JP5622334B2 - 基板処理装置及びその制御方法並びにプログラム - Google Patents
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Description
が表示される第1の表示部と、前記基板処理機構から離間した位置に配置され前記基板処理機構を操作するための第2の操作画面が表示される第2の表示部と、を有し、前記制御手段は、前記第1の表示部からユーザのログイン情報が入力されると、このログイン情報と、前記記憶手段に記憶されたグループパラメータとを照らし合せ、前記第1の表示部に、前記権限パラメータを用いて前記ユーザが所属するグループに応じた操作画面を表示さ
せ、前記第2の表示部からユーザのログイン情報が入力されると、前記記憶手段に予め設定された前記機能制限パラメータと前記ユーザが所属するグループに応じた前記権限パラメータとを比較して一致した操作権限に即した操作画面を表示させることを特徴とする基板処理装置である。
性が向上する。一方、生産に支障をきたさないような操作は顧客のオフィスにある外部操作部からも操作できるため利便性が向上する。これにより、ユーザがクリーン服に着替えてクリーンルーム内の基板処理装置の操作部を操作する手間が省ける。
図1は、本発明の実施形態に係る基板処理システム1の構成を示す図である。図1に示されるように、基板処理システム1は、基板処理装置10と、第2の操作装置として用いられる外部操作装置30とを有し、これらが、例えば、スイッチングハブ42を有するLAN等の通信ネットワーク40によって互いに接続されている。
基板処理装置10は、図1に示すように、例えば2つ等、基板処理システム1に複数個を設けても良いし、基板処理システム1に1つの基板処理装置10を設けても良い。
として用いられる主操作装置16が装着されている。また、基板処理装置10には、スイッチングハブ15を介して主コントローラ14に接続されるようにして、第3の操作装置として用いられる副操作装置50が取り付けられている。
主操作装置16は、第1の表示部として用いられる主表示装置18を有する。
ここで、基板処理装置10に関する各種パラメータは、多種多様である。例えば、本願発明において、基板処理装置10を操作するユーザ(操作者)が所属するグループを設定するグループパラメータや、ユーザが所属するグループに応じて予め設定される操作権限を規定する権限パラメータや、ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータ等が少なくとも含まれる。他のパラメータとしては、ユーザ毎にユーザ情報(ユーザID、パ
スワード)をリスト化したパラメータ(ユーザパラメータ)が含められる。
主操作画面18a、主パラメータ設定画面18bの詳細については後述する。
副表示装置52は、例えば、液晶表示パネルからなる。副表示装置52には、少なくとも基板処理装置10を操作するための第3の操作画面として用いられる副操作画面52aが表示される。また、副表示装置52には、基板処理装置10に関する各種パラメータの設定をするためのパラメータ設定画面として用いられる副パラメータ設定画面52bが表示される。
また、副操作装置50は、基板処理装置10(もしくは処理炉202及び基板処理装置本体111)近傍に配置されている。副操作装置50は、基板処理装置本体111に固定される。ここで、副操作装置50が、基板処理装置10(もしくは処理炉202及び基板処理装置本体111)近傍に配置されているとは、基板処理装置10の状態を操作者が確認できる位置に副操作装置50が配置されていることをいう。主操作装置16の場合と同
様に、例えば、基板処理装置本体111が設置されているクリーンルーム内に設置される。但し、主操作装置16と同じ側に配置される必要はなく、基板処理装置本体111近傍であって、主操作装置16から目が届かない位置に配置される。主操作装置16は、基板処理装置本体111の前面に設置され、副操作装置50は、基板処理装置本体111の後側に配置される。
外部表示装置32は、例えば、液晶表示パネルからなる。また、外部表示装置32には、少なくとも処理部202を操作するための第2の操作画面として用いられる外部操作画面32aが表示される。さらに、外部表示装置32にも、基板処理装置10に関する各種パラメータの設定をするためのパラメータ設定画面として用いられる外部パラメータ設定画面32bを表示するようにしてもよい。
タ等の各種パラメータや基板に所定の処理を施すためのプロセスレシピ等の各種レシピを記憶する記憶手段を有する。
WTSは、マイクロソフト社のOSであるWindows
NT Serverに、マルチユーザ機能を付加したものである。WTSは、1台のサーバに対して、複数の端末を、ネットワークを通じて同時に接続することができ、これらの複数の端末から処理を行なうことができる。この際、全てのアプリケーションソフトの処理は、サーバ上で実行され、端末側には画面の転送がされる。
また、主コントローラ14は、主表示装置18、外部表示装置32、及び副操作装置50、それぞれに対して異なる制御を行なうことができる。すなわち、主コントローラ14は、主操作画面18a、外部操作画面32a、副操作画面52aからの操作に対して、それぞれに異なる指示をすることができる。
基板処理装置10は、基板として用いられるシリコン等からなるウエハ200を処理する。
ポッド搬入搬出口112の正面前方側にはロードポート((基板収容器受渡し台)114が設置されており、ロードポート114はポッド110を載置されて位置合わせするように構成されている。ポッド110はロードポート114上に工程内搬送装置(図示せず)によって搬入され、ロードポート114上から搬出されるようになっている。
板117はポッド110を複数個宛それぞれ載置した状態で保持するように構成されている。
8bとの連続動作により、ロードポート114、回転式ポッド棚105、ポッドオープナ((基板収容器蓋体開閉機構)121との間で、ポッド110を搬送するように構成されている。
ドオープナ121はポッド110を載置する載置台122、122と、ポッド110のキャップ(蓋体)を着脱するキャップ着脱機構(蓋体着脱機構)123、123とを備えている。ポッドオープナ121は載置台122に載置されたポッド110のキャップをキャップ着脱機構123によって着脱することにより、ポッド110のウエハ出し入れ口を開閉するように構成されている。
25bとで構成されている。図2に模式的に示されているようにウエハ移載装置エレベータ125bは耐圧基板処理装置本体111右側端部とサブ筐体119の移載室124前方領域右端部との間に設置されている。これら、ウエハ移載装置エレベータ125b及びウエハ移載装置125aの連続動作により、ウエハ移載装置125aのツイーザ(基板保持体)125cをウエハ200の載置部として、ボート(基板保持具)217に対してウエ
ハ200を装填(チャージング)及び脱装(ディスチャージング)するように構成されている。
2の下端部を閉塞可能なように構成されている。
ボート217は複数本の保持部材を備えており、複数枚(例えば、50〜125枚程度)のウエハ200をその中心を揃えて垂直方向に整列させた状態で、それぞれ水平に保持するように構成されている。
る基板整合装置としてのノッチ合わせ装置が設置されている。
る。
図2及び図3に示されているように、ポッド110がロードポート114に供給されると、ポッド搬入搬出口112がフロントシャッタ113によって開放され、ロードポート114の上のポッド110はポッド搬送装置118によって基板処理装置本体111の内部へポッド搬入搬出口112から搬入される。
処理後は、図示しないノッチ合わせ装置135でのウエハの整合工程を除き、概上述の逆の手順で、ウエハ200及びポッド110は筐体の外部へ払出される。
図4には、基板処理システム1の主コントローラ14を中心としたハードウエアの概略構成が示されている。
図5に示されるように、プロセス制御部232は、先述のプロセス系コントローラ236を有するとともに、ROM(read-only memory)250、RAM(random-access memory)251、温度制御部252、ガス制御部253、圧力制御部254、及び温度制御部252等とのI/O制御を行なうI/O制御部255を有する。
プロセス系コントローラ236は、例えば、主操作装置16の主操作画面18a等で作成又は編集され、RAM251等に記憶されているレシピに基づいて、基板を処理するための制御データ(制御指示)を温度制御部252、ガス制御部253及び圧力制御部254に対して出力する。
OM250又はRAM251は基板を処理する手順が記載されている種々のレシピを記憶する記憶手段として用いられる。
入力指示は、主操作装置16の主表示装置18に表示される主操作画面18aから、副操作装置50の副表示装置52に表示される副操作画面52aから、又は外部操作装置30の外部表示装置32に表示される外部操作画面32aからなされる。また、入力指示は、レシピを実行させる指示のほか、各ユーザの操作権限を設定する指示などがその一例として挙げられるが、これに限定されない。
バルブ348を開閉することにより処理炉202内の圧力を制御する。
このように、温度制御部252等のサブコントローラは、プロセス系コントローラ236からの制御指示に基づいて基板処理装置10の各部(ヒータ338、MFC342及びバルブ348等)の制御を行なう。
図6に示されるように、搬送制御部230は、先述の搬送系コントローラ234を有するとともに、ROM(read-only memory)260、RAM(random-access memory)261、モータドライバ262、モータドライバ263、モータドライバ262等とのI/O制御を行なうI/O制御部264を有する。
搬送系コントローラ234は、例えば、主操作装置16の主操作画面18a等で作成又は編集され、RAM261等に記憶されているレシピに基づいて、基板を搬送するための制御データ(制御指示)を、モータドライバ262、モータドライバ263に対して出力する。
モータドライバ262、モータドライバ263は、基板を搬送するための駆動源として用いられるモータ350、モータ352により、基板処理システム1内におけるウエハ200の搬送を制御する。
図7に示されるように、主操作装置16は、先述の主表示装置18、主表示制御部240、主表示装置18に表示される主操作画面18aからのユーザ(作業者)の入力データ(入力指示)を受け付ける入力部160、及び入力部160に受け付けられた入力データが主表示制御部240により主コントローラ14に送信されるまでの間記憶する一時記憶部166を有する。
主表示制御部240は、入力部160からの入力データ(入力指示)を受け付け、該入力データを主表示装置18もしくは主コントローラ14に送信する。
18bとして表示するようになっている。
図8に示されるように、副操作装置50は、先述の副表示装置52、副表示制御部242、副表示装置52に表示される副操作画面52aからのユーザ(作業者)の入力データ(入力指示)を受け付ける入力部280、入力部280に受け付けられた入力データが主表示制御部240により主コントローラ14に送信されるまでの間記憶する一時記憶部284を有する。
副表示制御部242は、入力部180からの入力データ(入力指示)を受け付け、該入力データを副表示装置52もしくは主コントローラ14に送信する。
設定画面52b等の種々の画面を表示するようになっている。
図9に示されるように、外部操作装置30は、先述の外部表示装置32、外部表示制御部244、外部表示装置32に表示される外部操作画面32aからユーザの入力データを受け付ける入力部288、入力部288に受け付けられた入力データが外部表示制御部244により主コントローラ14に送信されるまでの間記憶する一時記憶部292を有する。
外部表示制御部244は、入力部288からの入力データ(入力指示)を受け付け、該入力データを外部表示装置32もしくは主コントローラ14に送信する。
するための権限設定画面やレシピを編集するための編集画面等を外部操作画面32aに表示させる。
御部240によって、主コントローラ14に送信される。
に送信される。
トローラ14に送信される。
プロセス系コントローラ236は、シーケンスプログラムを起動し、該シーケンスプログラムに従って、例えばRAM251に格納されたレシピのコマンドを呼び込み実行することで、ステップが逐次実行され、I/O制御部255を介して温度制御部252、ガス制御部253、及び圧力制御部254に対して基板を処理するための制御指示が送信される。温度制御部252等の各コントローラは、プロセス系コントローラ236からの制御
指示に従って基板処理装置10内の各部(ヒータ338、MFC342及びバルブ348等)の制御を行なう。
を行なう。
作権限は、例えば、管理者(マスターユーザともいう)により設定され、ユーザの操作実行時には、ユーザ名及び当該ユーザに対応するパスワードが確認される。
することが好ましい。
グループ名には、各ユーザの属するグループの名称、例えばプロダクト(Product)、エンジニア(Engineer)、メンテナンス(Maintenance)、リカバリー(Recovery)等が入力又は選択される。例えば、「プロダクト」にはライン担当者であるユーザが含まれ、「エンジニア」にはプロセスエンジニアであるユーザが含まれ、「メンテナンス」にはメンテナンスエンジニアであるユーザが含まれる。尚、グループ名の数は例えば10グループに固定されている。又、グループ名の数を限定せず、グループ名の名称も必要に応じて任意に設定されるようにしても良い。例えば、グループ名として、オンラインエンジニアや保守担当者等の名称を付与してもよい。
状態がオフライン(非オンラインリモート)である場合の各レシピに対するグループ(ユーザ)の操作権限が入力(選択)されるようになっている。
グループ(ユーザ)の操作権限は、各レシピに対して設定され、例えば「禁止(Inhibit)」、「参照可(Read Only)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」のいずれかである。
るようになっている。
うち搬送コマンドを「禁止(Inhibit)」することで、搬送コマンドボタンを表示させない(もしくは操作できない)ようにすることができる。例えば、オンライン時におけるフープ110の投入などをユーザに実施させないようにすることができる。
ができる。この場合、ファイルメンテナンスを実行するためのコマンドボタンが画面に表示される。
尚、ここでファイルメンテナンスとは、基板処理装置10で取り扱うファイルのメンテナンス作業を行なうための機能である。ファイルメンテナンスには、ハードディスク内とUSBフラッシュメモリ等の外部記憶メディアとの間のファイルコピーやシステムに設定されているファイルのバックアップ等が含まれる。
(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」及び「実行可(Exec)」が選択されている場合に表示されるようになっている。すなわち、ROM250又はRAM251に記憶されている複数のレシピのうち、権限入力部406において「禁止(Inhibit)」が選択されているレシピは編集メニュー画面700上に表示されないようになっている。
ルに応じたレシピ編集画面900(図16を用いて後述)が表示されるようになっている。
新)等の指示が入力されるようになっている。本図においては、上述したプロセスレシピ一覧表示画面850においてレシピ名AAAが選択された状態を示している。
示部902に表示されたレシピ(例えばレシピAAA)における各条件やコマンド等を各入力部に入力し、保存ボタン904を押下することにより、該レシピを更新する。
これと同様に、副操作装置50が有する副表示装置52や、外部操作装置30の外部表示装置32にも、ユーザが所属するグループに応じて定められる種々の操作権限を規定する権限パラメータの設定がなされる。
そこで、この基板処理システム1において、外部操作装置30からの操作に対し、主操作装置16、及び副操作装置50とは別に、特に制限が設けられている。
先述の権限パラメータは、「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」について、それぞれのユーザ、又はユーザの属するグループに応じて、
禁止(Inhibit) :0×00
参照可(ReadOnly) :0×01
編集可(Edit) :0×02
と値が定められている。
また、機能制限パラメータについては、「禁止(Inhibit)」、「参照可(ReadOnly)」、「編集可(Edit)」、「参照可・編集可(ReadOnly & Edit)」について、
禁止(Inhibit) :0×00
参照可(ReadOnly) :0×01
編集可(Edit) :0×02
参照可・編集可(ReadOnly & Edit) :0×03
と値が定められている。
図17に示されるように、例示される機能制限設定画面950には、オンライン機能制限設定部954と、オフライン(非オンライン)機能制限設定部952とが含まれる。オンライン機能制限設定部954には、基板処理装置10の稼動状態がオンラインである場合の各機能を制限するパラメータが入力されるようになっている。また、オフライン機能制限設定部952には、基板処理装置10の稼動状態がオフラインである場合の各機能を
制限するパラメータが入力されるようになっている。
例えば、外部操作装置30にメンテナンス(Maintenance)のグループに属するユーザとしてログインした場合の、プロセスレシピ編集に加えられる制限は、メンテナンス(Maintenance)のグループの権限が「参照可(ReadOnly)」である。図17に番号956で示すようにプロセスレシピ編集の制限が「参照可・編集可(ReadOnly & Edit)」であるため、ユーザの操作権限は、両者の値「0×01」と「0×03」との論理積「0×01」で定められ、
「参照可(ReadOnly)」となる。
「編集可(Edit)」となる。
図18は、本発明の実施形態に係る基板処理システム1による制御処理であって、特に外部操作装置30から操作がなされる際の制御処理を示すフローチャートである。
また、ステップS104における権限の設定は、先述のように、値「0×00」をとる「禁止(Inhibit)」、値「0×01」をとる「参照可(ReadOnly)」、値「0×02」をとる「編集可(Edit)」のいずれかにセットされる。
ステップS106における機能制限パラメータの設定は、先述のように値「0×00」をとる「禁止(Inhibit)」、値「0×01」をとる「参照可(ReadOnly)」、値「0×02」をとる「編集可(Edit)」、値「0×03」をとる「参照可・編集可(ReadOnly & Edit)」のいずれかになされる。
も良い。但し、この場合、ユーザIDやパスワードを含むユーザ情報は、パラメータとして主コントローラ14の記憶手段に予め記憶させておく必要がある。
情報とは、移載機の状態、JOBの進行具合、プロセスの状態(温度、圧力、MFCなどの状態)などであり、ファイルメンテナンスとは、HD(ハードディスク)からHDへのファイルのコピー/移動、HDから外部記憶媒体であるUSBメモリヘのファイルのコピー/移動、USBメモリからHDへのファイルのコピー/移動、システムファイルのバックアップ/リストアなどである。リモートコマンドとは、ボートロード/アンロードなど
の移戦機関連のコマンド、PM(プロセスモジュール)の状態を変更するコマンド、システAの状態を変更するコマンドを示す。
本発明の実施例1においては、副表示制御部242で搬送系のティーチングを実施するとともに他の各表示制御部240、242でファイルの参照作業が実施できる。従い、データの解析とティーチング作業が並行して実施されるため作業効率が向上し、セットアップに要する時間が短縮できる。また、基板の処理に支障をきたさない処理であれば、外部表示制御部244での装置に発生した異常の解析と、搬送系のセットアップを並行して実
施することができる。ここで、解析とは、例えば、障害発生して異常停止した生産情報ファイルを参照し、操作画面上で画面を切り替えながら種々のファイルを参照し、障害発生要因を突き止めていく処理と定義する。また、生産に支障をきたさない処理とは、主にモニタ系の画面の操作である。例示すると、システムメイン画面とPMメイン画面から遷移可能な画面で、搬送、ジョブ、レシピ進捗、ガス流量、温度、圧力、特殊シーケンスなど
のモニタ画面や障害情報、生産情報などの履歴情報、その他トレンド/トレース画面などが挙げられる。
ラメータ類の編集である。調整用のレシピを実行し、処理結果を修正するため次の調整用のレシピを実行する前に、ティーチングのやり直しとレシピの修正作業を並行して実施することができる。よって、何度も繰り返して、調整用のレシピを実行せざるを得ない場合、ティーチングとレシピ編集との並行実施により、結果としてセットアップにかかる時間を抑えることができる。
ットアップ時は、調整用のレシピを繰り返し実行する必要がある。前のレシピを実行しているときに解析を行うことで、前のレシピが終了しても次のレシピを直に実行でき、結果としてセットアップに要する時間を短縮できる。
ングなどを行い所定のパラメータに設定する作業等が必要な場合でも、主表示制御部240側で不用なレシピ編集を行うことを防止できる。このように、基本的な操作(パラメータ参照、装置情報参照、トレースデータ参照等の参照操作)のみ可能とし、レシピ編集、パラメータ編集、ファイルメンテナンス、リモートコマンドなどの編集操作や装置状態を変更する操作などができなくして、装置の安全性を向上させることもできる。
ラメータ参照、装置情報参照、トレースデータ参照等の参照操作)のみ可能とし、レシピ編集、パラメータ編集、ファイルメンテナンス、リモートコマンドなどの編集操作や装置状態を変更する操作などができなくする。これにより、装置の安全性を向上させることもできる。
タ参照、装置情報参照、トレースデータ参照等の参照操作)のみ可能であるときでも、ログインしていない他のオペレータは、主表示制御部240でレシピ編集、パラメータ編集、ファイルメンテナンス、リモートコマンドなどの編集操作を実施することができる。
きる。
基板を処理する基板処理機構と、
少なくとも前記基板処理機構を制御する制御手段と、
前記基板処理機構を操作するユーザ情報(ユーザID、パスワード)が記憶される記憶手段と、
ユーザのログイン情報が入力されると、そのログイン情報と、前記記憶手段に記憶されたユーザ情報とを照らし合せ、該ユーザの操作レベル(操作権限)に応じた操作画面を表示させる表示部と、
を有することを特徴とする基板処理システム。
基板を処理する手順が記載された複数のレシピを含むファイルと、
前記ファイルを実行するユーザのユーザ情報が記憶される記憶手段と、
前記ファイルを実行することにより所定の処理を施すように制御する制御手段と、
前記制御手段に接続され、少なくとも前記ファイルを実行するための操作画面が表示される主表示部と、
を有し、
前記主表示部からユーザのログイン情報が入力されると、そのログイン情報と、前記記憶手段に記憶されたユーザ情報とを照らし合せ、前記主表示部に、該ユーザの操作レベル(操作権限)に応じた操作画面を表示させることを特徴とする基板処理装置。
基板を処理する手順が記載されたレシピを含むファイルと、
前記ファイルを実行するユーザのユーザ情報(ユーザID、パスワード)が記憶される記憶手段と、
前記ファイルを実行することにより所定の処理を施すように制御する制御手段と、
前記制御手段に接続され、少なくとも前記ファイルを実行するための操作画面が表示される主表示部と、
を有し、
前記制御手段から離間した位置に配置可能であって、少なくとも前記ファイルを実行するための操作画面が表示される外部表示部と通信ネットワークを介して接続可能であって、ユーザのログイン情報が入力されると、そのログイン情報と、前記記憶手段に記憶されたユーザ情報とを照らし合せ、該ユーザの操作レベル(操作権限)に応じた操作画面を表示させ、前記主操作画面及び前記外部操作画面に表示される表示画面を、それぞれ異なる
表示とすることが可能であることを特徴とする基板処理装置。
基板を処理する手順が記載されたレシピを含むファイルと、
前記ファイルを実行するユーザのユーザ情報(ユーザID、パスワード)と、該ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータとを記憶する記憶手段と、
前記ファイルを実行することにより所定の処理を施すように制御する制御手段と、
前記制御手段に接続され、少なくとも前記ファイルを実行するための操作画面が表示される主表示部と、
を有し、
前記制御手段から離間した位置に配置され、少なくとも前記ファイルを実行するための操作画面が表示される外部表示部が接続可能であって、
前記外部表示部からユーザのログイン情報が入力されると、そのログイン情報と、前記記憶手段に記憶されたユーザ情報とを照らし合せ、前記外部表示部に、前記操作画面として該ユーザの操作レベル(操作権限)に応じた操作画面を表示させることを特徴とする基板処理装置。
10 基板処理装置
14 主コントローラ
16 主操作装置
18 主表示装置
30 外部操作装置
32 外部表示装置
50 副操作装置
52 副表示装置
200 ウエハ
202 処理室
240 主表示制御部
242 副表示制御部
244 外部表示制御部
300 ユーザ設定画面
400 権限設定画面
420 選択画面
500 メイン画面
600 ログイン画面
700 編集メニュー画面
900 レシピ編集画面
Claims (10)
- 基板を処理する基板処理機構と、
前記基板処理機構を操作するユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータと、前記基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部を通じて前記ユーザがログインする際に、前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと、を少なくとも記憶する記憶部と、
前記表示部からユーザのログイン情報が入力されると、前記機能制限パラメータと前記権限パラメータとを比較して一致した操作権限に即した操作画面を表示させる制御部と、
を有する基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部から、ユーザのログイン情報が入力されると、前記表示部を通じてユーザがログインする際に前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと前記ユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータとを比較して一致した操作権限に即した操作画面を前記表示部に表示させる表示方法。
- 基板を処理する基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部を備えた操作装置と、
前記表示部を通じてユーザがログインする際に前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと、前記ユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータとを少なくとも記憶する記憶部とを備えた基板処理装置とを含む基板処理システムであって、
前記機能制限パラメータと前記権限パラメータを比較して一致した操作権限に即した操作画面を前記表示部に表示させる基板処理システム。 - 前記制御部は、
ユーザの操作権限を設定する権限設定画面を前記表示部に表示させる請求項1記載の基板処理装置。 - 前記ユーザの操作権限は、所定のファイル又はコマンド毎に設定される請求項4記載の基板処理装置。
- 前記ユーザの操作権限は、自装置の稼働状態に対応して設定される請求項4記載の基板処理装置。
- 前記ユーザの操作権限は、各レシピに対して設定され、禁止、参照可、編集可及び実効可のいずれかである請求項4記載の基板処理装置。
- 基板を処理する基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部を備えた操作装置と、
前記表示部を通じてユーザがログインする際に前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと、前記ユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータとを少なくとも記憶する記憶部とを備えた基板処理装置とを含む基板処理システムの表示方法であって、
前記機能制限パラメータと前記権限パラメータを比較して一致した操作権限に即した操作画面が表示される基板処理システムの表示方法。 - 基板を処理する基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部を備えた操作装置と、
前記表示部を通じてユーザがログインする際に前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと、前記ユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータとを少なくとも記憶する記憶部とを備えた基板処理装置とを含む基板処理システムにおける基板処理装置であって、
前記機能制限パラメータと前記権限パラメータを比較して一致した操作権限に即した操作画面を前記表示部に表示させる制御部を備えた基板処理装置。 - 基板を処理する基板処理機構から離間した位置に配置され、前記基板処理機構を操作するための画面が表示される表示部を備えた操作装置と、
前記表示部を通じてユーザがログインする際に前記ユーザが操作する機能を制限する機能制限パラメータと、前記ユーザに応じて予め設定された種々の操作権限を規定する権限パラメータとを少なくとも記憶する記憶部とを備えた基板処理装置とを含む基板処理システムにおける操作装置であって、
前記機能制限パラメータと前記権限パラメータを比較して一致した操作権限に即した操作画面が前記表示部に表示される操作装置。
Priority Applications (1)
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