JPH08161007A

JPH08161007A - 制御装置

Info

Publication number: JPH08161007A
Application number: JP6330948A
Authority: JP
Inventors: Yoichi Kuroki; 洋一黒木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-12-09
Filing date: 1994-12-09
Publication date: 1996-06-21

Abstract

(57)【要約】【目的】種々のコマンドに対応する制御画面を容易に
作成でき、コマンドの追加や操作画面の変更があっても
容易に対処できるようにする。【構成】装置を制御する為のコマンドが入力されたと
きそのコマンドに応じて表示される画面の構成要素をデ
ータベース中に事前に入力しておき、コマンド入力時入
力されたコマンド４１６をキーとして該データベースか
ら該当する画面の構成要素Ｆｉｅｌｄを引き出してその
コマンドの画面を生成する。その際、該画面内における
構成要素の機能４２４，４２６をも該データベース中に
定義しておく。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体素子や液晶素子
等のデバイスを製造するための装置の動作を制御する制
御装置に関する。本発明の制御装置は、半導体の製造装
置、特にウェハ上に回路パターンを焼き付ける半導体露
光装置に特に好適に適用される。

【０００２】

【従来の技術】半導体露光装置では、通常の露光シーケ
ンス用のコマンド以外にも、いくつものコマンドを持っ
ている。例えば、装置の性能評価やメンテナンス用、お
よび露光するウェハの最適なパラメータを見つけるため
のコマンド等である。

【０００３】これらのコマンドはコマンドごとにいろい
ろなパラメータをもっている。例えば、ウェハは、その
工程、品種等によって、レジストの種類、塗布状況、下
地のウェハの状態等が異なり、露光するウェハの種類に
よって、露光や位置合わせ等のために最適なパラメータ
を設定する必要がある。露光するウェハの種類によって
設定するパラメータとしては、露光量、フォーカスのオ
フセット、位置合わせ用マーク検出のためのマーク照明
方法、検出モード、画像処理のパラメータ等がある。

【０００４】ＸＹステージの単動駆動のコマンドでは、
駆動先のＸＹ座標を設定する必要があるし、アライメン
トマークの検出テスト用のコマンドでは、マーク検出の
ためのマーク照明方法、検出モード、画像処理のパラメ
ータ等を設定する必要がある。これらのパラメータは、
そのコマンドの画面内で設定できる様になっている。

【０００５】半導体露光装置は、図３に示すように、各
種露光パラメータを設定したり、上記種々のコマンドを
入力したりするコンソールＣＰＵ３３１、露光装置全体
のシーケンスを制御するメインＣＰＵ３２１および各ユ
ニット３２２〜３２９の動作を制御するサブＣＰＵとか
ら構成されている。コンソールＣＰＵ３３１とメインＣ
ＰＵ３２１とは一般には、ＲＳ２３２Ｃ、またはイーサ
ネット等の通信手段により接続されている。

【０００６】図３の構成においてコンソールＣＰＵ３３
１は、キーボード１０４またはディスプレイ１０２上の
タッチパネル（不図示）等からコマンドを入力すると、
そのコマンドに対応したパラメータ設定・制御画面を起
動する。

【０００７】図５はレチクルのアライメント状態をチェ
ックする、コマンドの画面の一例である。このコマンド
ではオペータは、計測回数、各計測間のインターバル、
アライメントマークのタイプ等を設定する。そして設定
が終了した後、画面上の“ＧＯ”ボタン５３７（または
対応したファンクションキー等）を押すとコンソールＣ
ＰＵ３３１は、レチクルのアライメント状態をチェック
するコマンドであることを示すコードとともに、画面で
設定されたデータをメインＣＰＵ３２１へ送る。メイン
ＣＰＵ３２１は、コマンドを実行しその実行結果（計測
データ）をコンソールＣＰＵ３３１へ送信する。コンソ
ールＣＰＵ３３１は送られた計測データをコンソール画
面上のデータ表示領域５３５へ表示する。

【０００８】図５の“ＣＡＮＣＥＬ”ボタン５３８は、
計測を指定回数に達する前に中断させるためのものであ
る。図５の画面は、タイトル表示領域５３１、パラメー
タ設定領域５３２、ガイド表示領域５３３、操作ボタン
領域５３４，５３６およびデータ表示領域５３５の６つ
の領域に分けられている。

【０００９】従来、新しいコマンドを追加する時は、コ
ンソールのコマンドの入力画面を新たに設計する必要が
あった。新しいコマンドの入力画面の設計にあたって
は、そのコマンドのパラメータ使用を取り決め、それを
実現すべくコーディングまたはプログラミングを行なう
必要があった。

【００１０】コマンドのパラメータの数、使用はコマン
ド毎に異なり、通常数値入力のパラメータについては、
パラメータ各々について入力単位、入力範囲（下限値、
上限値）、デフォルト（Ｄｅｆａｕｌｔ）値（入力を省
略したときの値、または初期値）などの表示、チェッ
ク、設定などを行なう必要があった。

【００１１】さらに、コマンドを実行させるための“Ｇ
Ｏ”ボタン５３７、実行を中断させるための“ＣＡＮＣ
ＥＬ”ボタン５３８、その他コマンドの種類によって、
種々のボタンがつく。例えば、ウェハのマークのずれ量
を計測し、計測値に応じてステージの補正駆動を行なう
コマンド等では、計測−補正駆動を行なわせるための指
令ボタン、補正駆動は行なわずに計測だけを行なわせる
指令ボタン、計測だけを行なわせる場合には、その計測
回数、計測間隔を指定するパラメータ、その計測を中断
させる指令を送るためのボタン等がある。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】ところが近年、半導体
パターンの微細化が進むのにともなって、装置の高精度
化が要求され、装置機構、ユニットが複雑化してゆき、
装置の制御用パラメータ、またその最適パラメータをチ
ェックするためのコマンド、ユニットのメンテナンスの
ためのコマンドはいっそう数が増えてきている。また、
性能改善のためのユニットの仕様変更、改良、新規ユニ
ット、機構の追加等のサイクルも急激に短くなりつつあ
る。

【００１３】このような状況下で、各コマンド毎に、パ
ラメータ入力部、制御ボタン等を構成する画面の作成、
およびその制御ソフトウェアを書くのは、ソフトウェア
開発にとって多大な負荷となってきている。

【００１４】本発明は、上述の従来例における問題点に
鑑みてなされたもので、各コマンドに対応する制御画面
を容易に作成でき、コマンドの追加や操作画面の変更が
あっても容易に対処できる制御装置を提供することを目
的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の制御装置では、当該制御装置または当該制
御装置が制御しようとする製造装置の動作を制御する為
のコマンドが入力されたときそのコマンドに応じて表示
される画面の構成要素をデータベース中に事前に入力し
ておき、コマンド入力時入力されたコマンドをキーとし
て該データベースから該当する画面の構成要素を引き出
してそのコマンドの画面を生成するとともに、該画面内
における構成要素の機能も該データベース中に定義して
おくことを特徴とする。

【００１６】本発明の好ましい実施例において、前記デ
ータベースは、コマンドの実行結果による計測値等デー
タの表示エリアを構成するかしないかの情報を含む。ま
た、画面の入力パラメータ表示のための構成要素には、
そこに入力される数値の上限値、下限値および現在値を
表示することができる。その場合、前記上限値と下限値
との間の数値以外入力は禁止される。また、画面を複数
領域に分けて領域毎の機能をデータベース中に定義して
ある。

【００１７】

【作用】本発明によれば、半導体露光装置等の製造装置
を制御するための各コマンドごとに、起動すべきコマン
ドの画面（ウインド）のＩＤをデータベースに登録す
る。また各々の画面について画面を構成すべき情報をデ
ータベースに登録する。画面を構成すべき情報とは次の
ようなものである。・そのウインドのタイトル（コマンド名）・そのコマンドで必要とする、入力パラメータとその入
力単位、入力範囲（下限値、上限値）、デフォルト値、
その入力のタイプ（種類）、および入力方法（数値入
力、文字入力、選択入力等）・文字の表示エリアとその表示文字・制御ボタンとその機能（押された時に行なう動作）、
ボタン上の表示文字・コマンドの実行結果による、データ表示領域の有無各項目は、それぞれ画面上に配置される座標もあわせて
登録される。

【００１８】コンソールのコマンド処理プログラムは、
コマンド名が入力されると、該コマンドに対応した、コ
マンド画面を構成する情報を前記データベースからコマ
ンドをキーとして引き出す。そして該情報からそのコマ
ンドの画面を作成し、画面の入力処理を行なう。したが
って、このコマンド処理プログラムでは、従来他のソフ
トウエアまたは処理プロセスを起動して行なっていた画
面生成を、他のソフトウエアまたは処理プロセスを起動
することなく（プログラムを切り替えないで）行なって
いる。

【００１９】本発明によれば、新しいコマンドを追加す
るにあたって、そのコマンドの仕様に則した処理プログ
ラムを作成する必要がなく、単に新しいデータをデータ
ベースへ登録するだけで良い。また、性能改善のための
ユニットの仕様変更、改良等が発生し、パラメータの入
力単位、入力範囲等が変更となった場合でも、データベ
ース中のデータを一部修正するだけで対応ができるよう
になった。

【００２０】

【実施例】以下、実施例を通じて本発明をより具体的に
説明する。図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装
置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この
半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温
調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制
御を行うＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならびに、
装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレ
イ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得ら
れる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し
所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キ
ーボード１０４等を含むコンソール部を備えている。図
中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止
スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０は
ＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能からの発
熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気装置で
ある。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内部に設
置される。

【００２１】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行なえるようにしてある。

【００２２】図２は、図１の装置の内部構造を示す図で
ある。同図においては、半導体露光装置としてのステッ
パが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３は
ウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学
系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影
レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエ
ハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル
２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチク
ルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３
はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露
光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０
９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の
上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチク
ル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の
上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微
鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２
は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマ
ークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。
また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレ
チクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２
３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬
送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステ
ッパ本体に搬送される。

【００２３】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行なう空調機室２１０および微小異物を濾過し清浄空気
の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０
に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、この
チャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブー
ス２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割の
ブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた外
気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このよ
うにしてチャンバ１０１は本装置の置かれる環境温度を
一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしてい
る。また光源装置２０４には超高圧水銀灯の冷却やレー
ザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅ
ａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置
２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排
気ファンを介して工場設備に強制排気されている。ま
た、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィル
タｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリタ
ーン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００２４】図３は、図１の装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、３２１は装置全体の
制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュ
ータ等の中央演算処理装置からなる。３２２はウエハス
テージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕微鏡２８
２等のアライメント検出系、３２４はレチクルステージ
駆動装置、３２５は前記光源装置２０４等の照明系、３
２６はシャッタ駆動装置、３２７はフォーカス検出系、
３２８はＺ駆動装置であり、これらは、本体ＣＰＵ３２
１により制御される。３２９は前記レチクル搬送装置２
２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。３３０
は前記ディスプレイ１０２、キーボード１０４等を有す
るコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの
露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを
与えるためのものである。すなわち、オペレータとの間
で情報の授受を行うためのものである。３３１はコンソ
ールＣＰＵ、３３２はパラメータ等を記憶する外部メモ
リである。

【００２５】図４は、図３の外部メモリ３３２内に構築
されているデータベースの要部の構成を示す。また、図
５は図３のディスプレイ１０２に表示される画面の一例
を示す。図４において、ウインドテーブルＷｉｎｄで
は、１個のコマンドに対して１個ずつの画面ＩＤ４１
５、コマンドコード４１６、タイトル４１７および表示
エリア４１８の情報が割り当てられている。タイトル情
報４１８は図５のタイトル表示領域５３１に表示すべき
文字列の情報である。表示エリア情報４１９は図５の各
表示領域５３１，５３３，５３５の有無を示す３ビット
の情報で、各ビットが各表示領域に１対１で対応してお
り、対応するビットが１はその表示領域の有りを示し、
０は表示領域なしを示す。

【００２６】図４のフィールドテーブルＦｉｅｌｄのペ
ージナンバ情報４２０はそのフィールド（画面構成要
素）が第何頁目の画面に表示されるかその頁を、フィー
ルドナンバ情報４２１はそのフィールドに割り当てられ
た番号を示す。Ｘ座標情報４２２およびＹ座標情報４２
３はそのフィールドの表示位置を、表示画面の外枠の左
上隅を原点Ｏとして右および下方向への距離をｍｍ単位
で表わす。タイプ情報４２４は数値によってそのフィー
ルドの機能を表わす。例えば、０は表示のみ、１は数値
入力、２は文字入力、３は選択入力、４はボタンと定義
されている。また、表示情報４２５は、表示フィールド
では表示すべき文字列を、入力フィールドでは入力フォ
ーマットを、選択入力フィールドでは選択肢を表わす複
数個の文字列（設定値は文字列の順に画面に表示され
る）を、ボタンフィールドではボタン名を表わす文字列
を示す。機能情報４２６は、フィールドタイプが“４”
（ボタン）のときのみ意味を有する。図６に、ボタンの
機能の定義を示す。図６において、ボタン機能＝“２”
の場合のプログラム名は図４のフィールドテーブルＦｉ
ｅｌｄのパラメータ情報４２８であり、ボタン機能＝
“３”の場合の送信コードは図４のウインドテーブルＷ
ｉｎｄのコマンドコード情報４１７である。

【００２７】図４のフィールドテーブルＦｉｅｌｄにお
けるデータ型情報４２７は、該フィールドが入力フィー
ルドであった場合、入力データが文字入力（文字列）で
あるか、数値入力であるか、数値入力であればさらに、
それが整数であるか、ロングフロートの数値であるかの
データ型を示す。文字入力の場合は、その入力文字数は
該テーブルＦｉｅｌｄの上限値情報エリアに格納されて
いる数値によって定義される。パラメータ情報４２８
は、ボタンが他のウインド（画面）を起動するものであ
る場合は起動するウインドの画面ＩＤを、他のプログラ
ムを起動する場合はそのプログラム名を示す。フィール
ドテーブルＦｉｅｌｄには、図５の“計測回数”、“計
測インターバル”、“ｍｓｅｃ”、“マークタイプ”の
４つの表示毎に、そして入力データの３つの表示位置毎
に画面ＩＤ情報４１５〜パラメータ情報４２８の１組の
フィールド情報が与えられる。すなわち、図５のパラメ
ータ設定領域５３２を生成するためには、７組のフィー
ルド情報が必要である。

【００２８】次に、図４のデータベースを有する図１の
装置の動作を図７のフローチャートを参照しながら説明
する。図３のコンソールＣＰＵ３３１にコマンド（例え
ば“ＲＡＣ”）が入力されると（Ｓ１）、ＣＰＵ３３１
は、その入力されたコマンドをキーとして、図４のウイ
ンドテーブルＷｉｎｄを検索し、入力されたコマンドに
対応する画面の画面ＩＤ、コマンドコード、タイトル表
示の文字および計測データ表示エリアの有無の情報を読
み出してコンソール３３０に内蔵のメモリ（ＲＡＭ）に
記憶する（Ｓ２）。次に、画面ＩＤをキーとして、図４
のフィールドテーブルＦｉｅｌｄを検索し、その画面Ｉ
Ｄと同じ画面ＩＤを有するフィールドの数を計数し、か
つ各フィールド毎の情報を読み出してそれらの数および
情報を前記内蔵メモリに記憶する（Ｓ３）。

【００２９】このように、該当する画面ＩＤを有する画
面の構成要素のデータをすべて読み出し、次に該データ
にしたがって画面を作成し、画面内のフィールドが選択
された場合は、そのデータにしたがった動作を行なう。
画面作成の際、外枠および各領域を囲む枠は、高さ寸法
および幅のデフォルト値が設定されているが、読み出し
たフィールドのＸ座標値の最大値が所定値を越える場合
は、そのＸ座標最大値に応じて全領域の幅が等しく拡大
される。図５のタイトル表示領域５３１の高さは一定で
ある。また、他の各領域の高さも各領域の有無およびボ
タンフィールド５３４，５３６のＹ座標値に応じて調整
される。ボタンフィールドならびに数値および文字の入
力フィールドの囲み枠はそのフィールド情報がある場
合、自動的に付される。

【００３０】このようにして構成されたコマンドの画面
の１例を図５に示す。図５において、データ表示領域５
３５は、コマンドの実行結果のデータを表示するエリア
で、図４のウインドテーブルＷｉｎｄの表示エリアの対
応する情報が１であった場合自動的に作成される。この
情報が０であった場合は、このエリアは作成されない。
この情報の０は、単に駆動するのみで計測を行なわない
コマンドの場合等に指定する。また、ガイド表示領域５
３３は次に何をすべきかの案内表示を行なうエリアで、
図４のウインドテーブルＷｉｎｄの表示エリアの対応す
る情報が１であった場合自動的に作成される。この情報
が０であった場合は、このエリアは作成されない。

【００３１】図５の“ＭＡＸ”ボタン５３９は、計測デ
ータ数が、データ表示領域５３５にスクロールしなけれ
ば１画面では表示できない程多い場合、データ表示領域
５３５をその高さが最大となるように拡大するためのも
のである。“ＭＡＸ”ボタン５３９のフィールド情報
は、タイプ情報４２４が“４”、表示情報４２５が“Ｍ
ＡＸ”、機能情報４２６が“１”、パラメータ情報４２
８はデータ表示領域５３５を拡大したときの画面（図８
の画面）の画面ＩＤとなる。

【００３２】図８は、図５の“ＭＡＸ”ボタン５３９が
押された場合の画面を示す。図８の“ＲＥＳＩＺＥ”ボ
タン８６１は、図５の画面に戻すためのものである。
“図８の画面のウインドウテーブル情報は、コマンド４
１６、コマンドコード４１７およびタイトル情報４１８
は空白、表示エリア情報４１９は“００１”である。ま
た、ＲＥＳＩＺＥ”ボタン８６１のフィールド情報は、
タイプ情報４２４が“４”、表示情報４２５が“ＲＥＳ
ＩＺＥ”、機能情報４２６が“１”、パラメータ情報４
２８が図５の画面を示す画面ＩＤとなる。

【００３３】従来は、ウインドウが切り替わるときは、
処理プロセスまたはプログラムも切り替わり、通常、異
なるウインドウのデータを共通に使うということはして
いなかった。本実施例では、図５の画面（ウインドウ）
と図８の画面を他のソフトウエアまたは処理プロセスを
起動することなく（プログラムを切り替えないで）切り
換えており、双方の画面で同じデータを用いることを可
能にしている。

【００３４】

【発明の適用範囲】なお、上述においては、本発明を主
に半導体を製造するための半導体露光装置に適用した例
を示したが、本発明は、露光装置以外の半導体製造装置
等あるいはＬＣＤパネルを製造するための露光装置等、
半導体露光装置以外のデバイス製造装置にも適用するこ
とができる。

【００３５】

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
新規ユニット、機構の追加、性能改善のためのユニット
の改良等が発生した場合でも、コンソールのソフトウェ
アの追加、書き換えを行なう必要がなくなり、緊急の仕
様改良、機能追加等に対しても単にデータベースのデー
タを書き変えるだけなので、ソフトウェアを知らない人
でも、迅速に作業ができ、ソフトウェア開発の負荷を大
幅に軽減することが可能となった。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体露光装置の外
観を示す斜視図である。

【図２】図１の装置の内部構造を示す図である。

【図３】図１の装置の電気回路構成を示すブロック図
である。

【図４】図１の装置におけるデータベースの要部の構
成を示す図である。

【図５】図１の装置におけるコマンドの画面の一例を
示す図である。

【図６】図５の表示画面におけボタンの機能定義を示
す図である。

【図７】図１の装置の画面生成動作を示すフローチャ
ートである。

【図８】図１の装置における他の画面の一例を示す図
である。

【符号の説明】１０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ
装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボー
ド、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０
７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッ
チ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ
通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装
置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源
装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０
７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８
１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２
１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：
ブース、２１７：送風機、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化
学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン
口、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３
１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、４１５：
画面ＩＤ、４１６：コマンド情報、４１７：コマンドコ
ード情報、４１８：タイトル情報、４１９：表示エリア
情報、４２０：ページナンバ情報、４２１：フィールド
ナンバ情報、４２２：Ｘ座標情報、４２３：Ｙ座標情
報、４２４：フィールドタイプ情報、４２５：表示情
報、４２６：機能情報、４２７：データ型情報、４２
８：パラメータ情報、５３１：タイトル表示領域、５３
２：パラメータ設定領域、５３３：ガイド表示領域、５
３４：操作ボタン領域、５３５：データ表示領域、５３
６：操作ボタン領域、５３７：“ＧＯ”ボタン、５３
８：“ＣＡＮＣＥＬ”ボタン、５３９：“ＭＡＸ”ボタ
ン、８６１：“ＲＥＳＩＺＥ”ボタン、Ｗｉｎｄ：ウイ
ンドテーブル、Ｆｉｅｌｄ：フィールドテーブル。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｇ０３Ｆ 9/02 ＨＨ０１Ｌ 21/02 Ｚ 21/027 Ｈ０１Ｌ 21/30 ５１６Ｂ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置を制御する為のコマンドが入力され
たときそのコマンドに応じて表示される画面の構成要素
をデータベース中に事前に入力しておき、コマンド入力
時入力されたコマンドをキーとして該データベースから
該当する画面の構成要素を引き出してそのコマンドの画
面を生成するとともに、該画面内における構成要素の機
能も該データベース中に定義されていることを特徴とす
る制御装置。
【請求項２】前記データベースは、コマンドの実行結
果による計測値等データの表示エリアを構成するかしな
いかの情報を含むことを特徴とする請求項１記載の制御
装置。
【請求項３】前記画面の入力パラメータ表示のための
構成要素には、そこに入力される数値の上限値、下限値
および現在値が表示されることを特徴とする請求項１ま
たは２記載の制御装置。
【請求項４】前記画面の入力パラメータ表示のための
構成要素には、前記上限値と下限値との間の数値以外、
入力が禁止されることを特徴とする請求項３記載の制御
装置。
【請求項５】前記画面を複数領域に分けて領域毎の機
能がデータベース中に定義されていることを特徴とする
請求項１〜４のいずれかに記載の制御装置。
【請求項６】前記画面の生成を、他のソフトウエアま
たは処理プロセスを起動することなく行なうことを特徴
とする請求項１〜５のいずれかに記載の制御装置。