JP2010165729A - 基板処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数のステップから構成されるレシピを実行させる指示を受け付ける操作手段と、該操作手段で受け付けた指示により実行される前記レシピに基づいて基板処理を行うように制御する制御手段と、を備えた基板処理装置であって、前記操作手段は、前記レシピを作成する際に、前記複数のステップの入力値をそれぞれ受け付ける入力画面を表示させる画面表示手段と、前記入力画面上で、前記複数のステップのうち所定のステップにおいて、下限設定値以下の入力値の設定を禁止する入力禁止手段とを有することを特徴とする。
【選択図】図10
Description
制御部及び操作部は、コンピュータで構成されており、プログラムにより、各種の機能が搭載されている。例えば、操作部には、プロセスレシピの実行を制御部に指示する機能、基板処理装置の運転状態をリアルタイムに表示部に表示させるモニタ機能、プロセスレシピを作成するレシピ作成・編集機能が搭載されている。
本発明は、上述した従来技術の問題点を解消して、基板処理の信頼性を改善することが可能な基板処理装置を提供することを目的とする。
筐体111の正面壁111aには、ポッド110を筐体111内外へ搬送する基板収容器搬入搬出口としてのカセット搬入搬出口112が、筐体111の内外を連通するように設けられている。カセット搬入搬出口112は、開閉機構としてのフロントシャッタ113によって開閉されるようになっている。
回転式のカセット棚105は、垂直方向に設けられた間欠回転する支柱116と、基板収容器載置台としての複数枚の棚板117と、を備えている。複数枚の棚板117は、支柱116における上中下段の各位置において、水平姿勢で放射状に固定されるようにそれぞれ構成されている。なお、各棚板117には、複数個のポッド110がそれぞれ載置されるように構成されている。
してのポッド搬送機構118bと、を備えている。
カセット搬送装置118は、ポッドエレベータ118aとポッド搬送機構118bとの協調動作により、ロードポート114、回転式のカセット棚105及び後述する載置台122との間で、ポッド110を搬送するように構成されている。
上下段のウエハ搬入搬出口120には、ポッドオープナ121がそれぞれ設けられている。ポッドオープナ121は、ポッド110を載置する載置台122と、ポッド110の蓋体であるキャップを着脱する蓋体着脱機構としてのキャップ着脱機構123と、をそれぞれ備えている。ポッドオープナ121は、載置台122上に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することによって、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
ウエハ移載機構125は、基板保持体としてのツイーザ125c上にウエハ200を載置して水平方向に移動させる基板移載装置としてのウエハ移載装置125aと、ウエハ移載装置125aを昇降移動させる基板移載装置昇降機構としてのウエハ移載装置エレベータ125bと、を備えている。ウエハ移載装置125aとウエハ移載装置エレベータ125bとの協調動作により、後述する基板保持具としてのボート217にウエハ200を移載(チャージング)し、また、ボート217からウエハ200を取り出す(ディスチャージング)ことが可能なように構成されている。
処理炉202の下端部には、処理炉202内と移載室124内とが連通するように開口が設けられている。処理炉202に設けられた開口は、炉口開閉機構としての炉口シャッタ147により開閉されるように構成されている。
シールキャップ129は、ボート217を下方から垂直に支持するとともに、ボートエレベータ115が上昇した時に処理炉202に設けられた開口を閉塞するように構成されている。
また、移載室124内の左側端部には、クリーンユニット134が設けられている。クリーンユニット134は、供給フアン及び防塵フィルタを備えており、清浄化したガスもしくは不活性ガスであるクリーンエア133を移載室124内に供給するように構成されている。
また、図示はしないが、ウエハ移載装置125aとクリーンユニット134との間には、ウエハ200の周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設けられている。クリーンユニット134から移載室124内に供給されたクリーンエア1
33は、ノッチ合わせ装置、ウエハ移載装置125a、待機部126にあるボート217の周囲を通過した後に、図示しないダクトにより吸引される。
ダクトにより吸引されたガスは、筐体111の外部へと排気されるか、もしくは、クリーンユニット134の吸い込み側である一次側にまで循環されて清浄化された後、再び移載室124内に供給されるように構成されている。
カセット110がロードポート114のカセットステージに供給されるに先立って、カセット搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放される。その後、カセット110はカセット搬入搬出口112から搬入され、カセットステージ上にウエハ200が垂直姿勢であって、カセット110のウエハ出し入れ口が上方向を向くように載置される。その後、カセット110は、カセットステージによって、カセット110内のウエハ200が水平姿勢となり、カセット110のウエハ出し入れ口が筐体後方を向けるように、筐体後方に右周り縦方向90°回転させられる。
操作手段54は、操作員による操作を受け付けるようになっている。例えば、複数のステップから構成されるレシピを作成し、作成されたレシピを実行させる指示を受け付ける。タッチパネル60は、操作部54に設けられる。タッチパネル60は、例えば、レシピを作成する際に、複数のステップの入力値をそれぞれ入力する入力画面を表示させる。制
御部49は、操作部54と通信可能に接続され、操作部54からの指示を受け付け、レシピに基づいて基板処理を行うように各動作部を制御する。
本実施の形態では、タッチパネル60に画面を表示させる機能と、固定記憶装置に格納されているプロセスレシピを検索してタッチパネルの画面上に表示させる画面表示機能と、プロセスレシピの作成・編集を可能とするファイル作成・編集機能と、作成・編集したプロセスレシピを固定記憶装置に保存する保存機能と、プロセスレシピ内に指定されてい
るチェックステップの編集の際に、判定値と入力値と比較して下限値以下の入力を禁止する入力禁止機能と、タッチパネル60からの指示を受ける受付機能と、プロセスレシピの実行を制御部49に指示する機能と、が搭載されている。なお、固定記憶装置には、操作部54及び制御部49の動作、制御、画面表示に必要なプログラムと各種ファイルとが格納されている。
プロセスレシピを作成・編集する場合は、ファイル作成・編集機能の一つである画面表示ファイル一覧機能とファイル選択機能とを用い、ファイル一覧画面に複数のプロセスセシピを一覧表示させ、表示されたプロセスレシピから編集すべきプロセスレシピを選択する。これらの機能は、起動によって、タッチパネル60に表示された初期画面(操作画面)上の複数のボタンが押下されることによって起動される。次に、操作画面に表示されたファイル作成・編集機能を起動するボタンを押下して選択したプロセスレシピの編集画面を開き、編集を開始する。プロセスレシピの編集画面には、ステップ名称(ID)、すなわち、プロセス名称に対応した選択ボタンが表示される。選択ボタンをタッチすると、選択ボタンに割り当てられたステップのプロセスの編集画面が表示される。
MFCガス名称は、VPCを設定するためのボタンであり、このボタンをタッチすると、VPCを設定するためのダイアログボックスが表示される。VPCを設定すると、ガス流量設定値、ランプレートが自動的に設定される。
これらの一部の機能を説明すれば、次の通りである。
これらの一部の機能を説明すれば、次の通りである。
H2アニール処理は、プログラム中に特殊シーケンスとしてプログラミングされており、図5に示すコンフィグH2アニール画面でバルブ番号等を設定し、レシピでそれらのバルブをOPEN/CLOSEすることにより動作する。
の設定を行う。
図6は、H2アニールのインターロックダイアログボックスD1を示す。このインターロックダイアログボックスD1を操作画面上に開くには、図5に示す装置コンフィグ装置パラメータ画面G1の「インターロック」の操作ボタンをタッチする。インターロックダイアログボックスD1は、インターロックを設定するためのダイアログボックスであり、インターロックの項目に対応した複数のボタンから構成される。本実施の形態では、インターロックダイアログボックスD1において、特に、「H2濃度監視開始遅延時間」(図ではH2検知時間と表記)ボタンb2と、「O2濃度監視開始遅延時間」(図ではO2検知時間と表記)ボタンb3とが設けられている。
例えば、設定時間40秒を入力し「ENTER」ボタンをタッチすると、時間入力ダイアログボックスD2が閉じる。時間入力ダイアログボックスD2が閉じると、図8に示すように、インターロックダイアログボックスD1が現れて、「H2検知時間」ボタンの右側のテキストボックスに入力値が反映される。ここでインターロックダイアログボックスD1の左下のSETボタンB4をタッチする。
すると、インターロックダイアログボックスD1が閉じ、再び図5に示す装置コンフィグ装置パラメータ画面が現れる。ここで画面右上の保存ボタンをタッチする。すると、図9のSAVEダイアログボックスD3が開く。ここでYESボタンをタッチして、設定したコンフィグデータを固定記憶装置に保存する。保存後、コンピュータをシャットダウン処理をして再立ち上げすることにより、コンフィグデータが有効になる。
前述したように、H2アニールプロセスを新規に構成するには、「001:BoatLoad」→「002:PreEVAC」→「003:LeakCheck」→「004:N2Purge」→「005:H2アニール」→「006:N2AfterPurge」→「007:AfterEVAC」→「008:Leak」→「009:OringLeak」→「010:BoatUnload」からなる複数のステップを作成する必要がある。
ここで、
(1)O2検知時間(O2濃度監視開始遅延時間):00’00”〜99’59”(mm:ss)
(2)H2検知時間(H2濃度監視開始遅延時間):00’00”〜99’59”(mm:ss)
の2つの時間を使って、次のような2つの新規ステップを加える。
(3)O2濃度チェックステップ(ステップ名称010)
(4)H2濃度チェックステップ(ステップ名称020)
上記(3)はN2Purgeステップの次に、また(4)はN2AfterPurgeの次にそれぞれ行う。
00:00:47
と作業者がタッチパネル60から入力する。
すると、操作部54の機能が働き、この入力値に対して(H2検知時間+5秒+3秒)にてチェックが実行される。
入力禁止機能は上記の計算により下限値を演算して判定値とし、判定値48秒と入力値47秒との比較を行う。入力値が判定値を超える場合、判定結果はYES、入力値が判定値以下の場合、判定結果はNOとなる。
判定結果がNO、すなわち、例示のように47秒以下の数値が入力された場合、入力禁止機能は、強制的にその入力をキャンセルする。そして、入力禁止機能は、図10に示す
ように、下限値を越える数値、すなわち、上述の例の場合は、48秒以上の数値を入力するように指示するポップアップウインドウW1を表示させる。
ポップアップウインドウW1には、警告の他、「了解」ボタンが表示される。「了解」ボタンが押下されると、入力禁止機能によってポップアップウインドウW1が閉じられ、ポップアップウインドウW1に隠されていた図4に示すプロセスレシピステップ編集画面が現れる。操作員が警告に従って、例えば、48秒を入力すると、ポップアップウインドウW1は表示されず、H2濃度の検出時間の入力の保存が可能となる。なお、前述した入力禁止機能は、入力値が判定値を超えるまで前記の判定を繰り返す。適正に入力されたら保存ボタンb1をタッチしてステップ時間を固定記憶装置に格納する。
判定がNOの場合は、入力値の入力が禁止され、前記したように、O2濃度検知時間の再設定が要求される。図6〜図8の装置コンフィグ装置パラメータで設定したO2検知時間は30秒であり、濃度監視時間は5秒、マージンは3秒である。このため、O2濃度の検知時間の下限値は、30秒+5秒+3秒の38秒となり、警告としては、38秒以上の入力を求める警告が表示される。
上述した手順で、「004:N2Purge」ステップを含む複数のステップをプロセスレシピステップ編集画面を用いて作成し、H2アニールプロセスを作成し、保存ボタンb1をタッチすることにより、このファイルを固定記憶装置に格納する。最後にこのH2アニールプロセスファイルを固定記憶装置から呼び出して、装置動作確認を行う。
そこで、この他の実施の形態では、下限値以下の数値が以前に入力されていた場合でもその入力値を保存可能としている。すなわち、保存時判定値と入力値の判定の結果がNOとなる場合に、保存チェック機能が、図11に示されるポップアップウインドウW2を表示させるように構成されている。ポップアップウインドウW2には、下限値以上の入力を促し、再入力を求める「中止」ボタンと、保存を可能とする「続行」ボタンとが表示されるので、入力値の変更又は入力値を変更せずに保存することが選択可能となる。
すなわち、既に作成されたプロセスレシピを固定記憶装置から呼び出し入力禁止機能にかけると、プロセスレシピのチェックステップにおいての設定値が適切かどうかを自動的に判定するので、既存のプロセスレシピの信頼性を確保することができる。
場合について説明したが、水蒸気を用いた酸化処理を行う場合にも適用可能である。
ウエハ200に対して水蒸気を用いた酸化処理を行う場合は、処理ガスとして水素及び酸素を含有する処理ガスを供給する。水素及び酸素を含有する処理ガスは、流量制御弁MFCにて所望の流量に制御され、外部燃焼装置(図示せず)に供給される。
外部燃焼装置内で水素と酸素との燃焼反応により水蒸気が生成される。生成された水蒸気(H2O)を含むガスは、処理ガスとして処理室201に導入される。処理ガスは、減圧排気装置の排気により、処理室201内から排気される。
水蒸気を含む処理ガスは、処理室201を流下する際に、ウエハ200の表面と接触する。これにより、ウエハ200には酸化又は拡散処理が施される。
本発明の実施形態は、以下に挙げる一つまたはそれ以上の効果を有する。
(2)また、新規にプロセスレシピを作成する場合も同様に信頼性の高いプロセスレシピとすることができる。特に、アニールのプロセスレシピの場合は、濃度チェックが途中で停止することなく、正しく実行されるので、次のステップでの処理の停止を防止することができる。
以下に、本発明の好ましい態様を付記する。
54 操作部(操作手段)
60 タッチパネル(画面表示手段)
100 基板処理装置
Claims (1)
- 複数のステップから構成されるレシピを実行させる指示を受け付ける操作手段と、該操作手段で受け付けた指示により実行される前記レシピに基づいて基板処理を行うように制御する制御手段と、
を備えた基板処理装置であって、
前記操作手段は、
前記レシピを作成する際に、前記複数のステップの入力値をそれぞれ受け付ける入力画面を表示させる画面表示手段と、
前記入力画面上で、前記複数のステップのうち所定のステップにおいて、下限設定値以下の入力値の設定を禁止する入力禁止手段と
を有することを特徴とする基板処理装置。
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