JPH08153674A - 半導体製造装置およびデバイス製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 ユニットの駆動操作や、各種コマンドの入力
をより効率的かつ簡便に行えるようにし、もってオペレ
ーションの簡便化、効率化を図る。 【構成】 複数のユニットと、これらの動作を制御する
制御手段と、およびこの制御手段との間で情報の授受を
行うためのディスプレイを有するコンソール部とを備え
た半導体製造装置において、制御手段に対して少なくと
も１つのユニットの駆動および駆動方向を指示するため
のボタン６０２，６１３を表示した操作ウインドウ６０
１をコンソール部により表示し、必要に応じてこのボタ
ンを押下することにより、このボタンの押下開始と終了
までの期間中、制御手段に対して対応するユニットの駆
動および駆動方向の指令を付与し、これに応じて前記期
間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応するユニッ
トを駆動させる。また、前記操作ウインドウが表示され
たのと同一画面上に、他のユニットの操作ウインドウを
開くためのボタン６０９，６１０や各ユニットに関する
情報を表示する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、ＬＳＩ、ＶＬＳＩ等の
半導体デバイスを製造する半導体露光装置等の半導体製
造装置およびデバイス製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年、半導体集積回路の微細化が進むと
ともに、半導体製造装置においては、位置合せのために
ウエハ上のマーク位置を計測するマーク計測、ウエハの
レベリングを行うためのフォーカス計測等、ウエハ上の
複数のショットについて、種々の計測や、その結果に基
づくデータ処理を行うケースが増えている。これらの処
理の精度を維持するために、各機能毎に種々のパラメー
タを最適化する必要がある。このため半導体露光装置で
は、通常の露光シーケンス以外に装置の性能評価、メン
テナンス用等のウエハに応じた最適なパラメータをみつ
けるためのコマンドを有している。

【０００３】例えば、ウエハのマークのずれ量を計測
し、最適なゲイン等を求めるコマンドでは、顕微鏡対物
レンズをマーク観察位置まで移動させ、ゲイン計測のコ
マンドを起動し、計測用のパラメータを設定して計測を
実行するという一連の動作が必要となっている。また、
通常の露光動作において、レチクル設計上の値（マーク
座標）、ウエハのレイアウト座標からステージ、顕微鏡
対物レンズを各々所定の位置まで駆動して計測を行うわ
けであるが、位置オフセットが正しく入っていない、焼
かれたウエハマークがずれているなどの理由で、顕微鏡
対物レンズの視野に入らない場合がある。このような場
合、装置の操作パネルに設けられたジョイスティックで
顕微鏡対物レンズ、またＸＹステージを駆動し、計測コ
マンドを起動し計測を行うという操作が必要になってい
る。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の技術によれば、パネルの操作、コマンドの起
動等に時間がかかるとともに、半導体露光装置の機能の
向上とともにコマンドが増え、また操作が複雑になり、
操作やコマンドに対する習熟が必要となり、マニュアル
や専門家に頼らねばならないケースも多く、非常に非効
率的であるという問題がある。

【０００５】本発明の目的は、このような従来技術の問
題点に鑑み、ジョイスティックによるユニットの駆動操
作や、各種コマンドの入力をより効率的かつ簡便に行え
るようにすることにある。

【０００６】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
本発明の装置では、複数のユニットと、これらの動作を
制御する制御手段と、およびこの制御手段との間で情報
の授受を行うためのディスプレイを有するコンソール部
とを備えた半導体製造装置において、コンソール部は、
前記制御手段に対して少なくとも１つのユニットの駆動
および駆動方向を指示するためのボタンを表示した操作
ウインドウを表示するとともに、このボタンの押下開始
と終了までの期間中、前記制御手段に対して対応するユ
ニットの駆動および駆動方向の指令を付与するものであ
り、前記制御手段はこれに応じて前記期間中、その駆動
方向へ所定の駆動速度で対応するユニットを駆動させる
ものであることを特徴とする。

【０００７】また、本発明の製造方法では、複数のユニ
ットと、これらの動作を制御する制御手段と、およびこ
の制御手段との間で情報の授受を行うためのディスプレ
イを有するコンソール部とを備えた半導体製造装置を用
いて半導体デバイスを製造するデバイス製造方法におい
て、前記制御手段に対して少なくとも１つのユニットの
駆動および駆動方向を指示するためのボタンを表示した
操作ウインドウを前記コンソール部により表示する工程
と、必要に応じてこのボタンを押下することにより、こ
のボタンの押下開始と終了までの期間中、前記制御手段
に対して対応するユニットの駆動および駆動方向の指令
を前記コンソール部により付与する工程と、これに応じ
て前記期間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応す
るユニットを前記制御手段により駆動させる工程とを具
備することを特徴とする。

【０００８】また、さらには、前記操作ウインドウが表
示されたのと同一画面上に、他のユニットを前記のよう
に駆動させるための操作ウインドウを開くためのボタ
ン、または前記各ユニットに関わる動作を行わせるため
のボタン、あるいは前記各ユニットに関する情報を前記
コンソール部により表示することを特徴とする。

【０００９】

【作用】これによれば、制御手段に対して少なくとも１
つのユニットの駆動および駆動方向を指示するためのボ
タンを表示した操作ウインドウをコンソール部において
表示し、このボタンの押下開始と終了までの期間中、制
御手段に対して対応するユニットの駆動および駆動方向
の指令をコンソール部から付与し、これに応じて前記期
間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応するユニッ
トを制御手段により駆動させるようにしたため、オペレ
ータが操作ウインドウ上の所望の方向のボタンを押下し
て、その押下時間を調整することにより、対応するユニ
ットがリアルタイムでオペレータの所望方向へ所望の移
動量だけ駆動される。ここで、「ボタン」とは、ディス
プレイ上に表示された特定の図形であり、それを指示
（ポインティング）することにより、そのボタンにアサ
インされている指令をコンソール部に入力するためのも
のである。ポインティングは、ディスプレイがタッチス
クリーンを有する場合は、タッチすることにより行うこ
とができ、あるいは、マウス等のポインティングデバイ
スにより行うことができる。したがって、オペレータに
より、操作ウインドウ上で、ジョイスティックを操作す
るのと同様のリアルタイムな感覚で、ユニットの駆動が
行われる。

【００１０】また、さらには、操作ウインドウが表示さ
れたのと同一画面上に、他のユニットを前記のように駆
動させるための操作ウインドウを開くためのボタン、各
ユニットに関わる動作を行わせるためのボタン、各ユニ
ットに関する情報等を表示することにより、このような
情報を参照して、各ユニットの駆動や関連機能の操作
が、非常に効率的に行われる。しかも、これらボタンや
情報表示を必要かつ十分なものに近付けることにより、
マニュアルや熟練者に頼ることなく、簡便かつ迅速なオ
ペレーションが行われる。以下、実施例を通じて本発明
をより具体的に説明する。

【００１１】

【実施例】図１は本発明の一実施例に係る半導体露光装
置の外観を示す斜視図である。同図に示すように、この
半導体露光装置は、装置本体の環境温度制御を行なう温
調チャンバ１０１、その内部に配置され、装置本体の制
御を行うＣＰＵを有するＥＷＳ本体１０６、ならびに、
装置における所定の情報を表示するＥＷＳ用ディスプレ
イ装置１０２、装置本体において撮像手段を介して得ら
れる画像情報を表示するモニタＴＶ１０５、装置に対し
所定の入力を行うための操作パネル１０３、ＥＷＳ用キ
ーボード１０４等を含むコンソール部を備えている。図
中、１０７はＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８は非常停止
スイッチ、１０９は各種スイッチ、マウス等、１１０は
ＬＡＮ通信ケーブル、１１１はコンソール機能からの発
熱の排気ダクト、そして１１２はチャンバの排気装置で
ある。半導体露光装置本体はチャンバ１０１の内部に設
置される。

【００１２】ＥＷＳ用ディスプレイ１０２は、ＥＬ、プ
ラズマ、液晶等の薄型フラットタイプのものであり、チ
ャンバ１０１前面に納められ、ＬＡＮケーブル１１０に
よりＥＷＳ本体１０６と接続される。操作パネル１０
３、キーボード１０４、モニタＴＶ１０５等もチャンバ
１０１前面に設置し、チャンバ１０１前面から従来と同
様のコンソール操作が行なえるようにしてある。

【００１３】図２は、図１の装置の内部構造を示す図で
ある。同図においては、半導体露光装置としてのステッ
パが示されている。図中、２０２はレチクル、２０３は
ウエハであり、光源装置２０４から出た光束が照明光学
系２０５を通ってレチクル２０２を照明するとき、投影
レンズ２０６によりレチクル２０２上のパターンをウエ
ハ２０３上の感光層に転写することができる。レチクル
２０２はレチクル２０２を保持、移動するためのレチク
ルステージ２０７により支持されている。ウエハ２０３
はウエハチャック２９１により真空吸着された状態で露
光される。ウエハチャック２９１はウエハステージ２０
９により各軸方向に移動可能である。レチクル２０２の
上側にはレチクルの位置ずれ量を検出するためのレチク
ル光学系２８１が配置される。ウエハステージ２０９の
上方に、投影レンズ２０６に隣接してオフアクシス顕微
鏡２８２が配置されている。オフアクシス顕微鏡２８２
は内部の基準マークとウエハ２０３上のアライメントマ
ークとの相対位置検出を行なうのが主たる役割である。
また、これらステッパ本体に隣接して周辺装置であるレ
チクルライブラリ２２０やウエハキャリアエレベータ２
３０が配置され、必要なレチクルやウエハはレチクル搬
送装置２２１およびウエハ搬送装置２３１によってステ
ッパ本体に搬送される。

【００１４】チャンバ１０１は、主に空気の温度調節を
行なう空調機室２１０および微小異物を濾過し清浄空気
の均一な流れを形成するフィルタボックス２１３、また
装置環境を外部と遮断するブース２１４で構成されてい
る。チャンバ１０１内では、空調機室２１０内にある冷
却器２１５および再熱ヒーター２１６により温度調節さ
れた空気が、送風機２１７によりエアフィルタｇを介し
てブース２１４内に供給される。このブース２１４に供
給された空気はリターン口ｒａより再度空調機室２１０
に取り込まれチャンバ１０１内を循環する。通常、この
チャンバ１０１は厳密には完全な循環系ではなく、ブー
ス２１４内を常時陽圧に保つため循環空気量の約１割の
ブース２１４外の空気を空調機室２１０に設けられた外
気導入口ｏａより送風機を介して導入している。このよ
うにしてチャンバ１０１は本装置の置かれる環境温度を
一定に保ち、かつ空気を清浄に保つことを可能にしてい
る。また光源装置２０４には超高圧水銀灯の冷却やレー
ザ異常時の有毒ガス発生に備えて吸気口ｓａと排気口ｅ
ａが設けられ、ブース２１４内の空気の一部が光源装置
２０４を経由し、空調機室２１０に備えられた専用の排
気ファンを介して工場設備に強制排気されている。ま
た、空気中の化学物質を除去するための化学吸着フィル
タｃｆを、空調機室２１０の外気導入口ｏａおよびリタ
ーン口ｒａにそれぞれ接続して備えている。

【００１５】図３は、図１の装置の電気回路構成を示す
ブロック図である。同図において、３２１は装置全体の
制御を司る、前記ＥＷＳ本体１０６に内蔵された本体Ｃ
ＰＵであり、マイクロコンピュータまたはミニコンピュ
ータ等の中央演算処理装置からなる。３２２はウエハス
テージ駆動装置、３２３は前記オフアクシス顕微鏡２８
２等のアライメント検出系、３２４はレチクルステージ
駆動装置、３２５は前記光源装置２０４等の照明系、３
２６はシャッタ駆動装置、３２７はフォーカス検出系、
３２８はＺ駆動装置であり、これらは、本体ＣＰＵ３２
１により制御される。３２９は前記レチクル搬送装置２
２１、ウエハ搬送装置２３１等の搬送系である。３３０
は前記ディスプレイ１０２、キーボード１０４等を有す
るコンソールユニットであり、本体ＣＰＵ３２１にこの
露光装置の動作に関する各種のコマンドやパラメータを
与えるためのものである。すなわち、オペレータとの間
で情報の授受を行うためのものである。３３１はコンソ
ールＣＰＵ、３３２はパラメータ等を記憶する外部メモ
リである。

【００１６】図４は露光処理における本体ＣＰＵ３２１
での処理を示すフローチャート、図５は本体ＣＰＵ３２
１からの指令に基づきコンソールＣＰＵ３３１が行なう
ジョイスティック機能に係る処理のフローチャートであ
る。これらの図を参照し、装置の動作を説明する。

【００１７】オペレータの指示により、露光処理をスタ
ートさせると、本体ＣＰＵ３２１はまず、ステップＳ４
０１において、前記レチクルステージ２０７上のレチク
ルのアライメントを行ない、そして、レチクルのアライ
メントが正常に行なわれたか否かをステップＳ４０２に
おいて判定する。その結果、正常と判定された場合はス
テップＳ４０３へ移行するが、エラーと判定された場合
はステップＳ４１４へ移行し、後述の処理を行なう。

【００１８】ステップＳ４０３ではウエハを前記ウエハ
チャック２９１上に搬入し、そして、ステップＳ４０４
においてウエハのプリアライメントを行なう。次に、こ
のプリアライメントが正常に行なわれたか否かをステッ
プＳ４０５において判定する。この結果、正常と判定さ
れた場合はステップＳ４０６へ移行するが、エラーと判
定された場合は、後述の処理へ移行する。ステップＳ４
０６〜Ｓ４０９では、所定のステップ数ウエハを移動さ
せながら各ステップ位置においてウエハのアライメント
のための計測を行なう。この間、ステップＳ４０８にお
いて計測エラーが生じたと判定した場合は後述の処理へ
移行する。また、ステップＳ４０９において所定のステ
ップ位置での計測を終了したと判定された場合はステッ
プＳ４１０へ移行する。

【００１９】ステップＳ４１０〜Ｓ４１２では、各露光
位置へウエハをステップ移動させながら、各露光位置に
おいて露光を行なう。そして、ステップＳ４１２におい
て全ての露光位置における露光を終了したと判定したら
ステップＳ４１３へ移行し、次のウエハの露光のための
ウエハ交換処理を行なう。

【００２０】ところで、ステップＳ４０２においてエラ
ーと判定され、ステップＳ４１４へ移行した場合は、ス
テップＳ４１４においてコンソールＣＰＵ３３１に対
し、図６に示すようなレチクルアライメント用のジョイ
スティック機能ウインドウ６０１の表示を依頼する。次
に、ステップＳ４１５では、ジョイスティック機能ウイ
ンドウ６０１においてジョイスティックボタン６０２ま
たは終了ボタン６０３の押下（もしくはポインティン
グ）があった旨のコンソールＣＰＵ３３１からの指令を
待ち、押下されたときはステップＳ４１６において終了
のボタンか否かを判定する。終了であれば、ステップＳ
４０３へ移行し、終了でなければステップＳ４１６にお
いて他のユニットが駆動していないか否かの駆動チェッ
クを行なう。ステップＳ４１６において他のユニットが
駆動していると判定された場合はステップＳ４１５へ戻
って再びジョイスティックボタンの押下を待ち、他のユ
ニットが駆動していない場合はステップＳ４１８へ移行
して、レチクルステージを所定量駆動する。

【００２１】一方、ステップＳ４１４におけるウインド
ウ表示依頼を受けると、コンソールＣＰＵ３３１は、ス
テップＳ５０１（図５）において、レチクルアライメン
ト用のジョイスティック機能ウインドウ６０１を表示
し、ステップＳ５０２において、ジョイスティックボタ
ン６０２または終了ボタン６０３の押下を待つ。ボタン
が押下されると、ステップＳ５０３において、押下され
たボタンおよびそのボタンが示す方向等の必要な情報
を、ステップＳ４１５において待ち状態となっている本
体ＣＰＵ３２１へ送信する。次に、ステップＳ５０４に
おいて押下時間の計測を開始するとともに、ステップＳ
５０５においてジョイスティックボタンが押下されてい
るか否かを判定する。押下されていないと判定した場合
はステップ５０２へ戻り、押下されたと判定した場合は
ステップＳ５０６へ移行する。ステップＳ５０６では、
計測時間が所定値以上か否かを判定し、所定値以上であ
れば、ステップＳ５０７において、ステップＳ５０３に
おけると同様に本体ＣＰＵ３２１への送信を行い、ステ
ップＳ５０５へ戻る。所定値以下であれば、ステップＳ
５０８において同様に本体ＣＰＵ３２１への送信を行
い、ステップＳ５０２へ戻る。

【００２２】したがって、ジョイスティックボタンが所
定時間以上押下された場合は、押下期間中ステップＳ５
０７における本体ＣＰＵ３２１への送信がくり返され、
連続的にレチクルステージの駆動が行われる。所定時間
未満の押下の場合は所定量だけ駆動されることになる。

【００２３】なお、ジョイスティックボタン６０２は、
８方向へ駆動させるための、８種類のボタンを有し、そ
れぞれ各方向へ移動させるために使用される。この場
合、８方向の移動方向に関する情報も、ボタン押下の情
報とともに、本体ＣＰＵ３２１へ送信される。また、機
能ウインドウ６０１には、回転移動をさせるためのボタ
ン６１３、ジョイスティックボタン６０２やボタン６１
３による駆動速度を変更するためのスピードボタン６０
４、前回の駆動を繰り返させるためのリピートボタン６
０５等を表示させ、それらのボタン操作に応じた駆動を
行うようにすることもできる。

【００２４】さらに、機能ウインドウ６０１には、本体
ＣＰＵ３２１に対してレチクルアライメントを行わさせ
るためのボタン６０６、レチクルのずれ量を計測させ、
その結果を領域６０８に表示させるためのボタン６０
７、図７に示すようなプリアライメント用のジョイステ
ィック機能ウインドウ７０１に切り替えるためのボタン
６０９、図８に示すようなウエハとレチクル間のアライ
メントのためのジョイスティック機能ウインドウ８０１
に切り替えるためのボタン６１０、前述のレチクルのず
れ量を検出するためのレチクル光学系２８１の倍率を切
り替えるためのボタン６１１、６１２等を表示し、これ
らボタンの操作により、対応する機能を行えるようにす
ることができる。

【００２５】図７において、７０２はプリアライメント
を行わしめるためのボタン、７０３はずれ量を計測させ
てその結果を領域６０８に表示させるためのボタン、７
０４は図６のレチクルアライメント用ジョイスティック
機能ウインドウ６０１に切り替えるためのボタン、７０
５は前記オフアクシス顕微鏡２８２を駆動するためのジ
ョイスティック機能ウインドウに切り替えるためのボタ
ン、７０６および７０７はプリアライメント用のマーク
として左側のものを用いるか右側のものを用いるかを選
択するためのボタンである。

【００２６】図８において、８０２はウエハのＸＹ方向
のずれ量を計測させるためのボタン、８０３はウエハの
Ｚ方向のずれ量を計測させるためのボタン、８０４はオ
ートフォーカス機構を駆動させるためのボタン、８０５
は図６のジョイスティック機能ウインドウに切り替える
ためのボタンである。

【００２７】ところで、図４のステップＳ４０５やＳ４
０８においてエラー発生が判定された場合は、上述のス
テップＳ４１４〜Ｓ４１８と同様の処理によりプリアラ
イメント用のジョイスティック機能ウインドウ７０１や
アライメント用のジョイスティック機能ウインドウ８０
１を開くことにより、エラーに対し、速やかに対処する
ことができる。

【００２８】なお、ジョイスティック機能ウインドウ
は、上述のように、エラーが生じた場合に自動的に開く
場合の他、必要な操作画面上で、必要に応じて開けるよ
うにしておくのが望ましい。

【００２９】

【発明の効果】本発明によれば、制御手段に対して少な
くとも１つのユニットの駆動および駆動方向を指示する
ためのボタンを表示した操作ウインドウをコンソール部
において表示し、このボタンの押下開始と終了までの期
間中、制御手段に対して対応するユニットの駆動および
駆動方向の指令をコンソール部から付与し、これに応じ
て前記期間中、その駆動方向へ所定の駆動速度で対応す
るユニットを制御手段により駆動させるようにしたた
め、操作ウインドウ上の所望の方向のボタンを押下し
て、その押下時間を調整することにより、対応するユニ
ットをリアルタイムで所望方向へ所望の移動量だけ駆動
することができる。したがって、オペレータは操作ウイ
ンドウ上で、ジョイスティックを操作するのと同様のリ
アルタイムな感覚で、ユニットの駆動を行うことができ
る。

【００３０】また、操作ウインドウが表示されたのと同
一画面上に、他のユニットを前記のように駆動させるた
めの操作ウインドウを開くためのボタン、各ユニットに
関わる動作を行わせるためのボタン、各ユニットに関す
る情報等を表示することにより、このような情報を参照
し、ボタン操作を行うことにより、各ユニットの駆動や
関連機能の操作を、非常に効率的に行うことができる。
しかも、これらボタンや情報表示を必要かつ十分なもの
に近付けることにより、マニュアルや熟練者に頼ること
なく、装置のメンテナンス等における簡便かつ迅速なオ
ペレーションを行うことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例に係る半導体露光装置の外
観を示す斜視図である。

【図２】 図１の装置の内部構造を示す図である。

【図３】 図１の装置の電気回路構成を示すブロック図
である。

【図４】 図１の装置の露光処理における本体ＣＰＵで
の処理を示すフローチャートである。

【図５】 図５は図１の装置の本体ＣＰＵからの指令に
基づきコンソールＣＰＵが行なうジョイスティック機能
に係る処理のフローチャートである。

【図６】 図１の装置におけるレチクルアライメント用
のジョイスティック機能ウインドウを表示した操作画面
を示す図である。

【図７】 図１の装置におけるプリアライメント用のジ
ョイスティック機能ウインドウを表示した操作画面を示
す図である。

【図８】 図１の装置におけるアライメント用のジョイ
スティック機能ウインドウを表示した操作画面を示す図
である。

【符号の説明】 １０１：温調チャンバ、１０２：ＥＷＳ用ディスプレイ
装置、１０３：操作パネル、１０４：ＥＷＳ用キーボー
ド、１０５：モニタＴＶ、１０６：ＥＷＳ本体、１０
７：ＯＮ−ＯＦＦスイッチ、１０８：非常停止スイッ
チ、１０９：各種スイッチ、マウス等、１１０：ＬＡＮ
通信ケーブル、１１１：排気ダクト、１１２：排気装
置、２０２：レチクル、２０３：ウエハ、２０４：光源
装置、２０５：照明光学系、２０６：投影レンズ、２０
７：レチクルステージ、２０９：ウエハステージ、２８
１：レチクル顕微鏡、２８２：オフアクシス顕微鏡、２
１０：空調機室、２１３：フィルタボックス、２１４：
ブース、２１７：送風機、ｇ：エアフィルタ、ｃｆ：化
学吸着フィルタ、ｏａ：外気導入口、ｒａ：リターン
口、３２１：本体ＣＰＵ、３３０：コンソール、３３
１：コンソールＣＰＵ、３３２：外部メモリ、６０１，
７０１，８０１：ジョイスティック機能ウインドウ、６
０２：ジョイスティックボタン、６０３：終了ボタン、
６１３：回転ボタン、６０４：スピードボタン、６０
５：リピートボタン、６０６，６０９〜６１２，７０２
〜７０７，８０２〜８０５：ボタン。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数のユニットと、これらの動作を制御
   する制御手段と、およびこの制御手段との間で情報の授
   受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを
   備えた半導体製造装置において、コンソール部は、前記
   制御手段に対して少なくとも１つのユニットの駆動およ
   び駆動方向を指示するためのボタンを表示した操作ウイ
   ンドウを表示するとともに、このボタンの押下開始と終
   了までの期間中、前記制御手段に対して対応するユニッ
   トの駆動および駆動方向の指令を付与するものであり、
   前記制御手段はこれに応じて前記期間中、その駆動方向
   へ所定の駆動速度で対応するユニットを駆動させるもの
   であることを特徴とする半導体製造装置。
2. 【請求項２】 コンソール部は、前記操作ウインドウが
   表示されたのと同一画面上に、他のユニットを前記のよ
   うに駆動させるための操作ウインドウを開くためのボタ
   ン、または前記各ユニットに関わる動作を行わせるため
   のボタンを表示し、あるいは前記各ユニットに関する情
   報を表示するものであることを特徴とする請求項１記載
   の半導体製造装置。
3. 【請求項３】 複数のユニットと、これらの動作を制御
   する制御手段と、およびこの制御手段との間で情報の授
   受を行うためのディスプレイを有するコンソール部とを
   備えた半導体製造装置を用いて半導体デバイスを製造す
   るデバイス製造方法において、前記制御手段に対して少
   なくとも１つのユニットの駆動および駆動方向を指示す
   るためのボタンを表示した操作ウインドウを前記コンソ
   ール部により表示する工程と、必要に応じてこのボタン
   を押下することにより、このボタンの押下開始と終了ま
   での期間中、前記制御手段に対して対応するユニットの
   駆動および駆動方向の指令を前記コンソール部により付
   与する工程と、これに応じて前記期間中、その駆動方向
   へ所定の駆動速度で対応するユニットを前記制御手段に
   より駆動させる工程とを具備することを特徴とするデバ
   イス製造方法。
4. 【請求項４】 前記操作ウインドウが表示されたのと同
   一画面上に、他のユニットを前記のように駆動させるた
   めの操作ウインドウを開くためのボタン、または前記各
   ユニットに関わる動作を行わせるためのボタン、あるい
   は前記各ユニットに関する情報を前記コンソール部によ
   り表示する工程を有することを特徴とする請求項３記載
   の半導体製造装置。