JPH08161008A - デバイス製造装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 装置にエラーが発生した際にオペレータに適
切な対処方法をすみやかに伝え、迅速な対応ができるよ
うにする。 【構成】 デバイス製造装置に、表示手段１０２と、該
装置停止の原因毎に所望の対処方法を入力する手段１０
４と、入力された対処方法を記憶する記憶手段３３２
と、装置停止停止時その原因に対応する前記対処方法を
前記記憶手段から読み出して前記表示手段上に表示する
処理手段３３１とを具備させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子や液晶素子
等のデバイスを製造するための装置および方法に関し、
特にデバイスの製造装置が停止した時の対処方法の設定
および対処方法の実施を容易にしたものに関する。本発
明は、特に半導体の製造装置、例えばウエハ上に回路パ
ターンを焼き付ける半導体露光装置に特に好適に適用さ
れる。

【０００２】

【従来の技術】従来、半導体の製造に用いられる半導体
露光装置では、何らかのエラーが発生した場合には、シ
グナルタワー等で、エラーの発生をオペレータに知ら
せ、操作画面（以下、コンソール画面という）上に決め
られたエラー表示が表示されていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、半導体
露光装置のエラーメッセージの種類には、プロセスによ
っては、そのまま、装置を動作させていいもの、装置状
態をチェックしてから装置を動作させるもの、などの様
々な種類があり、この様々なエラーに対処するためにオ
ペレータは、作業マニュアルを見たり、エンジニアに相
談したりする必要があったため、対処するまでに時間が
かかるという問題があった。また半導体製造において
は、設備コスト等が高く、エラー対処等による空き時間
も問題になる。

【０００４】本発明は、上記事情を考慮したもので、露
光装置にエラーが発生した際にオペレータに適切な対処
方法をすみやかに伝え、迅速な対応ができるようにする
ことを目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、デバイスを製造するための装置が停止した
時の原因毎にユーザが定義した対処方法の記述を該装置
に記憶させ、該装置が停止したときは記憶している対処
方法のの記述中からその停止した原因に対応するものを
表示させるようにしている。

【０００６】本発明の好ましい実施例において、前記製
造装置は、前記対処方法の記述において、必要な確認項
目を設定する手段を有している。また、装置状態等をチ
ェックする機能を有し、装置状態等をチェックする機能
を記述する順序に実施する手段を有する。さらに、装置
が停止した時の対処方法の中に、必要な装置状態のチェ
ックを記述する手段を有し、記述された装置状態のチェ
ックを行なえる手段を有する。

【０００７】

【作用】本発明によれば、半導体露光装置のエラーに対
する対処方法をエンジニアが自由に設定できる。また、
必要に応じて、対処方法の中に装置状態のチェックを行
なうコマンドを記述しておき、記述のとおり装置状態の
チェックを実施することができる。

【０００８】以上のことから、エラー発生時に装置の設
置先のプロセス、経験による最適な対処方法が該装置の
コンソール画面に表示され、設置先のオペレータはコン
ソール画面の表示にしたがって、装置状態のチェックな
ど必要な対処をすぐに施すことができるため、エラー対
処の時間の短縮が可能になる。

【０００９】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装
置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この
半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温
調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制
御を行なうＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならび
に、装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディス
プレイ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して
得られる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に
対し所定の入力を行なうための操作パネル１０３、ＥＷ
Ｓ用キーボード１０４等を含むコンソール部を備えてい
る。図中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非
常停止スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１
１０はＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能か
らの発熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気
装置である。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内
部に設置される。

【００１０】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行なえるようにしてある。

【００１１】図２は、図１の装置の内部構造を示す図で
ある。同図においては、半導体露光装置としてのステッ
パが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３は
ウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学
系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影
レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエ
ハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル
２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチク
ルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３
はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露
光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０
９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の
上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチク
ル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の
上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微
鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２
は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマ
ークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。
また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレ
チクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２
３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬
送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステ
ッパ本体に搬送される。

【００１２】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行なう空調機室２１０および微小異物を濾過し清浄空気
の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０
に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、この
チャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブー
ス２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割の
ブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた外
気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このよ
うにしてチャンバ１０１は本装置の置かれる環境温度を
一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしてい
る。また光源装置２０４には超高圧水銀灯の冷却やレー
ザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅ
ａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置
２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排
気ファンを介して工場設備に強制排気されている。ま
た、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィル
タｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリタ
ーン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００１３】図３は、図１の装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、３２１は装置全体の
制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体Ｃ
ＰＵ（メインＣＰＵ）であり、マイクロコンピュータま
たはミニコンピュータ等の中央演算処理装置からなる。
３２２はウエハステージ駆動装置、３２３は前記オフア
クシス顕微鏡２８２等のアライメント検出系、３２４は
レチクルステージ駆動装置、３２５は前記光源装置２０
４等の照明系、３２６はシャッタ駆動装置、３２７はフ
ォーカス検出系、３２８はＺ駆動装置であり、これら
は、本体ＣＰＵ３２１により制御される。３２９は前記
レチクル搬送装置２２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬
送系である。本体ＣＰＵ３２１には、上記の検出系、照
明系、駆動系、搬送系の各ユニットの動作を制御するさ
らにいくつかのサブＣＰＵが付属するが、ここでは図示
および詳しい説明は省略する。３３０は前記ディスプレ
イ１０２、キーボード１０４等を有するコンソールユニ
ットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの露光装置の動作に
関する各種のコマンドやパラメータを与えるためのもの
である。すなわち、オペレータとの間で情報の授受を行
なうためのものである。３３１はコンソールＣＰＵ、３
３２はパラメータ等を記憶する外部メモリである。外部
メモリ３３２は例えばハードディスクであり、該メモリ
内にはデータベースが構築されており、エラーコード、
エラーメッセージ、表示内容（対処方法等）のデータ
（テキストデータ）、オペレータのグループ等が記録さ
れている。オペレータのグループは数値データであり、
例えば、１：オペレータ、２：エンジニア、３：サービ
スマン、のように定義されている。本体ＣＰＵ３２１と
コンソールＣＰＵ３３１とは一般には、ＲＳ２３２Ｃ、
またはイーサネット等の通信手段により接続されてい
る。

【００１４】図４は、図１〜３に示す半導体露光装置に
エラーが発生してから、エラーの表示や対処方法などの
メッセージを表示するまでのアルゴリズムを示すフロー
チャートである。露光装置においてエラーが発生する
と、露光装置側のＣＰＵ３２１がエラーを検出し、エラ
ーコードをコンソール３３０へ送信する。コンソールで
はＣＰＵ３３１が露光装置から送信されてきたエラーコ
ードをキーとして、エラーメッセージデーターベースに
問い合わせ、グループに応じたエラーメッセージを取得
し、表示装置１０２に表示する。

【００１５】図５は、図１の露光装置においてフォーカ
スエラーが発生した際にコンソール画面１０２上に表示
されるエラー表示用ウィンドウ（以下、エラーウィンド
ウという）を説明をするための図である。エラーウィン
ドウは、図１の装置においてエラーが発生した時に、ポ
ップアップにより表示される。このエラーウィンドウ
は、ウィンドウタイトル３１、オペレータグループ表示
領域３２、エラー内容表示領域３３、メッセージ表示領
域３４、スクロールバー３５，３６、および操作ボタン
群３７（３７−１〜３７−９）から構成される。オペレ
ータグループ表示領域３２は、グループ表示部３２−１
とグループ変更のための入力部３２−２から構成され
る。スクロールバー３５，３６および操作ボタン３７−
１〜３７−６は、エラー内容表示領域３３およびメッセ
ージ表示領域を操作（動かす）するためのものである。
詳細メッセージ（“Ｆｕｔｈｅｒ Ｉｎｆｏｒｍ．”）
ボタン３７−７はトグルボタンになっており、１回押す
とメッセージ表示領域３４の表示が“Ｕｓｅｒ Ｉｎｆ
ｏｒｍ．”表示に変わり、さらに押されると“Ｆｕｔｈ
ｅｒ Ｉｎｆｏｒｍ．”表示に戻る。“Ｕｓｅｒ Ｉｎ
ｆｏｒｍ．”というのは、現在のオペレータグループ向
けのメッセージであり、エラーコードやエラーの簡単な
説明、エラー内容の説明、および対処方法を、オペレー
タのグループに応じて表示するモードである。また“Ｆ
ｕｔｈｅｒ Ｉｎｆｏｒｍ．”は、前記“Ｕｓｅｒ Ｉ
ｎｆｏｒｍ．”と同様にエラーコード、エラーの説明、
エラー内容の説明、対処方法を現在のオペレータの１つ
上のグループの詳細なメッセージで表示するモードであ
る。ユーザ定義表示選択（“Ｉｎｆｏｒｍ．Ｕｓｅｒ
Ｄｅｆ”）ボタン３７−８は、ユーザがエラーの対処方
法を定義したウィンドウを表示するためのボタンであ
る。終了（“Ｑｕｉｔ”）ボタン３７−９は、エラーウ
ィンドウを終了するときに押すものである。

【００１６】図４に戻って、図５の画面においてユーザ
定義表示選択ボタン３７−８が押されると、図３のＣＰ
Ｕ３３１は、前記エラーコードをキーとして、ユーザ定
義の対処方法データーベースに問い合わせ、エラーコー
ドに応じたユーザ定義の対処方法を取得し、表示装置１
０２に表示する。

【００１７】図６は、このユーザ定義の対処方法が選択
された際にコンソール画面１０２上に表示されるユーザ
定義対処方法ウィンドウの説明図である。このユーザ定
義の対処方法のウィンドウは、図５の画面において、ユ
ーザ定義表示選択ボタン３７−８が押されたときに、ポ
ップアップにより表示される。図６のウィンドウは、ウ
ィンドウタイトル４１、ユーザエンジニアが定義した対
処方法表示領域４２、ユーザエンジニアが定義した装置
状態のチェックコマンド等のコマンド群の表示領域４
３、スクロールバー４４、および操作ボタン群４５（４
５−１〜４５−９）から構成される。スクロールバー４
４と操作ボタン４５−１〜４５−６はユーザエンジニア
が定義した対処方法の表示部分を操作する（動かす）た
めのものである。チェックコマンド群の実行ボタン４５
−７と４５−８は、装置状態のチェックコマンドなどの
コマンド群の表示領域に記述してあるコマンド群を実行
するためのボタンである。

【００１８】このように、図１の装置において、フォー
カスエラーが発生した場合、装置は停止し、図５の画面
を表示する。この装置停止に対処するためには、オペレ
ータは、ユーザ定義表示選択ボタン３７−８を押し、表
示装置１０２の画面を図６の画面に切り替える。そし
て、対処方法表示領域４２のメッセージを読み、このメ
ッセージに従って左側のチェックコマンド実行（“Ｍａ
ｃｒｏ Ｃｏｍｍａｎｄ１）ボタン４５−７を押す。す
ると、ＣＰＵ３３１は、ＣＰＵ３２１にフォーカスチェ
ックを実行するよう指令する。ＣＰＵ３２１はフォーカ
スチェックを実行し、結果をＣＰＵ３３１に送信する。
ＣＰＵ３３１この結果を表示領域４３の実行コマンドの
すぐ下に表示する。オペレータは、この結果および上記
のメッセージに基づいてフォーカスエラーの再現性を判
断する。フォーカスエラーの再現性がなければ（３σ≦
０．６μｍならば）、オペレータは、装置に対し続行命
令を出す。これにより、図１の装置は露光動作を続行す
る。一方、フォーカスチェックの結果フォーカスエラー
が再現していれば（３σ＞０．６μｍならば）、オペレ
ータは、表示領域４２のメッセージに従って装置を停止
したままプロセス担当者に呼ぶ。このように、エラーが
発生した際オペレータは、マニュアルを開くことなく、
適切な対処方法を速やかに知ることができ、エラー対処
時間を大幅に短縮することができる。

【００１９】図１の装置において、エラー発生時、上記
したユーザ定義の対処方法を表示させるためにはそれを
予めデータベース３３２に登録しておく必要がある。

【００２０】図７は、図１の装置における対処方法の登
録を入力するためのウィンドウの説明図である。図７の
ウィンドウは、ウィンドウタイトル５１、エラーコード
入力領域５２、ユーザエンジニアが定義した対処方法を
入力するための対処方法入力領域５３、ユーザエンジニ
アが定義した装置状態のチェックコマンド等のコマンド
群の入力領域５４、スクロールバー５５、および操作ボ
タン群５６（５６−１〜５６−１０）から構成される。
スクロールバー５５と操作ボタン５６−１〜５６−６は
ユーザエンジニアが定義した対処方法の表示部分を操作
する（動かす）ためのものである。チェックコマンド群
（“Ｍａｃｒｏ Ｃｏｍｍａｎｄ １，２”）の実行ボ
タン５６−７と５６−８は、ユーザエンジニアが定義し
た状態のチェックコマンド等のコマンド群を実行するた
めのボタンである。登録（“Ｓａｖｅ”）ボタン５６−
９は、エラーコードをキーにして、ユーザエンジニアが
定義した対処方法とユーザエンジニアが定義した装置状
態のコマンドなどのコマンド群をデータベース３３２へ
登録するボタンである。

【００２１】ユーザ定義の対処方法を登録または変更す
る場合、ユーザエンジニアは、コンソール３３０のタッ
チパネル１０３、キーボード１０４および図示しないマ
ウス等の入力手段を用いてユーザ定義の登録モードを選
択し、図７の画面を呼び出す。続いて、上記のキーボー
ド、マウス、およびタッチパネル上のスクロールバー５
５と操作ボタン５６−１〜５６−６等を用いて、エラー
コード入力領域５２にはエラーコードを、ユーザ定義対
処方法入力領域５３には所望の対処方法の記述を、コマ
ンド入力領域５４にはマクロコマンドを入力する。入力
後、マクロコマンドを確認するには実行ボタン５６−７
および５６−８を押す。そして、データベース３３０へ
登録するには登録ボタン５６−９を押す。これにより、
ユーザが定義した所望の対処方法がデータベース３３０
に登録される。

【００２２】なお、図５〜７においては、エラーメッセ
ージおよびその対処メッセージは一例として日本語で表
示してあるが、セットアップエディタ等の設定により、
任意の言語に切り替えることができる。

【００２３】

【発明の適用範囲】なお、上述においては、本発明を主
に半導体を製造するための半導体露光に適用した例を示
したが、本発明は、半導体露光以外の半導体製造あるい
はＬＣＤパネルを製造するための露光等、半導体露光以
外のデバイス製造にも適用することができる。

【００２４】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
エラーが発生した際にオペレータに適切な対処方法を速
やかに伝えることができ、エラーに対する迅速な対応を
行なうことができる。また、オペレータはマニュアルを
開かずに、エラーの対処方法を知ることができるため、
エラー対処時間の短縮が可能となる。さらに、ユーザが
ユーザの状況にあった対処方法を設定することができる
ことにより、エラーに対する対処方法をユーザの状況に
最適に合わせることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る半導体露光装置の外
観を示す斜視図である。

【図２】 図１の装置の内部構造を示す図である。

【図３】 図１の装置の電気回路構成を示すブロック図
である。

【図４】 図１の装置においてエラーが発生してから、
コンソール画面上にエラーや対処方法などのエラーメッ
セージを表示するまでの処理を示すフローチャートであ
る。

【図５】 図１の装置においてエラーが発生した際に表
示するエラーウィンドウの一例を示す図である。

【図６】 図５のエラーウィンドウから切り替えて表示
されるユーザが定義した対処方法を表示するウィンドウ
の一例を示す図である。

【図７】 図１の装置においてユーザが対処方法を定義
する対処方法を入力するウィンドウの一例を示す図であ
る。

【符号の説明】

１０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ
装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボー
ド、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０
７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッ
チ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ
通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装
置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源
装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０
７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８
１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２
１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：
ブース、２１７：送風機、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化
学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン
口、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３
１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、６０１，
７０１，８０１：ジョイスティック機能ウインドウ、６
０２：ジョイスティックボタン、６０３：終了ボタン、
６１３：回転ボタン、６０４：スピードボタン、６０
５：リピートボタン、６０６，６０９〜６１２，７０２
〜７０７，８０２〜８０５：ボタン、３１：ウィンドウ
タイトル、３２：オペレータグループ表示領域、３３：
エラー内容表示領域、３４：メッセージ表示領域、３
５，３６：スクロールバー、３７−１：上へスクロール
するボタン、３７−２：上へ数行スクロールするボタ
ン、３７−３：左へスクロールするボタン、３７−４：
下へスクロールするボタン、３７−５：下へ数行スクロ
ールするボタン、３７−６：右へスクロールするボタ
ン、３７−７：詳細メッセージボタン、３７−８：ユー
ザが定義したリカバリ詳細メッセージボタン、３７−
９：終了ボタン、４１：ウィンドウタイトル、４２：対
処方法表示領域、４３：装置状態のチェックコマンドな
どのコマンド群の表示領域、４４：スクロールバー、４
５−１：上へスクロールするボタン、４５−２：上へ数
行スクロールするボタン、４５−３：左へスクロールす
るボタン、４５−４：下へスクロールするボタン、４５
−５：下へ数行スクロールするボタン、４５−６：右へ
スクロールするボタン、４５−７，４５−８：チェック
コマンド群の実行ボタン、４５−９：終了ボタン、５
１：ウィンドウタイトル、５２：エラーコード入力領
域、５３：対処方法入力領域、５４：装置状態のチェッ
クコマンドなどのコマンド群の入力領域、５５：スクロ
ールバー、５６−１：上へスクロールするボタン、５６
−２：上へ数行スクロールするボタン、５６−５：左へ
スクロールするボタン、５６−４：下へスクロールする
ボタン、５６−５：下へ数行スクロールするボタン、５
６−６：右へスクロールするボタン、５６−７，５６−
８：チェックコマンド群の実行ボタン、５６−９：終了
ボタン。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１６ Ｚ

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 表示手段と、装置停止の原因毎に所望の
   対処方法を入力する手段と、入力された対処方法を記憶
   する記憶手段と、装置停止停止時その原因に対応する前
   記対処方法を前記記憶手段から読み出して前記表示手段
   上に表示する処理手段とを具備することを特徴とするデ
   バイス製造装置。
2. 【請求項２】 前記対処方法の表示には、装置状態の確
   認項目が含まれることを特徴とする請求項１記載のデバ
   イス製造装置。
3. 【請求項３】 前記対処方法の表示には、装置状態を確
   認するための手順が含まれることを特徴とする請求項２
   記載のデバイス製造装置。
4. 【請求項４】 前記装置状態を確認するための手順の実
   行を指示するための入力手段と、指示された場合に該手
   順を実行し実行結果を表示する手段とをさらに具備する
   ことを特徴とする請求項３記載のデバイス製造装置。
5. 【請求項５】 表示手段と、所望のメッセージおよびマ
   クロコマンドを操作者の種類とエラーの種類に対応して
   入力する手段と、入力したメッセージおよびマクロコマ
   ンドを記憶する記憶手段と、現在設定されている操作者
   の種類を示す操作者データと装置で生じたエラーの種類
   を示すエラーデータとに対応する前記メッセージおよび
   マクロコマンドを前記記憶手段から読み出して前記表示
   手段上に表示するデータ処理手段と、表示されたマクロ
   コマンドを選択する手段と、選択されたマクロコマンド
   を実行する手段と具備することを特徴とするデバイス製
   造装置。
6. 【請求項６】 デバイス製造装置が停止した時の原因毎
   にユーザが定義した対処方法の記述を該装置に記憶さ
   せ、該装置が停止したときは記憶している対処方法の記
   述中からその停止した原因に対応するものを表示させる
   ことを特徴とするデバイス製造方法。
7. 【請求項７】 前記製造装置は、前記対処方法の記述に
   おいて、必要な確認項目を設定する手段を有しているこ
   とを特徴とする請求項６記載のデバイス製造方法。
8. 【請求項８】 前記製造装置に、装置状態等をチェック
   する機能をもたせ、装置状態等をチェックする機能を記
   述する順序に実施する手段をもたせたことを特徴とする
   請求項６または７記載のデバイス製造方法。
9. 【請求項９】 前記製造装置は、装置が停止した時の対
   処方法の中に、必要な装置状態のチェックを記述する手
   段を有し、記述された装置状態のチェックを行なえる手
   段を有することを特徴とする請求項６〜８のいずれかに
   記載のデバイス製造方法。