으로부터 1~3단째에는 기판(W)의 냉각처리를 행하는 쿨링 플레이트부(cooling plate, CP1~CP3)가 설치된다.
최하단으로부터 4단째에는, 기판(W)에 대하여 밀착강화처리를 행하는 밀착강화 처리부(AH)가 설치되고, 최하단으로부터 5단째 및 6단째에는, 각각 기판(W)의 가열처리를 행하는 핫 플레이트부(hot plate, HP1, HP2)가 설치된다.
다단 열처리 유니트(2b)의 최하단으로부터 1~3단째에는 쿨링 플레이트부(CP4~CP6)가 설치되어 있다. 최하단으로부터 4~6단째에는 핫 플레이트부(HP3~HP5)가 설치되어 있다.
다단 열처리 유니트(2c)의 최하단으로부터 1단째 및 2단째에는, 각각 쿨링 플레이트부(CP7, CP8)가 설치되어 있고, 최하단으로부터 3단째 및 4단째에는, 각각 핫 플레이트부(HP6, HP7)가 설치되어 있다. 또한, 본 실시형태의 기판처리장치(100)에 있어서, 최하단의 2단은 비어있는 상태로 되어 있으나, 용도 및 목적에 따하서 핫 플레이트부, 쿨링 플레이트부 또는 그 외의 처리유니트를 배치하여도 좋다.
다단 열처리 유니트(2d)의 최하단으로부터 1단째에는, 쿨링 플레이트부(CP4)가, 설치되어 있고, 최하단으로부터 2단째에는, 기판(W)에 대하여 노광(exposure)후의 베이킹처리(baking processing)를 행하는 노광후 베이크 플레이트부(bake plate, PEB)가 설치되어 있다. 노광후 베이크 플레이트부(PEB)보다 상단측은 비어있는 상태로 되어 있으나, 용도 및 목적에 따라서 핫 플레이트부, 쿨링 플레이트부 또는 그 외의 처리유니트를 배치하여도 좋다.
또한, 도포처리 유니트(SC1, SC2), 현상처리 유니트(SD1, SD2), 세정처리 유니트(SS), 핫 플레이트부(HP1~HP7), 쿨링 플레이트부(CP1~CP9), 밀착강화 처리부(AH) 및 노광후 베이크 플레이트부(PEB)를 총칭하여 처리유니트라 부른다.
도 1(a)의 인덱서(ID)는, 기판처리장치(100)의 기판(W)의 반입 및 기판처리장치(100)로부터의 기판(W)의 반출을 행한다. 처리유니트부(MP)는, 기판(W)에 처리를 행하는 복수의 처리유니트 및 각 처리유니트에 대하여 기판(W)의 반입출(搬入出)을 행하는 기판반송 로보트(TR)를 포함한다. 기판반송 로보트(TR)의 상세에 대하여는 후술한다.
인터페이스(IF)는, 노광장치(미도시)와 처리유니트부(MP)와의 사이에서 기판(W)의 주고받음을 행한다. 인터페이스(IF)는, 처리유니트부(MP)에 있어서 레지스트의 도포가 종료한 기판(W)을 노광장치로 건네고, 노광후의 기판(W)을 노광장치로부터 받는다. 인터페이스(IF)는, 기판반송 로보트(TR)와의 사이에서 기판(W)을 주고받는 로보트(미도시)와, 기판을 위치시키는 버퍼카세트(buffer cassette, 미도시)를 구비하고 있다. 그에 의하여, 인터페이스(IF)는, 기판(W)을 일시적으로 보관하는 기능을 갖는다.
또한, 도 1(b)에 도시된 바와 같이, 처리유니트부(MP)의 최하부에 약제(藥劑)를 저장하는 탱크 및 배관 등을 수납하는 캐미칼 캐비넷(chemical cabinet, 11)이 배치된다.
더욱이, 도포처리 유니트(SC1, SC2) 및 현상처리 유니트(SD1, SD2)의 각각의 상방에는, 청정한 공기의 하향흐름을 형성하는 필터 팬 유니트(filter fan unit, FFU)상에는, 기판(W)에 열처리를 행하는 다단 열처리 유니트(2a~2d)가 설치되어 있다. 이 다단 열처리 유니트(2a~2d)의 구성에 대해서는 후술한다.
또한, 기판처리장치(100)의 처리유니트부(MP)의 최상부에는, 청정한 공기의 하향흐름를 형성하는 필터 팬 유니트(FFU)가 설치되어 있다. 그에 의하여, 처리유니트부(MP)내가 청정한 분위기로 유지된다.
또한, 기판처리장치(100)의 인덱서(ID)의 벽면에는, 기판(W)의 처리상황 등의 정보를 표시함과 동시에, 사용자에 의한 조작입력이 가능한 조작패널(200)이 설치된다. 더욱이, 인덱서(ID)의 벽면에는, 작업자에 대하여 경보음을 출력하는 스피커(speaker, 250)가 설치된다. 기판처리장치(100)의 인덱서(ID)의 상부에는, 표시등(260)이 설치된다.
이어서, 도 3은, 도 1의 기판처리장치(100)의 제어부(500) 및 조작패널(200)과의 관계를 설명하기 위한 블럭도이다.
도 3에 도시된 바와 같이, 기판처리장치(100)의 제어부(500)에는, 기억부(510), 조작패널(200), 스피커(250) 및 표시등(260)이 접속된다. 또한, 조작패널(200)은, 표시부(210) 및 입력부(220)를 포함한다.
조작패널(200)의 표시부(210)는 액정표시장치 등으로 이루어지고, 입력부(210)은 터치패널(touch panel) 등으로 이루어지고 제어부(500)은 CPU(중앙연산처리장치) 등으로 이루어지며, 기억부(510)은 하드디스크장치 등의 외부기억장치 등으로 이루어진다.
도 3의 제어부(500)는, 각 처리유니트에 있어서의 기판(W)의 처리상황 또는 기판반송 로보트(TR)에 의한 기판(W)의 반송상황을 작업자에게 통지하기 위한 정보를 조작패널(200)의 표시부(210)에 송신함과 동시에, 작업자에 의한 조작패널(200)의 입력부(220)로부터의 정보를 수신한다.
또한, 도 3의 기억부(510)는, 기억부(510)에는, 후술하는 기판처리장치(100)의 보수정보(maintenance information)가 미리 기억되어 있다. 보수정보라 함은, 보수에 관한 정보를 말하며, 보수, 점검, 수리, 부품교환, 정비 및 세정 등을 포함한다. 이 보수정보의 상세는 후술한다.
제어부(500)는, 기억부(510)에 기억된 보수정보에 근거하여 작업개시로부터 소정시간이 경과한 경우, 또는 기판처리장치의 각부로부터 보수 및 장애에 관한 정보가 입력된 경우에, 각 처리유니트부로 동작의 정지를 지시함과 동시에, 스피커(250)에 경보음을 출력하도록 지시하고, 표시등(260)에 점등 또는 점멸하도록 지시한다.
작업자는, 경보음 또는 표시등(260)에 의하여 기판처리장치(100)의 보수의 필요성 및 장애의 발생을 인식할 수 있고, 확실하게 또한 조기에 기판처리장치(100)의 보수를 행할 수 있다. 작업자는, 기판처리장치(100)의 보수를 종료한 경우, 작업패널(200)의 입력부(220)를 조작하여, 보수의 이력(이하, '보수이력정보'라고 함)을 입력한다. 제어부(500)는, 보수이력정보를 받아, 기억부(510)에 입력한다.
다음으로, 보수의 일예로서 기판반송 로보트(TR)의 보수의 상세에 대하여 설명한다. 도 4는, 도 1의 기판반송 로보트(TR)의 외관 사시도이다.
도 4의 기판반송 로보트(TR)는, 아암부(11), 신축부(12) 및 회전부(13)를 포함한다.
도 4에 도시된 바와 같이, 회전부(13)상에 신축부(12)가 설치되고, 신축부(12)상에 아암부(11)가 설치된다. 아암부(11)에는, 아암(31a, 31b), 스테이지(32), 한 쌍의 센서기판 검출센서(21a, 21b) 및 센서고정용 브라켓(22)가 설치된다.
아암부(11)는, 기판(W)을 유지하는 한 쌍의 아암(31a, 31b)을 신축이동시키는 아암구동 기구부(미도시)를 스테이지(stage, 32)내에 구비한다. 또한, 신축부(12)는, 아암부(11)를 연직방향으로 상하이동시키는, 소위 텔레스코픽(telescopic) 구조를 갖는 상승기구부(미도시)를 구비한다. 회전부(13)는, 아암부(11) 및 신축부(12)를 연직축 주위로 회전시키는 회전구동 기구부(미도시)를 구비한다.
또한, 한 쌍의 아암(31a, 31b)은, 각각 다른 높이로 설치되어 있으며, 본 실시형태에 있어서는, 아암(31a)이 아암(31b)보다도 상측에 설치되어 있다. 따라서, 한 쌍의 아암(31a, 31b)이 서로 간섭하지 않고, 각각 신축동작을 행할 수 있다.
그에 의하여, 한 쌍의 아암(31a, 31b)은, 각자 각 처리유니트에 엑세스(access)할 수 있고, 기판(W)의 반입 및 주고받음이 가능하게 된다.
예컨대, 한 쌍의 아암(31a, 31b)을 서로 다르게 신축동작시킴으로써, 아암(31a)에 의하여 도포처리 유니트(SC1)내로부터 처리가 끝난 기판(W)을 받고, 그 후, 아암(31b)에 의하여 미처리의 기판(W)을 도포처리 유니트(SC1)내에 반입할 수 있다.
또한, 센서고정용 브라켓(22)에는, 한 쌍의 기판검출센서(21a, 21b)가 취부 되어 있다. 이 기판검출센서(21a, 21b)는, 아암(31a)상에 기판(W)이 존재하는지의 여부를 검출가능하게 설치된다. 같은 형태로 아암(31b)상에 기판(W)이 존재하는지의 여부를 검출하는 한 쌍의 기판검출센서(미도시)도 설치된다.
다음으로, 조작패널(200)에 표시되는 보수정보에 대해서 설명한다. 본 실시형태에 있어서는, 기판처리장치(100)의 기판반송 로보트(TR)의 기판검출센서(21a, 21b)의 보수를 행하는 경우에 대하여 설명을 행한다.
도 5는, 조작패널(200)에 표시되는 상황확인화면을 나타내는 도면이다.
먼저, 도 5에 도시된 바와 같이, 조작패널(200)의 상황확인화면은, 인덱서(ID)의 상황표시(B31), 도포처리 유니트(SC1)의 상황표시(B32), 현상처리 유니트(SD2)의 상황표시(B33), 도포처리 유니트(SC1)의 상황표시(B34), 도포처리 유니트(SC2)의 상황표시(B35), 기판반송 로보트(TR)의 상황표시(B36) 및 세정처리 유니트(SS)의 상황표시(B37)를 포함한다. 더욱이, 조작패널(200)의 상황확인화면의 하방에는, 「보수」버튼(B1) 및 「닫음」버튼(RE)이 표시된다.
작업자는, 조작패널(200)의 표시부(210)의 상황표시(B31~B37)를 확인하는 것에 의하여, 기판처리장치(100)의 인덱서(ID), 도포처리 유니트(SC1, SC2), 현상처리 유니트(SD1, SD2), 세정처리 유니트(SS) 및 기판반송 로보트(TR)가 정상인지의 여부를 판단한다.
작업자는, 상황표시(B31~B37)가 모두 「정상」으로 되어 있는 경우, 「닫음」버튼(RE)를 누른다. 한편, 상황표시(B31~B37)의 어느 하나라도 「교환요(交換要)」로 되어 있는 경우, 작업자는, 「보수」버튼(RE)을 눌러 보수로 이행한다.
도 5의 조작패널(200)의 상황확인화면에 있어서는, 기판반송 로보트(TR)의 상황표시(B36)가 「교환요」로 되어 있다. 따라서, 작업자는, 「보수」버튼(RE)을 누른다.
그에 의하여, 도 3의 제어부(500)은, 기억부(510)에 기억된 기판반송 로보트(TR)에 관한 보수정보를 선택하고, 표시부(210)에 부여한다. 그에 의하여, 조작패널(200)의 표시부(210)에 보수정보를 포함하는 보수화면이 표시된다. 본 실시형태에 있어서는, 보수정보에 기판반송 로보트(TR)의 기판검출센서(21a, 21b)의 교환을 행하기 위한 동화상정보가 포함된다.
도 6~도 8은, 조작패널(200)에 보수화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 6~도 8의 보수화면은, 상단에 보수를 행할 예정시기를 표시하는 보수예정시간(T1), 보수를 실시하고 나서 끝나기까지 걸리는 시간을 표시하는 교환수리예정시간(T2), 보수를 실시하는 수리교환부위(P1) 및 보수를 필요로하는 장치를 나타내는 수리장소(P2)를 포함한다. 또한, 보수화면은, 중단에 동화상 표시부(MV1) 및 스크롤 버튼(scroll button, B10~B13)을 포함한다. 또한, 보수화면은, 하단에 「알람 리스타트(alarm restart)」버튼(B21), 「캔슬 리스타트(cancel restart)」버튼(B22), 「상세문장」버튼(B23), 「상황확인」버튼(B24) 및 「보수이력(maintenance history)」버튼(PD)를 포함한다.
도 6~도 8에 도시된 바와 같이, 동화상 표시부(MV1)에는, 기판반송버튼(TR)의 기판검출센서(21a, 21b)의 교환개시로부터 교환종료까지의 수순(procedure)을 나타내는 동화상이 비추어진다. 예컨대, 도 6의 동화상 표시부(MV1)는, 기판반송 로보트(TR)의 교환개시시의 동화상을 나타내고, 도 7의 동화상 표시부(MV1)은, 기판반송 로보트(TR)의 일부를 떼어낸 상태의 동화상을 나타내며, 도 8의 동화상 표시부(MV1)은, 기판반송 로보트(TR)의 기판검출센서(21a, 21b)의 커넥터(connector)를 교환하는 상태의 동화상을 나타내고 있다.
작업자는, 조작패널(200)에 표시된 교환수리예정시간(T2)에 근거하여 작업시간을 어림잡을 수 있고, 작업자는, 수리장소(P2) 및 수리교환부위(P1)에 근거하여 기판처리장치(100)의 보수위치를 용이하게 파악할 수 있다. 본 예에서는, 작업자는, 교환수리예정시간(T2)에 의하여 보수를 행할 시간이 5분인 것을 파악하고, 더욱이 수리장소(P2) 및 수리교환부위(P1)에 의하여 보수위치가 기판반송 로보트(TR)의 센서유니트를 보수해야 할 것을 파악할 수 있다.
작업자는, 조작패널(200) 동화상 표시부(MV1)에 표시된 동화상을 보는 것에 의하여 기판검출센서(21a, 21b)의 교환수순을 파악할 수 있다. 그리고, 동화상 표시부(MV1)에 표시된 교환수순에 따라서, 기판반송 로보트(TR)의 기판검출센서(21a, 21b)의 교환을 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.
또한, 작업자는, 보수예정시간(T1)을 보는 것에 의하여 용이하게 보수를 실시할 시기를 파악할 수 있다. 본 예에서는, 작업자는, 보수예정시간(T1)에 의하여 보수해야 할 시간이, 2003년 1월 30일 14시 10분 22초인 것을 파악할 수 있다. 그에 의하여, 작업자는, 보수의 실시시기를 잊는 것을 방지할 수 있다. 더욱이, 작업자는, 스피커(250)에 의한 경보음 또는 표시등(260)에 의한 점등 등에 의하여 보수 해야 할 것을 확실하게 파악할 수 있다.
또한, 동화상 표시부(MV1)에 동화상이 표시되는 것에 더하여, 작업자의 주의를 환기시키고 싶은 경우에는, 스피커(250)으로부터 비프음(beep sound)이 출력되며, 또한 조작패널(200)에 메세지(message)가 표시되어도 좋다.
또한, 본 실시형태에 있어서는, 복수의 언어에 의한 보수방법의 설명을 기억부(51)에 기억시켜도 좋다. 이 경우, 사용자는 입력부(220)에 의하여 소망하는 언어를 선택할 수 있다. 그에 의하여, 선택된 언어에 의한 보수방법의 설명이 스피커(250)로부터 출력된다.
또한, 복수의 언어에 의한 보수방법의 설명을 기억부(510)에 기억시켜도 좋다. 이 경우, 사용자는 입력부(220)에 의하여 소망하는 언어를 선택할 수 있다. 그에 의하여, 선택된 언어에 의한 보수방법의 설명이 조작패널(200)의 표시부(210)에 표시된다.
작업자가, 「알람 리스타트」버튼(B21)을 누르면, 경보음이 정지된다. 다시, 작업자가, 「알람 리스타트」버튼(B21)을 누르면, 기판(W)에 대한 처리가 재개된다.
한편, 「캔슬 리스타트」버튼(B22)을 누르면, 경보음이 정지된다. 다시, 작업자가, 「캔슬 리스타트」버튼(B22)을 누르면, 현시점까지의 처리가 취소되고, 새로운 기판(W)에 대한 처리가 재개된다.
또한, 「알람 리스타트」버튼(B21) 또는 「캔슬 리스타트」버튼(B22)를 누른 후에, 기판(W)에 대한 처리가 재개되지 않은 경우, 제어부(500)는, 스피커(250)로 부터 새로운 경보음을 발생시키거나 또는 표시등을 발광시켜, 기판처리장치(100)의 정지상태를 계속시킨다. 이에 의하여, 작업자는, 기판처리장치(100)의 보수를 잊지 않고 실시할 수 있다.
또한, 「상세문장」버튼(B23)을 누르면, 조작패널(200)의 표시내용이 보수화면으로부터 후술하는 상세문장화면으로 바뀐다. 작업자가 「상세문장」버튼(B23)을 누르는 것에 의하여, 제어부(500)은, 기억부(510)에 기억된 보수정보로부터 상세문장의 데이터를 선택하여, 조작패널(200)의 표시부(210)에 부여한다. 이에 의하여, 조작패널(200)의 표시가, 상세문장화면으로 바뀐다.
「상황확인」버튼(B24)을 누르면, 조작패널(200)의 표시내용이 상술한 도 5의 상황확인화면으로 바뀐다.
「보수이력」버튼(PD)를 누르면, 조작패널(200)의 표시내용이, 후술하는 보수이력화면으로 바뀐다. 작업자가 「보수이력」버튼(PD)을 누르는 것에 의하여, 제어부(500)는, 기억부(510)에 기억된 보수정보로부터 보수이력의 데이터를 선택하여, 조작패널(200)의 표시부(210)에 부여한다. 이에 의하여, 조작패널(200)의 표시가, 보수이력화면으로 바뀐다.
다음으로, 도 9는, 조작패널(200)에 상세문장화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 9의 상세문장화면은, 보수내용을 나타내는 보수정보 표시부(B41), 보수가 필요한 이유를 나타내는 수정내용 표시부(B42), 보수를 행할 때의 보수방법을 나타내는 대처ㆍ복귀수순 표시부(B43), 보수를 행할 때의 조정값을 나타내는 출력레벨( 조정값)표시부(B44) 및 「닫음」버튼(RE)을 포함한다.
작업자는, 보수정보 표시부(B41)에 표시된 내용에 근거하여 보수내용을 파악할 수 있다.
본 예에 있어서는, 보수정보 표시부(B41)에 의하여 보수내용이 「기판검출센서 불량」인 것을 파악할 수 있다. 또한, 작업자는, 수정내용 표시부(B42)에 표시된 보수가 필요한 이유 및 대처ㆍ복귀수순 표시부(B43)에 표시된 보수방법을 파악할 수 있다. 본 예에 있어서는, 수정내용 표시부(B42)에 의하여 「기판이 없는 것을 확인하기 위하여, 비어있음을 확인하는 동작(empty confirmation operation)을 행하였음에 불구하고, 아암상에 기판이 검출되었습니다」라고 하는 상황인 것을 파악할 수 있고, 더욱이 대처ㆍ복귀수순 표시부(B43)에 의하여 「기판반송 로보트의 상태를 확인하고, 아암상에 기판이 존재한다면 그것을 제거하여 주십시요. 기판이 존재하지 않는다면, 기판검출센서의 오검지(誤檢知)일 가능성이 높습니다. 센서유니트를 조정 또는 교환하여 주십시요.」라고 하는 대처방법을 파악할 수 있다.
이 경우, 작업자는, 보수가 필요한 이유 및 그것을 개선하기 위한 보수방법을 파악할 수 있으므로, 확실하게 보수를 행할 수 있다.
더욱이, 작업자는, 출력레벨(조정값) 표시부(B44)에 의하여 보수에 있어서의 조정값을 용이하게 파악할 수 있다. 본 예에 있어서는, 출력레벨 표시부(B44)에 의하여, 작업자는, 센서유니트 교환 후의 센서의 출력조정값을 「5V」로 조정해야 할 것을 용이하게 파악할 수 있다.
이와 같이, 작업자는, 취급설명서를 사용하여 조정값의 확인을 하지 않고, 조작패널(200)의 출력레벨 표시부(B44)에 근거하여 기판검출센서(21a, 21b)의 조정해야 할 값을 용이하게 파악할 수 있다. 따라서, 기판검출센서(21a, 21b)의 조정을 반복하지 않고 단시간에서 조정을 행할 수 있다.
다음으로, 도 6~도 8에 도시된 조작패널(200)의 「보수이력」버튼(PD)이 눌려진 경우에 대하여 설명한다. 도 10은, 조작패널(200)에 보수이력화면이 표시된 상태를 나타내는 도면이다.
도 10의 보수이력화면은, 좌단으로부터 우단으로 차례로, 과거의 보수를 실시한 시간을 나타내는 보수실시시간 표시부(B51), 과거의 경보의 레벨을 나타내는 경보레벨 표시부(B52), 과거의 보수에 있어서 교환한 부품을 표시하는 수리교환부품 표시부(B53) 및 과거의 보수를 실시한 담당자를 나타내는 작업담당자 표시부(B54)를 포함한다.
보수실시시간 표시부(B51)에 의하여, 작업자는, 어느 정도의 빈도로 보수를 실시하고 있는가를 파악할 수 있고, 더욱이, 경보레벨 표시부(B52)에 의하여, 높은 레벨에서 경보가 작동했는지의 여부의 판단을 행할 수 있으며, 수리교환부품(B53)에 의하여 교환부품의 교환시기 등을 추측할 수 있다. 또한, 작업담당자 표시부(B54)에 의하여, 보수작업을 행한 사람을 확인할 수도 있다.
또한, 예컨대, 작업자가 스크롤 버튼(B10~B13)을 누르는 것에 의하여, 보수실시시간 표시부(B51), 경보레벨 표시부(B52), 수리교환부품(B53) 및 작업담당자 표시부(B54)의 표시를 상하방향으로 스크롤시킬 수 있다. 이에 의하여, 기판처리장치(100)의 과거의 보수이력정보를 보수이력화면에 표시시킬 수 있다.
이 경우, 작업자는, 보수실시시간(B51), 경보레벨(B52) 및 수리교환부품(B53)의 보수이력을 확인하는 것에 의하여, 기판처리장치(100)의 과거의 보수상황을 파악할 수 있다.
(2) 청구항의 각 구성요소와 실시형태의 각부와의 대응
본 실시형태에 있어서는, 기억부(510)가 기억장치에 상당하고, 조작패널(200)의 표시부(210)가 표시장치에 상당하며, 조작패널(200)의 입력부(220)가 조작부에 상당, 스피커(250)가 음성출력장치에 상당하고, 스피커(250) 또는 표시등(260)이 경보출력장치에 상당한다.
또한, 교환수리 예정시간(T2)이 보수에 요하는 시간에 대한 시간정보에 상당하고, 수리교환부위(P1) 및 수리장소(P2)가 보수해야 할 위치에 관한 위치정보에 상당하며, 출력레벨 표시부(B44)가 보수에 있어서 조정해야 할 값에 관한 조정값 정보에 상당하고, 상세문장화면의 보수정보(B41), 수정내용 표시부(B42) 또는 처리ㆍ복귀수순표시부(B43)가 보수방법을 나타내는 문자정보에 상당하고, 보수예정시간(T1)이 통지정보 및 보수를 실시할 시기에 상당하며, 상확확인화면의 상태표시(B31~B37)가 보수가 필요한지의 여부를 나타내는 정보에 상당하고, 보수이력화면이 보수이력정보에 상당한다.
(3) 다른 실시형태
기억장치로서는, 하드디스크 등의 외부기억장치로 이루어지는 기억부(510) 대신에, RAM(Random Access Memory), ROM(Read-Only Memory), 불휘발성 메모리(nonvolatile memory) 등의 반도체 기억장치를 사용하여도 좋고, 플렉서블 디스크 (flexible disk), CD(Compact Disc), DVD(Digital Versatile Disc) 등의 기록매체를 사용하여도 좋으며, 메모리카드를 사용하여도 좋다.
표시장치로서는, 액정표시장치로 이루어지는 표시부(210) 대신에, 음극선관(CRT, Cathod-Ray Tube), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel) 등의 여러가지 표시장치를 사용할 수 있다.
조작부로서는, 터치패널로 이루어지는 입력부(220) 대신에, 키보드, 포인팅 디바이스, 각종 스위치 등을 사용할 수 있다.
경보출력장치로서는, 스피커(250) 대신에 헤드폰 등의 다른 음성출력장치를 사용하여도 좋고, 혹은 표시등(260) 대신에 발광다이오드 등의 여러가지 광원을 사용하여도 좋으며, 액정표시장치 등의 여러가지 표시장치를 사용하여도 좋다.
음성출력장치로서, 스피커(250) 대신에 헤드폰 등의 다른 음성출력장치를 사용하여도 좋다.
본 발명에 의하면, 기판처리장치에 있어서의 보수를 단시간에 또한 정확하게 실시할 수 있다.

Claims (16)

  1. 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판처리장치에 있어서,
    상기 기판처리장치의 보수방법(method of maintaining)을 나타내는 동화상정보를 기억하는 기억장치와,
    상기 기억장치에 기억된 상기 동화상정보를 동화상으로서 표시하는 표시장치를 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수(maintenance)에 요하는 시간에 관한 시간정보를 더 기억하고,
    표시장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수에 요하는 시간에 관한 시간정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수해야 할 위치에 관한 위치정보를 더 기억하고,
    상기 표시장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수해야 할 위치에 관한 위치정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수에 있어서 조정해야 할 값에 관한 조정값 정보를 더 기억하고,
    표시장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수에 있어서 조정해야 할 값에 관한 조정값 정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수방법을 나타내는 문자정보를 더 기억하고,
    상기 표시장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수방법을 나타내는 문자정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  6. 제5항에 있어서,
    보수방법을 나타내는 문자정보는 복수의 언어의 문자정보를 포함하고,
    상기 기판처리장치는, 상기 기억장치에 기억된 복수의 언어의 문자정보를 선택하는 조작부를 더 구비하고,
    상기 표시장치는, 상기 조작부의 조작에 의하여 선택된 언어의 문자정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수방법을 나타내는 문자정보를 더 기억하고,
    상기 기판처리장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수방법을 음성으로 출력하 는 음성출력장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  8. 제7항에 있어서,
    보수방법을 표시하는 문자정보는 복수 언어의 문자정보를 포함하고,
    상기 기판처리장치는, 상기 기억장치에 기억된 복수 언어의 문자정보를 선택하는 조작부를 더 구비하고,
    상기 음성출력장치는, 상기 조작부의 조작에 의하여 선택된 언어의 문자정보를 음성으로 출력하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 보수를 실시할 시기를 통지하기 위한 통지정보를 더 기억하고,
    상기 표시장치는, 상기 기억장치에 기억된 보수를 실시할 시기를 통지하기 위한 통지정보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 통지정보에 근거하여 작업자에게 경보를 출력하는 경보출력장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 경보출력장치는, 상기 통지정보에 근거하여 경보음을 출력하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 경보출력장치는, 상기 통지정보에 근거하여 경보를 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  13. 제1항에 있어서,
    상기 기억장치는, 상기 기판처리장치의 보수의 이력에 관한 이력정보를 더 기억하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  14. 제1항에 있어서,
    상기 표시장치는, 상기 기판처리장치의 각부(各部)의 보수 필요 여부를 나타내는 정보를 더 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  15. 제14항에 있어서,
    상기 표시장치는, 보수의 필요 여부를 나타내는 정보와 상기 동화상정보를 바꾸어 표시하는 것을 특징으로 하는 기판처리장치.
  16. 기판에 소정의 처리를 실시하는 기판처리방법에 있어서,
    상기 기판처리방법의 보수방법을 나타내는 동화상정보를 기억하는 단계와,
    상기 기억된 동화상정보를 동화상으로서 표시하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판처리방법.
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