JP2008004737A - 基板処理装置 - Google Patents

Abstract

【課題】記憶されている複数のファイルに対する操作権限を、より詳細に設定することができる基板処理装置を提供する。
【解決手段】制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピ（ファイル）の編集タイプ（属性）に設定される各属性値に対する作業者の権限（ユーザ権限情報）を記憶する。レシピ記憶部４１０は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているプロセスレシピとしてのファイルを記憶する。権限設定部４０２は、ユーザ権限情報に基づいて権限設定画面を表示し、この権限設定画面を介した入力を受け付けてユーザ権限情報を更新する。レシピ表示部４０４はユーザからの操作を受け付けると、当該ユーザのユーザ権限情報に基づいてプロセスレシピの当該ユーザによる参照を制御する。同様に、更新制御部４０６は、ユーザ権限情報に基づいてプロセスレシピの当該ユーザによる更新を制御する。
【選択図】図１０

Description

本発明は、半導体基板やガラス基板等を処理する基板処理装置に関する。

この種の基板処理装置では、複数のファイルが扱われる。これらのファイルの種類は、プロセスレシピ、システムレシピ等、多岐に渡っている。プロセスレシピは、基板を処理するための詳細な手順が記述されたファイルであり、基板処理装置には、例えば数百個のファイルがプロセスレシピとして格納されている。基板処理装置は、稼働している間、所定のプロセスレシピに記述された手順に基づいて基板を処理する。

一般に、基板処理装置においては、ファイルの種類毎に、各ユーザの操作権限が設定される。例えば、プロセスレシピに関するユーザの操作権限が編集可能に設定された場合、当該ユーザは、プロセスレシピである全てのファイルの参照及び編集を行うことができる。なお、操作権限は、管理者（マスタユーザともいう）など所定の作業者により設定され、ユーザの操作実行時には、パスワード又はユーザ名及び当該ユーザに対応するパスワードが確認される。

しかしながら、プロセスレシピである全てのファイルについて操作権限が設定されるので、不要なプロセスレシピのファイルが勝手に編集されるおそれがあった。誤った設定のプロセスレシピに基づいて基板の処理が実行され、基板が損失してしまうおそれがある。

本発明は、記憶されている複数のファイルに対する操作権限を、より詳細に設定することができる基板処理装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明に係る基板処理装置は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているレシピを記憶する記憶手段と、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面を表示する表示手段と、前記表示手段により表示された権限設定画面を介して設定された作業者の権限に基づいて、前記記憶手段に記憶されているレシピの更新を制御する更新制御手段とを有する。

また、本発明に係る基板処理装置の制御方法は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているレシピを記憶し、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面を表示し、前記表示された権限設定画面を介して設定された作業者の権限に基づいて、前記記憶されているレシピの更新を制御する。

本発明に係る基板処理装置によれば、記憶されている複数のファイルに対する操作権限を、より詳細に設定することができるので、必要なプロセスのみ実行され、不必要なプロセスレシピが実行されなくてすむ。従って、基板が、異なるレシピにより処理されなくなるため、基板の損失が抑えられる。

図１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を含む基板処理システム１の構成を示す図である。
図１に示すように、基板処理システム１は、基板処理装置１０及びホスト装置２０を有する。基板処理装置１０及びホスト装置２０は、例えばＬＡＮなどのネットワーク１２を介して接続されている。したがって、ホスト装置２０からの指示は、基板処理装置１０に対してネットワーク１２を介して送信される。なお、基板処理システム１には、複数の基板処理装置１０が含まれてもよい。

基板処理装置１０において、入出力装置１６は、基板処理装置１０と一体に、又はネットワーク１２を介して接続して設けられており、操作画面１８を有する。操作画面１８には、ユーザ（オペレータ）により所定のデータが入力される入力画面及び装置の状況等を示す表示画面が表示される。また、基板処理装置１０内には、プロセスモジュールコントローラ（ＰＭＣ：Process module controller）１４が設けられ、該ＰＭＣ１４により、基板処理装置１０内の各装置が制御される。

基板処理装置１０は、一例として、半導体装置（ＩＣ）の製造方法における処理装置を実施する半導体製造装置として構成されている。なお、以下の説明では、基板処理装置として基板に酸化、拡散処理やＣＶＤ処理などを行なう縦型の装置を適用した実施例について述べる。
図２は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。
また、図３は、図２に示す基板処理装置１０の側面透視図を示す。
図２及び図３に示されているように、シリコン等からなるウエハ（基板）２００を収納したウエハキャリアとしてフープ（基板収容器。以下ポッドという。）１１０が使用されている本発明の実施形態に係る基板処理装置１０は、筐体１１１を備えている。筐体１１１の正面壁１１１ａの正面前方部にはメンテナンス可能なように設けられた開口部としての正面メンテナンス口１０３が開設され、この正面メンテナンス口１０３を開閉する正面メンテナンス扉１０４、１０４がそれぞれ建て付けられている。

筐体１１１の正面壁１１１ａにはポッド搬入搬出口（基板収容器搬入搬出口）１１２が筐体１１１の内外を連通するように開設されており、ポッド搬入搬出口１１２はフロントシャッタ（基板収容器搬入搬出口開閉機構）１１３によって開閉されるようになっている。ポッド搬入搬出口１１２の正面前方側にはロードポート（基板収容器受渡し台）１１４が設置されており、ロードポート１１４はポッド１１０を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド１１０はロードポート１１４上に工程内搬送装置（図示せず）によって搬入され、かつまた、ロードポート１１４上から搬出されるようになっている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における上部には、回転式ポッド棚（基板収容器載置棚）１０５が設置されており、回転式ポッド棚１０５は複数個のポッド１１０を保管するように構成されている。すなわち、回転式ポッド棚１０５は垂直に立設されて水平面内で間欠回転される支柱１１６と、支柱１１６に上中下段の各位置において放射状に支持された複数枚の棚板（基板収容器載置台）１１７とを備えており、複数枚の棚板１１７はポッド１１０を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。

筐体１１１内におけるロードポート１１４と回転式ポッド棚１０５との間には、ポッド搬送装置（基板収容器搬送装置）１１８が設置されており、ポッド搬送装置１１８は、ポッド１１０を保持したまま昇降可能なポッドエレベータ（基板収容器昇降機構）１１８ａと搬送機構としてのポッド搬送機構（基板収容器搬送機構）１１８ｂとで構成されており、ポッド搬送装置１１８はポッドエレベータ１１８ａとポッド搬送機構１１８ｂとの連続動作により、ロードポート１１４、回転式ポッド棚１０５、ポッドオープナ（基板収容器蓋体開閉機構）１２１との間で、ポッド１１０を搬送するように構成されている。

筐体１１１内の前後方向の略中央部における下部には、サブ筐体１１９が後端にわたって構築されている。サブ筐体１１９の正面壁１１９ａにはウエハ２００をサブ筐体１１９内に対して搬入搬出するためのウエハ搬入搬出口（基板搬入搬出口）１２０が一対、垂直方向に上下二段に並べられて開設されており、上下段のウエハ搬入搬出口１２０、１２０には一対のポッドオープナ１２１、１２１がそれぞれ設置されている。ポッドオープナ１２１はポッド１１０を載置する載置台１２２、１２２と、ポッド１１０のキャップ（蓋体）を着脱するキャップ着脱機構（蓋体着脱機構）１２３、１２３とを備えている。ポッドオープナ１２１は載置台１２２に載置されたポッド１１０のキャップをキャップ着脱機構１２３によって着脱することにより、ポッド１１０のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。

サブ筐体１１９はポッド搬送装置１１８や回転式ポッド棚１０５の設置空間から流体的に隔絶された移載室１２４を構成している。移載室１２４の前側領域にはウエハ移載機構（基板移載機構）１２５が設置されており、ウエハ移載機構１２５は、ウエハ２００を水平方向に回転ないし直動可能なウエハ移載装置（基板移載装置）１２５ａ及びウエハ移載装置１２５ａを昇降させるためのウエハ移載装置エレベータ（基板移載装置昇降機構）１２５ｂとで構成されている。図２に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ１２５ｂは耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の移載室１２４前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ及びウエハ移載装置１２５ａの連続動作により、ウエハ移載装置１２５ａのツイーザ（基板保持体）１２５ｃをウエハ２００の載置部として、ボート（基板保持具）２１７に対してウエハ２００を装填（チャージング）及び脱装（ディスチャージング）するように構成されている。

移載室１２４の後側領域には、ボート２１７を収容して待機させる待機部１２６が構成されている。待機部１２６の上方には、処理炉２０２が設けられている。処理炉２０２の下端部は、炉口シャッタ（炉口開閉機構）１４７により開閉されるように構成されている。

図２に模式的に示されているように、耐圧筐体１１１右側端部とサブ筐体１１９の待機部１２６右端部との間にはボート２１７を昇降させるためのボートエレベータ（基板保持具昇降機構）１１５が設置されている。ボートエレベータ１１５の昇降台に連結された連結具としてのアーム１２８には蓋体としてのシールキャップ２１９が水平に据え付けられており、シールキャップ２１９はボート２１７を垂直に支持し、処理炉２０２の下端部を閉塞可能なように構成されている。ボート２１７は複数本の保持部材を備えており、複数枚（例えば、５０〜１２５枚程度）のウエハ２００をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。

図２に模式的に示されているように移載室１２４のウエハ移載装置エレベータ１２５ｂ側及びボートエレベータ１１５側と反対側である左側端部には、清浄化した雰囲気もしくは不活性ガスであるクリーンエア１３３を供給するよう供給ファン及び防塵フィルタで構成されたクリーンユニット１３４が設置されており、ウエハ移載装置１２５ａとクリーンユニット１３４との間には、図示はしないが、ウエハの円周方向の位置を整合させる基板整合装置としてのノッチ合わせ装置１３５が設置されている。

クリーンユニット１３４から吹き出されたクリーンエア１３３は、ノッチ合わせ装置１３５及びウエハ移載装置１２５ａ、待機部１２６にあるボート２１７に流通された後に、図示しないダクトにより吸い込まれて、筐体１１１の外部に排気がなされるか、もしくはクリーンユニット１３４の吸い込み側である一次側（供給側）にまで循環され、再びクリーンユニット１３４によって、移載室１２４内に吹き出されるように構成されている。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の動作について説明する。
図２及び図３に示されているように、ポッド１１０がロードポット１１４に供給されると、ポッド搬入搬出口１１２がフロントシャッタ１１３によって開放され、ロードポート１１４の上のポッド１１０はポッド搬送装置１１８によって筐体１１１の内部へポッド搬入搬出口１１２から搬入される。

搬入されたポッド１１０は回転式ポッド棚１０５の指定された棚板１１７へポッド搬送装置１１８によって自動的に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて受け渡され、一時的に保管された後、棚板１１７から一方のポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載されるか、もしくは直接ポッドオープナ１２１に搬送されて載置台１２２に移載される。この際、ポッドオープナ１２１のウエハ搬入搬出口１２０はキャップ着脱機構１２３によって閉じられており、移載室１２４にはクリーンエア１３３が流通され、充満されている。例えば、移載室１２４にはクリーンエア１３３として窒素ガスが充満することにより、酸素濃度が２０ｐｐｍ以下と、筐体１１１の内部（大気雰囲気）の酸素濃度よりも遥かに低く設定されている。

載置台１２２に載置されたポッド１１０はその開口側端面がサブ筐体１１９の正面壁１１９ａにおけるウエハ搬入搬出口１２０の開口縁辺部に押し付けられるとともに、そのキャップがキャップ着脱機構１２３によって取り外され、ウエハ出し入れ口を開放される。

ポッド１１０がポッドオープナ１２１によって開放されると、ウエハ２００はポッド１１０からウエハ移載装置１２５ａのツイーザ１２５ｃによってウエハ出し入れ口を通じてピックアップされ、図示しないノッチ合わせ装置１３５にてウエハを整合した後、移載室１２４の後方にある待機部１２６へ搬入され、ボート２１７に装填（チャージング）される。ボート２１７にウエハ２００を受け渡したウエハ移載装置１２５ａはポッド１１０に戻り、次のウエハ１１０をボート２１７に装填する。

この一方（上段又は下段）のポッドオープナ１２１におけるウエハ移載機構１２５によるウエハのボート２１７への装填作業中に、他方（下段又は上段）のポッドオープナ１２１には回転式ポッド棚１０５から別のポッド１１０がポッド搬送装置１１８によって搬送されて移載され、ポッドオープナ１２１によるポッド１１０の開放作業が同時進行される。

予め指定された枚数のウエハ２００がボート２１７に装填されると、炉口シャッタ１４７によって閉じられていた処理炉２０２の下端部が、炉口シャッタ１４７によって、開放される。続いて、ウエハ２００群を保持したボート２１７はシールキャップ２１９がボートエレベータ１１５によって上昇されることにより、処理炉２０２内へ搬入（ローディング）されて行く。

ローディング後は、処理炉２０２にてウエハ２００に任意の処理が実施される。処理後は、図示しないノッチ合わせ装置１３５でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ２００及びポッド１１０は筐体の外部へ払出される。

次に、基板処理装置１０の構成要素を制御するＰＭＣ１４について説明する。
図４は、ＰＭＣ１４を中心としたハードウェア構成を示す。
ＰＭＣ１４は、ＣＰＵ１４０、ＲＯＭ（read-only memory）１４２、ＲＡＭ（random-access memory）１４４、入出力装置１６との間でのデータの送受信を行う送受信処理部１４６、温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、搬送制御部（図示せず）、及び温度制御部１５０等とのＩ／Ｏ制御を行うＩ／Ｏ制御部１４８を有する。ＣＰＵ１４０は、上述した入出力装置１６の操作画面１８で作成又は編集され、ＲＡＭ１４４等に記憶されているレシピに基づいて、基板を処理するための制御データ（制御指示）を、温度制御部１５０、ガス制御部１５２及び圧力制御部１５４に対して出力する。なお、ＣＰＵ１４０は、図示しない搬送制御部に対しても同様に制御指示を出力する。

ＲＯＭ１４２及びＲＡＭ１４４には、シーケンスプログラム、複数のレシピ、入出力装置１６より入力される入力データ（入力指示）、レシピのコマンド及びレシピの履歴データ等が格納される。なお、ＰＭＣ１４には、ハードディスクドライブ（ＨＤＤ）等により実現される記憶装置（不図示）が含まれてもよく、この場合、該記憶装置には、ＲＡＭ１４４に格納されるデータと同様のデータが格納される。

入出力装置１６は、操作画面１８からのオペレータ（ユーザ）の入力データ（入力指示）を受け付ける入力部１６０、ＲＡＭ１４４等に格納されているデータ等を表示する表示部１６２、入力部１６０に受け付けられた入力データが後述する表示制御部１６４により送受信処理部１４６に送信されるまでの間記憶する一時記憶部１６６、入力部１６０からの入力データ（入力指示）を受け付け、該入力データを表示部１６２もしくは送受信処理部１４６に送信する表示制御部１６４を有する。なお、後述するように、表示制御部１６４は、送受信処理部１４６を介してＣＰＵ１４０によるＲＯＭ１４２又はＲＡＭ１４４に格納された複数のレシピのうち任意のレシピを実行させる指示（実行指示）を受け付けるようになっており、また表示部１６２は、表示制御部１６４からの指示により指示された任意のレシピを操作画面１８に表示するようになっている。さらに表示部１６２は、後述するように、オペレータ（ユーザ）の権限を設定するための権限設定画面を表示して、表示手段を構成する。

温度制御部１５０は、上述した処理炉２０２の外周部に設けられたヒータ３３８により該処理室２０２内の温度を制御する。ガス制御部１５２は、処理炉２０２のガス配管３４０に設けられたＭＦＣ（マスフローコントローラ）３４２からの出力値に基づいて処理炉２０２内に供給する反応ガスの供給量等を制御する。圧力制御部１５４は、処理炉２０２の排気配管３４４に設けられた圧力センサ３４６の出力値に基づいてバルブ３４８を開閉することにより処理室２０２内の圧力を制御する。このように、温度制御部１５０等は、ＣＰＵ１４０からの制御指示に基づいて基板処理装置１０の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。

例えば、入出力装置１６の入力部１６０により、レシピを設定する為のデータが入力されると、該入力データ（入力指示）は、記憶部１６６に格納されると共に表示制御部１６４を介して表示部１６２に表示され、さらに表示制御部１６４によりＰＭＣ１４の送受信処理部１４６に送信される。ＣＰＵ１４０は、該入力データをＲＡＭ１４４に格納し、例えばＲＯＭ１４２に格納されたレシピの設定入力を確定させる。ＣＰＵ１４０は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、例えばＲＡＭ１４４に格納されたレシピのコマンドを呼び込み実行することで、ステップが逐次実行され、Ｉ／Ｏ制御部１４８を介して温度制御部１５０、ガス制御部１５２、圧力制御部１５４、及び搬送制御部に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部１５０等は、主制御指示からの制御指示に従って基板処理装置１０内の各部（ヒータ３３８、ＭＦＣ３４２及びバルブ３４８等）の制御を行う。これにより、上述したウエハ２００の処理が行われる。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０に格納されているレシピに対するユーザの操作権限の管理方法を詳述する。
基板処理装置１０では、プロセスレシピ、システムレシピ等のレシピはそれぞれ、ファイルとして格納され、管理されている。ファイルのそれぞれには、例えば編集タイプと称される属性が埋め込まれている。編集タイプには、例えば、プロダクト、メンテナンス、テスト等の複数の属性値のいずれかが設定される。なお、属性値の数は限定されず、属性値の名称も任意に設定される。

基板処理装置１０には、編集タイプの各属性値に対するユーザの権限が格納され、管理されている。ユーザの権限は管理者により管理され、管理者だけがユーザの権限を設定することができる。
図５は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０に記憶されているユーザの権限（ユーザ権限情報）を例示する図である。
図５に例示するように、ユーザ権限情報には、ユーザ名と、当該ユーザに対応するパスワードと、プロダクト、メンテナンス、テスト等の各属性値に対する当該ユーザの権限とが含まれる。なお、ユーザ権限情報には、ユーザを一意に識別する例えば社員番号からなる識別子（ＩＤ）が含まれてもよい。また、リザーブ１、リザーブ２及びリザーブ３は、予備としての属性値であって、必要に応じて名称を変更されて用いられる。

ユーザ権限情報において、ユーザ名は、ユーザの名称を表し、パスワードは、例えば英数字からなる文字列である。権限は、複数の属性値のそれぞれに対して設定されており、例えば、「編集」「参照」及び「禁止」のいずれかである。ここで、「編集」は、ファイルの参照及び編集を行うことができる権限であり、「参照」は、ファイルの参照だけを行うことができる権限であり、「禁止」は、ファイルの参照及び編集を行うことができない権限である。なお、権限として、これらの設定値以外のものが設定されてもよい。

例えば、ユーザ１は、編集タイプ（属性）に「プロダクト」（属性値）が設定されているプロセスレシピ（ファイル）の参照及び編集を行うことでき、編集タイプに「メンテナンス」が設定されているプロセスレシピの参照を行うことができる。一方、ユーザ１は、編集タイプに「メンテナンス」が設定されているプロセスレシピの編集を行うことができず、編集タイプに「テスト」が設定されているプロセスレシピの参照及び編集を行うことができない。

図６は、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作画面１８として表示され、管理者により操作されるユーザ一覧画面５０を例示する図である。
図６に例示するように、ユーザ一覧画面５０には、それぞれのユーザのユーザ名５００と、当該ユーザのパスワード５０２と、当該ユーザの権限を設定するための権限設定ボタン５０４とが含まれる。ユーザ名５００及びパスワード５０２は、基板処理装置１０に格納されているユーザ権限情報のものである。権限設定ボタン５０４は、当該ボタンに対応するユーザの権限を設定するための権限設定画面に移行するためのボタンである。例えば、ユーザ１に対応する権限設定ボタン５０４が押下されると、ユーザ１の権限を設定するための権限設定画面が、入出力装置１６に表示される。なお、以降の画面もまた、ユーザ一覧画面５０と同様に、基板処理装置１０の入出力装置１６に操作画面１８として表示される。

図７は、複数の属性値のそれぞれに対するユーザの権限を設定するための権限設定画面５２を例示する図である。
図７に例示するように、権限設定画面５２には、対象のユーザ名５２０と、編集タイプに設定される複数の属性値５２２と、この属性値５２２のファイルに対する当該ユーザの権限５２４とが含まれる。ユーザ名５２０、編集タイプの属性値５２２及び権限５２４は、基板処理装置１０に格納されているユーザ権限情報のものである。権限５２４は、例えばポップダウンメニューとして実現され、権限５２４の表示領域が押下されると、「編集」「参照」及び「禁止」のいずれかを選択できるように表示される。また、権限５２４は、例えばボタンとして実現されてもよく、この場合、当該ボタンが押下されると、編集等の設定値を設定できるウインドウが新たに表示されて、設定値が管理者により設定される。管理者がユーザの権限を設定すると、設定された権限は基板処理装置１０に格納される。管理者は、このような権限設定画面５２を介して各ユーザの権限を設定し、管理する。

ユーザは、プロセスレシピ一覧画面を介して、それぞれのプロセスレシピの参照及び編集を行う。
図８は、基板処理装置１０に格納されているプロセスレシピの一覧を表示するプロセスレシピ一覧画面５４を例示する図である。
図８に例示するように、プロセスレシピ一覧画面５４には、プロセスレシピ名称５４０と、プロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値５４８と、プロセスレシピを選択するためのカーソル５５０と、このカーソル５５０により選択されたプロセスレシピを参照するための開くボタン５４２と、表示されている複数のプロセスレシピを並び替えるための並び替えボタン５４４と、表示されるプロセスレシピを限定するための編集タイプボタン５４６とが含まれる。

プロセスレシピ一覧画面５４において、ユーザが編集タイプボタン５４６を押下し、編集タイプをプロダクト、メンテナンス、テスト、オール等から選択して、並び替えボタン５４４を押下すると、編集タイプが当該選択された属性値であるプロセスレシピだけが、プロセスレシピ一覧画面５４に表示される。なお、オールが選択された場合、全てのプロセスレシピが表示される。

ユーザは、プロセスレシピ一覧画面５４において、複数のプロセスレシピ及び各プロセスレシピの編集タイプを確認する。ユーザは、入出力装置１６の入力部１６０を介してカーソル５５０を例えば上下に移動させてプロセスレシピを選択し、開くボタン５４２を押下することにより、選択されたプロセスレシピの参照を行う。ユーザが開くボタン５４２を押下すると、当該ユーザの権限情報（図５）がＰＭＣ１４により確認される。ＰＭＣ１４は、選択されたプロレスレシピに設定されている編集タイプの属性値に対する当該ユーザの権限に基づいて、プロセスレシピに対する操作（参照、編集など）を制御する。

例えば、当該ユーザの権限が「編集」又は「参照」である場合、ＰＭＣ１４は、当該ユーザが当該プロセスレシピの参照を行うことを許可し、後述するプロセスレシピステップ一覧画面を表示する。また例えば、当該ユーザの権限が「禁止」である場合、ＰＭＣ１４は、当該ユーザが当該プロセスレシピの参照を行うことを許可せず、「操作を実行する権限がありません」等の警告を表示する。

さらに、ユーザが開くボタン５４２を押下すると、ＰＭＣ１４は、当該ユーザのパスワードの入力をユーザに対して求める。ＰＭＣ１４は、当該ユーザのパスワード等が正しく入力された場合、プロセスレシピの参照を許可し、当該ユーザのパスワード等が正しく入力されなかった場合、プロセスレシピの参照を許可せず、例えば「パスワードが正しくありません」等の警告を表示する。なお、ＰＭＣ１４は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。

図９は、プロセスレシピ一覧画面５４において選択されたプロセスレシピの手順を表示するプロセスレシピステップ一覧画面５６（以下、ステップ一覧画面ともいう）を例示する図である。
図９に例示するように、ステップ一覧画面５６には、表示されているプロセスレシピの名称５６０と、このプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値５６２と、このプロセスレシピのステップ、処理時間及び処理内容などを含むプロセスレシピの手順の詳細な内容５６４と、このプロセスレシピの手順を編集するための編集ボタン群５６６と、編集されたプロセスレシピを保存するための保存ボタン５６８とが含まれる。

ステップ一覧画面５６において、ユーザは、編集ボタン群５６６を操作してプロセスレシピに記述されている手順の内容５６４を編集し、保存ボタン５６８を押下することにより、プロセスレシピの更新を行う。ＰＭＣ１４は、当該プロレスレシピに設定されている編集タイプの属性値に対する当該ユーザの権限に基づいて、プロセスレシピの更新を制御する。

例えば、ＰＭＣ１４は、当該ユーザの権限が「編集」である場合、当該ユーザが当該プロセスレシピの更新を行うことを許可し、記憶されているプロセスレシピの手順を、編集されたものに更新する。また例えば、ＰＭＣ１４は、当該ユーザの権限が「参照」又は「禁止」である場合、当該ユーザが当該プロセスレシピの更新を行うことを許可せず、「操作を実行する権限がありません」等の警告を表示する。

さらに、ＰＭＣ１４は、ユーザが保存ボタン５６８を押下すると、当該ユーザのパスワードの入力をユーザに対して求める。ＰＭＣ１４は、当該ユーザのパスワード等が正しく入力された場合、プロセスレシピの更新を許可し、当該ユーザのパスワード等が正しく入力されなかった場合、プロセスレシピの更新を許可せず、例えば「パスワードが正しくありません」等の警告を表示する。なお、ＰＭＣ１４は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御方法を実現する制御プログラム４０を説明する。
図１０は、基板処理装置１０のＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム４０の構成を示す図である。
図１０に示すように、制御プログラム４０は、ユーザインタフェース（ＵＩ）部４００、権限設定部４０２、レシピ表示部４０４、更新制御部４０６、権限記憶部４０８及びレシピ記憶部４１０を有する。制御プログラム４０は、例えば、ネットワーク１２を介してホスト装置２０からＰＭＣ１４に供給され、ＲＡＭ１４４にロードされて、図示しないＯＳ上でＣＰＵ１４０により実行される。なお、制御プログラム４０は、ＦＤ、ＣＤ又はＤＶＤなどの記録媒体を介して供給されてもよいし、入出力装置１６を介して入力されてもよい。

制御プログラム４０において、権限記憶部４０８は、プロセスレシピの編集タイプに設定される複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を記憶する。具体的には、権限記憶部４０８は、図５に示されるユーザ権限情報を記憶する。権限記憶部４０８は、ＲＡＭ１１４及び図示しないＨＤＤの少なくともいずれかにより実現される。

レシピ記憶部４１０は、基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているプロセスレシピを記憶する。プロセスレシピは、ファイルとして実現されており、各ファイルには属性としての編集タイプが設定されている。レシピ記憶部４１０は、権限記憶部４０８と同様にして実現される。このようにして、レシピ記憶部４１０は、プロセスレシピ記憶手段を構成する。

ＵＩ部４００は、入出力装置１６に対するユーザの操作を受け入れ、制御プログラム４０の各構成部分に対して出力する。ＵＩ部２０２は、制御プログラム４０の各構成部分により作成された情報・データ及び各構成部分の処理内容などを、入出力装置１６に対して出力する。

権限設定部４０２は、権限記憶部４０８に記憶されているユーザ権限情報に基づいて、複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面５２（図７）を表示し、この権限設定画面５２を介した入力を受け付けて、当該入力に基づいて権限記憶部４０８に記憶されているユーザ権限情報を更新する。具体的には、権限設定部４０２は、ユーザ一覧画面５０（図６）において所定のユーザに対応する権限設定ボタン５０４が押下されたことをＵＩ部４００から受け付けると、権限記憶部４０８を参照して当該ユーザに関するユーザ権限情報を検索する。権限設定部４０２は、当該検索結果データに基づいて権限設定画面５２を生成し、生成した画面データをＵＩ部４００に対して出力して入出力装置１６に表示させる。また、権限設定部４０２は、権限設定画面５２において権限５２４のボタンが押下されたことによって権限が更新された旨をＵＩ部４００から受け付けると、権限記憶部４０８に記憶されているユーザ権限情報を、当該受け付けた権限に更新する。

レシピ表示部４０４は、レシピ記憶部４１０に記憶されているプロセスレシピを参照してプロセスレシピ一覧画面５４（図８）を生成し、生成した画面データをＵＩ部４００に対して出力して入出力装置１６に表示させる。また、レシピ表示部４０４は、プロセスレシピ一覧画面５４において開くボタン５４２が押下されたことをＵＩ部４００から受け付けると、権限記憶部４０８に記憶されている当該ユーザのユーザ権限情報に基づいて、レシピ記憶部４１０に記憶されているプロセスレシピの当該ユーザによる参照を制御する。より具体的には、ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピに設定されている属性値に関して例えば「編集」及び「参照」のいずれかである場合、レシピ表示部４０４は、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可する。この場合、レシピ表示部４０４は、当該プロセスレシピのステップ一覧画面５６を生成し、生成した画面データをＵＩ部４００に対して出力して入出力装置１６に表示させる。

さらに、レシピ表示部４０４は、入力されたパスワード（及びユーザ名）をＵＩ部４００を介して受け付け、権限記憶部４０８に記憶されているパスワードを確認し、入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。レシピ表示部４０４は、判定結果に基づいて、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可するか否かを決定する。

更新制御部４０６は、ステップ一覧画面５６において保存ボタン５６８が押下されたことをＵＩ部４００から受け付けると、権限記憶部４０８に記憶されている当該ユーザのユーザ権限情報に基づいて、レシピ記憶部４１０に記憶されているプロセスレシピの当該ユーザによる更新を制御する。より具体的には、ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピに設定されている属性値に関して例えば「編集」である場合、更新制御部４０６は、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可する。さらに、更新制御部４０６は、入力されたパスワード等をＵＩ部４００を介して受け付け、権限記憶部４０８に記憶されているパスワードを確認し、入力されたパスワードが正しいか否かを判定し、判定結果に基づいて、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可するか否かを決定する。なお、更新制御部４０６は、ＦＤ、ＣＤ、ＤＶＤ等の記録媒体に記憶されたプロセスレシピがＰＭＣ１４に格納される場合、上記の制御方法と同様にして、記録媒体に記憶されたプロセスレシピがレシピ記憶部４１０に格納されるか否かを判定してもよい。

次に、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の制御処理を説明する。
図１１は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるプロセスレシピ一覧画面５４からステップ一覧画面５６への画面遷移処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。
図１１に示すように、ステップ１００（Ｓ１００）において、ＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム４０のレシピ表示部４０４は、レシピ記憶部４１０に記憶されているプロセスレシピ及びその属性（編集タイプ）を参照してプロセスレシピ一覧画面５４を入出力装置１６に表示させる。入出力装置１６においては、表示部１６２及び表示制御部１６４が、ＰＭＣ１４から画面データを受け付けて、プロセスレシピ一覧画面５４を表示する。

ステップ１０２（Ｓ１０２）において、レシピ表示部４０４は、プロセスレシピ一覧画面５４においてプロセスレシピが選択されて開くボタン５４２が押下されたか否かを判定する。レシピ表示部４０４は、開くボタン５４２が押下された場合にはＳ１０４の処理に進み、そうでない場合にはＳ１０２の処理に戻る。

ステップ１０４（Ｓ１０４）において、レシピ表示部４０４は、権限記憶部４０８に記憶されている当該ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値に関して「編集」及び「参照」のいずれかであるか否かを判定する。レシピ表示部４０４は、当該ユーザの権限が「編集」及び「参照」のいずれかである場合にはＳ１０８の処理に進み、そうでない場合にはＳ１０６の処理に進む。

ステップ１０６（Ｓ１０６）において、レシピ表示部４０４は、第１の警告（例えば、「操作する権限がありません」）を入出力装置１６に表示させ、Ｓ１０２の処理に戻る。
ステップ１０８（Ｓ１０８）において、レシピ表示部４０４は、パスワードの入力を求め、ユーザが入出力装置１６を介して入力したパスワードを受け付ける。なお、レシピ表示部４０４は、パスワードに加えてユーザ名の入力を求めてもよい。

ステップ１１０（Ｓ１１０）において、レシピ表示部４０４は、権限記憶部４０８に記憶されているパスワードに基づいて、入力されたパスワードが正しいか否かを判定する。レシピ表示部４０４は、入力されたパスワードが正しい場合にはＳ１１４の処理に進み、そうでない場合にはＳ１１２の処理に進む。

ステップ１１２（Ｓ１１２）において、レシピ表示部４０４は、第２の警告（例えば、「パスワードが正しくありません」）を入出力装置１６に表示させ、Ｓ１０２の処理に戻る。
ステップ１１４（Ｓ１１４）において、レシピ表示部４０４は、当該ユーザによるプロセスレシピの参照を許可し、レシピ記憶部４１０に記憶されているプロセスレシピであってユーザにより選択されたもののファイルを参照してステップ一覧画面５６を入出力装置１６に表示させる。入出力装置１６においては、表示制御部１６４等が、ＰＭＣ１４から画面データを受け付けて、ステップ一覧画面５６を表示する。

図１２は、本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるプロセスレシピの更新に関する許否判定処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。なお、図１２に示された各処理のうち、図１１に示された処理と実質的に同一のものには同一の符号が付されている。
図１２に示すように、ステップ２００（Ｓ２００）において、ＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム４０の更新制御部４０６は、ステップ一覧画面５６の編集ボタン群５６６を介したユーザによる編集操作を受け付ける。

ステップ２０２（Ｓ２０２）において、更新制御部４０６は、ステップ一覧画面５６においてプロセスレシピが編集されて保存ボタン５６８が押下されたか否かを判定する。更新制御部４０６は、保存ボタン５６８が押下された場合にはＳ２０４の処理に進み、そうでない場合にはＳ２００の処理に戻る。

ステップ２０４（Ｓ２０４）において、更新制御部４０６は、権限記憶部４０８に記憶されている当該ユーザの権限が、選択されたプロセスレシピの編集タイプに設定されている属性値に関して「編集」であるか否かを判定する。当該ユーザの権限が「編集」ではない場合、更新制御部４０６は、Ｓ１０６の処理で第１の警告を表示させてＳ２００の処理に戻る。

当該ユーザの権限が「編集」である場合、更新制御部４０６はＳ１１０の処理に進み、パスワードの入力を求める。入力されたパスワードが正しいものであるか否かがＳ１１０の処理で判定され、パスワードが正しくないと判定された場合、更新制御部４０６は、Ｓ１１２の処理で第２の警告を表示させてＳ２００の処理に戻る。

パスワードが正しいと判定された場合、ステップ２０８（Ｓ２０８）において、更新制御部４０６は、当該ユーザによるプロセスレシピの更新を許可し、ユーザにより編集されたプロセスレシピの手順に基づいて、レシピ記憶部４１０に記憶されている当該プロセスレシピを更新する。なお、本実施形態と異なる形態として、「編集」権限がないプロセスレシピを表示しないようにすることができる。

したがって、本発明に係る基板処理装置によれば、記憶されている複数のファイル（プロセスレシピ）に対する操作権限が、属性（編集タイプ）として複数の属性値のいずれかに設定されているので、その属性値毎に管理される。

編集タイプは、それぞれのファイルに埋め込まれ、基板処理装置１０に格納されているので、編集タイプはファイル毎に表示されることができる。このため、ユーザは、全てのプロセスファイル（ファイル）の編集タイプを容易に確認することができる。

プロセスレシピ一覧画面には、編集タイプボタン５４６及び並び替えボタン５４４が含まれるので、基板処理装置１０は、ユーザが選択した編集タイプのファイルだけを表示することができる。このため、ユーザは、プロセスレシピ数が増えた場合においても、必要なプロセスレシピの確認及び選択を容易に行うことができる。

基板処理装置１０は、プロセスレシピ（ファイル）の参照及び編集を受け付ける際には少なくともパスワードの入力を求める。さらに、本実施形態によれば、プロセスレシピの編集タイプ毎に操作権限が設定される。これにより、プロセスレシピがいつの間にか更新されて、当該プロセスレシピが実行され、基板が無駄に処理されてしまうことを防止することができる。

なお、本発明に係る基板処理装置は、半導体製造装置だけではなく、ＬＣＤ装置などのガラス基板を処理する装置にも適用されうる。また、本発明に係る基板処理装置は、炉内の処理を限定せず、ＣＶＤ、ＰＶＤ、酸化膜、窒化散を形成する処理、及び金属を含む膜を形成する処理を含む成膜処理を行うことができる。また、本発明に係る基板処理装置は、縦型装置だけでなく、枚葉装置にも適用されうる。

また、ユーザの権限の設定、ファイルの参照及び編集は、ホスト装置２０に表示される操作画面を介してなされてもよい。この場合、設定、参照及び編集のためのデータは、ホスト装置２０からネットワーク１２を介して基板処理装置１０に対して送信され、画面データは、基板処理装置１０からホスト装置２０に対して送信される。
さらに、本実施形態においては、プロセスレシピについて記載されているが、システムレシピ及びその他制御情報のファイルについても適用される。この場合においても、それぞれのファイルには、編集タイプが設定される。

本発明の実施形態に係る基板処理装置１０を含む基板処理システム１の構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の斜視図を示す。 本発明の実施形態に係る基板処理装置１０の側面透視図を示す。 本発明の実施形態に係る基板処理装置１０のＰＭＣ１４を中心としたハードウェア構成を示す。 基板処理装置１０に記憶されている作業者の権限を例示する図である。 基板処理装置１０の入出力装置１６に操作画面１８として表示されるユーザ一覧画面５０を例示する図である。 複数の属性値のそれぞれに対するユーザの権限を設定するための権限設定画面５２を例示する図である。 基板処理装置１０に格納されているプロセスレシピの一覧を表示するプロセスレシピ一覧画面５４を例示する図である。 プロセスレシピ一覧画面５４において選択されたプロセスレシピの詳細を表示するプロセスレシピステップ一覧画面５６を例示する図である。 基板処理装置１０のＰＭＣ１４上で動作する制御プログラム４０の構成を示す図である。 本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるプロセスレシピ一覧画面５４からステップ一覧画面５６への画面遷移処理（Ｓ１０）を示すフローチャートである。 本発明の実施形態に係る基板処理装置１０によるプロセスレシピの更新に関する許否判定処理（Ｓ２０）を示すフローチャートである。

符号の説明

１０ 基板処理装置
１４ ＰＭＣ
１６ 入出力装置
１８ 操作画面
４０ 制御プログラム
５０ ユーザ一覧画面
５２ 権限設定画面
５４ プロセスレシピ一覧画面
５６ ステップ一覧画面
５６ プロセスレシピステップ一覧画面
４００ ＵＩ部
４０２ 権限設定部
４０４ レシピ表示部
４０６ 更新制御部
４０８ 権限記憶部
４１０ レシピ記憶部

Claims (1)

1. 基板を処理する手順が記載され、複数の属性値のいずれかが設定されているレシピを記憶する記憶手段と、
   複数の属性値のそれぞれに対する作業者の権限を設定するための権限設定画面を表示する表示手段と、
   前記表示手段により表示された権限設定画面を介して設定された作業者の権限に基づいて、前記記憶手段に記憶されているレシピの更新を制御する更新制御手段と
   を有する基板処理装置。

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