JPH08153673A

JPH08153673A - 半導体製造装置およびその駆動方法

Info

Publication number: JPH08153673A
Application number: JP6317753A
Authority: JP
Inventors: Fumiyoshi Hamazaki; 文栄浜崎
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1994-11-29
Filing date: 1994-11-29
Publication date: 1996-06-11

Abstract

(57)【要約】【目的】半導体製造装置における各ユニットの駆動を
より簡便に行えるようにする。【構成】コンソール部のディスプレイ上に、ユニット
の位置をグラフィック表示および座標値により表示する
とともに、ユニットの位置を複数記憶し、記憶された複
数位置から１つを選択するための入力を受け入れ、この
選択された位置にユニットを駆動させる。また、ユニッ
ト位置のグラフィック表示および座標値表示を駆動状態
で行う場合は、実際のユニットの駆動に時間的に追従さ
せて行う。表示および記憶するユニット位置は、その表
示または記憶する時点でのユニットの現在位置、または
コンソール部において入力される任意の値である。ま
た、ディスプレイ上に表示されたユニットの現在位置
を、タッチパネルもしくはマウス等のポインティングデ
バイスにより選択し、その選択位置を移動させることに
より、その移動に同期させてユニットを駆動する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の
半導体デバイスを製造する半導体露光装置等の半導体製
造装置およびデバイス製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体集積回路の微細化が進むと
ともに、半導体製造装置においては装置の高精度化が要
求され、これに伴って位置合せのためのウエハ上のマー
クの計測、ウエハのレベリングを行うためのフォーカス
計測等、ウエハ上の複数のショットについて、種々の計
測や、その結果に基づくデータ処理を行うケースが増え
ている。これらの処理の精度を維持するために、各機能
毎に種々のパラメータを最適化する必要がある。このた
め半導体露光装置では、通常の露光シーケンス以外にも
装置の性能評価やメンテナンス用等のウエハに応じた最
適なパラメータをみつけるためのコマンドを有してい
る。

【０００３】このうち、ユニットをコマンド等により所
定の座標へ駆動する場合、キーボードからのコマンド入
力に引き続き、指定座標値を入力したり、または駆動座
標をあらかじめメモリに設定しておき、駆動コマンドの
パラメータとして、そのメモリ番号を指定する等の方法
がとられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術によれば、コマンドを起動させる都度
に座標値やメモリ番号を指定するのは煩雑である、メ
モリ番号を指定する場合はどの番号にどんな値が設定さ
れているかがわかりにくい、性能評価等においてアラ
イメントマークが見える位置までジョイスティックでス
テージ等を駆動させ、その現在の座標を直ちに記憶させ
たいという場合等においてはメモリ記録用のコマンドを
入力し直さなければならない、ウエハ上の複数のショ
ットについて連続的に駆動したい場合等においてはメモ
リの内容の確認や修正等が煩雑である、等の問題があ
る。

【０００５】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、半導体製造装置における各ユニットの駆動
をより簡便に行えるようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明では、装置を構成するユニットと、その動作を制
御する制御手段と、この制御手段との間で情報の授受を
行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備え
た半導体製造装置またはその駆動方法において、コンソ
ール部により、前記ディスプレイ上に、前記ユニットの
位置をグラフィック表示および座標値により表示するも
のであることを特徴とする。グラフィック表示は、実際
のユニットの撮像画像であってもよい。

【０００７】また、より限定された態様では、前記ユニ
ットの位置を複数記憶し、コンソール部により、前記記
憶された複数位置から１つを選択するための入力を受け
入れ、制御手段によりこの選択された位置に前記ユニッ
トを駆動させる。この場合、コンソール部は記憶される
各位置に付随させて記憶するためのコメントの入力を受
け入れ、これを記憶するのが好ましい。また、コンソー
ル部は、前記ユニット位置のグラフィック表示および座
標値表示を、前記ユニットの停止および駆動の各状態で
行うとともに、駆動状態で行う場合は、前記制御手段か
ら前記ユニットの位置に関する情報を常時受け入れ、実
際のユニットの駆動に時間的に追従させて行う。その場
合、同時に駆動目標位置の履歴を記録する。また、ユニ
ットは複数であり、コンソール部はいずれのユニットに
関する操作であるかを指定するための入力を受け入れ
る。表示および記憶するユニット位置は、その表示また
は記憶する時点でのユニットの現在位置、またはコンソ
ール部において入力される任意の値である。コンソール
部は、記憶したユニット位置やユニットのすべてあるい
は一部を前記ディスプレイ上に表示し、そのうちの１つ
を選択するための入力を、タッチパネルもしくはマウス
等のポインティングデバイスを介して受け入れる。

【０００８】さらに、コンソール部は、前記ディスプレ
イ上に表示されたユニットの現在位置を、タッチパネル
もしくはマウス等のポインティングデバイスにより選択
するとともに、その選択位置を画面上で移動させること
により、その移動軌跡の各点での選択位置の座標を認識
し、制御手段はその座標に基づいて前記選択位置の移動
に同期させてユニットを駆動する。また、各ユニットの
駆動時間を計測し、コンソール部はこれを前記ディスプ
レイ上に表示する。その場合、選択された各ユニットの
駆動時間を時間軸に沿った棒グラフとして表示するのが
好ましい。

【０００９】

【作用】本発明においては、コンソール部のディスプレ
イ上に、ユニットの位置をグラフィック表示および座標
値により表示されるため、ユニット位置が一目で、かつ
必要に応じて正確に把握される。また、ユニット位置が
複数記憶され、そこから１つを選択することによりその
位置にユニットが駆動されるため、記憶された位置への
駆動が簡単に行われる。また、ユニット位置のグラフィ
ック表示および座標値表示が、ユニットの駆動状態でも
行われ、その場合、実際のユニットの駆動に時間的に追
従させて表示が行われるため、駆動時のユニット位置が
リアルタイムで認識される。表示および記憶するユニッ
ト位置として、その表示または記憶する時点でのユニッ
トの現在位置、または入力される任意の値のいずれでも
可能であるため、ユニット位置の設定や表示の利便性が
高い。また、記憶したユニット位置やユニットの選択
は、ディスプレイ上の表示の中から、タッチパネルもし
くはマウス等のポインティングデバイスにより容易に行
われる。

【００１０】さらに、ディスプレイ上に表示されたユニ
ットの現在位置を、タッチパネルもしくはマウス等のポ
インティングデバイスにより選択し移動させるだけで、
リアルタイムにユニットが駆動される。また、各ユニッ
トの駆動時間が計測され、各ユニットの駆動時間が時間
軸に沿った棒グラフ等として表示されるため、各ユニッ
トの駆動の履歴が容易に把握される。

【００１１】以下、実施例を通じて本発明をより具体的
に説明する。

【００１２】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装
置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この
半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温
調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制
御を行うＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならびに、
装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレ
イ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得ら
れる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し
所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キ
ーボード１０４等を含むコンソール部を備えている。図
中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止
スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０は
ＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能からの発
熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気装置で
ある。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内部に設
置される。

【００１３】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行なえるようにしてある。

【００１４】図２は、図１の装置の内部構造を示す図で
ある。同図においては、半導体露光装置としてのステッ
パが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３は
ウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学
系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影
レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエ
ハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル
２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチク
ルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３
はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露
光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０
９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の
上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチク
ル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の
上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微
鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２
は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマ
ークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。
また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレ
チクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２
３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬
送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステ
ッパ本体に搬送される。

【００１５】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行なう空調機室２１０および微小異物を濾過し清浄空気
の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０
に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、この
チャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブー
ス２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割の
ブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた外
気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このよ
うにしてチャンバ１０１は本装置の置かれる環境温度を
一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしてい
る。また光源装置２０４には超高圧水銀灯の冷却やレー
ザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅ
ａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置
２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排
気ファンを介して工場設備に強制排気されている。ま
た、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィル
タｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリタ
ーン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００１６】図３は、図１の装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、３２１は装置全体の
制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュ
ータ等の中央演算処理装置からなる。３２２はウエハス
テージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕微鏡２８
２等のアライメント検出系、３２４はレチクルステージ
駆動装置、３２５は前記光源装置２０４等の照明系、３
２６はシャッタ駆動装置、３２７はフォーカス検出系、
３２８はＺ駆動装置であり、これらは、本体ＣＰＵ３２
１により制御される。３２９は前記レチクル搬送装置２
２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。３３０
は前記ディスプレイ１０２、キーボード１０４等を有す
るコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの
露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを
与えるためのものである。すなわち、オペレータとの間
で情報の授受を行うためのものである。３３１はコンソ
ールＣＰＵ、３３２はパラメータ等を記憶する外部メモ
リである。

【００１７】図４〜８はこの構成における動作を示すフ
ローチャートである。これらの図を参照して、装置の動
作を説明する。コンソールＣＰＵ３３１からの指令に基
き本体ＣＰＵ３２１において露光シーケンスがスタート
すると、コンソールＣＰＵ３３１においてはまずステッ
プＳ４０１において、露光装置本体がアイドル状態か否
かを監視する。ステップＳ４０１においてアイドル状態
が検出されると、入力されるコマンドあるいは押下され
るボタンの種類をステップＳ４０１〜Ｓ４０６において
判定する。すなわち、ステップＳ４０２においてシーケ
ンス復帰コマンドと判定された場合は露光シーケンスに
復帰する。ステップＳ４０３においてファンクションボ
タンでないと判定された場合はステップＳ４０８へ移行
する。ステップＳ４０４においてリード・カレント・ポ
ジション・ボタンと判定された場合は図５のステップ１
処理へ移行する。ステップＳ４０５においてセーブ・カ
レント・ポジション・ボタンと判定された場合は図６の
ステップ２処理へ移行する。そしてステップＳ４０６に
おいてリスト・セービング・ポジション・ボタンと判定
された場合は図７のステップ３処理へ移行し、そうでな
いと判定された場合は、ステップＳ４０７においてセレ
クト・アンド・ムーブ・ツ・ザ・ポジション・ボタンで
あるとみなして図８のステップ４処理へ移行する。ステ
ップＳ４０８では、その他のボタンの処理を実行し、ス
テップＳ４０１へ戻る。

【００１８】なお、ステップＳ４０３においてファンク
ションボタンの押下と判定された場合は、図９に示すよ
うに、ステップＳ４０４〜Ｓ４０７における各ボタンの
メニューが表示されてそれらボタンの選択が促され、そ
の応答に対してステップＳ４０４〜Ｓ４０７における判
定が行われる。

【００１９】図５のステップ１処理では、まずステップ
Ｓ１１において指定されたユニットの現在位置を読み出
し、そしてステップＳ１２においてディスプレイ１０２
画面上の縮尺座標系上に読み出した位置を表示する。ユ
ニットの指定は図１０に示すトップウインドウ１０１に
より行う。同図に示すように例えばブレード１０２が選
択されると、ウインドウ１０３をポップアップ表示し、
ブレードの位置をグラフィック表示および数値により表
示する。図９はその様子を拡大して示す図である。

【００２０】図６のステップ２処理では、まずステップ
Ｓ２０１において、図９に示すように、カレント・ポジ
ション（現在位置）またはセッティング・ポジション
（設定位置）のいずれかを選択させるメニューを表示す
る。そしてステップＳ２０２において、カレント・ポジ
ションが選択されたと判定された場合は、ステップＳ２
０３〜Ｓ２０６において、ステップＳ２０４で指定され
た位置記憶Ｎｏ．に対応する格納エリアに、ステップＳ
２０５で指定されたユニットの現在位置を読み出して記
憶し、図４のステップＳ４０１に戻る。一方ステップＳ
２０２において、カレント・ポジションが選択されたな
かったと判定された場合は、ステップＳ２１１〜Ｓ２１
７において、ステップＳ２１４で入力された現在位置と
ステップＳ２１６で入力されたコメントを、ステップＳ
２１２で入力された位置記憶Ｎｏ．に対応する格納エリ
アに記憶し、図４のステップＳ４０１に戻る。

【００２１】図７のステップ３処理では、まずステップ
Ｓ３１において、指定されたユニットに関して、記憶し
ている位置情報を上述の縮尺座標系上に同様にして図９
に示すように表示する。また、ステップＳ３２におい
て、ステップＳ３１で表示した位置の左隣に位置記憶Ｎ
ｏ．を表示する。また、ステップＳ３３においては、ス
テップＳ３１で表示した位置の右隣に座標数値を表示す
る。また、ステップＳ３４においては、ステップＳ３１
で表示した位置の下にコメントを表示する。そして、ス
テップＳ３５においては、指定されたユニットに関して
記憶している位置情報をすべて表示したか否かを判定
し、未表示の情報があればステップＳ３１に戻り、すべ
て完了していれば、図４のステップＳ４０１へ戻る。

【００２２】図８のステップ４処理では、まずステップ
Ｓ４１において、図７のステップ３処理（Ｓ３１〜Ｓ３
５）を実行する。次に、ステップＳ４２において、ステ
ップＳ４１で表示されている各位置から１つの位置を選
択させ、ステップＳ４３において、選択された位置の図
形をブリンクさせてオペレータに確認を促し、ステップ
Ｓ４４において、駆動して良いかを確認するためのボタ
ンを表示し、そしてステップＳ４５において、確認ボタ
ンの押下を受け入れる。次に、ステップＳ４６において
確認ボタンが肯定的か否定的のものかを判定し、否定的
であればステップＳ４２へ戻り、肯定的であればステッ
プＳ４７へ進む。ステップＳ４７では、指定されたユニ
ットをステップＳ４２で選択された位置へ駆動し、そし
て図４のステップＳ４０１へ戻る。

【００２３】なお、図９に示す縮尺座標系上に表示され
たユニットの現在位置を、タッチパネルもしくはマウス
等のポインティングデバイスにより選択し、その選択位
置を画面上で移動させると、コンソールＣＰＵ３３１
は、その移動軌跡の各点での選択位置の座標を認識し、
本体ＣＰＵ３２１はその座標に基づいて前記選択位置の
移動に同期させて対応するユニットを駆動する。これに
より、ドラッギングによりリアルタイム感覚でユニット
を所望の位置に移動させることができる。また、ユニッ
トが駆動している状態においても、本体ＣＰＵ３２１か
らユニットの位置に関する情報を常時受け入れ、実際の
ユニットの駆動に時間的に追従させて、ユニットの現在
位置表示が行われる。また、同時に駆動目標位置（駆動
された位置）の履歴が記録される。

【００２４】また、各ユニットの駆動時間が計測され、
コンソールＣＰＵ３３１は、図１０のトップウインドウ
１０１における「Log Chart 」ボタンの押下に応じて図
１０の下に示すような各ユニットの駆動結果のタイミン
グチャートを表示する。さらにチャート内の駆動時間を
示す棒状図形をクリックすることにより、その駆動に係
るコマンド内容が、チャートの下部に表示される。ま
た、図９に示すように、ユニット状態、例えば停止状態
かまたは駆動状態にあるか、移動のモードはドラッギン
グによるかまたは座標指定によるものかが表示される。

【００２５】

【発明の効果】本発明によれば、コンソール部のディス
プレイ上に、ユニットの位置をグラフィック表示および
座標値により表示するようにしたため、ユニット位置を
一目でかつ必要に応じて正確に把握することができる。
また、ユニット位置を複数記憶し、そこから１つを選択
することによりその位置にユニットを駆動するようにし
たため、記憶した位置への駆動を簡単に行うことができ
る。また、ユニット位置のグラフィック表示および座標
値表示を、ユニットの駆動状態でも行われ、その場合、
実際のユニットの駆動に時間的に追従させて表示が行わ
れるため、駆動時のユニット位置をリアルタイムで把握
することができる。表示および記憶するユニット位置と
して、その表示または記憶する時点でのユニットの現在
位置、または入力される任意の値のいずれでも可能であ
るため、ユニット位置の設定や表示の利便性が高い。ま
た、記憶したユニット位置やユニットの選択は、ディス
プレイ上の表示の中から、タッチパネルもしくはマウス
等のポインティングデバイスにより容易に行うことがで
きる。

【００２６】さらに、ディスプレイ上に表示されたユニ
ットの現在位置を、タッチパネルもしくはマウス等のポ
インティングデバイスにより選択し移動させるだけで、
リアルタイム感覚でユニットを駆動することができる。
また、各ユニットの駆動時間が時間軸に沿った棒グラフ
等として表示されるため、各ユニットの駆動の履歴を容
易に把握することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例に係る半導体露光装置の外
観を示す斜視図である。

【図２】図１の装置の内部構造を示す図である。

【図３】図１の装置の電気回路構成を示すブロック図
である。

【図４】図１の装置の動作を示すフローチャートであ
る。

【図５】図４のフローチャートの処理から分岐した処
理のフローチャトである。

【図６】図４のフローチャートの処理から分岐した処
理のフローチャトである。

【図７】図４のフローチャートの処理から分岐した処
理のフローチャトである。

【図８】図４のフローチャートの処理から分岐した処
理のフローチャトである。

【図９】図４〜８の処理において表示される画面を示
す図である。

【図１０】図９の画面の上位の画面等との関連を示す
図である。

【符号の説明】

１０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ
装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボー
ド、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０
７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッ
チ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ
通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装
置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源
装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０
７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８
１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２
１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：
ブース、２１７：送風機、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化
学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン
口、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３
１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、６０１，
７０１，８０１：ジョイスティック機能ウインドウ、６
０２：ジョイスティックボタン、６０３：終了ボタン、
６１３：回転ボタン、６０４：スピードボタン、６０
５：リピートボタン、６０６，６０９〜６１２，７０２
〜７０７，８０２〜８０５：ボタン。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】装置を構成するユニットと、その動作を
制御する制御手段と、この制御手段との間で情報の授受
を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備
えた半導体製造装置において、コンソール部は、前記デ
ィスプレイ上に、前記ユニットの位置をグラフィック表
示および座標値により表示するものであることを特徴と
する半導体製造装置。
【請求項２】前記ユニットの位置を複数記憶する手段
を有する請求項１記載の半導体製造装置。
【請求項３】コンソール部は、前記記憶された複数位
置から１つを選択するための入力を受け入れるものであ
り、制御手段はこの選択された位置に前記ユニットを駆
動させるものであることを特徴とする請求項２記載の半
導体製造装置。
【請求項４】コンソール部は、前記ユニット位置のグ
ラフィック表示および座標値表示を、前記ユニットの停
止および駆動の各状態で行うとともに、駆動状態で行う
場合は、前記制御手段から前記ユニットの位置に関する
情報を常時受け入れ、実際のユニットの駆動に時間的に
追従させて行うものであることを特徴とする請求項１記
載の半導体製造装置。
【請求項５】ユニットは複数であり、コンソール部は
いずれのユニットに関する操作であるかを指定するため
の入力を受け入れるものであることを特徴とする請求項
１記載の半導体製造装置。
【請求項６】表示および記憶するユニット位置は、そ
の表示または記憶する時点でのユニットの現在位置、ま
たはコンソール部において入力される任意の値であるこ
とを特徴とする請求項１記載の半導体製造装置。
【請求項７】コンソール部は、記憶したユニット位置
をすべて前記ディスプレイ上に表示し、そのうちの１つ
を選択するための入力を、タッチパネルもしくはマウス
等のポインティングデバイスを介して受け入れるもので
あることを特徴とする請求項３記載の半導体製造装置。
【請求項８】コンソール部は、すべてあるいは１部の
ユニットを前記ディスプレイ上に表示し、そのうちの１
つを選択するための入力を、タッチパネルもしくはマウ
ス等のポインティングデバイスを介して受け入れるもの
であることを特徴とする請求項５記載の半導体製造装
置。
【請求項９】コンソール部は、駆動目標位置の履歴を
記録するものであることを特徴とする請求項４記載の半
導体製造装置。
【請求項１０】コンソール部は、前記ディスプレイ上
に表示されたユニットの現在位置を、タッチパネルもし
くはマウス等のポインティングデバイスにより選択する
とともに、その選択位置を画面上で移動させることによ
り、その移動軌跡の各点での選択位置の座標を認識し、
制御手段はその座標に基づいて前記選択位置の移動に同
期させてユニットを駆動するものであることを特徴とす
る請求項６記載の半導体製造装置。
【請求項１１】コンソール部は記憶される各位置に付
随させて記憶するためのコメントの入力を受け入れ、前
記記憶手段はこれを記憶するものであることを特徴とす
る請求項２記載の半導体製造装置。
【請求項１２】各ユニットの駆動時間を計測する手段
を有し、コンソール部はこれを前記ディスプレイ上に表
示するものであることを特徴とする請求項１記載の半導
体製造装置。
【請求項１３】コンソール部は、選択された各ユニッ
トの駆動時間を時間軸に沿った棒グラフとして表示する
ものであることを特徴とする請求項１２記載の半導体製
造装置。
【請求項１４】装置を構成するユニットと、その動作
を制御する制御手段と、この制御手段との間で情報の授
受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを
備えた半導体製造装置の各ユニットを駆動させる方法に
おいて、前記コンソール部により、前記ディスプレイ上
に、前記ユニットの位置をグラフィック表示および座標
値により表示することを特徴とする半導体製造装置の駆
動方法。
【請求項１５】前記ユニットの位置を複数記憶するこ
とを特徴とする請求項１４記載の駆動方法。
【請求項１６】前記コンソール部により、前記記憶さ
れた複数位置から１つを選択するための入力を受け入
れ、制御手段によりこの選択された位置に前記ユニット
を駆動させることを特徴とする請求項１５記載の駆動方
法。
【請求項１７】前記コンソール部により、前記ユニッ
ト位置のグラフィック表示および座標値表示を、前記ユ
ニットの停止および駆動の各状態で行うとともに、駆動
状態で行う場合は、前記制御手段から前記ユニットの位
置に関する情報を常時受け入れ、実際のユニットの駆動
に時間的に追従させて行うことを特徴とする請求項１４
記載の駆動方法。
【請求項１８】コンソール部により、複数の前記ユニ
ットのいずれに関する操作であるかを指定するための入
力を受け入れることを特徴とする請求項１４記載の駆動
方法。
【請求項１９】表示および記憶するユニット位置は、
その表示または記憶する時点でのユニットの現在位置、
またはコンソール部において入力される任意の値である
ことを特徴とする請求項１４記載の駆動方法。
【請求項２０】前記コンソール部により、記憶したユ
ニット位置をすべて前記ディスプレイ上に表示し、その
うちの１つを選択するための入力を、タッチパネルもし
くはマウス等のポインティングデバイスを介して受け入
れることを特徴とする請求項１６記載の駆動方法。
【請求項２１】前記コンソール部により、すべてある
いは１部のユニットを前記ディスプレイ上に表示し、そ
のうちの１つを選択するための入力を、タッチパネルも
しくはマウス等のポインティングデバイスを介して受け
入れることを特徴とする請求項１８記載の駆動方法。
【請求項２２】前記コンソール部は駆動目標位置の履
歴を記録することを特徴とする請求項１７記載の駆動方
法。
【請求項２３】前記ディスプレイ上に表示されたユニ
ットの現在位置を、タッチパネルもしくはマウス等のポ
インティングデバイスにより選択するとともに、その選
択位置を画面上で移動させることにより、その移動軌跡
の各点での選択位置の座標を前記コンソール部に認識さ
せ、制御手段によりその座標に基づいて前記選択位置の
移動に同期させてユニットを駆動することを特徴とする
請求項１９記載の半導体製造装置。
【請求項２４】前記コンソール部に対し、記憶される
各位置に付随させて記憶するためのコメントを入力し、
これを記憶させることを特徴とする請求項１５記載の駆
動方法。
【請求項２５】コンソール部により各ユニットの駆動
時間を計測し、これを前記ディスプレイ上に表示するこ
とを特徴とする請求項１４記載の駆動方法。
【請求項２６】コンソール部により、選択された各ユ
ニットの駆動時間を時間軸に沿った棒グラフとして表示
することを特徴とする請求項２５記載の駆動方法。