JP2000133559A

JP2000133559A - 基板処理装置および基板処理装置のデータ表示方法

Info

Publication number: JP2000133559A
Application number: JP10301195A
Authority: JP
Inventors: Hiroo Nakamura; 宏生中村; Katsunaga Narita; 克永成田
Original assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Dainippon Screen Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1998-10-22
Filing date: 1998-10-22
Publication date: 2000-05-12

Abstract

(57)【要約】【課題】基板処理の進行状況の把握を容易にする。【解決手段】基板処理装置の各処理部には個別コントロ
ーラ２１〜２７が備えられている。各処理部には、１つ
または複数の基板収容ポジションが存在する。或る基板
収容ポジションから他の基板収容ポジションへと基板が
移されると、当該基板の属性データが、記憶部２１Ｍ〜
２７Ｍの内部またはそれら相互間で移動される。各個別
コントローラ２１〜２７には、表示部３１〜３７が接続
されている。表示部３１〜３７には、基板収容ポジショ
ンごとの表示領域が設定されている。各表示領域には、
記憶部２１Ｍ〜２７Ｍの対応記憶領域に記憶されている
属性データが表示される。【効果】基板の移動とともに属性データの表示位置が移
っていくので、基板処理の進行状況を視覚的に把握でき
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、半導体ウエハ、
液晶表示装置用ガラス基板およびＰＤＰ（プラズマディ
スプレイパネル）用ガラス基板などの各種の被処理基板
に対して処理を行う基板処理装置および基板処理装置の
データ表示方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】たとえば、液晶表示装置の製造工程で
は、ガラス基板の表面に微細な薄膜パターンが繰り返し
形成される。薄膜の微細加工には、フォトリソグラフィ
工程が適用され、これを実行するために基板処理装置が
用いられる。この基板処理装置は、たとえば、ガラス基
板を洗浄する洗浄部、洗浄後のガラス基板を加熱乾燥さ
せるデハイドベーク部、ガラス基板の表面にフォトレジ
ストを塗布するレジスト塗布部、フォトレジスト中の溶
媒を蒸発させるためにガラス基板を加熱するプリベーク
部、フォトレジスト膜を所定パターンに露光する露光
機、および露光後のフォトレジスト膜の現像などの露光
後工程を行う露光後処理部などを含む複数の処理部を備
えている。

【０００３】処理対象のガラス基板には、一枚一枚に属
性データが付与されている。属性データは、各基板の番
号、当該基板が属するロットの番号、当該基板の処理条
件を表す番号などを含む。上述の各処理部には、個別制
御装置（ＣＰＵ）が備えられており、処理部間の基板の
受け渡しに伴って、当該処理部の個別制御装置間でその
基板の属性データの受け渡しが行われるようになってい
る。これにより、各処理部において、個々の基板に対し
て適切な処理を行うことができる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の基板
処理装置には、個々の処理部に収容されて処理対象とさ
れている基板の属性データを可視化する手段がなく、そ
のため、作業者は、処理の進行状況や基板処理装置の稼
働状況を必ずしも正確に把握することができなかった。

【０００５】一方、或るロットの基板の処理から他のロ
ットの基板の処理に移る際に、処理条件が大幅に変わる
場合には、一部の処理部の構成変更（以下「段取り変
え」という。）が必要になる場合がある。この段取り変
えのための作業は、当該段取り変えの対象の処理部を先
のロットの最後の基板が通過したタイミングを見計らっ
て基板処理装置の全体の運転を停止し、その処理部の処
理室を開いて、この処理部内に基板が存在していないこ
とを確認したうえで行われる。そして、段取り変えが終
了した後に、次のロットの基板がカセットから取り出さ
れ、この基板処理装置に供給される。

【０００６】このように、従来の基板処理装置において
は、先のロットの最終基板が段取り変えの対象処理部を
通過したかどうかを外部から把握する手段がないため、
先のロットの最後の基板が段取り変え対象処理部を通過
するタイミングから十分な余裕を見て基板処理装置の運
転を停止する必要がある。しかも、その最後の基板が通
過したかどうかの最終確認は、処理室を開いて作業者が
目視により行わざるをえない。さらに、段取り変えが完
了するよりも前に次のロットの基板が当該段取り変え対
象の処理部に到達しないようにするために、段取り変え
が完了するよりも前には、次のロットの基板をこの基板
処理装置に搬入することができない。

【０００７】したがって、従来の基板処理装置において
は、段取り変えの作業が面倒であるうえ、異なるロット
間の基板間隔が大きく開くことになるため、生産性も悪
いという問題があった。また、基板処理装置による処理
を受けている過程で、基板が落下したり、基板の処理不
良が生じたりすると、基板処理装置の運転を停止し、そ
の基板を作業者が取り除くことになる。この場合に、作
業者は、取り除かれた基板の属性を知ることができない
から、たとえば、基板をカセットの元の位置に収容しよ
うとしても、収容すべき位置が容易にはわからないとい
う問題がある。

【０００８】そこで、この発明の目的は、基板処理の進
行状況を正確に把握することが可能な基板処理装置を提
供することである。また、この発明の他の目的は、基板
処理の進行状況の正確な把握を実現するための基板処理
装置のデータ表示方法を提供することである。

【０００９】

【課題を解決するための手段および発明の効果】上記の
目的を達成するための請求項１記載の発明は、基板を少
なくとも一時的に収容する基板収容ポジションと、この
基板収容ポジションに収容されている基板の属性データ
を表示するデータ表示手段とを備えたことを特徴とする
基板処理装置である。

【００１０】上記基板収容ポジションは、基板に対する
処理が行われる基板処理ポジション、基板を次の処理の
ために待機させておくための基板待機ポジション、基板
を搬送するための基板搬送手段によって基板を保持して
いる状態である基板保持ポジション、および基板搬送手
段から基板搬送手段への基板の受渡し時に基板を一時的
に載置する基板受渡しポジション等のいずれであっても
よい。

【００１１】この発明によれば、基板収容ポジションに
収容されている基板の属性データがデータ表示手段に表
示されるから、作業者は、データ表示手段を参照するこ
とにより、基板収容ポジションに現に収容されている基
板の情報を得ることができる。これにより、基板処理の
進行状況を正確に把握でき、基板収容ポジションに基板
が存在しているかどうかを目視確認する必要もない。ま
た、基板処理の不良などが生じたときに、その基板を即
座に特定することができるから、その基板を所定の位置
に速やかに収容することができる。

【００１２】なお、上記属性データは、基板を識別する
基板識別情報（ワーク番号およびロットＩＤ）や、基板
の処理条件を表す処理条件情報（レシピ番号）や、当該
基板が或るロットの最後の基板であるか否かを表すフラ
グ（ロットエンドフラグ）などを含んでいてもよい。ま
た、カセット内における基板収容位置（カセット段番
号）が属性データとして含まれていてもよい。

【００１３】請求項２記載の発明は、それぞれ基板を少
なくとも一時的に収容する第１の基板収容ポジションお
よび第２の基板収容ポジションと、上記第１の基板収容
ポジションに収容されている基板を上記第２の基板収容
ポジションへ搬送する基板搬送手段と、上記第１の基板
収容ポジションに収容されている基板の属性データを表
示する第１データ表示領域、および上記第２の基板収容
ポジションに収容されている基板の属性データを表示す
る第２データ表示領域を有するデータ表示手段と、上記
基板搬送手段によって上記第１の基板収容ポジションに
収容されている基板が上記第２の基板収容ポジションへ
搬送されて収容されるのに伴って、上記第１データ表示
領域に表示されている基板の属性データを上記第２デー
タ表示領域に移行させて表示させるデータ表示移行手段
とを備えたことを特徴とする基板処理装置である。

【００１４】この構成によれば、第１の基板収容ポジシ
ョンに収容されている基板の属性データが第１データ表
示領域に表示され、第２の基板収容ポジションに収容さ
れている基板の属性データが第２データ表示領域に表示
される。そして、第１の基板収容ポジションから第２の
基板収容ポジションへと基板が搬送されると、これに伴
って、第１データ表示領域に表示されている基板の属性
データが、第２データ表示領域に移されて表示される。

【００１５】このように、属性データの表示位置が、基
板の搬送に連動して移っていくから、基板処理の進行状
況が可視化され、作業者は、基板処理の進行状況を直感
的にかつ正確に把握することができる。これにより、た
とえば、基板処理装置が備える処理部の段取り変えの際
の作業が簡単になる。すなわち、処理部の内部を開いて
基板の有無を確認したりしなくとも、或るロットの最後
の基板が当該処理部を通過したかどうかは、データ表示
手段における属性データの表示を参照すれば、直ちに確
認できる。

【００１６】また、基板処理装置の運転継続中における
段取り変えが可能になるうえ、異なるロットの間の基板
間隔を大きくあける必要がなくなる。すなわち、先のロ
ットの基板と次のロットの基板とを正確に識別すること
ができるから、先のロットの最後の基板が段取り変え対
象の処理部を通過すると、直ちに段取り変えの作業に取
りかかることができる。また、処理ラインの中間付近に
位置する処理部の段取り変え作業の完了前であっても、
段取り変え作業に要する時間に対応する基板間隔が確保
される限りにおいて、次のロットの基板を当該処理ライ
ンに供給しても差し支えなく、基板の混同が生じるおそ
れがない。

【００１７】なお、第１および第２の基板収容ポジショ
ンは、１つの処理部内の異なる基板収容位置であっても
よく、異なる処理部内の基板収容位置であってもよい。
また、データ表示手段は、１つの表示装置で構成されて
いてもよく、また、複数の表示装置で実現されてもよ
い。したがって、上記第１および第２の表示領域は、１
つの表示装置の表示画面中の異なる領域であってもよ
く、異なる表示装置の表示画面中の領域であってもよ
い。

【００１８】請求項３記載の発明は、基板を少なくとも
一時的に収容する基板収容ポジションと、この基板収容
ポジションに収容されている基板の属性データを記憶す
るデータ記憶手段と、このデータ記憶手段に記憶された
基板の属性データを表示するデータ表示手段とを備えた
ことを特徴とする基板処理装置である。この発明の構成
は、請求項１記載の発明をさらに具体化した構成となっ
ている。すなわち、基板収容ポジションに収容されてい
る基板の属性データを記憶するデータ記憶手段が設けら
れていて、このデータ記憶手段に記憶されている属性デ
ータがデータ表示手段に表示されるようになっている。
これにより、結果的に、基板収容ポジションに収容され
ている基板の属性データがデータ表示手段に表示される
ことになる。

【００１９】請求項４記載の発明は、それぞれ基板を少
なくとも一時的に収容する第１の基板収容ポジションお
よび第２の基板収容ポジションと、上記第１の基板収容
ポジジョンに収容されている基板を上記第２の基板収容
ポジションへ搬送する基板搬送手段と、上記第１の基板
収容ポジションに収容されている基板の属性データを記
憶する第１データ記憶領域、および上記第２の基板収容
ポジジョンに収容されている基板の属性データを記憶す
る第２データ記憶領域を有するデータ記憶手段と、上記
基板搬送手段によって上記第１の基板収容ポジションに
収容されている基板が上記第２の基板収容ポジションへ
搬送されるのに伴って、上記第１データ記憶領域に記憶
されている基板の属性データを上記第２データ記憶領域
に移行させて記憶させるデータ記憶移行手段と、上記デ
ータ記憶手段の上記第１データ記憶領域に記憶されてい
る基板の属性データ、および上記第２データ記憶領域に
記憶されている基板の属性データを表示させるデータ表
示手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置であ
る。

【００２０】上記データ記憶手段は、１つの処理部に備
えられた記憶装置であってもよく、複数の処理部に備え
られた複数の記憶装置であってもよい。したがって、上
記第１および第２データ記憶領域は、１つの処理部の記
憶装置内の異なる記憶領域であってもよいし、異なる処
理部に各別に備えられた記憶装置の記憶領域であっても
よい。

【００２１】この発明の構成は、請求項２の発明の構成
と類似しているが、第１および第２の基板収容ポジショ
ンに収容されている基板の属性を記憶する第１および第
２データ記憶領域を備えたデータ記憶手段を有している
点が異なる。そして、第１の基板収容ポジションから第
２の基板収容ポジションへの基板の搬送に伴い、第１デ
ータ記憶領域から第２データ記憶領域へと属性データが
移される。

【００２２】第１および第２データ記憶領域に記憶され
ている属性データは、データ表示手段に表示されるよう
になっており、作業者は、データ表示手段の表示を参照
するだけで、第１および第２の基板収容ポジションにあ
る基板の情報を得ることができる。なお、データ表示手
段は、第１データ記憶領域に記憶された属性データを表
示する第１データ表示領域と、第２データ記憶領域に記
憶された属性データを表示する第２データ表示領域とを
備えていることが好ましい。これにより、基板の搬送に
伴って、属性データの表示位置が移っていくことになる
ので、作業者は、基板の移動を視覚的に把握できる。

【００２３】なお、付言すれば、属性データの表示位置
の移行による基板移動の可視化は、データ記憶手段にお
ける属性データの記憶位置の変更を伴わなくても実現す
ることができる。すなわち、たとえば、第１データ表示
領域に表示すべき属性データの記憶領域を指示する第１
ポインタと、第２データ表示領域に表示すべき属性デー
タの記憶領域を指示する第２ポインタとを設けておき、
第１および第２のポインタを、基板の移動に伴って更新
していくようにすればよい。

【００２４】請求項５記載の発明は、基板収容ポジショ
ンに現に収容されている基板の属性データをデータ表示
手段に表示することを特徴とする基板処理装置のデータ
表示方法である。この発明により、請求項１の発明に関
連して説明した効果と同様な効果が得られる。

【００２５】

【発明の実施の形態】以下では、この発明の実施の形態
を、添付図面を参照して詳細に説明する。図１は、この
発明の一実施形態に係る基板処理装置の全体の構成を示
す簡略化した平面図である。この基板処理装置は、液晶
表示装置用ガラス基板に対するフォトリソグラフィ工程
を行うための装置である。この基板処理装置では、Ｕ字
状の経路をなすように配列された複数の処理部からなる
ラインを通してガラス基板を搬送していく過程で、この
ガラス基板に対して、フォトリソグラフィ工程のための
複数の処理が順次施されるようになっている。

【００２６】具体的に説明すると、処理対象のガラス基
板は、基板処理装置の一端に配置されたインデクサ部１
から払い出され、スピンスクラバ（ＳＳ）２、デハイド
ベーク部（ＤＢ）３、スピンコータ部（ＳＣ）４、端面
洗浄部（ＥＲ）５、プリベーク部（ＰＢ）６、バッファ
部（ＢＦ）７および移送部（ＴＲ）８を順に通って露光
機９に搬入される。この露光機９で露光処理を受けた後
の基板は、露光後処理部１０を通って、現像処理、水洗
処理、乾燥処理などを受けながらインデクサ部１へと戻
されていくことになる。インデクサ部１には、カセット
載置部１１が隣接している。このカセット載置部１１に
は、複数のカセットＣを載置することができる。そし
て、各カセットＣの内部には、複数枚の基板を上下方向
に積層して収容することができるように、複数段の棚が
設けられている。

【００２７】インデクサ部１は、カセット載置部１１に
載置されたカセットＣのいずれかから基板を１枚ずつ取
り出してスピンスクラバ２に搬入するローダロボット
（ＬＤ）１Ａ（基板搬送手段）と、露光後処理部１０か
ら処理済みの基板を受け取ってカセット載置部１１に載
置されたカセットＣのうちのいずれかに収容するための
アンローダロボット（ＵＬＤ）１Ｂ（基板搬送手段）と
を備えている。

【００２８】スピンスクラバ２は、基板処理室２Ａと、
ローダロボット１Ａから基板を受け取って基板処理室２
Ａに搬入する入口アーム２Ｂ（基板搬送手段）と、基板
処理室２Ａから処理済みの基板を搬出してデハイドベー
ク部３へと送り込む出口アーム２Ｃ（基板搬送手段）と
を備えている。基板処理室２Ａでは、基板を回転させな
がら、その表裏面に洗浄液、たとえば、純水が供給さ
れ、これにより、基板の洗浄が行われる。

【００２９】デハイドベーク部３は、ホットプレートＨ
Ｐ１，ＨＰ２、クールプレートＣＰ１、密着強化ユニッ
トＨＭ、クールプレートＣＰ２，ＣＰ３を、スピンスク
ラバ２からスピンコータ４に向かってこの順に配列して
構成されている。そして、各ユニット間の基板の搬送
は、たとえば、デハイドベーク部３の各ユニットに収容
されている基板を所定のタイミングで一斉に順送り搬送
するスライド搬送機構（基板搬送手段）により行われる
ようになっている。

【００３０】このデハイドベーク部３では、まず、ホッ
トプレートＨＰ１，ＨＰ２によって、基板が加熱されて
その表面の水分が乾燥させられる。その後、クールプレ
ートＣＰ１で基板を冷却した後に、密着強化ユニットＨ
Ｍでは、基板を加熱した状態で、ＨＭＤＳ（ヘキサメチ
ルジシラザン）ベーパーが基板表面に供給され、フォト
レジストの基板への密着性を強化するための処理が行わ
れる。その後、クールプレートＣＰ２，ＣＰ３を経て、
基板が室温へと冷却される。

【００３１】スピンコータ４は、基板処理室４Ａと、デ
ハイドベーク部３から基板を受け取って基板処理室４Ａ
に搬入する入口アーム４Ｂ（基板搬送手段）と、基板処
理室４Ａから処理済みの基板を取り出して端面洗浄部５
へと送り出す出口アーム４Ｃ（基板搬送手段）とを備え
ている。基板処理室４Ａでは、基板を回転させながらそ
の表面にフォトレジスト液が供給され、これにより、基
板表面にフォトレジストが均一に塗布される。

【００３２】端面洗浄部５は、スピンコータ４から供給
された基板の端縁付近に付着しているフォトレジストを
洗浄除去する。この端面洗浄処理後の基板は、搬出アー
ム５Ａ（基板搬送手段）によって、プリベーク部６へと
送り出される。プリベーク部６は、ホットプレートＨＰ
１１，ＨＰ１２，ＨＰ１３，ＨＰ１４およびクールプレ
ートＣＰ１１，ＣＰ１２を、基板搬送方向に沿ってこの
順に配列して構成されている。そして、基板は、図示し
ない前述のスライド搬送機構（基板搬送手段）によっ
て、これらのユニット間の搬送が行われる。その過程
で、ホットプレートＨＰ１１，ＨＰ１２，ＨＰ１３にお
ける加熱処理により、フォトレジストの溶媒が蒸発させ
られ、その後、クールプレートＣＰ１１，ＣＰ１２での
冷却処理によって、基板が室温にまで冷却される。

【００３３】バッファ部７は、プリベーク部６以前の処
理工程と、露光機９での露光処理との速度差を緩衝する
ための処理部である。そのために、バッファ部７は、複
数枚（この実施形態では２０枚）の基板を上下方向に積
層して保持するための複数段（この実施形態では２０
段）の棚を有するバッファカセット７Ａを備えている。
さらに、このバッファ部７は、プリベーク部６からの基
板をバッファカセット７Ａに搬入するための入口コンベ
ア７Ｂ（基板搬送手段）と、バッファカセット７Ａから
基板を取り出して移送部８に送り出す出口コンベア７Ｃ
（基板搬送手段）とを備えている。バッファ部７は、バ
ッファカセット７Ａに収容された基板枚数を監視してい
て、一定枚数以上の基板がバッファカセット７Ａに収容
されると、ローダロボット１Ａによる基板の払い出しを
中断させるための指令を発行する。

【００３４】移送部８は、バッファカセット７Ａから露
光機９へと基板を移送するためのコンベア（基板搬送手
段）と、この移送中の基板を室温に冷却するための冷却
機構とを備えている。露光機９では、基板表面のフォト
レジストが所望のパターンに露光される。そして、この
露光後のフォトレジスト膜に対して、露光後処理部１０
による現像処理等を施すことによって、露光パターンに
対応したフォトレジスト膜のパターンが得られる。

【００３５】図２は、上述の基板処理装置の電気的構成
を示すブロック図である。各処理部には、それぞれ個別
にコントローラ（データ表示移行手段およびデータ記憶
移行手段として機能）が備えられている。すなわち、ロ
ーダロボット（ＬＤ）１Ａにはローダコントローラ２１
が備えられており、スピンスクラバ（ＳＳ）２にはスピ
ンスクラバコントローラ２２が備えられており、デハイ
ドベーク部（ＤＢ）３にはデハイドベークコントローラ
２３が備えられており、スピンコータ（ＳＣ）４にはス
ピンコータコントローラ２４が備えられており、端面洗
浄部（ＥＲ）５には端面洗浄コントローラ２５が備えら
れており、プリベーク部（ＰＢ）６にはプリベークコン
トローラ２６が備えられており、バッファ部（ＢＦ）７
にはバッファコントローラ２７が備えられている。ま
た、図示を省略したが、露光機９、露光後処理部１０お
よびアンロードロボット１Ｂ等にも、それぞれ、個別に
コントローラが備えられている。

【００３６】これらの個別コントローラ２１〜２７など
は、ネットワーク３０を介して相互にデータを授受する
ことができるようになっている。ネットワーク３０に
は、さらに、基板処理装置全体の動作を制御するための
メインコントローラ４０が接続されている。個別コント
ローラ２１〜２７には、それぞれ、液晶表示パネルや蛍
光管表示パネルなどからなる表示部３１〜３７（データ
表示手段）が接続されており、各処理部において処理さ
れている基板の属性データを表示することができるよう
になっている。また、個別コントローラ２１〜２７に
は、それぞれ、各処理部において処理されている基板の
属性データを記憶するための属性データ記憶部２１Ｍ〜
２７Ｍ（データ記憶手段）が備えられている。表示部３
１〜３７には、属性データ記憶部２１Ｍ〜２７に記憶さ
れている属性データが表示されることになる。

【００３７】基板の属性データは、次の各データを含
む。レシピ番号ロットＩＤワーク番号カセット段番号ロットエンドフラグまず、レシピ番号は、当該基板に施すべき処理の内容を
表す識別番号である。レシピ番号には、各処理部の処理
内容を規定する処理プログラムが予め対応付けられてい
て、個別コントローラ２１〜２７にそれぞれ登録されて
いる。個別コントローラ２１〜２７は、レシピ番号を参
照することにより、それぞれの処理部における基板処理
条件を定める。

【００３８】ロットＩＤは、当該基板がいずれのロット
に属しているのかを表す識別番号である。この実施形態
では、１つのカセットＣに収容されている基板群を１つ
のロットと見なしている。ワーク番号とは、１つのロッ
ト中の個々の基板（ワーク）の識別番号であり、ロット
ＩＤとワーク番号との組み合わせにより、個々の基板を
特定することができる。

【００３９】また、カセット段番号とは、当該基板がカ
セットＣの何段目の棚に収容されていたかを表す番号で
ある。そして、ロットエンドフラグは、ロットの最終基
板であるか否かを表すフラグであり、ロットの最終基板
に対しては「１」が与えられ、それ以外の基板に対して
は「０」が与えられる。

【００４０】各基板の属性データは、処理部間での基板
の搬送に伴って、ローダコントローラ２１の属性データ
記憶部２１Ｍからスピンスクラバコントローラ２２の属
性データ記憶部２２Ｍに移され、さらに、この属性デー
タ記憶部２２Ｍからデハイドベークコントローラ２３の
属性データ記憶部２３Ｍに移され、以下同様にして、順
次、属性データ２４Ｍ，２５Ｍ，２６Ｍ，２７Ｍ，・・・・
・・へと移されていく。

【００４１】図３は、バッファコントローラ２７の属性
データ記憶部２７Ｍの記憶状態を説明するための図解図
である。バッファ部７には、バッファカセット７Ａ内に
２０個の基板収容ポジションがあり、入口コンベア７Ｂ
および出口コンベア７Ｃにそれぞれ１つの基板収容ポジ
ションがある。これに対応して、属性データ記憶部２７
Ｍは、２２個の属性データを記憶することができる記憶
領域を備えている。すなわち、属性データ記憶部２７Ｍ
には、入口コンベア７Ｂに対応した記憶領域Ｒinと、バ
ッファカセット７Ａの第１段から第２０段に対応した記
憶領域Ｒ１，Ｒ２，Ｒ３，・・・・・・，Ｒ２０と、出口コン
ベア７Ｃに対応した記憶領域Ｒoutとが設けられてい
る。そして、各基板収容ポジションに対応した記憶領域
には、その基板収容ポジションに収容されている基板の
全属性データ、すなわち、レシピ番号、ロットＩＤ、ワ
ーク番号、カセット段番号およびロットエンドフラグが
記憶できるようになっている。

【００４２】バッファコントローラ２７は、入口コンベ
ア７Ｂがプリベーク部６から基板を受け取ると、その基
板の属性データを、ネットワーク３０を介してプリベー
クコントローラ２６から受け取り、記憶領域Ｒinに書き
込む。また、入口コンベア７Ｂから、バッファカセット
７Ａに基板が収容されると、その基板の収容された棚の
段番号に応じて、記憶領域Ｒ１〜Ｒ２のいずれかに、記
憶領域Ｒinの属性データを移す。また、バッファカセッ
ト７Ａから出口コンベア７Ｃに基板が移されると、その
基板の属性データを、当該基板が収容されていた棚の段
番号に対応する記憶領域Ｒ１〜Ｒ２０から、出口コンベ
ア７Ｃに対応している記憶領域Ｒoutに移す。さらに、
出口コンベア７Ｃが移送部８に基板を払い出すと、その
基板の属性データを記憶領域Ｒinから読み出し、ネット
ワーク３０を介して、移送部８の個別コントローラに渡
す。

【００４３】他の個別コントローラ２１〜２６において
も同様の処理が行われる。すなわち、属性データ記憶部
２１Ｍ〜２６Ｍには、基板収容ポジションごとに属性デ
ータを記憶するための記憶領域が設けられており、各基
板収容ポジションに収容されている基板の属性データ
が、個別コントローラ２１〜２６の働きによって、各記
憶領域に書き込まれることになる。したがって、複数の
基板収容ポジションを有する処理部に対応した個別コン
トローラの属性データ記憶部においては、記憶領域間に
おける属性データの移動が行われることになる。

【００４４】個々の処理部における基板収容ポジション
は、次のとおりである。すなわち、ローダロボット１Ａ
には、ただ１つの基板収容ポジション（基板を保持する
基板保持ハンド）が存在する。スピンスクラバ２には、
基板処理室２Ａ、入口アーム２Ｂおよび出口アーム２Ｃ
の合計３つの基板収容ポジションが存在する。デハイド
ベーク部３では、ホットプレートＨＢ１，ＨＢ２、クー
ルプレートＣＰ１、密着強化ユニットＨＭおよびクール
プレートＣＰ２，ＣＰ３が、それぞれ基板収容ポジショ
ンとして把握される。スピンコータ４には、基板処理室
４Ａ、入口アーム４Ｂおよび出口アーム４Ｃの合計３つ
の基板収容ポジションが存在する。端面洗浄部５では、
端面洗浄処理が行われる位置と出口アーム５Ａとにそれ
ぞれ基板収容ポジションがある。プリベーク部６では、
ホットプレートＨＰ１１〜ＨＰ１４およびクールプレー
トＣＰ１１，ＣＰ１２が、それぞれ基板収容ポジション
として把握される。バッファ部８については上述のとお
りである。

【００４５】個々のカセットＣに収容された個々の基板
の属性データのうち、ロットに依存するもの、すなわ
ち、レシピ番号およびロットＩＤは、メインコントロー
ラ４０において予め入力されており、ローダロボット１
ＡがカセットＣから基板を取り出すごとに、ネットワー
ク３０を介してローダコントローラ２１に与えられる。
一方、ワーク番号、カセット段番号およびロットエンド
フラグは、ローダコントローラ２１によって生成され
る。すなわち、ローダロボット１Ａは、１つのカセット
Ｃの第１段の棚（たとえば最下段）から順に、１枚ずつ
基板を取り出す操作を行う。そして、何段目の棚から基
板を取り出したかを表すカセット段番号を生成し、当該
基板がそのカセットＣから何番目に取り出されたかを表
すワーク番号を生成する。もしも、カセットＣのすべて
の棚に基板が収容されていれば、カセット段番号とワー
ク番号とは一致する。しかし、たとえば、カセットＣの
第１段が空段となっていて、第２段目以上の棚に基板が
収容されていれば、ワーク番号「１」の基板のカセット
段番号は「２」となる。ロットエンドフラグは、或るカ
セットＣから取り出された最後の基板の属性データに対
応するものが「１」とされる。

【００４６】図４は、或る瞬間におけるローダ表示部３
１の表示内容（図４(a)）、スピンスクラバ表示部３２
の表示内容（図４(b)）、デハイドベーク表示部３３の
表示内容（図４(c)）、およびバッファ表示部３７の表
示内容（図４(d)）の例を示す図である。この図４から
理解されるとおり、それぞれの表示部３１，３２，３
３，３７には、対応する処理部における基板収容ポジシ
ョンごとの表示領域が設定されている。そして、各表示
領域には、個別コントローラ２１，２２，２３，２７の
働きにより、その表示領域が対応付けられている基板収
容ポジションに相当する記憶領域の属性データが読み出
されて表示されるようになっている。

【００４７】たとえば、バッファ表示部３７の表示内容
を例にとると、入口コンベア７Ｂに対応した表示領域Ｄ
inと、バッファカセット７Ａの各段に対応した表示領域
Ｄ１，Ｄ２，Ｄ３，・・・・・・と、出口コンベア７Ｃに対応
した表示領域Ｄoutとが設けられている。表示面積の制
限のために、バッファ表示部３７には、すべての基板収
容ポジションの基板の属性データを同時に表示すること
はできないが、表示画面のページ切り換えにより、バッ
ファカセット７Ａの第７段目以降および出口コンベア７
Ｃにおける表示領域Ｄ７，・・・・・・およびＤoutを呼び出
すことができるようになっている。

【００４８】バッファコントローラ２７は、表示領域Ｄ
in，Ｄ１，Ｄ２，・・・・・・，Ｄ２０，Ｄoutに、それぞ
れ、属性データ記憶部２７Ｍの記憶領域Ｒin，Ｒ１，Ｒ
２，・・・・・・，Ｒ２０，Ｒoutに記憶されている属性デー
タを表示させる。この表示内容から、たとえば、バッフ
ァカセット７Ａの第４段目には、ロットＩＤ「１４」の
ワーク番号「２０」の基板が収容されていることがわか
り、さらに、ロットエンドフラグが「１」であることか
ら、この基板はロットＩＤ「１４」のロットの最後の基
板であることがわかる。さらに、この基板のカセットＣ
内における収容位置、すなわちカセット段番号が「２
０」であることが理解され、また、レシピ番号４の処理
が施されていることが理解される。

【００４９】バッファカセット７Ａの第３段目に収容さ
れている基板の属性データにおいては、カセット段番号
とワーク番号とがずれているが、これは、もともとカセ
ット載置部１１のロットＩＤ「１５」のカセットＣの最
下段に基板が無かったため、すなわち, ロットＩＤ「１
５」のカセット段番号「１」に相当する基板が無かった
ためである。

【００５０】また、デハイドベーク表示部３３の表示例
において、密着強化ユニットＨＭの属性データは、いず
れも「０」となっているが、これは、密着強化ユニット
ＨＭには、基板が存在していないことを表す。密着強化
ユニットＨＭの前後に位置しているクールプレートＣＰ
１，ＣＰ２の属性データを参照すると、ワーク番号がそ
れぞれ「１９」、「１７」となっている。これは、ワー
ク番号「１８」の基板が、密着強化ユニットＨＭに至る
までに失われたことを示している。

【００５１】たとえば、基板が処理中に破損したり、搬
送不良が生じたりすると、作業者は、基板処理装置の運
転を停止して、その基板を取り出し、その後、運転を再
開する。この場合に、作業者は、たとえば、キー入力装
置（図示せず）を操作することによって、その基板の属
性データを削除する。こうして、ワーク番号「１８」の
基板の属性データが削除されることにより、図４(c)の
状況が生まれる。

【００５２】再利用可能な基板は、元のカセットＣの元
の収容位置に戻され、事後に、いわゆるリペア処理が施
される場合がある。この場合、作業者は、表示部３１〜
３７の表示を参照し、その基板のロットＩＤおよびカセ
ット段番号を調べる。そして、元のカセットＣの元の収
容位置に、その基板を戻すことになる。もしも、基板処
理装置から取り除かれた基板が或るロットの最終基板で
ある場合には、その直前の基板の属性データ中のロット
エンドフラグが「０」から「１」に変更される。

【００５３】以上のようにこの実施形態によれば、各基
板収容ポジションに収容されている基板の属性データ
を、表示部３１〜３７において、基板収容ポジションに
対応付けて表示するようにしたので、基板処理の進行状
況を即座に把握することができる。また、基板の移動に
伴って、属性データの表示位置も移動していくので、基
板処理の進行状況を直感的にかつ正確に把握することが
できる。さらに、基板処理の不良などが生じ、その基板
を元のカセットＣの元の収容位置に戻すときにも、その
基板の属性データの表示を参照することによって、即座
にその基板の収容位置を知ることができる。

【００５４】また、段取り変えに伴う従来の問題点も解
決される。すなわち、基板処理ラインの途中の処理部の
構成を、或るロットの最終基板の通過を待って行おうと
する場合には、その処理部に設けられた表示部を参照す
ることにより、当該最終基板の通過を正確に把握でき
る。したがって、ロット間の基板間隔を大きく開けなく
ても、処理部の段取り変えを適切なタイミングで行うこ
とができる。また、段取り変えに要する時間を考慮して
ロット間の基板間隔を開けておけば、基板処理装置全体
の動作を停止することなく段取り変えを行うことも可能
になる。

【００５５】以上、この発明の一実施形態について説明
したが、この発明は、他の形態でも実施することができ
る。たとえば、上述の実施形態では、個々の処理部ごと
に表示部３１〜３７を設けているが、メインコントロー
ラ４０に１つの表示装置を備え、この表示装置に、すべ
ての処理部の各基板収容ポジションに現に存在している
基板の属性データを一括して表示するようにしてもよ
い。また同様に、上述の実施形態では、個々の処理部ご
とに属性データ記憶部２１Ｍ〜２７Ｍを設けているが、
メインコントローラ４０に１つの属性データ記憶部を備
え、この属性データ記憶部に、すべての処理部の各基板
収容ポジションに現に存在している基板の属性データを
一括して記憶するようにしてもよい。さらには、上述の
実施形態では、個々の処理部ごとに個別コントローラ２
１〜２７を設け、これらの個別コントローラ２１〜２７
をメインコントローラ４０に対してネットワーク接続し
ているが、個別コントロ−ラ２１〜２７をすべてメイン
コントローラ４０に集約し、このメインコントローラ４
０によって、基板処理装置全体の動作を制御するように
してもよい。

【００５６】また、上記の実施形態では、属性データの
うちレシピ番号およびロットＩＤはメインコントローラ
４０から入力することとしたが、たとえば、カセットＣ
にロットＩＤおよび／またはレシピ番号を表すバーコー
ド等の記号を付しておき、これを、カセット載置部１１
に関連して設けた記号読取装置によって読み取るように
してもよい。

【００５７】同様に、ワーク番号については、基板の裏
面などに識別記号を担持させておき、これをインデクサ
１などに設けた記号読取装置によって読み取らせること
によって生成させることもできる。また、上述の実施形
態では、基板の移動に伴い、属性データ記憶部２１Ｍ〜
２７Ｍにおける属性データの記憶位置の移行により、属
性データの表示位置の移行を実現していたが、属性デー
タ記憶部２１Ｍ〜２７Ｍの記憶位置の移行を伴わなくて
も実現することができる。たとえば、第１データ表示領
域に表示すべき属性データの記憶領域を指示する第１ポ
インタと、第２データ表示領域に表示すべき属性データ
の記憶領域を指示する第２ポインタとを設けておき、第
１および第２のポインタを、基板の移動に伴って更新し
ていくようにすればよい。

【００５８】また、上記の実施形態では、液晶表示装置
用ガラス基板を処理する基板処理装置に本発明を適用し
た例を説明したが、この発明は、半導体ウエハおよびＰ
ＤＰ用ガラス基板をはじめとする他の種類の被処理基板
を処理する基板処理装置にも同様に適用することが可能
である。その他、特許請求の範囲に記載された事項の範
囲で種々の設計変更を施すことが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施形態に係る基板処理装置の全
体の構成を示す簡略化した平面図である。

【図２】上記基板処理装置の電気的構成を示すブロック
図である。

【図３】バッファコントローラの属性データ記憶部の記
憶状態を説明するための図解図である。

【図４】或る瞬間におけるローダ表示部、スピンスクラ
バ表示部、デハイドベーク表示部およびバッファ表示部
の各表示内容例を示す図である。

【符号の説明】

１インデクサ部２スピンスクラバ３デハイドベーク部４スピンコータ５端面洗浄部６プリベーク部７バッファ部１Ａローダロボット（基板搬送手段、基板収容ポジ
ション）１Ｂアンローダロボット（基板搬送手段、基板収容
ポジション）１１カセット載置部Ｃカセット２Ａ基板処理室（基板収容ポジション）４Ａ基板処理室（基板収容ポジション）７Ａバッファカセット（基板収容ポジション）７Ｂ入口コンベア（基板搬送手段、基板収容ポジシ
ョン）７Ｃ出口コンベア（基板搬送手段、基板収容ポジシ
ョン）ＨＰ１，ＨＢ２，ＨＰ１１〜ＨＰ１４ホットプレー
ト（基板収容ポジション）ＣＰ１〜ＣＰ３，ＣＰ１１，ＣＰ１２クールプレー
ト（基板収容ポジション）ＨＭ密着強化ユニット（基板収容ポジション）２１ローダコントローラ（データ表示移行手段、デ
ータ記憶移行手段）２２スピンスクラバコントローラ（データ表示移行
手段、データ記憶移行手段）２３デハイドベークコントローラ（データ表示移行
手段、データ記憶移行手段）２４スピンコータコントローラ（データ表示移行手
段、データ記憶移行手段）２５端面洗浄コントローラ（データ表示移行手段、
データ記憶移行手段）２６プリベークコントローラ（データ表示移行手
段、データ記憶移行手段）２７バッファコントローラ（データ表示移行手段、
データ記憶移行手段）２１Ｍ〜２７Ｍ属性データ記憶部（データ記憶手
段）３０ネットワーク３１ローダ表示部（データ表示手段）３２スピンスクラバ表示部（データ表示手段）３３デハイドベーク表示部（データ表示手段）３４スピンコータ表示部（データ表示手段）３５端面洗浄表示部（データ表示手段）３６プリベーク表示部（データ表示手段）３７バッファ表示部（データ表示手段）４０メインコントローラＲin，Ｒ１〜Ｒ２０，Ｒout 記憶領域（データ記憶
領域）Ｄin，Ｄ１〜Ｄ２０，Ｄout 表示領域（データ表示
領域）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】基板を少なくとも一時的に収容する基板収
容ポジションと、この基板収容ポジションに収容されている基板の属性デ
ータを表示するデータ表示手段とを備えたことを特徴と
する基板処理装置。
【請求項２】それぞれ基板を少なくとも一時的に収容す
る第１の基板収容ポジションおよび第２の基板収容ポジ
ションと、上記第１の基板収容ポジションに収容されている基板を
上記第２の基板収容ポジションへ搬送する基板搬送手段
と、上記第１の基板収容ポジションに収容されている基板の
属性データを表示する第１データ表示領域、および上記
第２の基板収容ポジションに収容されている基板の属性
データを表示する第２データ表示領域を有するデータ表
示手段と、上記基板搬送手段によって上記第１の基板収容ポジショ
ンに収容されている基板が上記第２の基板収容ポジショ
ンへ搬送されて収容されるのに伴って、上記第１データ
表示領域に表示されている基板の属性データを上記第２
データ表示領域に移行させて表示させるデータ表示移行
手段とを備えたことを特徴とする基板処理装置。
【請求項３】基板を少なくとも一時的に収容する基板収
容ポジションと、この基板収容ポジションに収容されている基板の属性デ
ータを記憶するデータ記憶手段と、このデータ記憶手段に記憶された基板の属性データを表
示するデータ表示手段とを備えたことを特徴とする基板
処理装置。
【請求項４】それぞれ基板を少なくとも一時的に収容す
る第１の基板収容ポジションおよび第２の基板収容ポジ
ションと、上記第１の基板収容ポジジョンに収容されている基板を
上記第２の基板収容ポジションへ搬送する基板搬送手段
と、上記第１の基板収容ポジションに収容されている基板の
属性データを記憶する第１データ記憶領域、および上記
第２の基板収容ポジジョンに収容されている基板の属性
データを記憶する第２データ記憶領域を有するデータ記
憶手段と、上記基板搬送手段によって上記第１の基板収容ポジショ
ンに収容されている基板が上記第２の基板収容ポジショ
ンへ搬送されるのに伴って、上記第１データ記憶領域に
記憶されている基板の属性データを上記第２データ記憶
領域に移行させて記憶させるデータ記憶移行手段と、上記データ記憶手段の上記第１データ記憶領域に記憶さ
れている基板の属性データ、および上記第２データ記憶
領域に記憶されている基板の属性データを表示させるデ
ータ表示手段とを備えたことを特徴とする基板処理装
置。
【請求項５】基板収容ポジションに現に収容されている
基板の属性データをデータ表示手段に表示することを特
徴とする基板処理装置のデータ表示方法。